ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЕ ВАКУУМНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ И ЭЛЕКТРОПЕЧИ ДЛЯ ТЕРМООБРАБОТКИ И СПЕКАНИЯ. ЧАСТЬ III. ОСОБЕННОСТИ КОНСТРУИРОВАНИЯ ВАКУУМНЫХ ПЕЧЕЙ СОПРОТИВЛЕНИЯ ДЛЯ ОСНОВНЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ Текст научной статьи по специальности «Технологии материалов»

КОНСТРУКЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ

STRUCTURAL MATERIALS

УДК 621.05.03

Уважаемые читатели!

Мы продолжаем публиковать научный обзор нашего постоянного корреспондента канд. техн. наук Эдуарда Никитовича Мармера, который является одним из наиболее квалифицированных специалистов в области высокотемпературных материалов, эксплуатирующихся при нагреве в вакууме или в аргоне.

В первой части обзора рассматривалось влияние вакуума на основные элементы печей. Вторая часть посвящена технологическим процессам в вакууме, а третья часть даст представление о конструкциях вакуумных высокотемпературных печей для термообработки и спекания.

Рассматриваемые процессы охватывают температурный интервал от 700 до 2800° С при разрежении от атмосферного давления инертных газов до 10-7 Па.

ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЕ ВАКУУМНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ И ЭЛЕКТРОПЕЧИ ДЛЯ ТЕРМООБРАБОТКИ И СПЕКАНИЯ

Э.Н. Мармер

ООО «Группа компаний ВНИИЭТО» (ВНИИ Электротермического оборудования) 109052, Москва, ул. Нижегородская, 29 Тел. (495) 250-82-52, e-mail: [email protected]

HIGH TEMPERATURE VACUUM TECHNOLOGIES AND ELECTRIC FURNACES FOR THERMAL TREATMENT AND FRITTING

E.N. Marmer

All-Russian Scientific Research Institute of Electrothermical Equipment Group of companies Ltd. 29, Nizhegorodskaya str., Moscow, 109052 Phone (495) 250-82-52, e-mail: [email protected]

СОДЕРЖАНИЕ III части

§ 1. Общие соображения...............................................................................................14

§ 2. Основные требования к элементам конструкции вакуумных печей...............................................15

2.1. Корпус и крышки..............................................................................................15

2.2. Токоподводы....................................................................................................16

2.3. Смотровые окна (гляделки), защита их от напыления.

Бесконтактное измерение температуры с использованием пирометров.................................16

2.4. Термопарные вводы и высокотемпературные термопары.............................................22

2.5. Равномерность температур и методы их выравнивания...............................................25

§ 3. Низкотемпературные печи и их классификация............................................................26

3.1. Шахтные и элеваторные печи.......................................................................................................28

3.2. Камерные печи и печи с выкатным подом................................................................32

3.3. Колпаковые печи...............................................................................................34

Список литературы.....................................................................................................35

III часть.

Особенности конструирования вакуумных печей сопротивления для основных технологических процессов

§ 1. Общие соображения

Как ранее указывалось, технологический процесс и электропечь должны соответствовать друг другу, составляя единое целое. Технология без печи практически существовать не может, однако и печи без технологических процессов также не нужны. Естественно, создаваемая печь должна удовлетворять требованиям технологии.

Поэтому теоретически для каждой технологии должна существовать «своя» печь. В этом случае важна форма сотрудничества между потребителями вакуумных печей сопротивления и их разработчиками. Наиболее эффективный случай предусматривает совместное решение задачи создания конструкции для конкретной технологии.

Такая совместная работа была выполнена при создании оборудования для вакуумной закалки подшипников, в которой принимали участие ВНИИЭТО, ВНИИПП (подшипниковой промышленности), заводы ГПЗ-1, ГПЗ-2, ГПЗ-4.

Другой аналогичный пример: технологические и электротермические вопросы спекания штабиков из молибдена в печах косвенного нагрева в вакууме ре-

Ориентировочное распределение Rough distribution of furnaces acc

шались совместно ВНИИЭТО и цехом № 1 Электролампового завода. В результате были созданы садочные и методические печи для промышленного производства.

Можно было бы перечислять и другие технологии и печи, при создании которых потребители и разработчики проводили совместные работы. Однако все это могло быть осуществимо, пока была возможность экспериментальной проверки как технологии, так и печей для ее осуществления.

В процессе перестройки была разгромлена экспериментальная база ВНИИЭТО и разогнаны основные ее кадры. Поэтому основная задача обзора - необходимость довести до читателя по возможности все то, что было сделано за полвека, а также обобщить вакуумные технологии, без представления о которых нельзя ни разрабатывать новые конструкции, ни рекомендовать существующие варианты печей.

В связи с этим необходима классификация технологических процессов, которая выполнена во второй части книги. На этой основе и следует рассматривать существующие конструкции и оценивать перспективы создания новых конструкций для отдельных групп технологических процессов.

Таблица 137

печей по температуре и вакууму

ТаЬ1е 137

ording to temperature and vacuum

Общая характеристика печей Материал теплоизоляции и температура применения, °С По остаточному давлению при номинальных температурах

Низковакуумные, 100-300 Па Бустерный режим, 10-1 Па Высоковакуумные, 10"2-10"3Па Сверхвысоко-вакуумные

Низкотемпературные, 1000-1150°С Шамот-легковес, 1000-1150

Среднетемпературные, 1200-1600° С УУКМ, 1600

Al2O3, 1600 Экран Мо 1600

Высокотемпературные, 1700-2000° С УУКМ, 2000 Эк-пян W Mo 2000 + аргон

Особо высокотемпературные, 2500° С Карбид ниобия, 2500 + аргон

Примечание: УУКМ - углерод-углеродный композиционный материал, W - вольфрам, Мо - молибден.

Основным критерием классификации является температура. Поэтому целесообразно придерживаться ранее принятой схемы: низкотемпературные, средне-и высокотемпературные печи с подразделением по их видам теплоизоляции - с экранной и объемной; а также особо высокотемпературные печи.

По глубине вакуума печи подразделяются на низковакуумные 50-150 Па, когда вакуум создается механическими (форвакуумными) насосами; печи на

бустерном диапазоне в рабочем режиме (1-5)-10- Па; высоковакуумные 10-2-10-3 Па; сверхвысоковакуум-ные - 10-6-10-7 Па.

Сочетание температуры и остаточного давления (вакуума) дает представление об основных параметрах технологического процесса, а размеры рабочего пространства и производительность характеризуют выбор конструкции печи. Такое сочетание температуры и остаточного давления представлено в табл. 137, в

International Scientific Journal for Alternative Energy and Ecology № 7 (75) 2009

© Scientific Technical Centre «TATA», 2009

которой сравнительно четко разграничены области температур и остаточных давлений для основных материалов, определяющих возможности их применения в различном вакууме. В этой таблице заштрихованы области, в которых невозможно сочетать материал, температуру и вакуум.

Перечень основных материалов приведен в примечании к таблице, свойства их при различных температурах приведены в [5], а конструктивные варианты отмечены в первой части книги.

Обозначения электропечей сопротивления соответствуют принятым в электропечестроении СССР и расшифровываются следующим образом:

- первая буква обозначает метод нагрева: С - нагрев методом сопротивления;

- вторая буква - конструктивную особенность печи: Ш - шахтная; Н - камерная; Э - элеваторная; Л - туннельная; Т - толкательная;

- третья буква - среду печи: В - вакуумная; З -защитная среда (газ).

Числитель в дроби после букв обозначает размеры рабочего пространства в дециметрах в следующей последовательности: для цилиндрических конструкций - диаметр, высота (длина), для прямоугольных - ширина, длина, высота.

Знаменатель обозначает рабочую температуру в сотнях градусов Цельсия. За температурой через тире следует буква: Х - холодильник (камера охлаждения) и число - длина холодильной камеры в дециметрах. В обозначениях некоторых электропечей за температурой имеется буква Г, обозначающая тип теплоизоляции - графитовая.

Конструкции электропечей с обозначениями СКБ и ОКБ были введены раньше, чем указанные обозначения.

Ниже целесообразно рассмотреть общие требования к отдельным элементам вакуумных печей сопротивления.

§ 2. Основные требования

к элементам конструкции вакуумных печей

2.1. Корпус и крышки

Корпус обычно цилиндрической формы, с водяным охлаждением. Охлаждающая вода, как правило, подается в зазор между основным корпусом из нержавеющей стали толщиной 4-6 мм и внешним цилиндром толщиной 1-2 мм, причем этот цилиндр должен также изготавливаться из нержавеющей стали во избежание его окисления и засорения участков охлаждения.

Водяное охлаждение может подводиться с помощью трубки, которая припаивается или приваривается к основному корпусу. Этот способ позволяет создавать раздельные участки при охлаждении корпуса в зависимости от температуры нагревательного блока и существенно уменьшить расход охлаждающей воды в относительно мало нагреваемых участках. Этот способ позволяет также автоматизировать рас-

ход воды в зависимости от требуемой температуры загрузки, особенно в процессе ее охлаждения.

Герметичность корпуса кроме качества сварки определяется надежной работой вакуумных уплотнений из специальных резин сортов 7889 (белая) и 9024 (черная). Конструкция уплотнений подробно изложена в [78].

Термин «натекание» на практике имеет два значения: газовыделение из материалов нагревательной камеры без загрузки и оценка герметичности сопутствующих элементов корпуса после сварки, пайки или сборки. Оценка герметичности при сварке металлических корпусов может производиться различными методами, например, наиболее грубым способом, таким как повышение давления внутри сосуда и промыливание сварных швов водным раствором мыла. Более тонкая методика заключается в откачке сосуда и обдувании предполагаемых неплотностей различными газами, например, гелием, наличие которого фиксируется на линии откачки специальным масс-спектрометром, настроенным на удельную массу гелия.

После устранения выявленных неплотностей корпуса печей откачиваются вакуумными насосами и определяется величина натекания в зависимости от длительности откачки, поскольку от внутренних стенок корпуса происходит дегазация адсорбированных молекул азота и кислорода воздуха и особенно паров воды. Изменение давления по времени будет соответствовать 1-5 л-мм рт.ст./с для печи с рабочим давлением 1-10-1 Па и 0,5-0,6 л-мм рт.ст./с для печи с давлением 10-2-10-3 Па (1 л-мм рт.ст./с = = 0,133 м3-Па/с).

В особых случаях, например, для сверхвысокова-куумных печей на уровне 10-4-10-6 Па натекание в корпус должно быть в пределах 10-2-10-3 л-мм рт.ст./с, что может быть достигнуто только при длительном нагревании на температуру 300-400° С, естественно, при использовании металлических уплотнений, обычно медных.

Кроме основных сварных швов, большое значение имеет сварка различных патрубков, в том числе:

- для вакуумных систем;

- для токоподводов;

- для смотровых окон (гляделок) в комплекте с приспособлением для защиты стекол от напыления;

- для термопарных вводов ( ~ 1-12 термопар);

- для передачи движения внутри корпуса при вращении или возвратно-поступательном движении.

Подвод охлаждающей воды к корпусу должен выполняться с помощью металлических резьбовых соединений с штуцерами для охлаждающих шлангов. Сами шланги должны выдерживать внутреннее давление воды не менее 10 атмосфер. Желательно выбирать цветовую гамму водоохлаждаемых шлангов соответственно цвету корпуса.

Установленные на корпусе печи опорные лапы целесообразно армировать декоративными элементами.

Перед печью желательно предусматривать монтажный столик, с которого производится загрузка и выгрузка контейнера с садкой.

Крышки корпусов печей должны выдерживать атмосферное давление без деформации, поскольку иначе уплотнения между корпусом и крышкой не будут герметичными. В то же время они должны иметь охлаждение, как правило, водяное.

Плоские крышки обычно используются для сравнительно небольших диаметров корпусов ~ 150-200 мм. Толщина крышек обеспечивает возможность выфре-зеровывать канавки для охлаждающей воды.

Для корпусов диаметром выше 400 мм используется конструкция, в которой полусферический профиль обеспечивает стабильность при давлении атмосферы. Кроме водяного охлаждения в крышке обычно располагаются смотровые окна (гляделки), стекла которых защищаются металлическими экранами, поворачиваемыми без нарушения вакуума.

Для средних размеров корпусов ~ до 1 м открывание и закрывание крышек производится поворачиванием их вокруг оси, расположенной на корпусе. Для крупных размеров - крышки откатываются на специальных направляющих или поднимаются в верхнее положение, позволяющее осуществлять загрузку и выгрузку садки, а также проводить монтажные работы внутри корпуса.

2.2. Токоподводы

Наиболее распространенный схематический разрез токоввода представлен на рис. 68.

Рис. 68. Схема водоохлаждаемого токоподвода Fig. 68. Circuit of water-cooled current lead

Токоподвод в виде медной трубки диаметром 20 мм обеспечивает надежную канализацию тока до 3000 А. Поскольку напряжение на нагревателях до 170 В, то все разъемные элементы должны содержать электроизоляционные составляющие. Так, прокладка между токоподводом и корпусом изготавливается из резины марки 7889, а от водоохлаждаемого корпуса токоподвод электроизолируется втулкой из гетинакса или из подобных ему материалов.

Как правило, внутри корпуса водоохлаждаемый токоподвод соединяется с нагревателем через промежуточный токоподвод, у которого с одной стороны температура близка к температуре охлаждающей воды, а с другой стороны он укрепляется на высокотемпературном нагревателе. Количество токоподво-дов на печи может колебаться от двух до нескольких десятков (трехфазные многозонные печи). С внешней стороны к токоподводу подсоединяются шины, обычно медные, идущие к трансформаторам.

2.3. Смотровые окна (гляделки), защита их от напыления.

Бесконтактное измерение температуры с использованием пирометров

Наиболее широкое применение получили яркост-ные пирометры частичного излучения монохроматического типа с исчезающей нитью переменного накала. Эти пирометры позволили измерять температуры тел, нагретых до температуры начала видимого излучения. Измерение производится по их спектральной (монохроматической) яркости путем сравнивания с эталонной регулируемой яркостью электрической лампы накаливания. Для измерения температуры малых тел специально изготавливаются микрооптические пирометры [264].

Разновидностью яркостных пирометров являются фотоэлектрические, в которых сравнение яркости нити накала с яркостью нагреваемого тела производится не визуально, а автоматически с помощью фотоэлемента.

Измеряемая оптическими пирометрами температура обычно отличается от истинной. Для яркостных пирометров это отличие корректируется введением в расчет коэффициентов излучения. Однако эти коэффициенты обычно известны только для свободно излучающих тел, например, нити накала осветительных ламп и т. п.

Измерение температуры в практических условиях всегда связано с необходимостью вводить поправку на коэффициент излучения, который обычно больше, чем для свободно излучающей поверхности, поскольку измеряемые системы не полностью соответствуют модели абсолютно черного тела. Поэтому для каждой системы в случае использования яркостных пирометров необходимо экспериментально определять эту поправку, используя другие, более точные для этого случая методы: термопары, точки плавления чистых металлов и др.

В цветовых пирометрах на фотоэлектрический приемник поступает попеременно излучение двух различных спектральных линий - длин волн. По соотношению энергий этих излучений определяется температура объекта, поскольку логарифм спектрального отношения является линейной функцией температуры [267, 268]. Все так называемые «серые» тела, у которых монохроматические коэффициенты излучения не меняются с длиной волны, имеют цветовую температуру, весьма близкую к истинной. Достоинством цветовой пирометрии является возможность регистрации показаний дистанционного контроля температуры и регулирования технологического процесса по температуре.

Радиационные пирометры требуют весьма значительных визирных каналов, обеспечить которые в высокотемпературных установках не представляется возможным. Поэтому были разработаны микрооптические пирометры типов 0МП-019, 0МП-021 и ОМП-043, при помощи которых можно измерять температуру малых тел (от 50 до 100 мкм) в интерва-

ле температур 800-4000° С [264]. При эксплуатации одного из таких приборов (ОМП-019) в течение 42 месяцев было замечено изменение его градуировки на первом диапазоне. Результаты измерений приведены ниже.

