Научная статья на тему 'Оптимизация управления многомерным процессом выращивания монокристаллов'

Оптимизация управления многомерным процессом выращивания монокристаллов Текст научной статьи по специальности «Электротехника, электронная техника, информационные технологии»

CC BY
65
21
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.
Ключевые слова
ОПТИМИЗАЦИЯ / УПРАВЛЕНИЕ / МОНОКРИСТАЛЛ / ДЕКОМПОЗИЦИЯ / МОДЕЛЬ / ФУНКЦИОНАЛ / КАЧЕСТВО / УСТОЙЧИВОСТЬ / SINGLE-CRYSTAL / GROWTH / MANAGEMENT / OPTIMIZATION / SYSTEM / MODEL / DECOMPOSITION / QUALITY / STABILITY

Аннотация научной статьи по электротехнике, электронной технике, информационным технологиям, автор научной работы — Суздаль В. С., Епифанов Ю. М., Тавровский И. И.

Приведены результаты оптимизации управления многомерным процессом выращивания крупногабаритных монокристаллов на основе оптимального размещения множества собственных значений замкнутой системы, декомпозиции модели исходной системы и взаимосвязи модального и оптимального подходов к синтезу обратной связи в целях обеспечения заданных требований качества и устойчивости переходных процессов управления

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Похожие темы научных работ по электротехнике, электронной технике, информационным технологиям , автор научной работы — Суздаль В. С., Епифанов Ю. М., Тавровский И. И.

iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Optimization of managing multidimensional process of singlecrystal growth

The use of opportunities of systems of non-adaptive control, in particular, modal for high-quality management of linear dynamic objects is considered, and some results of our research in this field are given in the paper. The main objective of the research is to solve the problem of synthesis of stabilization law for a multidimensional control object based on the use of knowledge in the field of management, obtained from various sources, for the technological process of single-crystal growing by the Chokhralsky method on “GROWTH” setups. Current methods and means of ensuring the specified requirements to the management process imply distribution of matrix eigenvalues or transfer matrixes of a closed-loop system in the given points and areas, optimization of transients in the closed-loop system.The methods for stabilization of a condition of multidimensional object using the system, providing the implementation of the specified requirements to the management process on the basis of decomposition of the model of the growth process as a control object, are considered in the paper. The proposed method with the use of graphic representation of the sensitivity function for the analysis allows to obtain important information on high-quality management of the system for the obtained matrix components of this system.The algorithm of choosing the most appropriate matrix components for the model of the particular control object is presented. We propose to use this method for the increase in the accuracy of maintaining thermal conditions of the crystal growth, both in the stationary environment, and at the maximum perturbations of modes, with the purpose of improving the efficiency of management systems by modern growth setups in conditions of producing these single-crystals.The research results can be applied by specialists in the field of robust modal management of material, energetic and informational flows in the systems of management of modern technological processes, introduced into the technical environment of these technological processes

Текст научной работы на тему «Оптимизация управления многомерным процессом выращивания монокристаллов»

3. Kasik V. FPGA Based Digital Logic Emulator for Educational Purposes [Текст] / Vladimir Kasik, Ibrahim Salem Jahan, Ales Kurecka // 2011 International Conference on Software and Computer Applications. - Singapore: IACSIT Press, 2011. - Vol.9. - PP. 23-27.

4. Маслов А. Комплекс для разработки и отладки проектов автоматизированных систем управления технологическими процессами [Текст] / А. Маслов, А. Висков // Современные технологии автоматизации. - 2001. - №3. - С. 68-76.

5. Сызранцев В. Н. Компьютерные тренажеры для обучения студентов нефтегазового направления [Текст] / В. Н. Сызранцев, М. Д. Гаммер, К. М. Черезов // Бурение и нефть. - 2006. - №10. - С. 34-36.

6. Okolnishnikov V. Development of process control systems with the use of emulation models [Текст] / Victor Okolnishnikov // International journal of mathematics and computers in simulation. - 2011. - Issue 6, Volume 5. - PP. 553-560.

