CC BY
8УДК 62-555 + 534.23:536.755:541.13
Darya V. Zarembo1, Aleksander N. Khramov2,
Viktor I. Zarembo3
INFLUENCE OF WEAK PRESSURE IMPULSES ON PROCESSES OF ELECTROCHEMICAL PREPARATION OF ALUMINUM FOIL FOR OXIDE CAPACITORS
St. Petersburg State Institute of Technology (Technical University), Moskovsky Pr., 26, St. Petersburg, 190013, Russia e-mail: ndz@list.ru
Results of investigation of electrochemical etching and high-voltage formation of an oxide layer on aluminum foil for electrolytic capacitors under the influence of weak periodic pressure impulses with repetition rate 1 MHz are presented. By using raster electronic microscopy, the surface morphology of the samples obtained in the control and regulatory modes was investigated after each electrochemical process. Histograms of the diameter distribution of roughnesses were obtained, and comparative analysis was carried out. The aluminum foil formed in acoustic fields preserved all its elec-trophysical characteristics. At the same time its flexural strength increased by 30 %. The electromigration mechanism for etching and oxygenating processes is offered.
Keywords: aluminum foil, oxidic condensers, electrochemical etching and oxygenating, nonlinear processes, self-organization, tenzoimpulse regulation.
Д.В. Зарембо1, А.Н. Храмов2, В.И. Зарембо3
ВЛИЯНИЕ СЛАБЫХ ИМПУЛЬСОВ ДАВЛЕНИЯ НА ПРОЦЕССЫ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЙ ПОДГОТОВКИ АЛЮМИНИЕВОЙ ФОЛЬГИ ДЛЯ ОКСИДНЫХ КОНДЕНСАТОРОВ
Санкт-Петербургский государственный технологический институт (технический университет), Московский пр. 26, Санкт-Петербург, 190013, Россия e-mail: ndz@list.ru
В статье представлены результаты исследования электрохимического травления и высоковольтного формования оксидного слоя на алюминиевой фольге для электролитических конденсаторов при воздействии слабых периодических импульсов давления с частотой следования 1 МГц. C помощью растровой электронной микроскопии после каждого электрохимического процесса была изучена морфология поверхности образцов, полученных в контрольных и регулятивных режимах. Построены гистограммы распределения по диаметру образованных неровностей, проведен сравнительный анализ. Сформированная в акустических полях алюминиевая фольга сохранила все электрофизические характеристики, при этом ее прочность на изгиб увеличилась на 30 %. Для процессов травления и оксидирования предложен механизм электропереноса.
Ключевые слова: алюминиевая фольга, оксидные конденсаторы, электрохимическое травление и оксидирование, нелинейные процессы, самоорганизация, тензоим-пульсная регуляция.
DOI 10.15217^п1998984-9.2017.40.13
Введение
Оксидные (электролитические) конденсаторы используются в различных видах радиоаппаратуры широкого и специального назначения [1-3]. К свойствам композита из алюминиевой фольги, который является их основной составляющей, предъявляются особые требования. Процессы создания оксидированной фольги и сборки из нее конечного продукта проводятся на одном предприятии, где осуществляется полный цикл всех механических и химических этапов подготовки и обработки. Одними их основных стадий производства являются травление алюминиевой фольги и последующее формование на ее поверхности оксидного слоя. Существовало большое количество вариаций составов электролитов и особенностей проведения процессов [1, 4-7], но в настоящее время на заводах они согласованы, унифицированы и выполняются на одной технологической линии. Алюминиевая фольга подается в машину травления и оксидирования из рулона непрерывно, с постоянной скоростью, а на выходе получается готовый композит
для производства конденсаторов. Сложность заключается в том, что изменение какого-то из управляющих параметров этого процесса может дать положительный эффект на одной из стадий, но при этом снизит характеристики готового продукта или потребует оптимизации всей технологии.
Электрохимическое травление и оксидирование являются химическими реакциями, сопровождаемыми фазовыми переходами, протекающими в резко неравновесных условиях, поэтому для них характерны явления самоорганизации. Макрокинетика этих процессов описывается нелинейными уравнениями массо- и теплопере-носа, содержащими члены, отвечающие за управление и регуляцию. В этой фразе управление имеет смысл принудительной энергетической синхронизации (захватывание), а регуляция - это энергетически слабое (информационное) воздействие (взаимная или внутренняя синхронизация). Сегодня теоретически доказано, что синхронизация является фундаментальным свойством колеблющихся, вращающихся систем различной природы и, в силу их универсальной распространенности, должна играть существенную роль в организации микромира [8].