Температура, °С 900 1000 1100 1200 1300 1400

Изменение температуры, °С -8 -8 -8 -2 +4 +5

Следует отметить, что одновременно испыты-вавшиеся два подобных прибора показали еще меньшее изменение градуировки. Необходимость пересчета тока пирометрической лампы, измеряемого выносным прибором высокого класса, не позволяет быстро определять температуру. Особенно нежелательно производить такие измерения в промышленных условиях. Для промышленного применения был разработан микрооптический пирометр типа ОМП-021, в котором был использован встроенный прибор для измерения температуры. Основные характеристики его сведены в табл. 138.

Таблица 138

Основные характеристики микрооптического пирометра типа ОМП-021

ТаЬ1е 138

Basic technical data of microoptical pyrometer 0MP-021

Оптические системы прибора позволяют осуществлять визирование объектов, удаленных от объектива микропирометра на расстояние не менее 0,35 м. Показатель визирования при изменении расстояния от 0,3 до 1 м изменяется от 1/1500 до 1/1000.

Сравнительные испытания микропирометров типов ОМП-019 и ОМП-021 проводились при измерении температуры на графитовом образце в отверстии диаметром 1 мм и глубиной 3 мм. Результаты измерений приведены ниже.

Измеренная температура, ° С Разность

ОМП-019 ОМП-021 показаний

915 909 -6

1080 1 079 -1

1117 1120 +3

1391 1 395 +4

1504 1 505 +1

1779 1 780 +1

1945 1 945 0

2073 2070 -2

2201 2200 -1

2339 2340 +1

2403 2405 +2

2479 2480 +1

Конструкция цветовых электронных пирометров типа ЦЭП-3 и ЦЭПИР-010 подробно описана в работах [267, 268]. Прибор ЦЭП-3 обычно использовался для измерения температуры расплавленного металла с достаточно большой поверхностью наблюдения. Прибор ЦЭПИР-010 [265] позволяет измерять температуру через узкие визирные каналы.

На рис. 69 схематически показана нагревательная камера методической вакуумной электропечи, на которой проводились сравнительные испытания приборов ЦЭПИР-010 и ЦЭП-3. Результаты этих испытаний сведены в табл. 139 [265].

650

Рис. 69. Схематический разрез камеры нагрева методической вакуумной электропечи: 1 - пирометр ЦЭПИР-010; 2 - контейнер; 3 - футеровка; 4 - пирометр ЦЭП-3 Fig. 69. Schematic section of the heating chamber of continuous vacuum electric furnace: 1 - TsEPIR-010 pyrometer; 2 - container; 3 - lining; 4 - TsEP-3 pyrometer

Таблица 139

Сравнительные испытания приборов ЦЭП-3 и ЦЭПИР-010

ТаЬк 139

Comparative tests of TsEP-3 and TsEPIR-010

Время, ч Показания приборов, °С Разность показаний, °С

ЦЭПИР-010 ЦЭП-3

0 1600 1580 20

20 1595 1578 17

40 1600 1582 18

60 1605 1585 20

80 1600 1580 20

100 1600 1580 20

Примечание. У обоих пирометров использовался 1 диапазон. Угол визирования у ЦЭПИР-010 составлял 1/50, у ЦЭП-3 - 1/40.

Температурный диапазон пирометра Пределы измерения, °С Погрешность, °С Воспроизводимость, °С

I 800-1400 ±10 ±2

II 1200-2500 ±15 ±3

III 1500-4000 ±60 ±7

Изменения градуировки происходят из-за изменения характеристики фотоэлемента. Из сравнительных испытаний цветовых пирометров ЦЭП-3 и ЦЭПИР-010 можно сделать следующие выводы [265] о преимуществах последнего:

- Значительная простота оптической и электрической схем пирометра ЦЭПИР-010, а также наличие механического переключения поддиапазонов.

- В комплекте прибора ЦЭПИР-010 предусмотрена возможность автоматического регулирования температуры печи.

При пользовании оптическими пирометрами необходимо учитывать погрешности, вносимые смотровыми стеклами в вакуумных установках, дымом и парами, образующимися в результате химических реакций при высоких температурах.

Рассмотрим погрешности при измерении температуры, создаваемые стеклами в вакуумных электротермических установках. Поглощение чистыми стеклами различных сортов при измерении яркостной температуры показано в табл. 141.

Как видно из табл. 141, поправка на стекла становится соизмеримой с погрешностью прибора, особенно при высоких температурах. Проверка перепадов при измерении цветовой температуры на тех же стеклах показала, что перепад температур составляет ±1,5-2° С. Поэтому при измерении цветовой температуры этим поглощением можно пренебречь.

Таблица 141

Сводная таблица температурных поправок при исследованиях различных стекол

ТаЬ1е 141

Summary of temperature corrections for the analysis of different grades of glass

Диапазон пирометра Температура образцового источника, °С Поправка на яркостную температуру, °С, для стекол различных сортов

Стекло ЛК-5 0 88 мм, h = 10 мм Стекло «Пирекс» 0 38 мм, h = 10 мм Стекло кварцевое 0 80 мм, h = 5 мм Стекло ТФ-4 (свинцовое) 0 80 мм, h = 10 мм

I 800 3 - 3,2 7,0

900 4,2 1,4 4,0 8,4

1000 5,3 3,2 4,9 10,2

1100 6,6 5,2 5,8 12

1200 7,6 7,0 8,6 13,8

1300 8,8 8,6 7,8 15,5

1400 10 10.8 8,5 17,2

II 1400 8,6 7,0 6,6 12,2

1500 10,9 10,0 9,1 16,2

1600 13,2 13,0 11,5 20,0

1700 15,3 16,0 14,0 24,0

1800 17,5 19,0 16,4 28,0

1900 19,7 22,0 18,7 32,0

2000 22,0 25,2 21,1 36

При испытании одного из таких пирометров в течение 12 месяцев (700 часов) в диапазоне 14002200° С градуировка прибора изменилась, как это видно из табл. 140.

Пирометр ЦЭПИР-010 осуществлял автоматическое регулирование температуры на этой печи.

Таблица 140

Изменение градуировки пирометра ЦЭПИР-010 после 700 ч работы в течение 12 месяцев в диапазоне 1400-2200° С

ТаЬ1е 140

Graduation changes in the TsEPIR-010 pyrometer after 700 hours of operation for 12 months at temperatures from 1400 to 2200° C

Диапазон Место шкалы каждого диапазона Изменение температуры, °С

I начало -57

конец +45

II начало -56

конец +40

III начало -94

конец +105

Примечание. «—» означает, что после испытаний значения градуировочной кривой повышаются, « +» - понижаются.

В процессе работы вакуумных высокотемпературных установок на смотровых стеклах появляются налеты, специфические для каждого технологического процесса.

Для примера в табл. 142-144 приведены результаты градуировок пирометров [265], полученные на различных материалах.

Таблица 142

Величина погрешности, вносимой налетом,

полученным при работе установки для испытания молибденовых нагревателей на керамической футеровке (t = 1600° С, время 400 ч)

ТаЪк 142

Error due to blushing during operation of the plant for testing molybdenum heaters with ceramic lining (t = 1600° C, time 400 h)

Диапазон пирометра Цветовая температура по ЦЭПИР-010, °С Перепад температур

без стекла стекло с налетом ° С %

I 1500 1382 118 7,87

1600 1475 125 7,85

1700 1565 135 7,97

1800 1655 145 8,05

II 1900 1743 157 8,26

2000 1793 207 10,38

2100 1877 233 11,1

2200 1849 251 11,38

Таблица 143

Величина погрешности, вносимой налетом, полученным при плавке кварцевого стекла в аргоне

ТаЬ1е 143

Error due to blushing during quartz glass melting in argon

Диапазон пирометра Цветовая температура по ЦЭПИР-010, °С Перепад температур

без стекла стекло с налетом ° С %

I 1700 1380 320 18,8

1800 1418 352 19,5

1900 1524 376 18,75

2000 1575 426 21,12

II 2100 1661 449 21,18

2200 1727 473 21,5

2300 1784 516 22,4

2400 1841 559 23,2

III 2500 1914 586 23,4

Таблица 144

Величина погрешности, вносимой налетом, образованным при испарении титана в печи сопротивления

ТаЬк 144

Error due to blushing during titanium vaporization in the resistance furnace

Диапазон пирометра Цветовая температура по ЦЭПИР-010, °С Перепад температур

без стекла стекло с налетом ° С %

I 1400 1385 15 1,07

1500 1478 22 1,47

1600 1572 28 1,75

1700 1660 40 2,35

1800 1753 47 2,61

II 1900 1834 66 3,47

2000 1917 83 4,15

2100 2015 85 4,05

2200 2120 80 3,64

Если при испытании стекол с налетом по табл. 142 и 144 погрешности измерения яркостной и цветовой температуры отличаются всего на 15-20%, то в табл. 143 эти погрешности отличаются уже в два раза, причем особенно большие погрешности получаются при измерении цветовой температуры. Данное явление можно объяснить образованием селективного налета, который поглощает в большей степени одну из двух длин волн соответствующих цветов, отношение которых характеризует цветовую температуру.

Как видно из приведенных таблиц, упомянутые погрешности весьма существенны, поэтому измерение температур в вакуумных и газонаполненных установках, где возможно напыление, становится невозможным без применения специальных методов защиты смотровых окон от напыления.

В зависимости от требований (визуальное наблюдение или измерение температуры) были предложены разнообразные приспособления для защиты смотровых окон. Их можно разделить на две основные группы:

1. Приспособления, в которых производится обновление запыляемых участков использованных защитных прозрачных материалов.

2. Приспособления, которые уменьшают интенсивность потока напыляющих молекул.

В первой группе приспособлений создается конструкция, в которой прозрачный защитный материал, располагаемый перед основным смотровым окном, механически перемещается относительно визируе-

3

19

мого канала. К разновидностям этой группы (рис. 70) можно отнести:

1. Защитный прозрачный диск, поворачивающийся без нарушения вакуума (поворотная гляделка) (рис. 70, а).

2. Защитная прозрачная пленка, перемещающаяся с одной кассеты на другую с помощью специального механизма (рис. 70, Ь)

3. Защитный прозрачный диск, вращающийся по спирали с помощью специального механизма (рис. 70, с).

Приспособление с поворотным диском представляет собой весьма простую и легко изготавливаемую конструкцию. Она предназначена для визуального

наблюдения за процессом и дает возможность вводить чистые защитные стекла для точного измерения температуры. Применение таких приспособлений позволяет увеличить ресурс работы одинарного смотрового окна в число раз, равное числу защитных стекол.

Приспособление состоит из следующих основных деталей: корпуса (рис. 70, а) с патрубком 8 (й?вн = 19 мм, I = 140 мм), поворотного диска 2, вращаемого с помощью вала 3, проходящего через вакуумное уплотнение 4. Основное стекло 5 марки ЛК-5 смонтировано на съемной части корпуса приспособления 6, а семь защитных стекол 7 установлены на поворотном диске 2. Защитные стекла изготавливаются, например, из фотопластинок.

Рис. 70. Схемы приспособлений для защиты смотровых окон: а - с поворотными стеклами; b - с перемоткой лавсановой пленки; c - с движением стекла по спирали Fig. 70. Diagrams of observation glass protection devices: а - with rotating glasses; b - with Dacron film winding; c - with spiral glass motion

Приспособление для защиты смотрового стекла 2 (рис. 70, Ь) с помощью прозрачной пластмассовой ленты-пленки [266] состоит из корпуса 4, в центре которого скользит по патрубку 7 лента 6. Лента перематывается с катушки 5 на катушку 8, которая приводится в движение с помощью двигателя и редуктора, расположенных вне вакуумной камеры. Лента толщиной 15-25 мкм изготавливается из поли-этилентерефталата по МРТУ-6, №11-30-65. Протяж-

ка ленты со скоростью 20 мм/сек обеспечивала возможность измерения температуры при тепловом потоке с интенсивностью до 5-106 Вт/м2, что было подтверждено при измерении температуры расплава молибдена в электронно-лучевой печи [266].

Температурная поправка, экспериментально определенная на электронно-лучевой печи типа СКБ-5197, показана ниже [263].

Температура источника, °С Поправка, °С / %

1000 25/2,5

1600 61/3,5

1800 73/4,1

2000 95/4,8

2200 137/6,2

2400 162/6,8

2600 192/7,4

2800 226/8,1

Приспособление для защиты с помощью стекла, движущегося по спирали [264], состоит из стекла 1 (рис. 70, с) сравнительно большого диаметра (150200 мм), которое вмонтировано в рамку 2. Последняя может поворачиваться с помощью шестерни 3, приводимой во вращение системой зубчатых колес 4. Кроме того, вся рамка 2 может перемещаться вдоль винта 5 при вращении его от шестерни. Таким образом, защитное стекло может вращаться, одновременно перемещаясь, т. е. каждая точка на защитном стекле перемещается по спирали. В связи с этим обновление поверхности осуществляется весьма длительно в зависимости от диаметра визирного канала, обеспечивающего необходимую точность измерения температуры.

Вторая группа приспособлений должна обеспечить уменьшение потока испаряющихся молекул. Конструкция решается с использованием принципа механического, электрического, газового воздействия на летящие молекулы. К разновидностям приспособлений этой группы относятся:

1. Защита с помощью вращающихся дисков с прорезями.

2. Защита с помощью вращающегося ротора со щелями.

3. Защита с помощью напускаемого газа, создающего повышенное давление перед основным смотровым окном.

Следует отметить, что деление на две группы условное, могут встретиться конструкции, в которых будут использованы принципы первой и второй групп.

Измерение температуры и интенсивность запыле-ния зависит от технологического процесса и условий измерения температуры (расстояния до объекта, диаметра визирующих каналов и т.п.). Эффективность зашиты будет различна для каждого конкретного случая. Поэтому результаты испытаний различных приспособлений дают возможность оценить лишь их качественную сторону. Количественная оценка будет относиться лишь к конкретно рассматриваемому случаю.

Для примера целесообразно рассмотреть результаты испытания приспособления с помощью вращающегося диска с прорезями. Предварительные результаты показали, что скорость вращения дисков в интервале 1500-3500 об/мин не влияла на степень запыления стекла, поэтому во всех опытах скорость вращения равнялась 2500 об/мин.

В табл. 145 приведены характеристики испытуемых дисков, а в табл. 146 - поправка пирометра при работе дисков.

Таблица 145

Характеристика дисков (полная площадь 9340 см2)

Table 145

Technical data of disks (total area 9340 cm2)

Номер диска Количество щелей Площадь прорезей, мм2 Отношение площадей прорезей к площади диска, %

1 3 876 9,4

2 4 1170 12,5

3 5 1450 15,6

Таблица 146

Поправка на температуру, вносимая применением дисков с различным количеством прорезей

ТаЬк 146

Temperature correction due to the use of disks with different number of slits

Показания пирометрической лампы, °С Поправка к показаниям пирометра, °С, с дисками

1 2 3

900 105 95 90

1000 137 127 110

1200 195 175 152

1400 250 225 195

1600 291 273 241

1800 357 321 292

2000 430 400 336

Примечание. Характеристика дисков в предыдущей таблице.

В табл. 147 сведены сравнительные результаты проведенных опытов по напылению смотровых окон испаряющегося хрома при Т = 1500° С в течение 30 мин. Опыты проводились как без дисков, так и с вращающимися дисками.

Как видно из приведенной таблицы, наиболее эффективным является диск 1 (3 щели), который уменьшает напыление при температуре 1400° С почти в четыре раза, а при температуре 2000° С - почти в пять раз. Аналогичные результаты были получены при испытании других приспособлений.

Известны конструкции пирометров, которые выдают сигнал в систему управления, обеспечивая необходимый уровень температур. Естественно, что эти пирометры сложны, дорогостоящи и не всегда надежны.

Известно также, что температура коррелируется с мощностью. При этом, как правило, соблюдается линейная зависимость логарифмов абсолютных температур и мощности. Причем эта зависимость является индивидуальной для каждой печи. Поэтому возможно для каждой печи экспериментально построить эту зависимость, используя обычные ярко-стные пирометры и определяя мощность по электрическим параметрам печи. Построенный по этим значениям график в координатах 1£ГГ - 1^, где Т - абсолютная температура, а Р - мощность нагревателей,

L^hJI

í

21

кВт, дает возможность оценить температуру процесса по мощности. Однако тарировка такой зависимости должна повторяться через определенное время поскольку мощность может изменяться для выбранной температуры.

Например, это относится к печам с экранной теплоизоляцией. Изменение коэффициентов излучения в экранах существенным образом сказывается на величине мощности, соответствующей первоначальной температуре.

