Похожие статьи
- Влияние температуры на скорость травления и качество поверхности GaAs при обработке в плазме HCl-Ar, HCl-Cl 2, HCl-H 22014 / Дунаев А. В., Пивоваренок С. А., Капинос С. П., Мурин Д. Б.
- Исследование влияния режимов плазмохимического травления поверхности арсенида галлия в плазме Bcl 3\Ar\SF 62015 / Климин Виктор Сергеевич, Еськов Андрей Владимирович, Петров Николай Наранович
Похожие статьи
- Взаимодействие плазмы смесей хлороводород - аргон, - хлор, - водород с арсенидом галлия2014 / Дунаев А. В., Пивоваренок С. А., Мурин Д. Б.
- Исследование влияния режимов профилирования поверхности структур на основе арсенида галлия методом плазмохимического травления с учетом потока хлорсодержащего газа2017 / Климин Виктор Сергеевич
Похожие статьи
- Параметры и состав плазмы CF4 + O2 + Ar и CHF3 + O2 +Ar в процессах реактивно-ионного травления2019 / Ефремов Александр Михайлович, Соболев Александр Михайлович, Бетелин Владимир Борисович, Kwon Kwang-Ho
- Плазмохимическое травление органических материалов в технологии изготовления монолитных интегральных микросхем2009 / Рувинский Олег Валерьевич, Устьянцев Михаил Валерьевич, Харахашев Андрей Хачехпарович, Климов Михаил Михайлович
Похожие статьи
- Формирование наноразмерных структур арсенида галлия локальным анодным окислением и плазмохимическим травлением2018 / Климин Виктор Сергеевич
- ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК СЕРЕБРА ДЛЯ ПРИЛОЖЕНИЙ ПЛАЗМОНИКИ ИНДУКТИВНО-СВЯЗАННОЙ АРГОНОВОЙ ПЛАЗМОЙ2020 / Филиппов И. А., Великовский Л. Э., Шахнов В. А.
Похожие статьи
- Спектральное исследование травления меди в плазме тлеющего разряда в смеси хлора с водородом2007 / Ефремов А. М., Изгородин А. И., Оченков В. С., Светцов В. И.
- Технология изготовления дифракционных и голограммных оптических элементов с функциональным микрорельефом поверхности методом плазмохимического травления2010 / Одиноков Сергей Борисович, Сагателян Гайк Рафаэлович