1 Зарембо Дарья Викторовна, канд. хим. наук, доцент, каф. аналитической химии, e-mail: ndz@list.ru Darya V. Zarembo, PhD. (Chem.), Associate Professor, Department of Analytical Chemistry
2 Храмов Александр Николаевич, канд. хим. наук, доцент, каф. аналитической химии, e-mail: khramovalex@yandex.ru Aleksandеr N. Khramov, PhD. (Chem.), Associate Professor, Department of Analytical Chemistry
3 Зарембо Виктор Иосифович, д-р хим. наук, профессор, зав. каф. аналитической химии, e-mail: zarembo@technolog.edu.ru Viktor I. Zarembo, Dr. Sci. (Chem.), Professor, Head of the Department of Analytical Chemistry
Дата поступления -3 июля 2017 года
В настоящей работе применен принципиально новый подход к методу обработки поверхности, а именно: при сохранении неизменными всех параметров технологии, на установку дополнительно подается акустический сигнал, который вызывает резонанс (синхронизацию) диссипативных структур автогенераторного типа (дисбалансированных роторов, валов, торов-либронов) [8]. Регулятивный сигнал формируется с помощью генератора импульсов тока, позволяющего путем электромагнитного акустического преобразования [9] формировать на поверхности выносной короткозамкнутой бифиляр-ной петли-антенны слабые ультразвуковые колебания со средней амплитудой давления 150 Па в диапазоне от 50 до 4000 кГц. Этот метод получил название - тензоимпуль-сная регуляция (ТИР), он уже показал свою эффективность в таких процессах как электроэкстракция металлов, разряд гальванического элемента, сварка, кристаллизация металлов, гальванопластика, осаждение драгоценных металлов [10-14].
Экспериментальная часть
Изготовление алюминиевой фольги для электролитических конденсаторов на современных производствах осуществляется последовательно на одной установке, но проводить исследования влияния ТИР в непрерывном процессе нецелесообразно, хотя и осуществимо. В центральной заводской лаборатории предприятия ЗАО «Элеконд» (г. Сарапул), которое специализируются на выпуске различного типа конденсаторов, имеются макеты линий травления и оксидирования с периодическими и независимыми режимами работы для тестирования и корректировки параметров технологических процессов. На них обрабатываются образцы, изготовленные из алюминиевой фольги японского производства со степенью чистоты алюминия 99,99 %, толщиной 116 мкм и площадью 1 дм2. Условия проведения электрохимического травления: массовая концентрация хлорида натрия №С1) в электролите 15 %, плотность тока 25 А/дм2, температура 60 °С, время процесса 3 мин. Параметры высоковольтного (до 400 В) формования оксидного слоя: массовая концентрация лимонной кислоты (С3Н4ОН(СООН)3) в электролите 2 %, плотность тока 15 А/дм2, температура 60 °С, время процесса 15 мин. Для приготовления растворов использовались реактивы: NaCl («ХЧ», ГОСТ 423377), С3Н4ОН(СООН)3 («ХЧ», ГОСТ 3652-69).
На макетах дифференциальным способом (в контрольном режиме и при воздействии импульсов давления с частотой 1 МГц) проводились исследования влияния слабых акустических полей. С помощью генератора импульсов электрического тока через петлю-антенну, которая механически присоединялась к электроду (в обоих процессах это был анод) пропускался заданный высокочастотный сигнал. Это создавало в скин-слое проводника акустическое давление, передававшееся физическим (механическим) контактом через электрод в раствор, на корпус ванны и образцы [10, 11].
Морфология поверхности фольги, полученной после процессов травления и оксидирования, изучалась на растровом электронном микроскопе (РЭМ) фирмы JEOL марки JSM 35CF, в режиме вторичных электронов, который позволяет получить информацию о рельефе образцов. Снимки автоматически обрабатывались с помощью программы визуальных измерений VideoTest. По данным морфометрического анализа изображений были построены гистограммы распределения по размеру (среднему диаметру Фере) образованных на поверхности впадин и кратеров.
Результаты исследований образцов алюминиевой фольги после электрохимического травления представлены на рисунках 1 и 2.
