помощью переключателя «ПРМ/ПРД» производится выбор соответствующего канала. При нажатии на кнопку «Нач. измерение» измеряются СВч параметры при нулевых значениях фазы и амплитуды, а также КСВ входа и выхода и подсчет неравномерности коэффициента передачи. Нажатием на кнопку «Измерение» производится измерение СВч параметров при различных значениях фаз и аттенюаторов, а также автоматически обрабо-тываются результаты.
С помощью кнопки «Измерение ко-эфф_шума» производится измерение коэффициента шума. Некоторые параметра снабжены цветовыми индикаторами. Если измеренные значения не соответствуют техническому заданию, то индикаторы изменят свой цвет на красный. Полный отчет об измеренных параметрах отображается в поле «Результат».
С помощью кнопок «Сохранить», и «Печать» можно соответственно сохранить результаты измерений в формате .txt или распечатать отчет, который представлен на рис. 4.
Выводы
Создание производственно-технологического и испытательного комплекса позволило автоматизировать процесс измерения и статистической обработки измеренных значений параметров субмодулей АФАР. Разработанное программное обеспечение для измерительного стенда позволило производить измерения всех требуемых параметров и сократило время проверки одного модуля до 20-30 сек, что значительно повысило производительность, а также облегчило контроль качества производимой продукции и дало возможность осуществлять управление качеством, а также уменьшило стоимость продукции.
Библиографический список
1. Жерновенков, В.А. Алгоритмы и программное обеспечение стендов для измерения СВЧ параметров модулей АФАР / В.А. Жерновенков // Электронная техника. - М.: НПП Исток, 2011.
2. Евдокимов, Ю.К. LabView для радиоинженера: от виртуальной модели до реального прибора. Практическое руководство в программной среде LabView / Ю.К. Евдокимов, В.Р. Линдваль, Г.И. Щербаков. - М.: ДМК Пресс, 2007.
ОТКЛОНЕНИЕ ОТ ЗАКОНА ВИДЕМАНА-ФРАНЦА
в субмикронной цилиндрической проволоке
Э.В. ЗАВИТАЕВ, проф. каф. физикиМГУЛ, д-р физ.-мат. наук,
О.В. РУСАКОВ, ст. преподаватель каф. математики и физики МГОГИ,
A. А. ЮШКАНОВ, проф. каф. теоретической физикиМГОУ, д-р физ.-мат. наук,
B. Н. ХАРЧЕНКО, проф. каф. физики МГУЛ, д-р техн. наук
ход, основанный на решении кинетического уравнения Больцмана для электронов в металле при произвольном характере их отражения от внутренней поверхности проволоки.
В работах Видемана и Франца в 1853 г. экспериментально установлен закон, согласно которому отношение коэффициента теплопроводности X к коэффициенту удельной электрической проводимости о для всех металлов при одной и той же температуре одинаково и увеличивается пропорционально термодинамической температуре
Электрические свойства проводников, характерный линейный размер которых сравним с длиной свободного пробега электронов, существенно отличается от свойств «массивных» проводников [1, 2].
В работе [3] рассчитана высокочастотная электрическая проводимость тонкой цилиндрической проволоки (отношение ее радиуса к длине много меньше единицы). В работе [4] решена задача о влиянии на электрическую проводимость цилиндрической проволоки продольного магнитного поля. В упомянутых работах применяется под-
ЛЕСНОЙ ВЕСТНИК 6/2012
53
фйстД
1 / я = L„ T, (1)
где в законе Видемана-Франца L0 - число Лоренца, равное 3-1(п k)2e2, k - постоянная Больцмана, e - заряд электрона и T - абсолютная температура.
Исследование отклонения от закона Видемана-Франца до сих пор остается актуальной задачей, что подтверждается широким спектром научных публикаций, например [5-8].
Величины отклонения от этого закона при низких температурах могут принимать существенные значения [9]. В данной работе мы проведем учет подобного эффекта, к которому в последнее время наблюдается заметный интерес.