Таблица 147

Влияние эффективности защитных дисков на погрешности измерения температур при испарении хрома

ТаЬ1е 147

Effects of protective disk efficiency on the temperature measurement error during chrome vaporization

Температура, °С Показания пирометра, °С

с напыленным стеклом без диска с защитой стекла

диск 1 диск 2 диск 3

i Ai i Ai i Ai i Ai

900 849 51 885 15 879 21 868 32

1000 945 55 945 15 979 21 968 32

1200 1137 63 1184 16 1177 23 1166 34

1400 1329 71 1382 18 1375 25 1364 36

1600 1519 81 1581 19 1573 27 1561 30

1800 1708 92 1779 21 1772 28 1758 42

2000 1892 108 1978 22 1971 29 1957 43

Наиболее резкое изменение температуры от мощности наблюдается на печах, имеющих значительные тепловые потери, например, в печах с экранной теплоизоляцией. Для печей с объемной теплоизоляцией эта зависимость менее яркая.

2.4. Термопарные вводы и высокотемпературные термопары

К контактным методам измерения температур следует отнести измерения с помощью термопар различных видов, а также дилатометрические схемы регулирования температур. Основные варианты термопар разделяются

- для низкотемпературных печей: хромель-копе-левые (ХК) (до 600° С), хромель-алюмелевые (ХА) -до 1200° С, градуировки которых определены ГОСТ;

Наиболее важные термопары для использования Critical thermocouples for use in vac

- для средне- и высокотемпературных печей -вольфрам-рениевые термопары (ВР = 5/20), градуировка которых также гостирована.

Кроме этих термопар иногда используются и другие сочетания термоэлектродов, примеры которых приведены в табл. 148 [69, 171]. Следует отметить, что термопары ХК и ХА могут использоваться как в вакууме, так и при атмосфере воздуха. Для более высоких температур в окислительной среде применяются платино-платино-родиевые термопары, они также могут быть использованы и в вакууме до 16001700° С. Необходимо отметить, что эти термопары составлены из драгоценных металлов, требуют тщательной отчетности, а при температуре выше 1500° С в вакууме платина испаряется.

Таблица 148

в вакуумных и газонаполненных (Ar, He) печах

ТаЪк 148

uum and gas-filled (Ar, He) furnaces

Тип термопары Материал электродов Электроизоляция Предельная температура в вакууме, °С ТЭДС, мВ, при предельных температурах Примечание

ХК Хромель, копель На основе А12О3 600

ХА Хромель, алюмель A12O3 > 95% 1300

ПП-10 Платина, платино-родий, 10% А12О3 > 95% 1500 При более высоких температурах -испарение

ВР-5/20 Вольфрам-рений, 5%, вольфрам-рений, 20% А12О3 - сапфир А12О3 - корунд 1800 1600 24,2 20

ТГБЦ ZrB2-C Диборид циркония, графит Графитированная вата 2000 118

ТГКТ TiC-C Карбид титана, графит Графитированная вата 2400 150

International Scientific Journal for Alternative Energy and Ecology № 7 (75) 2009

© Scientific Technical Centre «TATA», 2009

Для температур выше 1200° С в вакууме и в инертных средах применяют вольфрам-рениевую термопару ВР-5/20. Ее предельная температура - до 2500° С, однако электроизоляция как между термоэлектродами, так и вокруг них не допускает получения таких температур по причинам плавления, например, с Al203 и начала взаимодействия, например, с Zr02. Кроме того, у оксида Zr02 резко снижается удельное электросопротивление при температурах 1900-2000° С.

Ранее был рассмотрен вариант использования оксида иттрия Y203 в контакте с термоэлектродами из вольфрам-рениевых сплавов и показана возможность работы термопары ВР-5/20 в бусах и чехле из Y203. Однако керамика из Y203 должна быть спечена при температурах до 2300° С [148, 149].

Более подробно особо высокотемпературные термопары, которые могут использоваться в вакуумных печах на основе графита, представлены в табл. 149, а некоторые варианты конструкций - на рис. 72, 73.

Таблица 149

Основные характеристики термопар с термоэлектродами из тугоплавких соединений

ТаЫс 149

Basic technical data of thermocouples with refractory wires

Как показали исследования, характер зависимости температуры ТЭДС термопар с графитовым электродом не меняется от термопары к термопаре (чувствительность термопары остается почти постоянной), отклонение отношения температуры к ТЭДС для различных термопар с термоэлектродами из тугоплавких соединений достигает 1,5-2% (для одной партии материалов) и 4-6% для различных партий материалов.

Градуировочные характеристики термопар с термоэлектродами из тугоплавких соединений существенно зависят от термической обработки.

Испытания высокотемпературных термопар на стабильность, проведенные методом выдержки термопар при определенных температурах и повторных градуировок, показали, что их ТЭДС со временем меняется незначительно.

Максимальные погрешности термопар при повторных градуировках после отжига приведены в табл. 150.

Как видно из табл. 150, изменение ТЭДС уменьшается с повышением температуры; нестабильность термопар при температурах 2000-2500° С меньше 0,5%; высокая стабильность ТЭДС термопар С/Т1С и С/2гБ2 обусловлена тем, что у них наблюдается перенос массы в месте горячего спая из одного электрода в другой, так как карбиды не могут содержать углерода больше стехиометрического состава, а графит не взаимодействует с боридом циркония до высоких температур.

Термопары ТГБЦ и ТГКТ весьма стабильны при работе в указанных средах, не теряя своих механических свойств. Как показали исследования [271], изменения ТЭДС, химического состава и структуры упомянутых термопар не было обнаружено после 300 ч работы в среде водорода при температуре 2000° С. Они могут применяться и в более жестких условиях, например, в присутствии СО, С, СО+^. Термопара ТГКТ может с успехом работать в промышленности твердых сплавов на печах для производства сложного карбида вольфрама-титана. Рабочая температура в печи колебалась от 2150 до 2400° С, газовая среда состояла из СО+^. В этих условиях термопары работают стабильно в течение более 200 ч.

Характеристика Тип термопары

ТГБЦ ТГКТ

Материал термоэлектрода: наружного (трубка) ZrB2 TiC

Температурный коэффициент ТЭДС, мкВ/град 60-65 60-65

Точность измерений, %, при 1200° С максимальной рабочей температуре 0,2-0,5 1-1,5 0,2-0,5 1-1,5

Показатель тепловой инерции, мин 1,2-1,5 1,2-1,5

Габаритные размеры, мм длина диаметр (наружный) 500-1500 19-25 500-1500 19-25

Допустимое время нормальной эксплуатации в инертных средах, ч 200 500

Таблица 150

Максимальные изменения соотношения температура - ТЭДС термопар после отжига

ТаЫс 150

Maximum variation of the temperature/thermoelectromotive force ratio for thermocouples after annealing

Термопара Температура отжига, °С Защитная среда Время отжига, ч Изменение ТЭДС при Т, °С

800 1000 1200

С/ТЮ 2200 Аргон 25 6,8 4,0 1,6

С/ТЮ 2450 Водород 12 4,7 1,2 0,5

С/ТЮ 2450 Водород 30 7,9 3,7 1,7

С/ТЮ 2450 Водород 45 6,3 5,0 2,8

С/ТЮ 2000 Водород 25 5,2 3,6 1,8

azrB2 1800 Водород 25 1,1 1,1 1,1

25

ГГ? ir!

23

Кроме этих термопар известны такие сочетания высокотемпературных материалов, которые дают определенную величину ТЭДС. На рис. 71 показаны такие сочетания, по которым термопары еще не разрабатывались.

Из рис. 71 следует, что такие материалы термопарного класса, как 8Ю-С и В4С-С, дают весьма значительную ТЭДС даже при сравнительно низких температурах. Некоторые величины ТЭДС в зависимости от температуры сведены в табл. 151.

Т.Э.ДС., МБ

120

80

40

Е, /500 1 / / 400 ш

1

2 г//

/ 300 / 200

Г 000 1 500 Т, t /а

5

6

400

800

1200 1600 2000 Т,*С

Рис. 71. Зависимость ТЭДС неметаллических термопар от температуры: 1 - SiC/C; 2 - B4C/C; 3 - C/TiC; 4 - C/ZrB2; 5 - C/W; 6 - MoSi2/WSi2 Fig. 71. Thermoelectromotive force of non-metal thermocouples as a function of temperature: 1 - SiC/C; 2 - B4C/C; 3 - C/TiC; 4 - C/ZrB2; 5 - C/W; 6 - MoSi2/WSi2

Таблица 151

Зависимость ТЭДС от температуры для высокотемпературных электродов

ТаЪк 151

Thermoelectromotive force as a function of temperature for high-temperature electrodes

Материал ТЭДС, мВ, в зависимости от температуры, °C Примечание

200 400 1000 1500 2000 2700

SiC-C 49 98 300 460 600 -

B4C-C 280 440 580 -

TiC-C - 18 52 83 120 142 ТГКТ

ZrB2-C - 17 50 80 115 140 ТГБЦ

Некоторые варианты устройств термопар приведены на рис. 72, 73, в которых термопары помещаются в защитный чехол, закрепляемый разрезной конической втулкой в водоохлаждаемой головке. Герметичность соединения чехла с головкой достигается при помощи резиновой прокладки, которая сжимается цилиндрической нажимной втулкой. Нейтральный газ в полость чехла подается через Г-образную трубку.

ч

V

О

a

\т

-и

-12

>16 -15

-14

13

%J

Рис. 72. Устройство термопары с использованием инертного газа внутри чехла: а - схема закрепления чехла; b и c - схемы двух различных способов циркуляции аргона вокруг горячего спая термопары; 1 - термопара; 2 - чехол;

3 - холодильник; 4 - разрезная коническая втулка; 5 - резиновая прокладка; 6 - нажимная втулка; 7 - крышка с резьбой; 8 - выход аргона; 9 - крышка с уплотнением проводов; 10 - вход аргона; 11 - изоляционная соломка;

12 - защитный чехол; 13 - спай термопары; 14 - двухканальная изоляционная соломка; 15 - асбестовое

уплотнение; 16 - медные трубки Fig. 72. Inert gas-filled thermocouple: a - tube fixing; b and c -two different routes of argon circulation around the hot junction; 1 - thermocouple; 2 - tube; 3 - refrigerator; 4 - split taper bushing; 5 - rubber gasket; 6 - closing sleeve; 7 - threaded cover; 8 - argon outlet; 9 - cover with wire sealing;10 - argon inlet; 11 -insulating straw; 12 - protective case; 13 - thermocouple junction; 14 - two-channel insulating straw; 15 - asbestos packing;

16 - copper tubes

Рис. 73. Промышленная конструкция термопары с термоэлектродами из тугоплавких соединений [272]: 1 - термопара; 2 - изоляционная набивка; 3 - холодильник; 4 - удлиняющие провода; 5 - штуцер; 6 - головка подсоединения проводов Fig. 73. Commercial design of refractory wire thermocouple [272]: 1 - thermocouple; 2 - insulation packing; 3 - refrigerator; 4 - extension wires; 5 - connector; 6 - wire connection head

Таким образом, краткая характеристика термопар с термоэлектродами из тугоплавких соединений показывает, что они являются весьма перспективными для измерения высоких температур в окислительных, науглероживающих, нейтральных газовых средах, а также в вакууме.

2.5. Равномерность температур и методы их выравнивания

Одной из основных характеристик электропечей является равномерность температур по длине, ширине (диаметру) и высоте садки. Причем равномерность температур загрузки зависит от равномерности тепловых потоков от нагревателя и конфигурации загрузки, которая может как выравнивать температуры в случае теплопроводных нагреваемых изделий (штанги, цилиндры и т.п.), так и искажать температурные поля при загрузке мелких деталей.

Нагревательный блок печи по возможности должен обеспечить равномерный обогрев загрузки. В этом случае интенсивность излучения от нагревателя должна равномерно распределяться по периметру загружаемого объема. Такое положение может быть осуществлено, если сам нагреватель равномерно излучает всеми своими элементами.

Ранее в ч. 1 § 5, табл. 23, показано, что температура нагревателя из вольфрамового прутка при номинальной температуре 1600 и 2000° С превышает номинальную температуру на 900 и 1100° С соответственно. Поэтому на практике такими нагревателями греют очень медленно с целью выравнивания температуры на загрузке.

Использование плоских нагревателей резко снижает разницу температур. Ранее было показано на примере нагревателей из углерод-углеродных композиционных материалов, что даже при номинальной температуре 2200° С разница в температурах не превышала 200° С.

Естественной защитой от неравномерности облучения загрузки является установка между нагревателями в экранных печах внутренних экранов или контейнеров, которые выравнивают температуру при передаче теплового потока к загрузке.

Неравномерность нагрева загрузки может происходить также в случае различий в теплоизоляции. Особенно это касается торцевой теплоизоляции на участке, где производится загрузка и выгрузка садки. Конечно, в некоторых случаях возможно применение торцевого нагревателя, который полностью снимается или же перемещается при загрузке изделий. Однако, как правило, конструкция такого нагревателя, особенно из вольфрама, сложна и ненадежна.

В большинстве случаев целесообразно увеличивать толщину теплоизоляции на торцах по сравнению с другими сторонами нагревательного блока.

Повышение уровня равномерности температур может осуществляться изменением шага нагревателей по длине садки, что принято в конструкциях печей с нагревателями из вольфрама.

В нагревателях из УУКМ в камерных печах некоторое увеличение равномерности может быть достигнуто различными видами прорезей, легко осуществляемых в пластинах из УУКМ. Чтобы гарантировать равномерное температурное поле, длина нагревателя должна быть на 50-100% больше номинальной длины нагреваемой садки.

Идеальное распределение температуры по длине садки может быть осуществлено созданием многозонных печей, у которых крайние участки нагреваемой длины имеют свою индивидуальную электросхему с возможностью регулирования мощности для создания температурных полей требуемого уровня.

При разработке технических требований по равномерности температур следует учитывать, какими методами возможен и должен осуществляться контроль допустимого различия температур.

Для сравнительно низких температур - до 1150° С - это может быть выполнено хромель-алюмелевыми термопарами, размещаемыми в различных местах нагреваемых загрузок. Но поскольку загрузки резко отличаются друг от друга в технологических процессах нагрева, а пирометры измеряют только наружную часть садки, то в конструкциях печи должны быть предусмотрены так называемые термопарные вводы, допускающие размещение обычно 12 термопар.

Для более высоких температур, 1200-1800° С, аналогичные термопары изготавливаются из вольф-рам-рениевых сплавов (ВР 5/20). Причем сами термоэлектроды могут работать и при более высоких температурах, а керамические бусы из оксида алюминия ограничивают их применение до 1800° С.

Проведенная нами работа по испытанию бус из оксида иттрия показала возможность использования вольфрам-рениевых термопар до 2000° С ([5] и ч. 1 §7.3).

Естественно, термопары могут располагаться как у поверхности садки, так и внутри ее, если материал садки не взаимодействует с вольфрамовыми сплавами, керамическими бусами и чехлами.

При температуре выше 1800° С технологический процесс нагрева регулируется пирометрами, которые измеряют наружную поверхность садки. Для измерения температуры по всему объему садки предложены различные методы, использующие изменения параметров специально изготовленных образцов. К таким параметрам следует отнести величину усадки образцов, например, по диаметру или высоте, изменение цветовой гаммы образцов и тому подобные свойства.

Фирмы, поставляющие такие образцы, дают информацию по зависимости измеренных свойств от температуры. Как правило, эти образцы имеют одноразовое применение, в связи с чем после каждого нагрева их следует заменять на новые. Таким образом, измерение равномерности температур в объеме садки при температурах выше 1800° С является весьма сложным и зависящим от изделий, расположенных в садке. В конкретных процессах разброс температур по садке определяется экспериментально для каждой конструкции печи.

В связи с изложенным в характеристиках печи указывается равномерность температур только полезного объема печи без его загрузки. Теоретический же расчет равномерности температур может быть сделан после рассмотрения конкретной загрузки.

Поскольку нельзя объять необъятное, разработка промышленных вакуумных печей должна основываться на базовых элементах. К числу таких элементов следует отнести температуру, среду - вакуум. Основные вакуумные технологические процессы изложены во второй части обзора.