а б
Рисунок 1. РЭМ снимки поверхности электрохимически протравленной фольги при 300-кратном увеличении: а) без ТИР; б) при 1 МГц
Рисунок 2. Распределение впадин на поверхности протравленной фольги по среднему диаметру Фере: а) без ТИР; б) при 1 МГц
Анализ полученных снимков и гистограмм показал, что ТИР существенно влияет на электрохимическое травление алюминиевой фольги. На контрольных образцах наибольшее количество впадин (от 190 до 70 шт.) имеет размер от 5 до 15 мкм при среднем диаметре 9 мкм. В регулятивном режиме зафиксировано максимальное количество неровностей (от 310 до 160 шт.) размером от 2 до 5 мкм при среднем диаметре 3 мкм. Таким образом, при воздействии ТИР происходит уменьшение среднего диаметра впадин в три раза и увеличение их количества при меньшем разбросе размеров, что говорит об улучшении равномерности травления.
На рисунке 3 (а, б) приведены снимки поверхности образцов оксидированной фольги, сделанные с помощью РЭМ во вторичных электронах, гистограммы распределения впадин по размеру показаны на рисунке 4 (а, б).
аб
Рисунок 3. РЭМ снимки во вторичных электронах поверхности образцов оксидированной фольги при 300-кратном увеличении: а) без ТИР; б) при 1 МГц
Рисунок 4. Распределение выровненных после оксидирования впадин по среднему диаметру Фере: а) без ТИР; б) при 1 МГц
б
а
б
а
Анализ полученных результатов показывает, что ТИР повлияла и на процесс высоковольтного формования оксидного слоя на алюминиевой фольге. На контрольных образцах наблюдается наибольшее количество оксидированных впадин диаметром 5 мкм, а при воздействии ТИР - около 3,5 мкм. Равномерность их распределения по размеру существенно отличается в штатном и регулятивном режимах. Без ТИР резко снижается количество неровностей размером больше 5 мкм, только единичные впадины достигают максимального диаметра в 20 мкм. При ТИР общая текстура поверхности измельчается, наибольшее количество впадин имеет размер 3,5 мкм, их диаметр плавно уменьшается в обоих направлениях на гистограмме (в отличии контрольных образцов фольги), а максимальное значение составляет около 10 мкм. Сопоставив число неровностей при среднем размере в различных режимах имеем: без ТИР - 5 мкм/290 шт., с ТИР - 3,5 мкм/180 шт. Следовательно, в регулятивном режиме происходит усреднение диаметра впадин. После травления и формования в условиях ТИР количество неровностей уменьшилось в среднем на 40 %. Т.е. часть впадин полностью закрывается оксидным слоем, что, несомненно, приводит к сглаживанию поверхности. Это подтверждается и анализом снимков образцов, полученных в условиях акустического воздействия: контраст белого цвета на них возрастает, преобладает множественная смена темных и светлых пятен малого размера, ярко выраженные цельные черные пятна (глубокие кратеры) отсутствуют, что свидетельствует о равномерности образования оксидного слоя.
Дополнительно проведенные исследования электрических свойств анодированной фольги (емкость и токи утечки) не выявили каких-либо изменений при использовании ТИР, но испытания механических свойств показали возрастание прочности на изгиб конечного продукта на 30 %. Этот эффект объясняется тем, что после травления в акустических полях количество впадин увеличилось, но глубина их стала меньше, а сформированный оксидный слой частично затянул неровности. Отсутствие резких перепадов по размеру впадин и явных кратеров на поверхности фольги, полученной в регулятивном режиме, увеличило прочность изделий по сравнению с контрольными образцами.
Обсуждение результатов
Слабые акустические импульсы синхронизуют взаимодействующие кинематические объекты исследованных процессов, что приводит к существенному изменению рельефа получаемых покрытий [10, 13]. При этом апробированная штатная технология не претерпевает значительных изменений.