Заметим, что задачи о проводимости субмикронных металлических проволок становятся особенно актуальными в связи с бурным развитием микроэлектроники, где такие проволоки широко применяются.
В настоящей работе моментным методом рассчитана функция распределения, описывающая линейный отклик электронов в однородной цилиндрической проволоке на переменное электрическое поле, ориентированное вдоль оси симметрии проволоки. По найденной функции распределения удается рассчитать зависимость локальной и интегральной проводимостей проволоки от «коэффициента Видемана-Франца» (отношения коэффициента теплопроводности к произведению коэффициента удельной электрической проводимости на число Лоренца и на абсолютную температуру металла), от отношения радиуса проволоки к длине свободного пробега электронов и частоты, а также от коэффициента зеркальности металла.
Постановка задачи
Рассматривается цилиндрическая проволока из немагнитного металла радиуса R и длины L (считаем, что L >> R), к концам которой приложено переменное электрическое напряжение частоты ю. Принимается, что направление электрического поля совпадает с осью симметрии проволоки. Скин-эффект не учитывается, т. к. радиус проволоки R предполагается малым по сравнению с характерной глубиной скин-слоя 5.
Однородное периодическое по времени электрическое поле
E = E0exp(-rat) (2)
действует на электроны проводимости (они рассматриваются как вырожденный ферми-газ) внутри проволоки и вызывает отклонение f их функции распределения f от равновесной фермиевской f
Ar,v) = f0(s) + ./K^vX s = rnv2/2,
где r - радиус - вектор (начало системы координат выбирается на оси симметрии проволоки); v - скорость электрона; m - эффективная масса электрона в металле.
Это приводит к возникновению высокочастотного тока плотности
j = e
! v/
2d3 (mv) h3
2 e
r m к h
| ! vfd'v,
(3)
где h - постоянная Планка [10].
В формуле (3) используется стандартная нормировка функции распределения f, при которой плотность электронных состояний равна 2/h3. Для равновесной функции /0(s) далее используется ступенчатая аппроксимация [8]:
I 1, 0 < 8 < 8 р
fo (8) = 0 (8р -8) = \ F ,
l0, 8р < 8
где 8 = mvF2/2 - энергия Ферми (vF - скорость Ферми).
Предполагается, что ферми-поверх-ность имеет сферическую форму.
Задача сводится к отысканию отклонения f1 функции распределения электронов от равновесной f возникающего под действием высокочастотного поля (2). В линейном приближении по электрическому полю функция/! удовлетворяет кинетическому уравнению [11-13]
д/ / f
-ш f + v^1 + e(vE)^0- = -±, (4)
дг д8 т
где предполагается стационарная зависимость от времени (f ~ exp(-i ш t)), а интеграл столкновений взят в приближении времени релаксации электронов т.
54
ЛЕСНОЙ ВЕСТНИК 6/2012
Кинетическое уравнение в т-прибли-жении соответствует случаю, когда рассеяние электронов носит чисто изотропный характер. Данный характер рассеяния электронов реализуется при рассеянии на примесях. Для чистых металлов при низких температурах оказываются существенными электрон - электронные столкновения. При таких столкновениях, суммарный импульс электронной подсистемы сохраняется и соответствующее рассеяние электронов не носит изотропный характер. По этой причине одной теплопроводностью нельзя выразить всех кинетических характеристик металла, и необходимо изменить правую часть уравнения (4), моделирующую интеграл столкновений, чтобы описать ситуацию, при которой рассеяние электронов уже не является чисто изотропным. Интеграл столкновений, учитывающий электрон - электронные столкновения впервые был предложен в [14]. Кинетическое уравнение с учетом данного интеграла столкновений имеет вид
f f + ( E) f
dt dr ds
1
т
f
3 g 0 m
4n vp
dfo f d 3
v— Iv fdv ds J
(5)
Введем безразмерный коэффициент W, который назовем коэффициентом Ви-демана-Франца, равный W = X / (T) = 1- g0. (g0 - числовой параметр, 0 < g0 < 1). При выполнении закона Видемана - Франца W = 1 и g0 = 0 (уравнение (5) переходит в (4)), это соответствует тому, что электроны при рассеянии полностью утрачивают свой первоначальный импульс, т.е. рассеяние происходит изотропно. При g0 = 1 электроны в результате рассеяния сохраняют свой импульс, то есть трение электронного газа о кристаллическую решетку отсутствует.