7. Заквасов В. В. Програмно-апаратний комплекс для дослідження дискретних технологічних процесів (конструкція та віртуальна модель) [Текст] / В. В. Заквасов, А. Л. Перекрест, С. О. Горбатко, С. В. Заквасова, Г. В. Замарєв // Вісник КДУ імені Михайла Остроградського. - 2010. - Випуск 4(63). Частина 3. - C. 172-175.

8. Папінов В. М. Гібридні моделі асу тп комп’ютеризованих лабораторних стендів [Текст] / В. М. Папінов // 13-а міжнародна конференція з автоматичного управління - Автоматика-2006, 25 - 28 вер. 2006р. - Вінниця, 2006. - С. 467.

9. Liliana Fernández-Samacá. La emulación y la experimentación remota como recursos de apoyo en un enfoque de aprendizaje basado en proyectos para sistemas de control = Emulation and remote experimentation as support resources in a PBL approach for control systems [Текст] / Liliana Fernández-Samacá, José Miguel Ramírez Scarpetta, Martha Lucia Orozco-Gutiérrez // Rev. Fac. Ing. Univ. Antioquia. - 2010. - № 55 - PP. 194-202.

10. Ramírez J. A platform for signals and systems internet-based education [Текст] / J. Ramirez, E. L. Caicedo, C. Pinedo, E. Bacca, C. Ramos // Inted conference. - Valencia, 2008. - PP. 1-8.

------------------□ □--------------------

Наведено результати оптимізації управління багатомірним процесом вирощування великогабаритних монокристалів на основі оптимального розміщення безлічі власних значень замкнутої системи, декомпозиції моделі вихідної системи й взаємозв’язку модального й оптимального підходів до синтезу зворотного зв’язку з метою забезпечення заданих вимог якості й стійкості перехідних процесів управління

Ключові слова: оптимізація, управління, монокристал, декомпозиція, модель, функціонал, якість, стійкість

□----------------------------------□

Приведены результаты оптимизации управления многомерным процессом выращивания крупногабаритных монокристаллов на основе оптимального размещения множества собственных значений замкнутой системы, декомпозиции модели исходной системы и взаимосвязи модального и оптимального подходов к синтезу обратной связи в целях обеспечения заданных требований качества и устойчивости переходных процессов управления

Ключевые слова: оптимизация, управление, монокристалл, декомпозиция, модель, функционал, качество, устойчивость ------------------□ □--------------------

УДК 621.3.078.3

ОПТИМИЗАЦИЯ

УПРАВЛЕНИЯ

МНОГОМЕРНЫМ

ПРОЦЕССОМ

ВЫРАЩИВАНИЯ

МОНОКРИСТАЛЛОВ

В. С. Суздал ь

Доктор технических наук, старший научный сотрудник,

заведующий лабораторией* E-mail: suzdal @ isma.kharkov.ua Ю. М. Епифанов Кандидат технических наук, старший научный сотрудник* E-mail: epiphanov @ isma.kharkov.ua И. И. Тавровский Кандидат технических наук* E-mail: tawr @ isma.kharkov.ua *Лаборатория систем управления, младший научный сотрудник Институт сцинтилляционных материалов НАН Украины пр. Ленина, 60, г. Харьков, Украина, 61001

1. Введение

Крупногабаритные щелочно-галоидные (ЩГК) монокристаллы выращивают в промышленности методом

Чохральского на установках типа «РОСТ». Качество ЩГК определяется стабильностью массовой скорости его роста. Эта скорость косвенно оценивается по диаметру растущего монокристалла, который и стабили-

Е

© В. С. Суздаль, Ю. М. Епифанов, И. И. Тавровский, 2013

зируется в процессе управления выращиванием. При выращивании крупногабаритных щелочно-галоидных монокристаллов предъявляются жесткие требования к точности стабилизации диаметра монокристалла, устойчивости и качеству управления ростом, поэтому в процессе выполнения этих требований решается основная проблема эффективности кристаллизации. Вопрос о создании эффективных систем оптимального управления промышленными технологиями выращивания ЩГК до настоящего времени по-прежнему стоит остро.