Существующие в литературе противоречия в описании механизма электрохимического травления и формования оксидного слоя на алюминиевой фольге [47] заключаются прежде всего в сложности этих процессов. За исключением [15-17] вся теоретическая и прикладная электрохимия базируется на гипотезе Аррениуса о самопроизвольной электролитической диссоциации в водных растворах. При рассмотрении электропереноса в жидкой фазе возникает вопросе: как, нарушая закон Кулона, катионы, движущиеся с одной скоростью, восстанавливаются на отрицательном катоде, а анионы, имеющие другую подвижность, окисляются на положительном аноде? Зонная теория электропроводности твердых тел на базе квантовой механики непротиворечиво объяснила проводимость свободных электронов в металлах, полупроводниках и диэлектриках, но оставила открытым вопрос о токах смещения, то есть токах проводимости, обусловленных скоростью изменения поляризации связанных зарядов. Между проводимостями свободных и связанных электронов существует принципиальное различие - нельзя получить стационарный ток связанных зарядов. В теории Максвелла токи смещения и токи проводимости экви-
валентны, и полная плотность тока в цепи равна сумме плотностей тока смещения и тока проводимости движущихся свободных зарядов [15, 16]. Если принять теорию электрохимических процессов Р.Р. Салема [15, 16], отвергающую самопроизвольную электролитическую диссоциацию, и рассматривать катодно-электролитную эмиссию электронов как агент электропереноса и реагент окислительно-восстановительных реакций, то понимание проводимости в растворах значительно упрощается. Эти представления не позволяют предсказать поведение сложной отрытой системы, но дают возможность непротиворечиво описать наблюдаемые явления.
Выход электронов из катода в электролит является теоретически обоснованным фактом [15, 16], т.е. контакт катода (да и анода) с электролитом является в физическом смысле контактом «металл - полупроводник (диэлектрик)». В качестве последнего может выступать многослойная структура из оксидов самого металла и его иных соединений с компонентами электролита, адсорбционной плёнки и электролита. Концентрация электронов проводимости в металле всегда значительно превосходит концентрацию эмитированных электронов (называемых в жидких растворах «сольватированными») [15]. Следовательно, контакт металла с электролитом по существу является классическим в физике контактных явлений барьером Шоттки [18].
Химические (восстановительные в катодной области) процессы преобразуют эмитированные катодом электроны с компонентами среды в химические соединения - анионы (связанные электроны), и уже они служат как локализованными носителями электрического тока в католите, так и донорами электронов проводимости Зом-мерфельда. Окислительные реакции в анолите создают катионы или протоны с функциями электропереноса. Акцепторные свойства протона и катионов позволяют производить дырки в валентной зоне электролита [15].
В монографии [16] предлагается поляризационная модель переноса электричества в растворах колебаниями связанных зарядов (токами смещения), как при наличии, так и отсутствии фарадеевских процессов. При этом доля трансляции свободных зарядов (сквозных токов) несущественна, поскольку время жизни сольватиро-ванного электрона в слабокислой среде рН ~ 5 составляет менее 3 мкс. На наш взгляд, эта модель предпочтительнее для жидких сред, так как открывает широкие перспективы для рассмотрения межфазных взаимодействий.
Травление. Рассматривая рабочий водный раствор NaCI как молекулярный, при используемых плотностях тока в процессе травления на электродах будут происходить следующие реакции:
(+): 1) NaCI - е = СГ + Na+ (носитель тока)
2) 3СГ + А1 = А1С13
(-): 1) Н2О + е = Н' + ОН- (носитель тока)
2) 2Н' = Н2Т
Хотя равновесный потенциал выделения кислорода на 0,5 В меньше, чем потенциал выделения хлора, при повышенных плотностях тока (более 10 А/дм2) на аноде преимущественно выделяется атомарный хлор [19]. Образование радикала СГ связано с тем, что в процессе электролиза на границе раздела электрод-электролит происходит переход электрона из молекулы NaCI в металл электрода, т.к. в нем сосредоточен мощный положительный потенциал, обусловленный пониженной электронной плотностью. Вследствие этого, нейтральная молекула NaCI становится положительной NaCI+. В результате потери электронов в приэлектродной области молекула NaCI+ распадается на ион Na+ и радикал СГ. В рамках теории зонной проводимости область нахождения
Cl' и Na+ можно рассматривать как дырку [18], образующуюся в прианодном слое. В прикатодной области, где сосредоточен мощный отрицательный заряд из-за повышенного содержания электронов, образуются H' и ОН-. Перенос электрического заряда в приэлектродных слоях и объеме раствора осуществляется за счет поляризационного выравнивания областей повышенной и пониженной электронных плотностей (анионов и дырок).