Заметим, что
ДфЭст
n - концентрация электронов проводимости в металле.
Функция распределения
Преобразуем кинетическое уравнение (5) используя функцию
fi(r,v) = g(r,v)5(s - sF)exP(-/® ^ (6)
в результате получим новое уравнение
dg g
-mg + v— - e vE0 = -—-dr т
3 gpm
4n v3F т
v I v g S(s-s р) d;
v.
Перейдя в последнем уравнении к цилиндрическим координатам [15], выбрав направление полярной оси Z так, чтобы она совпадала с осью симметрии проволоки, имеем
dg v9 dg dg
-mg + vr — + —— + v, — +
+
dr
v» dg vrv9 dg
r d vr
g 3 g0m
r d v„
r дф dz
- e v E =
|vz g S(s-sр) d3v. (7)
v v
л 3 z | z
т 4 n vF т
Решение уравнения (7) проведем с помощью моментного метода [15], согласно которому функция g в приближении двух моментов представляется в виде
g = ai(r)vz + a2 (r)vz vr . (8)
Найдем соответствующие частные производные от выражения (8) и подставим их в уравнение (7). В результате получим
V(ai(r )v z + a2 (r )v z vr ) + vr v z
da1 (r)
dr
+
2 da2 (r) \v
+vr v,
r z
ф z
dr
a2 (r )-ev zE0 =
3gpm 4nv3 т
X
r
W = g0/g,
где g0 = ne2x/m - объемная статическая удельная проводимость металла при отсутствии отклонения от закона Виде-мана-Франца;
XE I E (ai(r)vz + a2 (r) vz vr ) 8(s - sF )d3 v . (9)
Здесь мы учли, что v = 1/т - /ш. Вычислив интеграл, стоящий в правой части уравнения (9) (учитывая связи
ЛЕСНОЙ ВЕСТНИК 6/2012
55
фйстД
vr = v±cosj, уф = v±sinj, v±2 + v2 = vF2), имеем
V(ai(Г)Vz + a2 (Г)Vz Vr ) + Vr Vz
da1 (r) dr
+
2 da2 (r) vj v
+ vr v z
r z
dr
+ -JL-L a2(r) - e v zE0 =
= - S°vLa^(r).
(10)
Умножим выражение (10) на vz и проинтегрируем по пространству скоростей
f
v a
1(r) -eE0 + — ai(r) IJv2d3v +
+
v a2 (r) + IJ v2 vrd 3 v +
dr
+
da2 (r) Г r2„2,f3 dr
J v 2 v2 d 3v +
+^ J vj v2 d 3v = 0.
r
Далее вычислив значения всех четырех интегралов и подставив их в последнее равенство, приходим к уравнению
1 2 da2 (r)
v a1 (r) - eE0 +— vF—
7
dr
+
+IvF = - gL ax (r). (11)
7 r т
Еще одно уравнение для нахождения моментных коэффициентов a1(r) и a2(r), найдем, умножив (10) на vv и интегрируя по пространству скоростей
da1 (r )
dr
= -V a2 (r).