Естественно, конструкции печей должны удовлетворять наибольшему количеству термовакуумных процессов. Хотя в связи с бурным развитием новых отраслей промышленности целесообразно разрабатывать практически новые конструкции, в которых, по возможности, должны быть использованы узлы и детали, экспериментально отработанные ранее.

§ 3. Низкотемпературные печи и их классификация

По расположению нагревательного блока вакуумные печи могут быть разделены на:

- муфельные, у которых нагревательный блок расположен вне технологического вакуумного пространства;

- безмуфельные печи, нагревательный блок которых совмещен с нагреваемым материалом загрузки и, следовательно, находится при одном остаточном давлении с нагреваемой загрузкой;

- возможны варианты, в которых у безмуфельных печей предусмотрены два уровня остаточных давлений, один из которых обеспечивает отсутствие окисленных материалов нагревательного блока, а второй - создает требуемое остаточное давление при нагреве загрузки. Разделение остаточных давлений обеспечивается внутренним муфелем, представляющим собой тонкостенный 1-2-мм цилиндр из материала, не подверженного окислению как внутри, так и снаружи. Естественно, что для этого варианта требуются две независимые вакуумные системы, работающие одновременно.

Основные недостатки муфельных вакуумных печей заключаются в следующем:

- наличие толстостенного муфеля, толщина стенок которого в зависимости от температуры составляет 10-15 мм; муфель должен противостоять внешнему атмосферному давлению и сохранять стойкость против коррозии в воздушной среде;

- торцы муфеля должны иметь водяное охлаждение, при наличии которого обеспечивается вакуумное уплотнение на основе прокладок из резины различных сортов, уплотняющих торцы муфеля при температурах не выше 70° С;

- полезная длина (или высота) муфеля, как правило, составляет 30-50% общей длины муфеля;

- муфель обычно не подлежит ремонту и должен заменяться, включая торцевые вакуумные уплотнения;

- изготовление муфеля весьма трудоемко и зависит от диаметра полезного пространства. Муфели малых размеров изготавливаются из болванок, а крупные могут быть изготовлены при вальцевании листов толщиной 10-15 мм при особо высококачест-

венной сварке и соответствующем контроле после циклов нагрев-охлаждение;

- для рабочих температур 1000-1150° С используются высоколегированные стали, которым присуща малая теплопроводность, в связи с чем длительность нагрева и охлаждения резко возрастает;

- нагревательный блок, работающий при атмосферном давлении, должен обеспечивать необходимые температуры на уровне 1200-1300° С, для которых обычно используются сплавы сопротивления ЭИ-595, ЭИ-626.

Однако эти сплавы являются весьма хрупкими при изготовлении нагревателей и требуют специальных методов, включая подогрев перед деформацией;

- теплоизоляция нагревательных блоков муфельных печей должна обеспечивать высокое качество печи, для чего требуется увеличение толщины теплоизоляционного слоя с учетом обеспечения на внешней поверхности печи температуры не более 70° С, для чего толщина теплоизоляции также должна быть увеличена;

- общие габариты нагревательного блока муфельной печи существенно повышаются; следует отметить, что для муфелей с охлаждением торцов все равно требуется водяное охлаждение; поэтому целесообразно провести сравнение затрат по расходу электроэнергии и охлаждающей воды для таких вариантов муфельных печей.

Отмеченные недостатки муфельных печей практически полностью отсутствуют у безмуфельных печей. Особенно это касается экономических аспектов безмуфельных печей. В частности, при их использовании

- снижается температура на нагревателях;

- уменьшаются тепловые потери в 2-2,5 раза;

- повышается надежность работы нагревательных блоков за счет использования менее хрупких нагревателей из сплавов типа Х20Н80;

- повышается комфортность работы обслуживающего персонала, поскольку отсутствуют тепловыделения с поверхности печей, работающих при атмосферном давлении;

- не требуется организовывать производство и использование толстостенных муфелей.

К недостаткам безмуфельных печей следует отнести более мощные вакуумные системы.

Рассмотренные недостатки муфельных печей дают возможность в случае необходимости организовывать разработку муфельных печей с облегченным муфелем. Это может быть достигнуто созданием печи, в которой муфель не подвергается атмосферному давлению, а его поверхность не окисляется.

Конструктивно это может быть выполнено, как было указано ранее, созданием в безмуфельной печи тонкостенного муфеля, вокруг которого также создается разрежение одного уровня (10-100 Па), а внутри требуемое давление 10- -10-3 Па. При этом нагревательный блок может находиться при более высоком давлении, а нагреваемая загрузка - в требуемом вакууме.

К недостаткам такой схемы можно отнести следующие признаки:

- необходимость двух независимых вакуумных систем, одна из которых разгружает муфель от атмосферного давления и снижает окисление внешней поверхности муфеля, что может быть обеспечено только механическими вакуумными насосами (50200 Па); вторая независимая система обеспечивает требуемый вакуум на уровне 10-1-10-3 Па;

- системы должны работать совместно, не допуская возможности попадания атмосферного давления в одну из частей печи при нагреве и выдержке на уровне номинальных температур.

Следовательно, такая схема непригодна для тех технологических процессов, при которых изделие должно после нагрева сообщаться с атмосферой при разгрузке, т.е. когда печь предназначена для нагрева изделий в вакууме с последующей деформацией их на воздухе, например, при экструзии, прокатке, протяжке и т. п. методах деформации.

В этом случае целесообразно использовать муфель тупикового типа, т. е. с одной заглушкой, а второй конец может быть теплоизолирован. В этом случае возможна выгрузка нагретых деталей и загрузка новых без охлаждения муфеля.

Некоторые конструкции шахтных и камерных муфельных печей, разработанных в середине 20-го

века, представлены в табл. 152 и 153. В них отмечены муфели, вокруг которых также создается разреженная атмосфера. Внутри муфелей поддерживается давление 10-1-10-2 Па, а снаружи некоторых муфелей устанавливается давление 10-200 Па.

Таким образом, муфельные печи до температур 1150° С были разработаны с полезными объемами от 20 до 700 дм3 при мощности от 9 до 386 кВт.

Следует обратить внимание, что все приведенные в табл. 152 и 153 муфельные печи выполнены с цилиндрической формой рабочего пространства.

Рассмотренная классификация печей, разделенных на муфельные и безмуфельные, показала преимущества и недостатки каждого варианта печей.

Теперь целесообразно более подробно разобраться в безмуфельных печах различных типов (шахтных, элеваторных, камерных, колпаковых, печей с выкатным подом и непрерывного действия), которые изготавливались ранее и продолжают изготавливаться сейчас.

Базовым элементом практически всех конструктивных решений низкотемпературных вакуумных электропечей является сочетание нагревателей из сплавов сопротивления с теплоизоляционной керамикой из легковесных материалов системы А1203-8Ю2, т.е. с легковесным шамотом, плотность которых изменяется в пределах 0,9-1,3 кг/дм3.

Таблица 152 ТаЬ1е 152

Характеристика камерных муфельных вакуумных электропечей Technical data of box vacuum mufflers

Параметр Типы печей

ОКБ-416 ОКБ-415 СКБ-5257А ОКБ-654 ОКБ-1371 ОКБ-1371А

Мощность общая, кВт 9 47 560 340 310 384

В том числе мощность нагревателей, кВт 8 40 528 280 240 288

Число фаз 1 3 3 3 3 3

Напряжение на нагревателях, В 48,7 122 80,8 - 92 82

Число тепловых зон 1 1 4 4 5 6

Рабочая температура, °С 1050 1050 900 800 900 800

Остаточное давление в муфеле, Па 10-2 10-2 10-1 10-2 10-2 10-2

Давление среды, окружающей муфель, Па 105 (1-4)102 (1-4)102 105 105 105

Расход охлаждающей воды, м3/ч 0,5 1,0 8,5 6,5 6 16

Размеры рабочего пространства, мм диаметр длина или высота 90 300 200 600 325 7000 200 7000 270 8000 270 1000

Габариты печи, мм ширина длина высота 1540 1010 1490 2400 2200 2200 3000 15000 3200 4700 38500 3910 16600 35000 3075 1600 40220 3820

Общая масса, т 0,6 2,8 33,2 41,5 69,5 98,3

Таблица 153

Характеристика шахтных муфельных вакуумных электропечей

Table 153

Technical data of shaft vacuum mufflers

Параметр Типы нечей

1СШВ-3,6.5/7 СКБ-5097 1СШВ-3.30/11,5 1СШВ-3.100/9

Мощность общая, кВт 50 135 254 386

В том числе мощность нагревателей, кВт 35 120 - 253

Число фаз 3 3 3 3

Напряжение на нагревателях, В - - - 60,7; 47,4; 10,6

Число тепловых зон 1 4 4 5

Рабочая температура, °С 700 1150 1150 900

Остаточное давление в муфеле, Па 10-1 6,5-10"2 10-1 110-2

Давление среды, окружающей муфель, Па 105 (1-4)102 10 10

Расход охлаждающей воды, м3/ч 1,0 4 - 25

Размеры рабочего пространства, мм

диаметр 360 190 300 300

длина или высота 500 2000 3000 10000

Габариты печи, мм

ширина 3300 1650 3370 4700

длина 2630 3300 4670 5800

высота 2980 5380 6000 27000

Общая масса, т 3 7,8 15,5 91,8

Особенности размещения сплавов сопротивления изложены в ч. 1 § 5.1, а шамотов-легковесов - в ч. 1 § 7. Там же приведена принципиальная схема конструкции, по которой впервые была изготовлена опытная печь. Описание ее было опубликовано в 1955 г. [72]. На этой базе были разработаны все вышеперечисленные печи, в том числе шахтные, элеваторные, камерные, колпаковые.

3.1. Шахтные и элеваторные печи Нагревательные блоки для шахтных и элеваторных печей и размеры их рабочего пространства практически одинаковы. Поэтому на рис. 74 приведена схема наиболее распространенной печи типа СЭВ-3.3/11,5ФМ2, количество которых во второй половине ХХ века превысило 4000 экземпляров [1, 2, 260]. На них осуществлялись различные технологические процессы нагрева для термообработки, спекания и закалки сталей.

Нагревательная камера расположена в верхней части водоохлаждаемого корпуса, имеет футеровку из легковесного шамота с подвешенными на внутренней боковой поверхности нагревателями из сплава сопротивления. Под футеровки состоит из двух частей, раздвигающихся при загрузке и выгрузке садки.

Для проведения закалки в газе в верхней части камеры охлаждения напротив загрузочного люка монтируется вентилятор и оребренные трубчатые охладители.

Рис. 74. Элеваторная печь СЭВ-3.3/11,5ФМ2: 1 - механизм

подъема; 2 - корпус печи; 3 - нагревательная камера; 4 - теплоизоляционная заслонка; 5 - загрузочная крышка; 6 - закалочное масло; 7 - закалочный бак Fig. 74. SEV-3.3/11,5FM2 elevator furnace: 1 - lifting mechanism; 2 - furnace body; 3 - heating chamber; 4 - heat insulating gate; 5 - charging cover; 6 - quenching oil; 7 - quenching tank

28 International Scientific Journal for Alternative Energy and Ecology № 7 (75) 2009

© Scientific Technical Centre «TATA», 2009

Нижняя часть корпуса печи заполняется маслом. Для дегазации масла и его перемешивания в процессе закалки используется специальное устройство.

Система управления позволяет проводить в автоматическом режиме откачку электропечи, нагрев по программе, охлаждение до температуры выгрузки.

В печи выполняются четыре автоматизированных режима термообработки: закалка в циркулирующем газе; закалка в вакуумном масле без напуска инертного газа; закалка в вакуумном масле с напуском инертного газа; отжиг с ускоренным охлаждением.

Перепад температуры в объеме рабочего пространства при установившемся режиме и остаточном давлении 0,138 Па показан в табл. 154.

При закалке в масле ВЗ-1, как указывалось ранее, максимальная скорость его охлаждения 250-270° С/с, что в 2-2,5 раза выше, чем у вакуумных масел ВМ-1, ВМ-3, ВМ-4 и их смесей.

Закалка в масле ВЗ-1 подшипниковых колец из стали ШХ-15 показала, что требуемая микроструктура и твердость около 66 НЯС обеспечиваются в сечениях до 9,2 мм. В смеси масел ВМ-3 и ВМ-4 необходимые свойства достигались лишь при толщине колец до 3,5 мм.

Таким образом, на примере элеваторной печи СЭВ-3.3/11,5ФМ2 рассмотрены основные элементы конструкции нагревательной камеры и печи в целом.

Таблица 154

Перепад температур в зависимости от заданной температуры

ТаЬ1е 154

Temperature difference as a function of given temperature

Заданная температура, °С Перепад температур, °С Мощность холостого хода, кВт

при пустом контейнере с загрузкой 50 кг

300 ±5 ±5 0,65

400 ±4 ±4,5 0,95

500 ±4 ±4,5 1,3

600 ±4 ±4,5 1,65

850 ±4 ±4 3

1050 ±4 ±4 4,3

1150 5

Параметры печей этого типа для различных технологических процессов сведены в табл. 155. Как видно из этой таблицы, шахтных печей с объемом рабочего пространства менее 100 дм3 не разрабатывалось, поскольку выявлена возможность использовать нагревательные блоки аналогичных элеваторных печей.

Таблица 155

Характеристика низкотемпературных шахтных и элеваторных печей с шамотной теплоизоляцией

ТаЬ1е 155

Technical data of low-temperature shaft and elevator furnaces with fireclay insulation

Параметр Тип печи

СЭВ-2.2/11,5 СЭВ-3.3/11,5 СЭВ-5.5/11,5 СШВ-21,5.75/9 СШВ-27.36/9 СШВ-27.45/9

М01 М01 М02 М02 М01 М01

Мощность, кВт 15 23 66 1160 425 496

Число фаз 1 1 1 3 3 3

Число тепловых зон 1 1 1 10 5 6

Напряжение на нагревателях, В 60 105 105 60,8 и 12,4 52,7 и 99,6 52,7 и 99,6

Рабочая температура, °С 1150 1150 1150 950 900 900

Остаточное давление, Па 0,1 0,1 0,1 0,1 10 10

Расход охлаждающей воды, м3/ч 0,35 0,5 1,5 40 20 20

Размер рабочего пространства, мм

диаметр 200 300 500 2150 2700 2700

высота 200 300 500 7500 3600 4500

Габариты, мм

ширина 1825 2100 3050 9500 4500 4600

длина 1750 1700 2920 10900 9200 9200

высота 2800 2500 3450 12330 6730 7730

Общая масса, т 2,2 2,5 5,3 61 58,8 66,5

Тем не менее, для более высокого вакуума были разработаны электропечи с экранной теплоизоляцией, которые имеют сравнительно небольшое газовыделение с внутренних поверхностей. Технические характеристики таких печей представлены в табл. 156.

Для специальных же целей были созданы низкотемпературные сверхвысоковакуумные печи, параметры которых сведены в табл. 157.

Технические характеристики печей для изделий после их спекания и охлаждения до температуры закалки даны в табл. 158.