Формование. Основным компонентом электролита для электрохимического формования оксидного слоя является водный раствор лимонной кислоты. Процесс ее электролиза преимущественно сводится к электролизу воды, так как концентрация кислоты в растворе мала. В данном технологическом процессе она необходима для увеличения поляризационной проводимости раствора. На катоде происходит реакция образования водорода, как и в процессе травления, а на аноде идет выделение кислорода:
(+): H2O - 2e = О' + 2Н+ (носитель тока)
Образующийся в растворе радикал кислорода будет вступать в реакции образования молекулярного кислорода и химического взаимодействия с алюминиевым анодом, создавая на его поверхности оксид алюминия:
2Al + 3О" = АЬОз
Выводы
Обнаружен эффект регуляции слабыми импульсами давления с частотой следования 1 МГц электрохимического травления и высоковольтного формования оксидного слоя на поверхности алюминиевой фольги, что выражается в следующем:
1. Тензоимпульсная регуляция улучшает равномерность травления: средний диаметр впадин снижается в три раза, их общее количество увеличивается при меньшем разбросе размеров.
2. Тензоимпульсная регуляция способствует сглаживанию поверхности и равномерности образования оксидного слоя: количество впадин сокращается на 40 %.
3. Алюминиевая фольга для конденсаторов, сформированная в акустических полях, сохраняет все электрофизические характеристики, при этом ее прочность на изгиб увеличивается на 30 %.
Литература
1. Закгейм Л.Н. Электролитические конденсаторы. Л.: Госэнергоиздат, 1963. 284 с.
2. Левданский А. Алюминиевые электролитические конденсаторы // Компоненты и технологии. 2003. № 8. С. 14-15.
3. Моравик С., Зедничек Т. Сравнение характеристик алюминиевых и танталовых конденсаторов // Компоненты и Технологии. 2000. № 9. С.1-2.
4. Ono S, Makino T, Alwitt R.S. Crystallographic pit growth on aluminum (100) // J. of the Electrochemical Society. 2005. V. 152(2). P. 39-44.
5. Панов И.В., Шавкунов С.П., Каменщиков О.Ю. Влияние этиленгликоля на получение туннельной структуры алюминиевой фольги для электролитических конденсаторов // Известия СПбГТИ(ТУ). 2015. № 29(55). С. 24-27.
6. Mao W., Jiang H., Yang P., Feng H., Yu Y. Influence of microstructure and microelements on corrosion structure of aluminum foil // The Chinese J. of Nonferrous Metals. 2004. V. 14(10). P. 1627-1631.
7. Oh H.-J., Lee J.-H., Ahn H.-J., Jeong Y., Park N.J., Kim S.-S., Chi C.-S. Etching characteristics of high-purity aluminum in hydrochloric acid solutions // Materials Sci. and Engineering. 2007. V. 449-451. P. 348-351.
8. Блехман И.И. Синхронизация в природе и технике. М.: ЛЕНАНД, 2015. 440 с.
9. Каганов М.И., Васильев А.Н. Электромагнитно-акустическое преобразование - результат действия поверхностной силы // Успехи физических наук. 1993. Т. 163. № 10. С. 67-80.
10. Колесников А.А., Зарембо В.И. Фоновая акустическая резонансная регуляция самоорганизации физико-химических процессов в конденсированных системах. Часть 4: растворы электролитов // Альтернативная энергетика и экология. 2011. № 6(98). С. 90-98.
11. Колесников А.А., Зарембо Я.В., Зарембо В.И. Электрохимическое восстановление цинка на стальном катоде в слабом электромагнитном поле // Журн. физ. химии. 2007. Т. 81. № 7. С. 1339-1341.
12. Зарембо Д.В., Колесников А.А., Лифанов Ю.Г., Юдина Н.С., Зарембо В.И. Кроющая и рассеивающая способность процесса и возможность их нехимического регулирования // Известия СПбГТИ(ТУ). 2014. № 23(49). С. 9-12.
13. Колесников А.А., Зарембо В.И., Зарембо Д.В. Гальваника хромирования: новый взгляд // Альтернативная энергетика и экология. 2015. № 4(96). С. 86-101.
14. Зарембо Я.В., Зарембо Д.В. Тензоимпульсная регуляция электрохимического восстановления цинка из цинкатного электролита // Известия СПбГТИ(ТУ). 2015. № 29(55). С.15-18.