(12)
Объединим уравнения (11) и (12) в систему, разрешив ее относительно a1(r)
д 2a1 (r) 1 da1 (r)
dr2
+
7v2
f
v
F
go
1 +
V VTJ
r dr
a1(r) = -
7v eE„
v
F
r
т
Перейдем в полученном уравнении к новой безразмерной переменной 5 = r/R, также учтем, что
R
R
1
vFV v F
----i ю
VT J
= x - iy,
тогда
d 2a1
1 da1 +------1
5d5
7 z2 p2 a1
7zeE0 R
v F
, (13)
где
e
1+7g0
В результате для определения моментного коэффициента a1(£) мы получили неоднородное модифицированное уравнение Бесселя, частное решение которого
a1 Л
eE0 R ZvF Р2
(14)
Общее решение однородного модифицированного уравнения Бесселя
a1
Л10 (z pV7 5) + л2 K0 (z pV7 5), (15)
где
1П
I0 (z $475) = — J exp(5 z $47cos a) da, (16) ni
K0 (z $475)
J
cos(5 z $471)
4t2+1
dt . (17)
Учитывая то обстоятельство, что при £, = 0 плотность тока внутри проволоки не должна быть расходящейся функцией, константу А2 естественно положить равной нулю. В результате решение (13) примет вид
a (5)=Л0+Ai0 (z pV7 5), (18)
где Л = Л1.
Обезразмерим уравнение (12) и воспользуемся им для нахождения моментного коэффициента a2(5). В результате получим
a2 (5) = - ЛЛвЕ I1 (z pV7 5), (19)
v F
56
ЛЕСНОЙ ВЕСТНИК 6/2012
где
I (z Рл/7 5) =
1 "
= —I exp(5 z pV7 cos a)cos a d a. (20) П 0
Однозначное решение поставленной задачи возможно при выборе граничного условия для неизвестной функции f1(r, v) на цилиндрической поверхности металлической проволоки. В качестве такого принимаем условия зеркально-диффузного отражения электронов от поверхности (r = R):
| Vz.f1 (Vr)d3v = q | Vzfi(-Vr)d\ (21)
vr <0 vr <0
где v и v - соответственно, компоненты скорости электрона в плоскости, перпендикулярной к оси симметрии проволоки и вдоль оси симметрии проволоки;
q - коэффициент зеркальности (вероятность зеркального отражения): 0 < q < 1.
При q = 0 получаем условие диффузного отражения электронов проводимости от внутренней поверхности металлической проволоки, а при q =1 условие чисто зеркального отражения. При значениях q Ф 0 и q Ф 1 получаем различные варианты смешанного зеркально-диффузного отражения электронов.
Граничное условие (21) позволяет получить выражение, связывающее значения моментных коэффициентов а1(5) и a2(5) на границе проволоки. После проведения соответствующих вычислений, имеем
- ai(1)(1 - q) = ^ a2(1)(1 + q). (22)
Учитывая (18) и (19), получим, при 5 = 1, для определения константы A выражение
A = V A0, (23)
где
V = -
q -1
1 (1 - q)Io (z Рл/7) + фф (1 + q)/i(z Рл/7)
3
ДфЭст
Соотношения (14), (18), (19) и (23) полностью определяют отклонение (6) функции распределения от равновесной в случае зеркально-диффузного отражения электронов от внутренней поверхности цилиндрической проволоки с учетом отклонения от закона Ви-демана-Франца.
Расчет проводимости
Функция (6) позволяет определить плотность тока (3) внутри проволоки. При вычислении интеграла (3) удобно перейти к цилиндрическим координатам, как в пространстве координат, так и в пространстве скоростей. Вектор E параллелен оси Z, ось симметрии проволоки совпадает с осью Z.
Поле (2) в цилиндрических координатах имеет лишь z - компоненту, соответственно, и плотность тока (3) обладает лишь z - компонентой (линии тока являются прямыми параллельными оси Z).
В силу симметрии задачи интегрирования по всему диапазону скоростей v заменяются интегрированием по положительному диапазону и результат удваивается, поэтому, подставляя пределы интегрирования и воспользовавшись свойствами 5-функции [3, 4], приходим к выражению
4em2 , . ч
Jz =exP(-i ) х
h
х
v_f 2 п+да v2
z
JJJ
0 0 0
8(v, v F - vi)
4
х
vF- vi
x[a1 (5) + a2 (5)v± cos ф]у± d v± d ф d v z
8nem2 v3
F
3 h3
a1 (5)exp(-i mt).