Таблица 156

Характеристики низкотемпературных вакуумных электропечей с экранной теплоизоляцией

Table 156

Technical data of low-temperature vacuum electric furnaces with heat protection shields

Параметр Тип печи

СШВ-8.8/9Э М1 СШВ-15.15/9Э СШВ-15.30/9Э-Н2 СНВ-22.90.4,5/9Э М1

Мощность, кВт 154 548 756 1260

Рабочая температура, °С 900 900 900 900

Число фаз 3 3 3 3

Число тепловых зон 1 1 7 12

Остаточное давление, Па 10-2 10-3 10-2 10-1

Расход охлаждающей воды, м3/ч 6 20 23,7 45

Масса загрузки, т - - 8 10

Размер рабочего пространства, мм

длина - - - 9000

ширина (диаметр) 800 1500 1500 2200

высота 800 1500 3000 450

Габариты, мм 28380

длина 4900 5900 7600

ширина 3100 5500 5700 10900

высота 3665 4120 6885 5695

Общая масса, т 7,5 18,9 34,5 119,1

Таблица 157

Характеристики сверхвысоковакуумных низкотемпературных электропечей

ТаЬк 157

Technical data of ultrahigh-vacuum low-temperature electric furnaces

Параметры Типы печей

0КБ-8039 ОКБ-1377 Камерная опытная

Установленная мощность, кВт, в том числе: мощность основных нагревателей мощность вспомогательных нагревателей 65 13 13 38 15 2,5 20 8 8

Рабочая температура, °С 800 900 1200

Остаточное давление, Па до 10-7 до 10-7 6,510-5

Расход охлаждающей воды, м3/ч 1,5 1 0,8

Расход жидкого азота, л/ч 3 10 3-5

Размеры рабочего пространства, мм: диаметр (сечение) высота длина 300 700 150 300 80х80 200

Габариты печи, мм: длина ширина высота 2800 2200 2150 3000 2000 4500 2000 1300 2000

Масса печи, т 2 3 1,5

International Scientific Journal for Alternative Energy and Ecology № 7 (75) 2009

© Scientific Technical Centre «TATA», 2009

Таблица 158

Характеристики вакуумных электропечей для закалки

ТаЫс 158

Technical data of hardening vacuum electric furnaces

Параметр Тип печи

СШВ- 1СНВ- 1СНВ- СЭВ- СЭВ-

3.3/13ГМ1 5.10.5/13Г 5.10.5/11,5Ф 3.3/11,5 ФМ2 2.2/11,5 ФМ2

Мощность печи, кВт 50 150 152 34 15

Рабочая температура, °С 1350 1300 1150 1150 1150

Остаточное давление, Па 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1

Расход охлаждающей воды, м3/ч 6,5 15 15 1,5 6,5

Размеры рабочего пространства, мм:

длина 1000 1000

ширина или диаметр 300 500 500 300 200

высота 300 500 500 300 300

Габариты, мм:

длина 2885 6336 6336 2420 1750

ширина 2000 4585 4585 2060 1825

высота 2150 5196 5196 3060 2800

Общая масса, т 2,75 25,5 15,0 3,1 2,2

Среда для охлаждения газ (N2,Ar) масло и газ масло масло, газ масло, газ

Исследования некоторых отечественных сталей, проведенные в печи СЭВ-3.3/11,5, подтвердили высокую эффективность вакуумной закалки.

На рис. 75 для примера представлены структуры некоторых марок сталей после закалки.

Особенности закалки сталей в различных средах (масло, газ, вода) подробно изложены в ч. 2.§ 2.1.

Для закалки в жидких средах требуются, как правило, две камеры: одна для нагрева и выдержки, другая - для закалочной жидкости. Закалка же в газе производится обычно в одной камере.

О преимуществах и недостатках таких печей см. в ч. 2 § 2.1.

Рис. 75. Микроструктура образцов после закалки инертным газом и отпуска в вакууме: а - сталь 2Х13; b - сталь 1Х11МФ; c - сталь ЭИ-893 Fig. 75. Microstructure of samples after inert gas quenching and vacuum tempering: a - steel 2X13; b - steel 1Х11МФ; c - steel ЭИ-893

3.2. Камерные печи и печи с выкатным подом Важным направлением в создании низкотемпературных печей является образование группы печей для горячей деформации. Параметры таких печей представлены в табл. 159.

Горячая деформация титана, циркония и их сплавов (ковка, штамповка, прокатка, прессование) в подавляющем большинстве осуществляется на воздухе. Создание оборудования для осуществления этих процессов, работающего в вакууме или в инертной среде, возможно [153, 192, 187, 206], однако представляет значительные трудности, особенно для крупнотоннажного производства.

Основным требованием, предъявляемым к нагреву заготовок перед деформацией наряду с большой равномерностью температуры, является обеспечение минимального дефектного слоя на поверхности металла. Если для изделий малого сечения, например,

для трубных заготовок, можно уменьшить дефектный слой при максимальной скорости деформации, а кроме того, для малых сечений использовать интенсивные методы нагрева, например, индукционный нагрев, то прогрев заготовок большого сечения требует длительной выдержки в воздушной среде, в связи с чем на поверхности образуется дефектный (аль-фированный) слой.

Это особенно характерно для титановых сплавов, имеющих сравнительно малую теплопроводность. Прогрев таких заготовок требует часов, а иногда и десятков часов. Во избежание этого перед деформацией титановых и циркониевых сплавов нагрев проводят в вакууме. В табл. 159 представлены типы вакуумных электропечей, в которых осуществляется прогрев заготовок и извлечение для последующего их превращения в соответствующем оборудовании в требуемый профиль.

Таблица 159

Характеристики низкотемпературных электропечей, допускающих нагрев титановых и других сплавов под горячую деформацию на воздухе

ТаЬ1е 159

Technical data of low-temperature electric furnaces to heat titanium and other alloys

before hot working in the air

Камерные печи Печи с выдвижным подом Шахтные печи

Параметр in <N in - 8 2 о, - I 5, in in in - го I ,5 in ö cn in - го I ,5 СП 12 - © 00 00 - 3 12 15 -

i § о о о О О

Общая мощность, кВт 615 580 160 485 1450 85 300

В том числе мощность нагревателей, кВт 528 400 108 325 1090 70 200

Число фаз 3 3 3 3 3 3 3

Напряжение на нагревателях, В 80,3 41; 61 82 66; 142,4 80,8; 94,8 130 68

Число тепловых зон 4 5 4 3 10 11 4

Рабочая температура, °С 1100 1150 1150 1150 1150 1150 1150

Остаточное давление, Па 10-1 10-1 10-1 10-1 10-1 10-1 10-1

Расход охлаждающей воды, м3/ч 16 50 6,5 9 45 4,5 15

Полезная загрузка, кг 300 1200 1500 5000 20000 1000 -

Размеры рабочего пространства, м: ширина или диаметр длина высота 0,35 7,0 0,35 0,5 10,0 0,4 0,5 1,5 0,5 1,5 3,0 0,5 2,15 4.3 1.4 0,8 0,8 1,1 4,5

Габариты печи, м: диаметр длина высота 4,0 15,0 3,2 16,0 30,5 4,8 6,55 6,4 2,74 7,2 15,16 5,98 16,61 14,3 6,12 4,2 4,25 2,47 4,35 5,1 6,14

Общая масса, т 34,5 165 16,2 58 99 6,5 23,5

Кмн, кВт/м3град 0,56 0,17 0,25 0,126 0,074 0,15 0,041

Проведенные нами [2] исследования окисляемо-сти титановых сплавов в различном вакууме, приведенные в ч. 2 § 2.1, показали возможность использования шамотной теплоизоляции в печах с остаточным давлением 10-1 Па.

Схематический разрез одной из таких печей -СНВ-15.30.5/11,5МОЗ представлен на рис. 76.

В этих печах проводилась термообработка различных видов электротехнических сортов сталей [2], отдельные свойства которых после термообработки представлены в табл. 160.

Рис. 76. Вакуумная электропечь с выдвижным подом типа СНВ-15.30.5/11,5МОЗ: 1 - кожух; 2 - тележка; 3 - крышка; 4 - футеровка; 5 - механизм подъема и перемещения; 6 - вакуумная система Fig. 76. SNV-15.30.5/11,5MOZ-type vacuum electric car furnace: 1 - case; 2 - car; 3 - cover; 4 - lining; 5 - lifting and handling mechanism; 6 - vacuum system

Таблица 160

Свойства листов трансформаторной стали толщиной 0,35 мм после отжига в разных средах

ТаЬ1е 160

Properties of 0.35 mm thick transformer steel sheets after annealing in different media

Среда в печи Р18 , Вт/м Pis, Вт/м ^S , Т Выход годного, %

Э330А Э330

Водород 0,50 1,11 1,9500 30 70

Вакуум 0,48 1,07 1,8310 70 30

Представленные в табл. 160 печи могут быть использованы для промежуточного отжига трансформаторной стали при ее прокатке от толщины 1,0 до 0,35 мм, проводимой при 720° С, с последующим отжигом при 1000° С.

Для предотвращения приварки листа трансформаторной стали при нагреве в вакууме используются различного вида покрытия, некоторые из них приведены в табл. 161 [273, 274].

Таким образом, камерные печи и печи с выдвижным (выкатным) подом обеспечивают вакуумные технологии, создавая предпосылки для экономических эффектов этих технологий.

Таблица 161

Влияние вида покрытий и среды при отжиге листов трансформаторной стали Effects of the coating type and material on the annealing of transformer steel sheets

Table 161

Вид покрытия Среда и ее давление Число партий Выход годного, %, ГОСТ 802-58

Э330А Э330 Э320 Э310 Брак

Тальк 103 Па 174 - 18,0 68,5 11,2 20,3

95% N2 + 5% H2 при 105 Па 425 - 3,5 52,1 34,4 -

Гидроокись магния 103 Па 92 7,6 85,9 5,4 1,1 -

10"1 Па 9 30 50 - - -

95% N2 + 5% H2 при 105 Па 173 0,6 62,6 36,4 8,7 -

3.3. Колпаковые печи Преимущественно для электротехнической промышленности были разработаны крупные вакуумные электропечи колпакового типа. Основные характеристики сведены в табл. 162, а на рис. 77 приведен для примера схематический разрез одной из таких печей.

Изменения электротехнических свойств трансформаторной стали изложены в разделе §3.2. Там же отмечена возможность использования некоторых оксидных материалов в виде покрытий, предотвращающих припекание листов.

Основные данные колпаковых печей для отжига трансформаторной стали Basic data of bell-type furnaces for transformer steel annealing

Таблица 162

ТаЬ1е 162

Тип печи

Параметр УКР-03Б vo 0 0 "Г § 3 0 0 "Г § ОО 3 0 "Г § СГВ-9.16..13/11,5 СГВ-16.20/11,5 3Х1 СЭВ-11.8/13 М04

Мощность печи, кВт 310 335 335 480 260 700 540

Напряжение на нагревателях, В 380 380 220 380 98 380 56,4; 66,0

Рабочая температура, °С 1180 1180 1180 1150 1150 1150 1300

Размер отжигаемого пакета или рулона, мм 750x1500 750x1500 750x1500 1000x2000 750x1500 01300x1020 01300x1020

Масса одновременной загрузки, т 15,0 18,0 18,0 30 15,0 47 -

Давление в печи, Па 5-103 5-103 5102 5103 0,1 3103 0,1

Производительность, кг/ч 125 136 113 183 130 125 -

Рис. 77. Колпаковая вакуумная электропечь СГВ-9.16.13/11,5Х01: 1 - вакуумная система; 2 - стенд; 3 - теплоизоляция; 4 - нагреватели; 5 - садка; 6 - колпак Fig. 77. SGV-9.16.13/11,5Kh01 bell-type vacuum electric furnace: 1 - vacuum system; 2 - rack; 3 - heat insulation; 4 - heaters; 5 - load; 6 - bell

t. t.

34

Список литературы

1. Мармер Э.Н., Мурованная С.Г., Васильев Ю.Э. Электропечи для термовакуумных процессов. 2-е изд., переработанное и дополненное. М.: Энер-гоатомиздат, 1991.

2. Мармер Э.Н., Мурованная С.Г. Электропечи для термовакуумных процессов. М.: Энергия, 1977.

3. Ляпунов А.И. Новое поколение вакуумных печей для термической обработки // МиТОМ. 2000. № 1. С. 22-27.

4. Альтгаузен А.П. Электропечестроение Советского Союза. «Электро-72». Москва, Сокольники, 1972, июль. Доклады. С. 1-12.

5. Мармер Э.Н. Материалы высокотемпературных вакуумных установок. М.: Физматлит. 2007.

6. Мурованная С.Г. Закалка сталей в вакууме. М.: Машиностроение, 1974.

7. Мармер Э.Н., Вислобоков В.И., Большов А.Г. Вакуумная закалка спеченных стальных шестерен // Порошковая металлургия. 1986. № 10. С. 89-93.

8. Радомысельский И.Д., Шильдин В.В., Ткачен-ко В.Ф. Влияние сред спекания на структурное состояние порошковых нержавеющих сталей // Порошковая металлургия. 1986. № 1. С. 82-86.

9. Минков О.Б. Диффузионное борирование сталей с применением вакуумной термообработки: автореф. канд. дисс. Москва, 1984.

10. Мармер Э.Н., Усатый Ю.П., Истомин Н.Н. Вакуумная цементация металлокерамических изделий на железной основе. Материалы семинара «Поверхностные методы упрочнения металлов и сплавов в машиностроении». М.: МДНТП им. Ф.Э. Дзержинского, 1983. С. 39-42.

11. Минков О.Б., Мурованная С.Г., Гурвич О.С., Мармер Э.Н., Кауфман В.Г. Способ борирования деталей. А.с. 823456. Опубл. 23.04.81, бюлл. № 13.

12. Ковалев М.Н. Исследование процессов газовыделения из конструкционных материалов и расчет откачных систем сверхвысоковакуумных электропечей сопротивления: автореферат кандидатской диссертации. Москва, 1972.

13. Фомин В.М. Исследование высоковакуумных электропечей с экранной теплоизоляцией и влияние неизотермических режимов на выбор откачных систем: автореферат кандидатской диссертации. Москва, 1972.

14. Мармер Э.Н., Ковалев М.Н., Паршин Н.И., Соболев С.И., Кондратьев А.И., Шумов Д.С. Электрическое оборудование для высокотемпературного нагрева в сверхвысоком безмасляном вакууме // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. 1977. Вып. 2. С. 96-102.

15. Пустовалов В.В. // Огнеупоры. 1961. № 7. С. 302.

16. Жукова Л.М., Потоскаев Г.Г., Савин В.П. Организация производства керамических изделий на основе нитрида алюминия // Технический про-

гресс в атомной промышленности. 2001. № 1. С. 52-54.

17. Самсонов Г.В., Ерошенко А.И., Островерхов

B.И., Крат В.А., Дубовик Т.В. Карбонитрид бора -высокотемпературный, электроизоляционный и огнеупорный материал // Порошковая металлургия. 1972. № 12. С. 46.

18. Свойства, получение и применение тугоплавких соединений. Справочное изд. Под ред. Ко-солаповой Т.Я. М.: Металлургия, 1986.

19. Балаклиенко Ю.М., Мармер Э.Н., Новожилов

C.А. Рафинирование углеродных нанотрубок и на-новолокон в вакууме // Альтернативная энергетика и экология (ШАБЕ). 2005. № 10 (30). С. 89-92.

20. Мармер Э.Н., Падалко О.В., Новожилов С.А. О применении экологически чистых вакуумных электропечей сопротивления при получении карбидов кремния и титана из природного сырья // Альтернативная энергетика и экология (181АЕЕ). 2005. № 10 (30). С. 36-40.

21. Багдасаров Х.С. Высокотемпературная кристаллизация из расплава. М.: Физматлит, 2004.

22. Маурах М.А., Митин Б.С. Жидкие тугоплавкие окислы. М.: Металлургия, 1979.

23. Мармер Э.Н., Васильев Ю.Э. Некоторые экономические аспекты использования оборудования для создания различных сред в электротехнике // Электротехническая промышленность. Сер. Электротермия. 1984. Вып. 1 (251). С. 15-16.

24 Алексеев С.М., Уманский С.П. Высотные и космические скафандры. М.: Машиностроение, 1973.

25. Большакова Н.В., Борисанова К.С., Бурцев В.И. и др. Материалы для электротермических установок (справочное пособие под ред. Гутмана М.Б.). М.: Энергоатомиздат, 1987.

26. Мармер Э.Н. Эффективность нагрева сталей в вакууме при термообработке и спекании. Докл. на семинаре «Технология термической обработки металлов и сплавов». Москва, ДНТП им. Дзержинского, март 1982.

27. Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. М.: Мир, 1964.

28. Несмеянов Ан.Н. Давление пара химических элементов. М.: Изд. АН СССР, 1961.

29. Свенчанский А. Д. Электрические печи сопротивления. М.: Госэнергоиздат, 1975.

30. Мурованная С.Г., Мармер Э.Н. Исследование скорости испарения жаростойких сплавов в вакууме / Исследования в области промышленного электронагрева. Тр. ВНИИЭТО. 1965. Вып. 1. С. 249-260.

31. Мурованная С.Г., Мармер Э.Н. Влияние степени разрежения на свойства сплава Х20Н80 при высоких температурах // МиТОМ. 1968. № 12. С. 35-37.

32. Каменецкая Д.С. О влиянии межмолекулярного взаимодействия на поведение растворов / Проблемы металловедения и физики металлов.

Тр. ЦНИИЧМ. М.: Металлургиздат. 1955. Вып. 4. С. 99-106.

33. Bourgette D.T. High-temperature chemical sta-biliti of refractory-base alloys in high vacuum // Trans. Vacuum Metallugy Conf. 1965. P. 57-73.