2. Анализ исследований и публикаций

На ростовых установках практически реализованы процессы управляемой кристаллизации, с использованием для управления информации о положении уровня расплава, который используется для оценки диаметра растущего кристалла [1]. При выполнении требований к качеству управления объектом, определяющим моментом принята точность стабилизации диаметра, характеризующаяся, в том числе, и качеством переходного процесса на всем интервале времени решения целевой задачи. В практике решения задачи стабилизации (частный случай задачи модального управления - управления спектром) используется ряд методов, которые можно распределить следующим образом:

- критерий управляемости Калмана [2] для формулировки и решения математически строгой задачи модального управления обыкновенными многовходовыми линейными системами [3];

- использование LMI- областей [4 - 6] для выполнения требований на размещение собственных значений матриц замкнутой системы;

- синтез стабилизирующего регулятора Н„ - методом формирования контура [7] (робастное модальное управление) с размещением тех или иных нулей передаточной функции замкнутой системы [8];

- размещение собственных значений матриц замкнутой системы и оптимизация [9].

3. Формирование целей и задач синтеза законов управления процессом

Особое внимание в настоящее время уделяется исследованиям, устанавливающих связь модального и оптимизационного подходов к синтезу обратной связи в целях обеспечения заданных требований качества и устойчивости переходных процессов управления выращиванием ЩГК.

Для линейного стационарного объекта управления эта задача может быть решена методами конструирования системы оптимального квадратичного управления.

Известно, что квадратичная оптимизация в линейных системах определяет матрицу коэффициентов обратной связи К, обеспечивающей устойчивость матрице состояния замкнутой системы А-ВК в случае стабилизируемости пары (А, В). Основная проблема состоит в том, что матрице состояния свойственна недостаточная робастность оптимального управления,

связанная, прежде всего, с размещением собственных значений оптимальной системы.

С другой стороны, известно, что синтез обратной связи с помощью модальных методов осуществить гораздо проще, чем определить оптимальное квадратичное управление путем решения уравнения Лурье-Риккати. Исходя из этого, полученное более простым путем управление, как правило, не будет оптимальным.

Целью настоящей работы является решение задачи синтеза закона стабилизации для многомерного процесса выращивания монокристаллов в области его стационарности.

Для достижения поставленной цели необходимо обеспечить оптимальное, в смысле минимума линейно-квадратичного функционала, размещение собственных значений замкнутой системы для системы управления процессом кристаллизации.

4. Описание объекта управления системы

Задача назначения собственных значений в линейных динамических системах в той или иной постановке рассматривалась в многочисленных работах [3 - 9]. Управление такими системами является классической задачей обеспечения некоторых заданных требований к процессу управления, а, именно: (а) на размещение собственных значений матриц замкнутой системы в заданных точках или областях [4 - 6]; на размещение собственных значений и нулей передаточной матрицы замкнутой М1МО-системы [3, 7, 8]; (с) обеспечение требований к переходным процессам в замкнутой системе и оптимизация, например, в смысле минимума заданного функционала [9]. При выдвижении дополнительных требований полной управляемости и полной наблюдаемости системы [2] требование (а) распространяется на все известные постановки задачи стабилизации и выражается в постановках модального управления [3, 8].

В основе метода стабилизации состояния объекта путем обеспечения выполнения требований (а), (с), лежит специфическая декомпозиция модели системы

[10].

