Похожие статьи
- Кинетика и механизмы плазмохимического травления алюминия в хлоре2008 / Пивоваренок С. А., Дунаев А. В., Ефремов А. М., Светцов В. И.
- Кинетический подход при расчете параметров пожаровзрывоопасности газовых смесей метана с хлором2018 / Грохотов М. А., Бегишев И. Р., Комаров А. А., Беликов А. К.
Похожие статьи
- Особенности травления ниобата лития фторсодержащими радикалами2009 / Гуляев В. В., Дикарев Ю. И., Цветков С. М., Бормонтов Е. Н.
- Коксообразование на высококремнеземном цеолитном катализаторе при превращении пропилена2008 / Гашимов Ф. А., Надиров П. А., Мирзаи Дж И.
Похожие статьи
- Оценка колебательной температуры и степени диссоциации молекул хлора в его смесях с инертным газом в плазме тлеющего разряда2009 / Головицкий Александр Петрович
- О влиянии температуры газа на кинетику нейтральных частиц в газоразрядной плазме хлористого водорода2015 / Ефремов А. М., Беляев С. В., Титова Е. С.
Похожие статьи
- Особенности кинетики травления ниобата и танталата лития во фторсодержащей плазме2017 / Коняев И. В., Владимирова Л. Н., Бормонтов Е. Н., Буслов В. А., Сизаск Е. А.
- Исследование влияния продуктов травления пленки полиэтилена на параметры неравновесной плазмы воздуха2015 / Кадников Д. В., Смирнов С. А., Рыбкин В. В.