Окончательно получим
ne , .
Jz = — exp(-i ю t) ax (5). (24)
m
Здесь мы учли, что концентрация электронов n в проволоке определяется по стандартной формуле, согласно которой
,m3f, ,з m3 4п v3
2^J f0d v = 2
n
' F
h 3
ЛЕСНОЙ ВЕСТНИК 6/2012
57
фйстД
Воспользовавшись законом Ома в дифференциальной форме, найдем удельную электрическую проводимость субмикронной проволоки
а =
enai (5) mEn
(25)
Учитывая выражения (14), (18) и (23), получим
а = ао~Х2(1 + VIо(z5)А (26) z Р
где а0 = nelxlm - объемная статическая удельная проводимость металла при отсутствии отклонения от закона Видемана-Франца, а интеграл I0 (z р77 5) определен равенством (16).
Воспользовавшись (23), получим выражение для расчета безразмерной удельной электрической проводимости субмикронной проволоки
а (X X 5 ^, go )
x
(
X
1 +
z в2
(q -1) Iо (z pV7 5)
X
V
3 (1 - q) I о (z Рл/7) +
+ A7 (1 + q) Ii (z рУ7)
. (27)
Jy
Проинтегрировав выражение (24), определяем полный ток через поперечное сечение цилиндрической проволоки
f л л \
I = 2^-R 2
m
А, Л
V
2 zpV7
Ii (zpV7)
.(28)
У
Формально воспользовавшись законом Ома в виде I = G U, где U - напряжение на концах проволоки, получаем формулу для расчета интегральной проводимости субмикронной проволоки G (электрическое поле внутри проволоки однородное, поэтому U = E L)
G
2пneR2
mLEn
Л +_ л
2 z
\
Р^
Ii (z Рл/7)
3
Преобразуем полученное выражение, используя равенство (23)
G=
2
пneR Л)
mLE
1+
V
2V
z рУ7
Ii (z Рл/7)
Учитывая (14), получим
G
G0 X
f
z Р2
1+
2V
-Ii (z Рл/7)
V
(29)
z РУ7 ,
где G0 = kR2gJL, а интеграл Ii(zРУТ) определен равенством (20) при 5 = 1.
Снова воспользовавшись (23), получим выражение для расчета безразмерной интегральной электрической проводимости субмикронной проволоки
G (x ^, q, go)
x
X
(
i+■
2
z Р2
(q -1)Ii(z Р-Ц)
:Рл/7
i (1 - q) Iо (z ^/7) + A7 (1 + q) 11 (z ^/7)
. (30)
X
3
Заметим, что при проведении численных расчетов результаты, полученные после применения формул (27) и (30), в случае отсутствия поправки к закону Видемана-Франца, когда g0 = 0 (при этом коэффициент Видемана-Франца W = 1), совпадают с результатами работы [3], в которой использовался другой математический подход к проблеме.
Библиографический список
1. Петров, Ю.И. Физика малых частиц / Ю.И. Петров. - М.: Наука, 1984. - 360 с.
2. Завитаев, Э. В. Высокочастотная проводимость тонкой цилиндрической проволоки из металла / Э.В. Завитаев, А. А. Юшканов // Микроэлектроника. - 2008. - Т 37, № 6 - С. 429-438.
3. Завитаев, Э. В. Зависимость электрической проводимости тонкой цилиндрической проволоки в продольном магнитном поле от характера отражения электронов / Э. В. Завитаев, А. А. Юшканов // ЖЭТФ. - 2006. - Т 130, № 5 (11) - С. 887-894.
4. Interaction corrections to the thermal transport coefficients in disordered metals: quantum kinetic equation approach / G. Catelani, I. L. Aleiner // Препринт. A ar Xiv: cond-mat/0405333. - 2004. - P. 35.
58
ЛЕСНОЙ ВЕСТНИК 6/2012