Пусть задана математическая модель объекта управления (ОУ) в пространстве состояний в виде линейной стационарной системы

х^) = Ах^) + Ви^),х(0) = х0, (1)

УОО = СхОО, (2)

где х^) є Я" - п-мерный вектор состояния сис-

темы, х0 - его начальное состояние; и^) єЯт -т-мерный вектор управления и у^) є Я4 - д-мер-ный вектор контролируемых координат. Реализацию в пространстве состояний (1), (2) обозначим тройкой матриц (А, В, С). Управление в системе с обратной связью вида

и = Кх^), (3)

где К - постоянная матрица коэффициентов усиления.

3

Моделирование процесса выращивания как объекта управления, проводилось на примере получения крупногабаритных монокристаллов CsJ методом Чохральского.

Процесс выращивания рассматривался как двумерный линейный стационарный объект управления с двумя входными величинами - температура основного Td и температура дополнительного нагревателя ТЬ и двумя выходами - диаметр кристалла Ds и температура подпиточного расплава Тр

[11]. Матричная передаточная функция этого ОУ -Ж

В пространстве состояний ОУ имеет следующие матрицы

А =

—L

В =

В =

х1 х2 х3 х4

х1 0 -1.548 0 0

х2 1 -5.453 0 0

х3 00 0 -0.4322

х4 00 0.5 -3.124

и1 и2

х1 -0.5019 2.142

х2 0.2637 5.573 ,

х3 0.2915 - 0.3939

х4 1.699 - 0.8284

с=

х1 х2 х3 х4

у1 0 4 0 0

у2 0 0 2 0

5. Синтез системы и результаты обеспечения заданных требований

В основе оптимального размещения собственных значений замкнутой системы лежит предложенный в [10] метод декомпозиции модели исходной системы и установленная взаимосвязь модального и оптимального подходов к синтезу обратной связи в целях обеспечения заданных требований качества в виде функционала Летова-Калмана и устойчивости переходных процессов управления.

Декомпозиция многомерной системы, представляемой парой матриц А и В, содержит L = сеП(п / т) -1 уровней декомпозиции, где сеП(*) - операция округления числа * в сторону большего значения. Для рассматриваемого ОУ 1=1.

Обозначим для матрицы М: М+ - псевдообратная

--L

матрица Мура-Пенроуза; М - левый делитель нуля; —п

М - ортогональный делитель нуля. Причем матри-

L L П

цЫ та^ что М -М = °(п_т)хт , М 'М = 1п-т.

Уровни декомпозиции:

- нулевой: А и В;

—L — ТЪ —L

- первый: А1 = В АВ , В1 = В АВ .

В рассматриваемой системе, согласно принятым обозначениям, имеем:

для матрицы В (нулевой уровень декомпозиции) -

—ТЪ

В =

0.5142 -0.1269 1 0 2.8810 -0.9587 0 1

7.5366 -0.9979

22.6480 -4.0418

для первого уровня декомпозиции

А1 =

-3.3096 0.5466 ' , В1 = -0.6979 -0.4928"

iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.

10.1454 -2.1433 -4.4782 4.6117

В [10] показано, что для полностью управляемой рассматриваемой многомерной системы (1) и матрицах коэффициентов усиления

К = В-А - Р0В- , В- = К1В + В+ , К1 = В1-А1 - ВД , В- = В+ ,

(4)

(5)

справедливо утверждение относительно множества собственных значений (спектра) матриц замкнутой системы:

eig(A - ВК) = eig(F0) и е^),

(6)

т. е. регулятор, заданный матричными соотношениями (4), (5) обеспечивает выполнение условия заданного размещения собственных значений (6).

С другой стороны, для замкнутой непрерывной многомерной системы матрица регулятора К* является оптимальной в смысле минимума квадратичного функционала качества Летова-Калмана:

J =1Ї(хТЦх + иТЯи^ ,

(7)

где ЦТ = Q > 0, ЯТ = Я > 0, т.е. удовлетворяет алгебраическому уравнению Риккати:

АТР+РА - РВЯ-1ВТР + Q = 0 ,

и Р - (строго) положительно-определенная симметрическая матрица, если и только:

1. eig(A - ВК*) < 0 , т. е. замкнутая многомерная система является асимптотически устойчивой;

2. К*В > 0, т.е. матрица К*В является (строго) положительно-определенной симметрической матрицей.

