CC BY
50
Известия ТРТУ
Специальный выпуск
иые методы окисления карбида кремния. Одним из таких методов является быстрый термический отжиг (БТО). Поскольку окисление карбида кремния достаточно трудоемкий и сложный процесс, то моделирование процесса окисления с использованием БТО является актуальной задачей.
За основу при формировании модели окисления SiC была взята модель Дила-Гроува [2], в которой были учтены дополнительные факторы, связанные с геометрией реакционной камеры, возбуждением газовой фазы и поверхности карбида , SiC, -
го электрического поля.
Основные составляющие модели включают в себя соответствующие модули: для расчета облученности пластины с учетом геометрических размеров реактора и спектра поглощения материала, для расчета концентрации активных частиц атомарного, молекулярного кислорода, а также озона у поверхности SiC и внутренних .
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
1. Jorgensen P. J., Wadsworth M.E., Cutler J.B. Silicon carbide - a high temperature semiconductor. Pergamon Press. London, 1960. 241 p.
2. Колобов НА., Самохвалов M.M. Диффузия и окисление полупроводников. - М.: Металлургия, 1975. - 456 с.
УДК 636.083.52:621.373.14
М.Д. Скубилин
О ПРЕОБРАЗОВАНИИ ЭНЕРГИИ ВОЛН МОРЯ В ЭЛЕКТРИЧЕСКУЮ
ЭНЕРГИЮ
Энергообеспечение автономных необслуживаемых источников информации
,
, ,
трудоемко, и экономически невыгодно, и экологически небезопасно. Альтернативой сменным гальваническим элементам электропитания или аккумуляторам, нуждающимся в периодической подзарядке, может стать устройство с пьезоэлектрическими преобразователями волнения поверхности моря в электрическую энергию.
Известна энергетическая установка морского базирования, содержащая заякоренное плавучее средство с противовесом, расположенные в корпусе плавучего средства сквозная шахта и турбоэлектрогенератор постоянного тока. Её недостатки
- значительные габаритно-весовые характеристики, сложность аппаратурной реа-
, , -
дежность в работе.
Предлагается устройство преобразования энергии волн моря в электрическую энергию, содержащее плавучее, с противовесом, средство, состоящее из двух и более подвижно сопряженных элементов, способных при волнении моря совершать вращательные или возвратно-пос^пательные колебания друг относительно
друга, в элементах плавучего средства - пьезоэлектрические преобразователи, вы, -
, , -
ство, соединенный с выходами всех выпрямителей тока, и преобразователи механических колебаний сопряженных элементов плавучего средства в дискретные
Секция технологии микроэлектронной и наноэлектронной аппаратуры
силовые воздействия на пьезоэлектрические преобразователи, механически контактирующие с сопряженными элементами плавучего средства и одноименными пьезоэлектрическими преобразователями.
В этом устройстве, при волнении поверхности моря, элементы плавучего средства совершают колебания друг относительно друга, которые преобразуются в дискретные силовые воздействия ^*(1) на пьезоэлектрические преобразователи, а по каждому воздействию ^*(1) генерируется электродвижущая сила Д1), на выходе выпрямителя протекает ток /(1), а в накопителе накапливается электроэнергия ^(1). Накопленная в накопителе электроэнергия постоянного тока приемлема для ис-
.
Будучи установленным на объекте морского базирования, устройство, даже при коэффициенте полезного действия пьезоэлектрических преобразователей в пределах 0,10^0,20, за счет последовательно во времени генерируемых импульсов
тока накапливает электрическую энергию, достаточную для информирования по, -
вания буйковой автоматической метеорологической станции, об опасности района плавания в точке установке буя или о перемещении плавучего автономного научно-исследовательского объекта (о координатах пребывания, направлении и скоро).
Преимущества использования предлагаемых способа и устройства преобразования энергии волн моря в электрическую энергию состоят в том, что они работоспособны в автономном режиме неограниченно по времени суток и года, просты , -
виях их производства, надежны и долговечны в эксплуатации, не нуждаются в обслуживании до физического износа, обладают повышенной экологической чисто, .