15. Салем Р.Р. Физическая химия: Начала теоретической электрохимии. М.: КомКнига, 2005. 320 с.
16. Салем Р.Р. Физическая химия. Термодинамика. М.: Физматлит, 2004. 352 с.
17. Ермаков В.И., Колесников В.А., Щербаков В.В. Растворы электролитов в электромагнитных полях. М.: «Миттель Пресс», 2009. 435 с.
18. Зегря Г.Г., Перель В.И. Основы физики полупроводников. М.: Физматлит, 2009. 336 с.
19. АлабышевА.Ф., Вячеславов П.М., ГальнбекА.А. [и др.]. Прикладная электрохимия. Л.: Химия, 1974. 536 с.
References
1. Zakgeym L.N. Electrolytic capacitors. L.: Gosen-ergoizdat, 1963. 284 p.
2. Levdansky A. Aluminum electrolytic capacitors // Components and technologies. 2003. № 8. P. 14-15.
3. Moravik S., Zednichek T. Comparing of characteristics of aluminum and tantalum capacitors // Components and Technologies. 2000. № 9. P. 1-2.
4. Ono S., Makino T., Alwitt R.S. Crystallographic pit growth on aluminum (100) // J. of the Electrochemical Society. 2005. V. 152(2). P. 39-44.
5. Panov I.V., Shavkunov S. P., Bricklayers O. Yu. Influence of ethylene glycol on receiving tunnel structure of aluminum foil for electrolytic capacitors // Bulletin SPbGTI(TU). 2015. № 29. P. 24-27.
6. Mao W., Jiang H., Yang P., Feng H., Yu Y. Influence of microstructure and microelements on corrosion structure of aluminum foil // The Chinese J. of Nonferrous Metals. 2004. V. 14(10). P. 1627-1631.
7. Oh H.-J., Lee J.-H., Ahn H.-J., Jeong Y., Park N.J., Kim S.-S., Chi C.-S. Etching characteristics of high-purity aluminum in hydrochloric acid solutions // Materials Sci. and Engineering. 2007. V. 449-451. P. 348-351.
8. Blekhman I.I. Synchronization in the nature and technique. M.: LENAND, 2015. 440 p.
9. Kaganov M.I., Vasilyev A.N. Electromagnetic and acoustic conversion - result of action of surface force // Achievements of physical sciences. 1993. T. 163. № 10. P. 67-80.
10. Kolesnikov A.A., Zarembo V.I. Background acoustic resonant regulation of self-organization of physical and chemical processes in the condensed systems. Part 4: solutions of electrolytes // Alternative power engineering and ecology. 2011. № 6(98). P. 90-98.
11. Kolesnikov A.A., Zarembo Ya V., Zarembo V.I. Electrochemical restoration of zinc on the steel cathode in weak electromagnetic field // J. of Physical Chemistry. 2007. T. 81. № 7. P. 1339-1341.
12. Zarembo D.V., Kolesnikov A.A., Lifanov Yu.G., Yudina N.S., Zarembo V.I. The covering and dispersing ability of process and possibility of their not chemical regulation // Izvestija SPbGTI(TU). 2014. № 23(49). P. 9-12.
13. Kolesnikov A.A., Zarembo V.I., Zarembo D.V. Galvanic of chromium plating: new view // Alternative power engineering and ecology. 2015. № 4(96). P. 86-101.
14. Zarembo Ya.V., Zarembo D.V. Tenzoimpul-snaya regulation of electrochemical restoration of zinc from zinc electrolyte // Izvestija SPbGTI(TU). 2015. № 29(55). P. 15-18.
15. Salem R.R. Physical chemistry: Beginnings of theoretical electrochemistry. M.: Komkniga, 2005. 320 p.
16. Salem R.R. Physical chemistry. Thermodynamics. M.: Fizmatlit, 2004. 352 p.
17. Ermakov V.I., Kolesnikov V.A., Scherbakov VV Solutions of electrolytes in electromagnetic fields. M.: Mittel Press publishing house, 2009. 435 p.
18. Zegr G.G., Perel V.I. Fundamentals of physics of semiconductors. M.: Fizmatlit, 2009. 336 p.
19. AlabyshevA.F., VyacheslavovP.M., GalnbekA.A., etc. Applied electrochemistry. L.: Chemistry, 1974. 536 p.