Оптимальный регулятор в смысле минимума функционала (7) имеет вид

Кор1 = (К1В + В+ )А - Р^В + В+),

^ = (К1В + В+ )АВ -а1т,

(8)

(9)

Е

где матрица Рор1 удовлетворяет линейному матричному уравнению (неравенству) Рор -(К1В + В+ )АВ < 0 и условию eig(Fopt) с С*ьЬ, СЛЬ - левая полуплоскость комплексной плоскости, а> Яе(Хтах(К1В + В+ )АВ) . Здесь Яе(Хтах(К1В + В+ )АВ) - действительная часть максимально удаленного от мнимой оси вправо собственного значения матрицы (К1В + В+ )АВ єЯтхт, в которой псевдообратные матрицы Мура-Пенроуза для уровней декомпозиции представлены следующим образом:

В+ =

В+ =

-0.1338 0.1338 0.0858 0.5136

0.0546 0.1569 -0.0081 -0.0068

-0.8500 -0.0908 -0.8254 0.1286

Кор1 =

Р =

opt

0.4537 0.0256 -0.2427 1.4608 0.4691 0.2268 -0.0275 0.1081

0.1594 -3.4939 0.2115 -3.3693

Wopt(1,1) =

1.055р3 + 3.597р2 + 12.08р + 0.8305

о,Л р4 + 12.96р343.36р2 + 14.65р + 0.8344 ’

(1 2) = 22.29р3 + 127р2 + 34.81р +1.838

opt( , ) = р4 + 12.96р343.36р2 + 14.65р + 0.8344 ,

(2 1) = 3.398р3 + 26.26р2 + 11.45р + 0.4208 opt( , ) = р4 + 12.96р343.36р2 + 14.65р + 0.8344 ,

(2 2) = -1.657р3 - 13.06р2 - 8.588р -0.7838 opt( , ) = р4 + 12.96р343.36р2 + 14.65р + 0.8344 .

На рис. 1 приведена переходная характеристика замкнутой системы для канала управления ^,р|.(1,1) «диаметр монокристалла - температура основного нагревателя».

На рис. 2 для этого же канала показаны функции чувствительности S и дополнительной чувствительности Т (сплошная линия).

Согласно описанию в пространстве состояний ОУ, задаем:

р = [-1 -0.05; -0.059 -4.7034],

еій(Р1) = [-0.9992; -4.7042].

Тогда матрицы коэффициентов обратной связи и регулятора, обеспечивающие оптимальное размещение собственных значений в задаче стабилизации объекта, запишутся следующим образом:

К1 = [1.0003 -0.3543; 0.1044 -0.1272],

150

200

250

Т, мс

Рис. 1. Переходная характеристика замкнутой системы: изменение амплитуды А (в относительных единицах) реакции системы на входное воздействие, в зависимости от времени Т (мс) переходного процесса

eig(Fopt) = [-0.0641; -3.1458].

Замкнутая система с регулятором Кор|.

Wopt = с (рІ4 - А + ВКо^ )-1В.

Компоненты матричной передаточной функции W по каналам управления:

Ю0 частота (рад/с)

Рис. 2. Результаты оценки качества управления системой по функциям Т и S: значения сингулярных чисел о, дБ, в зависимости от частоты (рад/с); наклон функций — в децибелах на декаду (дБ/дек)

Результаты синтеза, согласно рис. 1 характеризуют удовлетворительную оценку совместимости требований между качеством переходных процессов и робастной устойчивостью замкнутой системы: А=1 о.е., Т = (150-200) мс.

Из графиков представленных на рис. 2 следует, что функция чувствительности S имеет наклон примерно 20 дБ/дек на низких частотах ((10-3-210-1) рад/с) и остается с наклоном, меньше 0 дБ для частот около 100 рад/с, без наклона этой функции на более высоких частотах.

