РЕНТГЕНОВСКАЯ ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ С РАЗРЕШЕНИЕМ ПО ГЛУБИНЕ Текст научной статьи по специальности «Нанотехнологии»

КРАТКИЕ СООБЩЕНИЯ ПО ДОКЛАДАМ XVIII НАУЧНОЙ ШКОЛЫ-СЬМИНАРА

обусловленной. Решение в результате этого неустойчиво и существует бесконечное множество решении. Г1ре;шагается специальный алгоритм, основанный на регуляри-зационном методе.

Так как аппаратурное уширение. как правило, не известно, для его определения решается обратная задача для эталонного спектра. В данной работе использовапся К-сиектр фтора. Составляющие эталонного спектра, кроме аппаратурной кривой, известны. Спектры эталонного и исследуемого вещества снимаются в одинаковых условиях. Определив параметры функции Гаусса, описывающей аппаратурное уширение. можно решить задачу по исправлению на ширину возбуждающей Kai 2- линии, параметры которой берутся из таблиц, и аппаратурное уширение. чго делает спектр более контрастным Приведены результаты обработки экспериментальных данных.

РЕНТГЕНОВСКАЯ ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ С РАЗРЕШЕНИЕМ ПО ГЛУБИНЕ

А. С. ШУЛАКОВ

НИИ физики Санкт-Петербургского государственного университета.

Санкт-Петербург

В докладе рассмотрены вопросы, езязанные с глубиной генерации и выхода характеристического рентгеновского излучения, возбуждаемого электронным ударом. Найдены способы теоретического описания зависимости глубины формирования излучения от энергии первичных электронов для двухслойных и многослойных структур, позволяющие организовать количественное изучение распределений химического и фазового состава по глубине. Приводятся результаты теоретического и экспериментального исследований ряда модельных и натуральных систем. Показано, что с помощью

\ i

простых приемов можно обеспечить высокую поверхностную чувствительность рентгеновской эмиссионной спектроскопии, сравнимую с поверхностной чувствительностью фотоэмиссионной спектроскопии.

РЕНТГЕНОВСКАЯ ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ И ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ ДИФРАКЦИЯ ПОВЕРХНОСТИ РАЗДЕЛА ТИТАН-ГАЗ: эксперимент и теория

М.В. КУЗНЕЦОВ, Е.В. ШАЛАЕВА. H.H. МЕДВЕДЕВА, А.Л. ИВАНОВСКИЙ

Институт химии твердого тела УрО РАН, Екатеринбург

Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФЭС) является сегодня одним из наиболее универсальных методов изучения поверхности и процессов, протекающих на поверхности твердых тел. К достоинствам РФЭС относят, в частности, чувствительность данного метода к поверхности, возможность качественного и количественного анализа практически всех элементов периодической таблицы, информативность в установлении

ХИМИЧЕСКАЯ ФИЗИКА И МЕЗОСКОПИЯ ТОМ 2, № 2

23!