34. Мармер Э.Н. Поведение нихромов и хрома-лей в вакууме. В кн.: Экспериментальная техника и методы исследования при высоких температурах. М.: Изд-во АН СССР, 1959. С. 780-787.

35. Мармер Э.Н. Материалы вакуумных электропечей. М.: Госэнергоиздат, 1959.

36. Николаенко И.В., Швейкин Г.П. Синтез и физико-механические свойства керамики на основе карбида кремния и сложных оксидов, полученных микроволновым излучением // Огнеупоры и технология керамики. 2001. № 7. С. 18-21.

37. Косолапова Т.Я. Карбиды. М.: Металлургия,

1968.

38. Истомин Г.Н., Мармер Э.Н. Определение срока службы вольфрамовых нагревателей // Электротермия. 1974. Вып. 11 (147). С. 8-9.

39. Пазухин В.А., Фишер А.Я. Разделение и рафинирование металлов в вакууме. М.: Металлургия,

1969.

40. Игнатов Д.В., Иванова Р.С., Абрамова Н.В. Электронографическое и кинетическое исследование взаимодействия тугоплавких металлов и окислов с остаточными газами и парами в вакууме (10-3-10-6 торр) при высоких температурах. В кн.: Структура и свойства жаропрочных металлических материалов. М.: Наука, 1967. С. 300-336.

41. Котельников Р.Б., Башлыков С.Н., Галиакбе-ров В.Г., Каштанов А.И. Особо тугоплавкие элементы и соединения. Справочник. М.: Металлургия, 1969.

42. Anderson H.U., Techn. Report ИСРЬ-10135, 1962. In: High Temperature Technology. Washington: Buttervorths, 1964. P. 137.

43. Eisinger J. Adsorption of oxigen on tungsten // J. Chem. Phis. 1959. Vol. 30, No. 2. P. 412-416.

44. Мармер Э.Н., Жуков В.В., Стуканов А.Ф. Экспериментальное определение стойкости вольфрамовых нагревателей в вакууме при температурах до 3273 К // Теплофизика высоких температур. 1965. Т. 3. С. 771-774.

45. Голубцов И.В. Исследование испарения некоторых тугоплавких металлов в вакууме: автореф. дисс. на соиск. ученой степени канд. хим. наук. М.: МГУ, 1966.

46. Zwikker C. // Phisica (Niderland). 1927. No. 7. P. 77.

47. Lungmuir I. A new vacuum gage of extreme sensitiveness // Phys. Rev. 1913. Vol. 1, No. 4. P. 337-338.

48. Котляр А.А., Андреева Р.Т. Определение скоростей испарения в вакууме вольфрама, тантала и некоторых сплавов на их основе. Сборник материалов по вакуумной технике. М.: Госэнергоиздат, 1960. Вып. ХХШ. С. 51-59.

49. Мармер Э.Н., Гурвич О.С., Мальцева Л.Ф. Высокотемпературные материалы. М.: Металлургия, 1967.

50. Ажажа В.М., Васютинский Б.М., Донде А.Л., Картмазов Г.Н. Применение криогенных насосов при высоковакуумном отжиге молибдена // Украинский физ. журнал. 1969. Т. 14, № 1. С. 168-170.

51. Истомин Г.Н., Мармер Э.Н., Савранская Л.А. Взаимодействие молибдена с разреженной средой при различных давлениях // Электротермия. 1974. Вып. 12 (148). С. 13-14.

52. Gebhardt E., Fromm E, Jakob D. Vorgange bei der entgasung von niob und tantal // Z. Metallkunde.

1964. Bd. 55, No. 8. P. 432-444.

53. Костылев В.М., Костылева М.Ф. Экспериментальное исследование теплофизических свойств некоторых теплозащитных материалов в условиях вакуума. Сб. «Теплофизические свойства некоторых веществ». М.: Наука, 1971. С. 86.

54. Кофстад П. Высокотемпературное окисление металлов. М.: Мир, 1969.

55. Fromm E., lehn H. Stationaere zustaende beim gluehen von niob und tantal in sauerstoff // Z. Metallkunde. 1967. Bd. 58, No. 1. P. 61-66.

56. Horz G. Kinetik der sauerstoffaufnahme von metallen der VA-grouppe // Z. Metallkunde. 1968. Bd. 59, No. 4. P. 283-288.

57. Дитрих Н. Электронно-лучевые установки для металлизации стальных лент. Перевод N146/67. Рига: ЛатвИНТИ, 1967.

58. Barret C.A., Rosenblum L. Oxigen, pumping efficiency of refractory metals. NASA - AEG Liquid Metall Corrosion Melting, Washington, 1963. P. 307.

59. Hogan J.F., Limonselly A., Slotnik A. High temperature carbon stability in Nb(Cb)Zr alloys with carbide hardening at ultra-high vacuum. "Pratt and Whitney Aircraft", 1965, October. P. 3-10.

60. Hogan J.F., Limonselly A., Kliry R.E. Reaction rate of columbium-1% zirconium alloy with oxigen at low pressures. "Pratt and Whitney Aircraft", 1965, Sept. P. 3-17.

61. Gebhart E., Rothenbacher R. Untersuchengen in sistem niob-sauerstoff // Z. Metallkunde. 1963. Bd. 54, No. 12. P. 689-692.

62. Delgrosso E.J., Carta J.S., Rickard A. Oxidation of pure colambium (niobium) at low pressures. "Pratt and Whitney Aircraft", 1965, Sept. P. 33-36.

63. Kofstad P., Espevik S. Low-pressure oxidation of niobium at 1200-1700° C // J. Elektrochem. Soc.

1965. Vol. 112, No. 2. P. 153-160.

64. Лившиц Б.Г., Крапошин В.С., Линецкий Я.А. Физические свойства металлов и сплавов. М.: Металлургия, 1980.

65. Юрьев С.Ф., Соколова Г.В., Леонова Н.И., Гольштейн Л.Я. Влияние термической обработки в вакууме на тонкую структуру ниобия // Изд. АН СССР «Металлы». 1971. № 3. С. 176-180.

66. Физико-химические свойства окислов. Справочник под ред. Самсонова Г.В. М.: Металлургия, 1969.

67. Мармер Э.Н. Исследование материалов нагревателей вакуумных электропечей сопротивления: автореф. канд. дисс. Киев, 1963.

68. Мармер Э.Н., Гурвич О.С., Мальцева Л.Ф., Русин В.П., Клыкова Р.С., Чалых Е.Ф. Свойства графита, применяемого в вакуумных электропечах. Исследования в области промышленного электронагрева (Труды ВНИИЭТО), Вып. 2. М.: Энергия, 1967. С. 235-245.

69. Панасюк А.Д. Исследование высокотемпературных термоэлектродных материалов из тугоплавких карбидов. Автореф. канд. дисс. Киев, 1964.

70. Власов В.К., Голубцов И.В. Тезисы доклада к расширенному семинару по высокотемпературным материалам для электропечей и по обмену опытом их эксплуатации. Л.: ЛТИ им. Ленсовета, 1968.

71. Дергунова В. С., Левинский Ю.В., Шуршаков А.Н., Кравецкий Г.А. Взаимодействие углерода с тугоплавкими металлами. М.: Металлургия, 1974.

72. Мармер Э.Н. Печь для термической обработки металлов в вакууме // Металловедение и обработка металлов. 1955. № 6. С. 36-40.

73. Мармер Э.Н. Углеграфитовые материалы. Справочник. М.: Металлургия, 1973.

74. Сб. «Исследования при высоких температурах». М.: ИЛ, 1962.

75. Челноков В.С. Автореферат кандидатской диссертации. Москва, 1966.

76. Фомин В.М., Слободской А.П. Вакуумные печи сопротивления с экранной теплоизоляцией. М.: Энергия, 1970.

77. Кацевич Л.С. Расчет и конструирование электрических печей. М.: Госэнергоиздат, 1959.

78. Ковалев М.Н., Васильев Ю.Э. Вакуумные системы электропечей и их инженерный расчет. М.: Энергоатомиздат, 1983.

79. Мармер Э.Н., Ферштер Л.М. Расчет и проектирование вакуумных систем электропечей. М.: Госэнергоиздат, 1960.

80. Гриссел Р.В. В сб. «Очистка деталей электронных приборов». М.: Энергия, 1964.

81. Ляхин Ю.П., Мармер Э.Н. Газовыделение из углеграфитовых материалов // Электротермия. 1971. Вып. 103. С. 14-17.

82. Оллсоп Г., Девис Г., Уатт В. Сб. «Сорбцион-ные процессы в вакууме». М.: Атомиздат, 1966.

83. Вайнштейн Э.Е., Халитов Р.Ш. и др. в сб. «Методы определения и исследование состояния газов в металлах». М.: Наука, 1968.

84. Левина И.А., Ковалев М.Н., Мармер Э.Н. Газовыделение из графитовой ткани. М.: Электротермия. 1976. Вып. 9 (169). С. 9-11.

85. Мармер Э.Н., Лебедев А.В., Новожилов С.А., Попов А.Н. Высокотемпературные вакуумные электропечи сопротивления для термообработки и спе-

кания и перспективы их развития // Сталь. 2005. № 4. С. 115-119.

86. Кац С.М. Высокотемпературные теплоизоляционные материалы. М.: Металлургия, 1981.

87. Мармер Э.Н., Новожилов С.А. Новый метод определения теплотехнических параметров высокотемпературных вакуумных электропечей сопротивления // ЖАЭЭ. 2007. № 3(47). С. 67-72.

88. Бавер А.И. и др. Сб. «Материалы к совещанию улучшения техники и технологии в электродной промышленности». М.: Изд. НТО Цвет. мет.,

1963.

89. Мармер Э.Н., Мальцева Л.Ф., Барабанова Л.Г. Исследование скорости испарения графита // Порошковая металлургия. 1963. № 5 (17). С. 87-93.

90. Печковская К.А. Сажа как усилитель каучука. М.: Химия, 1968.

91. Полубояринов Д.Н., Левина И.А., Мальцева Л.Ф., Савранская Л.М., Мармер Э.Н. Исследование скорости испарения и контактной устойчивости высокоогнеупорной окисной керамики и огнеупорных бетонов к тугоплавким металлам в вакууме / «Электротермия», научн.-техн. сб. (ЦИНТИЭП), 1969. Вып. 89. С. 10.

92. Русин С.П., Гурвич О.С., Мармер Э.Н. Теплопроводность теплоизоляции из графита и карбида ниобия при высоких температурах в вакууме / «Электротермия», научн.-техн. сб. (ЦИНТИЭП),

1964. Вып. 31. С. 15.

93. Мармер Э.Н., Мальцева Л.Ф., Русин С.П., Барабанова Л.Г., Гурвич О.С. Исследование свойств графита при высоких температурах в вакууме / «Электротермия», научн.-техн. сб. (ЦИНТИЭП), 1961. № 3. С. 14-21.

94. Гурвич О.С., Мармер Э.Н. Механические свойства графита, применяющегося в вакуумных электропечах // Порошковая металлургия. 1962. № 2 (8). С. 77-86.

95. Ляхин Ю.П., Мармер Э.Н., Самосеев А.П. Испытание различных теплоизоляционных материалов для футеровки вакуумных печей с графитовым нагревателем / «Электротермия», научн.-техн. сб. (ЦИНТИЭП). М. 1961. № 89. С. 8-10.

96. Свойства конструкционных материалов на основе графита. Справочник. Под ред. В.П. Соседо-ва. М.: Металлургия, 1975.

97. Рогайлин М.И., Чалых Е.Ф. Справочник по углеграфитовым материалам. Л.: Химия, 1974.

98. Мухин В.М. Исследование изменения степени черноты в процессе нагрева изделий и его влияние на тепловыделение в области электропечей сопротивления: автореферат кандидатской диссертации. Москва, 1970. С. 24.

99. Шубин А.А., Прокушин В.Н., Мармер Э.Н., Новожилов С.А., Клейменов В.В. Углерод-углеродные композиционные материалы с низкой плотностью для высокотемпературной теплоизоляции электропечей / Вопросы оборонной техники. Науч-но-техн. сб. 1998. Сер. 15. Вып. 1 (118). С. 28-30.

3

37

100. Барабанова Л.Г., Мурованная С.Г., Мармер Э.Н. Исследование теплопроводности при высоких температурах изделий, спрессованных из вольфрамовой путанки // Теплофизика высоких температур. 1969. № 3. С. 583-585.

101. Лукин Е.С. Исследование некоторых свойств керамики из чистых оксидов при высоких температурах: автореферат кандидатской диссертации. Москва, 1965.

102. Kingery W. D. et al. // J. Amer. Ceram. Soc. 1954. Vol. 37, No. 3. P. 107.

103. Lintner R.E. et al. // Metal Progr. 1963. Vol. 84, 85. P. 109.

104. Абрамсон И. Д. Керамика для авиационных изделий. М.: Оборонгиз, 1963.

105. Meelntire H.O. // Foundry Trade J. 1957. Vol. 103, No. 2143. P. 543.

106. Семенов Ю.А. Производство подогреваемых катодов электровакуумных приборов. М.: Гос-энергоиздат, 1962.

107. Исследования при высоких температурах. М.: Изд-во иностр. лит., 1962.

108. Ziegelindustrie. 1954. Vol. 7, No. 21. P. 877.

109. Гузман И.Я., Полубояринов Д.Н. // Огнеупоры. 1959. № 2. С. 71.

110. Техника высоких температур под ред. Кем-пбелла. М.: Изд-во иностр. лит., 1959.

111. Northcott I. Molibdenum. London: Butter-words Sеventific. Publication, 1956.

112. Northcott I. Molibdenium. London: Butter-words Scientific Publication, 1956.

113. Chiochelli V.E.J., Herry E.C. // J. Amer. Ceram. Soc. 1953. Vol. 36, No. 6. P. 180.

114. Мармер Э.Н., Хазанов Э.Е., Барабанова Л.Г. Опыт применения керамических футеровок в высоковакуумных печах // Вестник электропромышленности. 1958. № 3. С. 69-70.

115. Вишневский И. И. и др. Сборник научных трудов УНИИО, вып.6 (LIII). М.: Металлургиздат, 1962. С. 257.

116. Неметаллические тугоплавкие соединения / под ред. Косолаповой Т.Я. М.: Металлургия.

117. Левина И. А. Исследование условий службы керамики из окислов в высокотемпературных вакуумных печах: автореферат кандидатской диссертации. Москва, 1969.

118. Черепанов А.М., Тресвятский С.Г. Высокоогнеупорные материалы и изделия из окислов. М.: Металлургиздат, 1964.

119. Пустовалов В.В. Сборник научных трудов УНИИО, вып.5 (LII). М.: Металлургиздат, 1961. С. 324.

120. Пирогов А.П. // Огнеупоры. 1962. № 6. С. 275.

121. Самсонов Г.В. Нитриды. Киев: «Наукова думка», 1969.

122. Ковенский И.И., Самсонов Г.В. // Физика металлов и металловедение. 1963. Т. 15, Вып. 6. С. 940.

123. Самсонов Г.В., Марковский Л.Я., Жигач А.Ф., Валяшко М.Г. Бор, его соединения и сплавы. Киев: Изд-во АН УССР, 1960.

124. Гурвич О С., Дубовик Т.В., Струк Л.И. Трение и изнашивание пары молибден-карбонитрид бора // Порошковая металлургия. 1980. № 1 (205). С. 89-91.

125. Открытие №138, приоритет 03.11.1999 г. «Закономерная связь между величинами объемной теплоемкости высокотемпературных материалов и температурой их нагрева», авторы: Мармер Э.Н., Попов А.Н., Волохонский Л. А. и Новожилов С. А.

126. Кудряшова Л.В., Орданьян С.С., Мальцева Л.Ф., Мармер Э.Н, Граков В.Е. Твердые растворы NbC-TaC - материал для изготовления нагревателей и футеровки / Доклад на VI конференции «Методы промышленного получения, свойства и области применения тугоплавких карбидов и композитов на их основе», 1982, февраль, г.Волжск.

127. Прокушин В.Н., Шубин А.А., Казаков М.Е. Свойства углеродных композиционных материалов для вакуумных высокотемпературных электропечей // Прогресс в атомной промышленности. 2001. № 1. С. 15.