Тем самым, обеспечивается удовлетворительное подавление возмущений на низких частотах и низкая колебательность замкнутой системы. Это очень важно, так как в рассматриваемой системе основное возмущение на низких частотах - это колебания уровня расплава с частотой 1.0-5.0 рад/с.

Анализ функции дополнительной чувствительности Т показывает аналогичные результаты: в си-

3

стеме будет обеспечено подавление высокочастотных внешних возмущений (наклон функции, около -20 дБ/дек на высоких частотах), в частности, шумов измерений, высокое демпфирование замкнутой системы.

В целом, анализ с использованием аппарата чувствительности показывает, что оптимальная система обладает робастной устойчивостью и всегда будет асимптотически устойчивой для полученных в результате моделирования параметров этой системы, выбор которых не составляет больших сложностей.

6. Выводы

На основе установленной взаимосвязи модального и оптимального подходов к синтезу управления в целях обеспечения заданных требований качества и устойчивости переходных процессов и декомпозиции модели системы управления выращиванием крупногабаритных щелочно-галоидных монокристаллов, решена задача синтеза системы управления с оптимальным в смысле минимума линейно-квадратического функционала размещением множества собственных значений замкнутой системы.

Литература

1. Рост кристаллов [Текст]: монография / В. И. Горилецкий, Б. В. Гринев, Б. Г. Заславский и др. — Х. : АКТА, 2002. — 535 с.

2. Kalman, R. E. Contributions to the theory of optimal control [Текст] / R. E. Kalman // Bulletin de la Sociedad Matematica Mexi-cana. —1960. — № 5. — P. 102—119.

3. Wonham, W. M. On pole-assignment in multi-input controllable systems [Текст] / Wonham W. M. // IEEE Trans. Automat. Control. -1967. - V. 12, № 6. - P. 660-667.

4. Skelton, R. E. An unified algebraic approach to linear control design [Текст] / R. E. Skelton, T. Iwasaki, K. Grigoriadis. - London : Taylor&Francis Ltd., 1998.

5. Chilali, M. H~ design with pole placement constraints: an LMI approach [Текст] / M. Chilali, P. Gahinet // IEEE Trans. Automat. Control. -1996. - V. 41, № 3. - P. 358-367.

6. Scherer, C. Multiobjective output-feedback control via LMI optimization [Текст] / C. Scherer, P. Gahinet, M. Chilali / / IEEE Trans. Automat. Control. -1997. - V. 42. - P. 896-911.

7. Mcfarlane, D. C. Loop Shaping Design Procedure Using И» Synthesis [Текст] / D. C. Mcfarlane, K. Glover // IEEE Trans. Au-tomat. Control. -1992. - V. 37, № 6. - P. 759-769.

8. Kailath, T. Linear systems. Englewood cliffs [Текст] / T. Kailath. - NJ : Prentice Hall, 1980.

9. Iracleous, D. P. A simple solution to the optimal eigenvalue assignment problem [Текст] / D. P. Iracleous, F. T. Alexandridis //

IEEE Trans. Automat. Control. - 1999. - V. 44, № 9. - P. 1746-1749.

10. Зубов, Н. Е. Оптимизация законов управления орбитальной стабилизации космического аппарата [Текст] / Н. Е. Зубов,

Е. А. Микрин, С. С. Негодяев, В. Н. Рябченко, А. В. Лапин // ТРУДЫ МФТИ. - 2012. - Т. 4, № 2. - С. 164-176.

11. Суздаль, В. С. Параметрическая идентификация VARMAX моделей процесса кристаллизации крупногабаритных монокристаллов [Текст] / В. С. Суздаль, Ю. М. Епифанов, А. В. Соболев, И. И. Тавровский // Нові технології : Науковий вісник Кременчуцького університету економіки, інформаційних технологій і управління. - 2009. - № 4 (26). -С. 23-29.

Е

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.