128. Кржижановский Р.Е., Штерн З.Ю. Теплофи-зические свойства неметаллических материалов (кар-биды). Справочная книга. Л.: Энергия, 1976.

129. Коломоец Н.В. и др. // ЖТФ. 1958. Т. 28. С. 2382.

130. Физико-химические свойства элементов. Справочник. Под ред Самсонова Г.В. Киев: «Нау-кова думка», 1965.

131. Захаренко В.К., Полонский Ю.А. Повышение эффективности работы печей сопротивления с карбидокремниевыми электронагравателями // Электротехника. 1996. № 11. С. 36-38.

132. Андриевский Р.А., Спивак И.И. Прочность тугоплавких соединений и материалов на их основе. Справочник. Челябинск: Металлургия, 1989.

133. Открытие № 152, приоритет 25.10.2000 г. «Закономерность изменения приведенной молярной теплоемкости высокотемпературных соединений от числа атомов в этих соединениях (закономерность Мармера-Попова)», авторы: Мармер Э.Н., Попов А.Н., Гринберг Ю.М., Лебедев А.В. и Новожилов С. А.

134. Свойства элементов, в 2-х частях. Ч.1: Физические свойства. Справочник, 2-е изд. М.: Металлургия, 1976.

135. Смитлз К. Дж. Металлы. Справочное изд. Пер. с англ. М.: Металлургия, 1980.

136. Мармер Э.Н. Новый метод определения термодинамических и физико-химических параметров высокотемпературных материалов при 1500-2500 К // Материаловедение. 2001. № 9. С. 11.

137. Сб. «Свойства тугоплавких металлов и сплавов». ВИАМ, ОНТИ, 1963.

138. Seifert R.L. // Phys. Rev. 1948. Vol. 73, No. 10. P. 1181.

139. Воронин Н.И., Бейниш А.М. Труды ВИО, 1960. Вып. 29.

140. Андреева Н.А. Исследование диссоциативного испарения и спекания двуокиси циркония в вакууме. Автореферат кандидатской диссертации. Ленинград, 1968. С. 18.

141. Economos L. // Lnd. And Eng. Chem. 1953. Vol. 45, No. 2. P. 46.

142. Моргулис О.М., Усатиков И.Ф. // Огнеупоры. 1965. № 12. С. 42.

143. Самсонов Г.В. и др. // Изв. АН СССР, ОТН, Металлургия и горное дело. 1964. № 4. С. 106.

144. Мармер Э.Н., Буриков А.Г., Рабинович Е.М., Ольшанский Б.Н., Ольшанский А.Б. Массо-унос молибдена при нагреве листов из тугоплавких сплавов в вакууме // Цветные металлы. 1981. № 4. С. 85-86.

145. Jons W.E. Sympos. on vac. met., 1958, Perga-mon Press.

146. Kroll W.E., Schlechter A.W. // Trans. Elektro-chem. Soc. 1948. Vol. 93.

147. Johnson P. D. // J. Amer. Ceram. Soc. 1950. Vol. 33, No. 5. P. 168.

148. Каменецкий А.Б., Гулько Н.В., Гладкая Н.В. Электроизоляционный материал для электродов, работающих в вакууме // Огнеупоры. 1970. № 5. С. 50-53.

149. www.lanterm.ru

150. Приходько Л.И. Автореферат кандидатской диссертации. Киев, 1968.

151. Мармер Э.Н. Графоаналитический метод расчета эксплуатационных характеристик вакуумных электропечей сопротивления // Альтернативная энергетика и экология (ISJAEE). 2007. № 8 (52). С. 16-19.

152. Мармер Э.Е., Мурованная С.Г., Клыкова Р.С. Определение степени окисления при нагреве в вакууме // МиТОМ. 1971. № 7. С. 65-66.

153. Линецкий Б.Л., Крупин А.В., Опара Б.К. Безокислительный нагрев редких металлов и сплавов в вакууме. М.: Металлургия, 1985.

154. Мармер Э.Н., Мурованная С.Г., Вислобоков В.И. Разработка масла для закалки в вакуумных печах / Современное оборудование и технология термической и химико-термической обработки металлических материалов. Материалы семинара. М., МДНТП им. Ф.Э. Дзержинского, 1984. С. 82.

155. Мармер Э.Н., Вислобоков В.И., Пузанов А.Ф., Буриков А.Г. Способ вакуумной закалки стальных изделий. Авт. свид. СССР №840145 с приоритетом от 20.02.1981 г.

156. Футорянский Ю.В. Совершенствование технологии термической обработки деталей подшипников на ГПЗ-4 // МиТОМ. 1981. № 10. С. 31-34.

157. Шеремета В.К., Рудакова Н.Я., Чередниченко Г.И., Маскаев А.К., Оразова М.Р., Ткачук Т.И., Процедим П.С., Гарун Я.Е., Мармер Э.Н., Вислобоков В.И., Мурованная С.Г., Громова Н.С., Бойченко

А.В. Закалочное масло. Авт. свид. 1247423. Опубл. 30.07.86. БИ № 28.

158. Спектор Я.И., Бурдасова Т.А., Смирнов

A.М., Артемьева В.П., Мармер Э.Н., Вислобоков

B.И. Способ термической обработки стальных деталей. Авт. свид. № 1064629 от 30.06.1981 г., опубл. БИ № 14, 1997.

159. Шубин Р.П., Гринберг М.Я. Нитроцемента-ция деталей машин. М.: Машиностроение, 1975.

160. Мармер Э.Н., Вислобоков В.И., Пузанов А.Ф., Буриков А.Г. Способ вакуумной закалки стальных изделий. Авт. свид. СССР № 840145 от 30.06.1981. БИ № 23.

161. Мурованная С.Г., Ляхин Ю.П., Мармер Э.Н., Клыкова Р. С. Способ светлой закалки деталей. Авт. свид. № 388038 от 22.06.1973. БИ № 28, 1973.

162. Мурованная С.Г., Ляхин Ю.П., Мармер Э.Н., Клыкова Р.С., Курукин В.В., Гурвич О С. Вакуумная установка для термообработки изделий. Авт. свид. № 384894 от 29.05.1973. БИ № 25, 1974.

163. Боголюбов В.С., Усатый Ю.П., Кашин С.Н. Вакуумная цементация и закалка изделий автотракторной промышленности / Современное оборудование и технология термической и химико-термической обработки металлических материалов. М.: МДНТП им. Ф.Э. Дзержинского, 1986. С. 30-35.

164. Криштал М.А., Цепов С.Н. Свойства сталей после высокотемпературной вакуумной цементации // МиТОМ. 1980. № 6. С. 2-7.

165. Мармер Э.Н., Мурованная С.Г., Усатый Ю.П., Кальнер В.Д., Юрасов С.А., Попова А.И. Способ газовой цементации стальных деталей. Авт. свид. № 730875 от 20.04.1980. Опубл. в БИ № 16, 1980.

166. Мармер Э.Н., Усатый Ю.П., Хачатуров

C.С., Акимова А.Ю. Вакуумная цементация втулок из стали 12Х17 для шарошек буровых долот / Поверхностные методы упрочнения металлов и сплавов в машиностроении. Материалы семинара. М.: МДНТП им. Ф.Э. Дзержинского, 1983. С. 36-39.

167. Гадзырь Н.Ф., Гнесин Г.Г., Михайлик А.А., Бритун В.Ф. Свойства и структурные особенности нанокомпозитных порошков на основе БЮ // Порошковая металлургия. 1999. № 7-8. С. 12-16.

168. Иванов А.В., Потоскаев Г.Г., Пушкин В.В., Борисенко Н.И. Особенности применения вакуумных печей для предварительного и окончательного спекания в технологии твердых сплавов // Прогресс в атомной промышленности. Атомпресс. 2001. № 1. С. 22-26.

169. Мармер Э.Н., Балаклиенко Ю.М., Новожилов С.А., Хасанов О.Л., Двилис Э.С. Вакуумное спекание керамики из нанопорошков оксида циркония // Альтернативная энергетика и экология (ШАБЕ). 2007. № 6. С. 41-43.

170. Скороход В.В., Солонин С.М. Физико-метал-лургические основы спекания порошков. М.: Металлургия, 1984.

171. Otto G. Vaccuum sintering of stainless steel // Internat. J. Powder Met. and Powder Technology. 1975. Vol. 11, No. 1. P. 19-23.

172. Гегузин Я.Е. Физика спекания. М.: Наука, 1984.

173. Дзенеладзе Ж.И., Щеголева Р.П., Голубева Л.С. и др. Порошковая металлургия сталей и сплавов. М.: Металлургия, 1978.

174. Валликиви А.Ю. Кинетика усадки при спекании железографита ЖГр2 // Порошковая металлургия. 1978. № 12. С. 18-21.

175. Радомысельский И.Д., Шильдин В.В., Тка-ченко В.Ф. Влияние сред спекания на механические свойства порошковых наржавеющих сталей // Порошковая металлургия. 1981. № 7. С. 56-60.

176. Радомысельский И.Д., Шильдин В.В., Тка-ченко В.Ф. Влияние сред спекания на структурное состояние порошковых нержавеющих сталей // Порошковая металлургия. 1981. № 6. С. 82-86.

177. Сенотрусов С.К., Сыч В.Я., Чернявская С.Г., Отрощенко В.Г. Влияние вакуумного спекания на рафинирование стали Х18Н15 // Порошковая металлургия. 1980. № 7. С. 21-25.

178. Нельцина И.В., Радомысельский И.Д. Получение и свойства порошковой стали Х25 // Порошковая металлургия. 1982. № 12. С. 35-39.

179. Спеченные материалы для электротехники и электроники. Справочник. Под ред. Гнесина Г.Г. М.: Металлургия, 1981.

180. Быков И.Д., Дубров Г.Л., Бокий В.Ф. и др. Опыт изготовления инструмента из карбидосталей // Порошковая металлургия. 1984. № 5. С. 40-45.

181. Чарчян Г.З., Мидоян Ж.А., Андриасян А.А. Изучение некоторых технологических условий получения карбидосталей на основе быстрорежущей стали / Тезисы докладов XV Всесоюзной науч.-техн. конф. Киев: ИПМ АН УССР. 1985. С. 408-409.

182. Падалко О.В. Спеченные быстрорежущие стали // Порошковая металлургия. Итоги науки и техники. ВИНИТИ АН СССР. М. 1983. Т. 1. С. 3-76.

183. Пирог В.Д., Бабарицкий К.А. Изделия из порошков, выпускаемых Броварским заводом порошковой металлургии // Сталь. 1980. № 8. С. 89-91.

184. Самсонов Г.В., Ковальченко М.С. Горячее прессование. Киев: Госиздат техн. лит. УССР. 1962.

185. Гаршин А.П., Гропянов В.М., Зайцев Г.П., Семенов С. С. Керамика для машиностроения. М.: Научтехлитиздат, 2003.

186. Новожилов С.А. Оптимизация применения углеродных материалов в конструкциях высокотемпературных электропечей и разработка нового углеродного композиционного материала для нагревателей: автореф. канд. дисс. Москва, 2002.

187. Пушкин А. Л. Выбор конструкции нагревательного устройства к газостату // Серия «Электротермия». 1982. Вып. 12 (196). С. 8-11.

188. Викторов В. С., Пушкин А. Л. Теплофизиче-ские характеристики некоторых волокнистых материалов футеровок высокотемпературных электро-

печей для газостатов // Серия «Электротермия». 1984. Вып. 9 (259). С. 7-9.

189. Гутман М.Б., Пушкин А.Л., Мальтер В.Л., Викторов В.С., Тришкин В.Л. Газостаты с повышенной рабочей температурой // Серия «Электротермия». 1982. Вып. 11 (237). С. 8-10.

190. Разумов Л.Л., Костиков В.И., Гутман М.Б., Пушкин А.Л. Композиционные материалы углерод-углерод, особенности их производства и применения // Серия «Электротермия». 1983. Вып. 8 (246). С. 7-14.

191. Пушкин А.Л. Исследование конвективного теплообмена в газонаполненных компрессионных электропечах: автореф. канд. диссертации. М., 1978.

192. Линецкий Б.Л., Крупин А.В., Опера Б.К., Раков А.Г. Безокислительный нагрев редких металлов и сплавов. М.: Металлургия, 1985.

193. Гладков А. С., Амосов В.М., Копецкий Ч.П., Левин А.М. Металлы и сплавы для электровакуумных приборов. М.: Энергия, 1969.

194. Раковский В.С., Силаев А.Ф., Ходкин В.И., Фаткулин О.Х. Порошковая металлургия жаропрочных сплавов и тугоплавких металлов. М.: Металлургия, 1974.

195. Анциферов В.Н., Устинов В.С., Олесов Ю.Г. Спеченные сплавы титана. М.: Металлургия, 1984.

196. Воробьев Б.Я., Олесов Ю.Г., Дрозденко В.А. Производство изделий из титановых порошков. Киев: Техника, 1976.

197. Чернышев В.Н., Крупин А.В., Павлов И.М. и др. Влияние среды на показатели процессов прокатки / Прокатка штампов и биметаллов в вакууме. М.: Металлургия, 1968. Сб. XVI. C. 106-110.

198. Калачев В.А., Габидуллин Р.М., Пигузов Ю.В. Технология термической обработки цветных металлов и сплавов. М.: Металлургия, 1980.

199. Устинов В.С., Олесов Ю.Г., Дрозденко

B.А., Антипин Л.Н. Порошковая металлургия титана, 2-е изд. М.: Металлургия, 1981.

200. Жуков Л. Л., Племянникова И.М., Миронова М.Н. и др. Сплавы для нагревателей. М.: Металлургия, 1981.

201 Seybold A.V. Solid solubility of oxygen in co-lambium // J. Metals. 1954. Vol. 6. P. 774-776.

202. Finnemore D.K., Stromberg T.F., Swenson

C.A. Superconducting properties of high-purity niobium // Phys. Rev. 1966. Vol. 149. P. 231-243.

203. Бартель И., Бартель К-Х., Фишер К. и др. Сверхпроводимость и электронная структура сверхчистого ниобия. Получение сверхчистого ниобия // Физика металлов и металловедение. 1973. Т. 35, Вып. 5. С. 921-951.

204. Тантал, ниобий и их сплавы. М.: Металлургия, 1966.

205. тае science and technology of W, Mo, Ta, Nb and their alloys. Oxford: Pergamon Press, 1964. P. 588.

206. Гуревич Я.Б. Горячая прокатка металлов и сплавов в вакууме: автореферат докторской диссертации. М., 1969.

207. Богатырев Ю.М., Фигельман М.А. Электротермическая обработка молибдена // МиТОМ. 1972. № 11. С. 48-50.

208. Мармер Э.Н., Хазанов Э.Е., Синяков А.Ф., Липилина Л.Р. Спекание молибденовых штабиков в печах косвенного нагрева с графитовыми нагревателями. Применение вакуума в металлургии. М.: Изд-во АН СССР, 1963. С. 213-215.

209. Горбачев В.С. Спекание порошкового молибдена в вакуумных печах с нагревателями и футеровкой из графита / Порошковая металлургия. Минск: Высшая школа. 1966. С. 204-207.

210. Савицкий Е.М., Бурханов Г.С., Раскатов М.Н., Михайлов С.М. Эффект термоциклирования монокристаллов вольфрама, полученных электронно-лучевой зонной плавкой. М.: Наука, 1966. С. 89-96.

211. Мармер Э.Н., Балаклиенко Ю.М., Новожилов С.А., Хасанов О.Л., Двилис Э.С. Вакуумное спекание керамики из нанопорошков оксида циркония // ЖАЭЭ. 2007. № 6 (50). С. 41-43.

212. Мармер Э.Н., Новожилов С. А. Вакуумные электропечи с нагревательными блоками из углеродных композиционных материалов // Технология металлов. 2004. № 8. С. 42-45.

213. Мармер Э.Н., Падалко О.В., Новожилов С.А. О применении экологически чистых вакуумных электропечей сопротивления при получении карбидов кремния и титана из природного сырья // ЖАЭЭ. 2005. № 10 (30). С. 36-40.

214. Балаклиенко Ю.М., Мармер Э.Н., Новожилов С.А. Рафинирование углеродных нанотрубок и нановолокон в вакуумных электропечах сопротивления // ЖАЭЭ. 2005. № 10 (30) Б. С. 89-92.

215. Мармер Э.Н., Балаклиенко Ю.М, Новожилов С.А., Лебедев А.В. Вакуумные электропечи сопротивления для спекания особо высокотемпературных материалов атомной техники // ЖАЭЭ. 2005. № 3. С. 39-42.

216. Мармер Э.Н., Кривошеин Д.А., Вавилкина С.В., Колесников С.А. Определение электросопротивления нагревателей из композиционных углеродных материалов // Цветные металлы. 1989. № 6. С. 74-76.

217. Мармер Э.Н., Кривошеин Д.А. Электропроводность некоторых углеродных материалов // Химия твердого топлива. 1989. № 3. С. 116-123.

218. Мармер Э.Н., Кривошеин Д.А., Вислобоков

B.И. Термическая стойкость углеродных материалов, применяемых в конструкциях вакуумных печей сопротивления // МиТОМ. 1989. № 1. С. 28-29.

219. Мармер Э.Н., Кривошеин Д.А., Вавилкина

C.В., Колесников С.А. Влияние температуры термообработки на электросопротивление углерод-угле-родных композиционных материалов // Химия твердого топлива. 1988. № 1. С. 93-97.

220. Новожилов С.А. Некоторые свойства углеродных композиционных материалов, пропитанных карбидом титана. М.: Атомпресс, 2001. С. 27-29.

221. Буриков А.Г., Мармер Э.Н., Новожилов С.А., Блинов В.Н. Высокотемпературная печь сопротивления. Свидетельство № ЯИ4882 на полезную модель. Опублик. БИ, 1997, № 8.

222. Косолапова Т.Я., Андреева Т.В., Бартниц-кая Т.Б., Гнеси Г.Г., Макаренко Г.Н., Осипова И.И., Прилуцкий Э. В. Неметаллические тугоплавкие соединения. М.: Металлургия, 1985.

223. Рубинчик Л.Е. Водородные электрические печи. М.: Энергия, 1970.

224. Соседов В.П., Чалых Е.Ф. Графитация углеродных материалов. М.: Металлургия, 1987.

225. Мармер Э.Н., Мурованная С.Г., Усатый Ю.П., Кальнер В.Д., Юрасов С.А., Попов А.И. Способ газовой цементации стальных деталей. Авт. свид. № 730875, опубл. 03.05.80, БИ, № 16.

226. Аничкина Н.Л., Боголюбов В.С., Бойко В.В. Исследование свойств сталей при газовом, ионном и вакуумном азотировании // МиТОМ. 1989. № 7.

227. Лахтин Ю.М., Коган Я.Д., Шапошников

B.Н. Регулируемые процессы азотирования в тлеющем разряде / Прогрессивные методы химико-термической обработки. М.: Машиностроение, 1979. С. 142-147.

228. Рябченко С.В. Разработка процессов химико-термической обработки металлов тлеющим разрядом. М.: Машиностроение, 1979. С. 132-141.

229. Сошкин С.М., Лахтин Ю.М., Коган Я.Д. Строение диффузионного слоя при вакуумном азотировании // МиТОМ. 1984. № 7. С. 32-34.

230. Минков О.Б. Борирование высоколегированных сталей с использованием вакуумного нагрева / Поверхностные методы упрочнения металлов и сплавов в машиностроении. Материалы семинара. М.: МД НТП им. Ф.Э. Дзержинского, 1983. С. 8588.

231. Чатынян Л. А., Гурвич О.С., Мармер Э.Н., Минков О.Б. Особенности формования боридных покрытий на хромоникелевых аустенитных сталях // Трение и износ. 1982. Т. 3, № 2. С. 316-326.

232. Чатынян Л.А., Гурвич О.С., Мармер Э.Н., Минков О.Б. Влияние внутренних напряжений в боридных покрытиях высоколегированных сталей на их износостойкость в вакууме // Трение и износ. 1983. 7-8. Т. IV, № 4. С. 608-614.

233. Мармер Э.Н., Минков О.Б. Вакуумные печи для термообработки сталей // Электротехника. 1992. № 2. С. 12-14.

234. Орданьян С.С., Вихман С.В., Прилуцкий Э.В. Структура и свойства материалов системы БЮ-Т1Б2 // Порошковая металлургия. 2002. № 1-2.

C. 48-51.

235. Шипилова Л.А., Петровский В.Я. Структура, образование, электрофизические и механические характеристики электропроводного карбида кремния // Порошковая металлургия. 2002. № 3-4. С. 41-43.

236. Меерсон Г.А. Вакуум-термическое восстановление окислов тугоплавких металлов углеродом / Применение вакуума в металлургии. М.: Изд-во АН СССР, 1960. С. 115-123.

237. Балаклиенко Ю.М. Рафинирование углеродных наноматериалов от зольных примесей / Вакуумная техника - материалы и технологии. 3-я МНТ конференция. М., КВЦ Сокольники, 2008, март. С. 122-127.

238. Капустин Е.Н. Новое оборудование и перспективные разработки ООО «Вакууммаш» / Вакуумная техника - материалы и технологии. 3-я МНТ конференция. М., КВЦ Сокольники, 2008, март. С. 55-57.

239. Мармер Э.Н., Новожилов С.А., Балаклиенко Ю.М., Лебедев А.В., Падалко О.В. Экологически чистые электропечи для графитации и спекания высокотемпературных материалов и производства карбидов кремния и титана из природного сырья / Тезисы докл. семинара «Перевод промышленного предприятия в режим чистого (ресурсосберегающего) производства-потребления». М., 2004. С. 136-137.

240. Третьяков В.И. Основы металловедения и технологии производства спеченных твердых сплавов. М.: Металлургия, 1976.

241. Мальцева Л.Ф. Исследования некоторых физико-химических свойств тугоплавких карбидов в связи с перспективой их использования в элек-тропечестроении. Автореф. дисс. канд. техн. наук. Киев, 1967. С. 16.

242. Самсонов Г.В., Портной К.И. Сплавы на основе тугоплавких соединений. М.: Оборонгиз, 1961.

243. Самсонов Г.В. и др. // Огнеупоры. 1961. № 7. С. 335.

244. Фесенко В.В., Болгар А.С. // Порошковая металлургия. 1963. № 1. С. 17.

245. Мальцева Л.Ф., Лапшов Ю.К., Мармер Э.Н., Самсонов Г.В. Высокотемпературные нагреватели из карбидов ниобия и циркония // Порошковая металлургия. 1965. № 11(35). С. 87-93.

246. Самсонов Г.В., Киндышева В.С., Кислый П.С., Мальцева Л.Ф., Мармер Э.Н. Применение карбида ниобия в качестве нагревателей электропечей сопротивления // Технология и организация производства. Киев. 1970. № 1. С. 83-86.

247. Выписка из постановления правления НТС Машпрома от 16.12.1970 г. о присуждении премии имени П.Г. Соболевского.

248. Lindman W., Hamijan H. // Amer. Ceram. Soc. 1952. Vol. 35. P. 336.

249. Физико-химические свойства окислов. Справочник (под ред. Г.В. Самсонова). М.: Металлургия, 1969.

250. Самсонов Г.В., Падерно В.Н. // ЖПХ. 1963. Т. ХХХVI, вып. 12. С. 2759.

251. Мальцева Л.Ф., Мармер Э.Н. Исследование электросопротивления и теплопроводности некоторых тугоплавких соединений // Электротермия. На-учно-техн. сб. М., 1964. Вып. 31. С. 25-26.

252. Мальцева Л.Ф., Лапшов Ю.К., Мармер Э.Н., Самсонов Г.В. Высокотемпературные нагреватели из карбидов ниобия и циркония // Порошковая металлургия. 1965. № 11 (35). С. 87-93.

253. Граков В.Е., Кудряшова Л.В., Мальцева Л.Ф., Мармер Э.Н., Орданьян С.С. Спеченные материалы для нагревателей на основе карбида ниобия / Авт. свид. № 978606 с приоритетом 19.06.1979 г.

254. Мальцева Л.Ф., Кудряшова Л.В., Орданян С.С., Мармер Э.Н., Савранская Л.А., Граков В.Е. Исследование некоторых физико-технических свойств композиций NbC-TiC с добавками углерода / Доклад на VI конф. «Методы промышленного получения, свойства и области применения тугоплавких карбидов, сплавов и композиций на их основе». 16.02.1982. Волжск.

255. Хасанов О.Л. Методы ультразвукового ком-пактирования нанопорошков в технологии изготовления изделий из конструкционной и функциональной нанокерамики // Нанотехника. 2005. № 2. С. 29-36.

256. Khasanov O.L., Dvilis E.S., Sokolov V.M. Compressibility of the structural and functional ceramic nanopowders // Journ. of the European Cer. Soc. 2007. Vol. 27, № 2-3. P. 749-752.

257. www.irito.ru

258. Порошковая металлургия. Материалы, технология, свойства, области применения. Справочник. Киев: Наукова думка, 1985.

259. Григорьев О.Н., Прилуцкий Э.В., Трунов Е.Г., Козак И.В. Структура и свойства керамики на основе боридов вольфрама, титана и карбида бора // Порошковая металлургия. 2002. № 3-4. С. 35-40.

260. Мармер Э.Н., Вислобоков В.И., Викулин Л.М. Новая вакуумная электропечь СЭВФ-3.3/11,5 И3 // Отраслевой информационный сборник. 1988. Вып. 10 [10]. С. 1-2.

261. Минков О.Б., Сухарев А.В., Сухарев В.А. Вакуумное электропечное оборудование нового поколения // Metall Russia. 2008. С. 14-17.

262. Мармер Э.Н., Истомин Г.Н., Алферов В.В. Устройство для защиты смотровых окон от запыле-ния / Авт. свид. № 264103, заявл. 26.04.1968.

263. Истомин Г.Н., Фарбер Э.В., Мармер Э.Н., Будзинский О.З. Измерение температуры расплава в электронно-лучевой печи // Электротермия. 1970. Вып. 91. С. 16.

264. Коган А.В. Оптическая пирометрия для измерения малых тел // Электротермия. 1963. № 6. С. 38-41.

265. Мармер Э.Н., Егоров В.Г. Испытание новых приборов для измерения высоких температур // Электротермия. 1963. № 6. С. 15-17.

266. Авт. cвид. № 171416. Тейтельман А.Я., Охлопков В.М., Одиночкин В.Д. Устройство для защиты смотровых окон в высокотемпературных вакуумных установках // БИ. 1963. № 11.

267. Свет Д.Я., Куртев Н.Д. // Приборы и средства автоматизации. 1962. № 2. С. 53.

268. Свет Д.Я. // Измерительная техника. 1960. № 6. С. 26.

269. Альтшулер Я. А. и др. // Приборы и средства автоматики. 1963. № 10. С. 77.

270. Диффузионная сварка материалов. Справочник. Под ред. Казакова Н.Ф. М.: Машиностроение, 1981.

271. Кислый П. С. Высокотемпературные термопары. С. 177-184 [49].

272. Самсонов Г.В., Кислый П.С., Синельникова

B.С. Авт. свид. № 123331 // Бюлл. изобр. 1959. № 12.

273. Мармер Э.Н., Гурвич О.С., Мурованная С.Г. Исследования в области вакуумных электропечей для спекания постоянных магнитов // Электротермия, Труды ВНИИЭТО. Вып. 8.

274. Зацепин С.В. Поведение примесей внедрения при вакуумном отжиге трансформаторной стали и их влияние на вторичную рекристаллизацию: Автореферат канд. диссертации. М., 1970.

275. Ляхин Ю.П., Мармер Э.Н. Динамические уплотнения протяжных электропечей // МиТОМ. 1969. № 9. С. 63-67.

276. Лейканд М.С. Конструкции вакуумных электропечей сопротивления. М.: Госэнергоиздат, 1961.

277. Баринов Ю.М., Становой Ю.М., Касаткина Л.И. Усовершенствование нагревательной камеры электропечи СШВЛ-1.2,5/25 М01 // Электротермия. 1976. Вып. 10 (170). С. 11-12.

278. Жуков В.В., Мармер Э.Н., Хазанов Э.Е. Исследование основных узлов методических вакуумных электропечей с рабочей температурой до 1200° С // Электротермия. 1961. № 1. С. 9-11.

279. Пельц Б.Б., Мармер Э.Н. Вакуумная электропечь для спекания тугоплавких металлов и сплавов // Электротермия. 1961. № 2. С. 21-27.

280. Мармер Э.Н., Ковалев М.Н., Паршин Н.И., Соболев С.И., Кондратьев А.И., Шумов Д. С. Электротермическое оборудование для высокотемпературного нагрева в сверхвысоком безмасляном вакууме // Электронная техника, Сер. 1 «Электроника СВЧ». 1977. Вып. 2. С. 96-102.

281. Ковалев М.Н., Мармер Э.Н., Лютенко И.А., Фомин В.М. Печь со сверхвысоким вакуумом для термической обработки // Металловедение и термообработка металлов. 1970. № 8. С. 25-28.

282. Мармер Э.Н., Ковалев М.Н., Кондратьев А.И. Особенности конструирования сверхвысоко-вакуумных электропечей сопротивления // Электротермия. 1968. № 72. С. 44-46.

283. Макарычев И.И., Ковалев М.Н., Кондратьев А.И., Мармер Э.Н. Сверхвысоковакуумные электропечи сопротивления полунепрерывного действия. М.: Энергия. Труды ВНИИЭТО, Вып. 2.

C. 33-37.

284. Макарычев И.И., Кондратьев А.И. Сверх-высоковакуумные электропечи сопротивления. М.: Энергия, 1975.

285. Лейканд М.С. Конструкции вакуумных электропечей сопротивления и их узлов. М.: Гос-энергоиздат, 1961.

286. Мармер Э.Н., Поляк Г.В., Усатый Ю.П., Фомина В.А. Камерный вакуумный агрегат СНВА-5.10.5/7И1 для химико-термической и термической обработки // Электротермия. 1984. № 10 (260). С. 7-8.

287. Поляк Г.В., Усатый Ю.П., Электропечь СНВ-5.10.5/13И1 для вакуумной цементации // МиТОМ. 1986. № 12. С. 58-60.

288. Мармер Э.Н., Кузнецов Д.В. Методика усовершенствования вакуумных печей сопротивления // Альтернативная энергетика и экология (]ШАЕЕ).

2008. № 8. С. 38-42.

289. Маергойз И.И., Петрук А.П. Контролируемые атмосферы в электрических печах. М.: Энергия, 1971.

290. Рубинчик Л.Е. Водородные электрические печи. М.: Энергия, 1970.

291. Чередниченко В.С., Бородачев А.С., Артемьев В.Д. Электрические печи сопротивления. Том 2. Конструкция и эксплуатация электропечей сопротивления. Новосибирск: Изд-во НГТУ, 2006.

292. Чередниченко В.С., Бородачев А.С., Артемьев В.Д. Электрические печи сопротивления. Том 1. Теплопередача и расчет электропечей сопротивления. Новосибирск: Изд-во НГТУ, 2006.

293. Тимофеев И.И., Прядко Л.Ф., Самсонов Г.В. // Порошковая металлургия. 2008. № 1-2. С. 3-5.

294. Быков А.И., Тимофеев И.И., Клочков Л.А., Рачун А.И., Исаев Л.П., Урбанович В.С., Ристич М.М. Получение и особенности структуры нано-композитных систем Т1-Ы-В; Т1-Ы-С // Порошковая металлургия. 2008. № 1-2. С. 62-72.

295. Ковальченко М.С., Самсонов Г.В. Развитие работ по теории и технологии тугоплавких соединений и материалов на их основе // Порошковая металлургия. 2008. С. 5-11.

296. Мармер Э.Н., Кузнецов Д.В. Высокотемпературные вакуумные печи для спекания изделий атомной энергетики // Тяжелое машиностроение.

2009.

297. Мармер Э.Н., Балаклиенко Ю.М., Новожилов С.А., Хасанов О.Л. Спекание изделий из оксидов циркония и алюминия и из борида циркония. Отчет о совместной работе ВНИИЭТО и НТЦ «Спектр» ТПУ, июнь 2005 г.

298. Мармер Э.Н. Пятьдесят лет при вакуумных печах (прошлое в будущем). М., 2007.

299. Солонин М.И., Лякишев Н.П., Калин Б.А., Коновалов И.И. Перспективные материалы и технологии новых материалов атомной техники. М.: МИФИ, 2003.