CC BY
53
Раздел V. Оборудование и приборы для нанотехнологий
Раздел V. Оборудование и приборы для нанотехнологий
УДК 621.38
А.Н. Алексеев, И.А. Соколов, О.А. Агеев, Б.Г. Коноплёв
КОМПЛЕКСНЫЙ ПОДХОД К ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМУ ОСНАЩЕНИЮ
ЦЕНТРА ПРИКЛАДНЫХ РАЗРАБОТОК. ОПЫТ РЕАЛИЗАЦИИ В НОЦ «НАНОТЕХНОЛОГИИ» ЮФУ
Обеспечение выполнения российскими научно-образовательными и исследовательскими центрами широкого класса задач в области создания перспективных полупроводни-, , оснащенными технологиями и оборудованием, является чрезвычайно актуальной задачей.
Разработка современных приборов на основе перспективных наногетероструктур, с последующей постановкой их серийного производства на отечественных промышленных , -менного технологического оборудования и технологической поддержки.
На сегодняшний день, при поддержке Минобрнауки России SemiTEq создает ключе" ",
R&D центров.
Нанолаборатория; наногетероструктура; полупроводниковые приборы; МПЭ; pHEMT-mparnucmop.
A.N. Alexeev, LA. Sokolov, O.A. Ageev, B.G. Konoplev
COMPREHENSIVE APPROACH TO TECHNOLOGICAL EQUIPPING FOR R&D CENTER. THE EXPERIENCE IN IMPLEMENTING OF SEC «NANOTECHNOLOGY» SFU
The most urgent problem today for the Russian R&D centers is to provide advanced "Nanolabs", complete with the latest technology and equipment, providing solutions for a wide class of problems in the field of semiconductor devices.
Development of modern devices based on advanced nanoheterostructures, with following statement of their production to the domestic industrial enterprises, greatly hampered by the lack of adequate modern technological equipment and technological support. Nowadays, with the support of the Ministry of Education and Science of the Russian Federation SemiTEq creates a key product "Nanolab" which is a complete solution for R & D centers.
Nanolab; nanoheterostructure; semiconductor devices; MBE; pHEMT-transistor.
Разработка современных приборов на основе перспективных наногетероструктур, с последующей постановкой их серийного производства на отечественных
,
адекватного современного технологического оборудования и технологической поддержки. В настоящее время требуется переоснащение технологических лабораторий в значительной части исследовательских центров и подавляющем числе ву.
оснащение таких центров должны лежать следующие принципы:
♦ создание замкнутого тех нологического комплекса, способного решать определённые приборные задачи в выбранных областях;
♦ обеспечение необходимой инфраструктуры, оптимизированной по эксплуатационным затратам;
♦ трансфер базовых технологических процессов на каждой единице оборудования и программа технологического тренинга персонала для эффективного запуска линейки оборудования.
Примером реализации такого проекта может выступать комплексное оснащение НОЦ «Нанотехнологии» ЮФУ технологическим оборудованием, сконфигурированным под выполнение прикладных разработок по созданию приборов СВЧ-микроэлектроники и МЭМС.
Внедрение в производство приборов, основанных на современных наногетеро-, -ленности от зарубежных конкурентов. В основе технологической линии по созданию таких приборов лежит эпитаксиальные методы создания наногетероструктур, наиболее гибким из которых является молекулярно-пучковая эпитаксия (МПЭ).
Рис. 1. Модуль МПЭ 8ТЕ35 для выращивания соединений ТиЛЮаЛз в составе комплекса НОЦ «Нанотехнологии» ЮФУ
Установка МПЭ БетТЕд производства ЗАО «НТО» БТЕ35 в составе многокамерного комплекса НАНОФАБ-100 (ЗАО «НТ-МДТ») в настоящее время введена в технологическую эксплуатацию. В результате проведённой программы обучения технологов НОЦ ими самостоятельно выращены гетероструктуры для рНЕМТ-транзисторов на основе 1пОаА8/ОаАБ, продемонстрировавшие электрофи-,
(п=1.9-1012 см-2, |а=7200-7400 см2/В-с).
Комплект оборудования для планарного процессинга был сформирован с учётом требований к гибкости и перестраиваемое™ технологических режимов, что характерно для деятельности исследовательского центра. Полнота линии обеспечивает изготовление прибора от подложки до чипа, с организацией соответствующего пооперационного контроля соответствующим измерительным оборудованием.
В ходе разработки состава комплекса там, где это возможно, предпочтение отдавалось отечественному оборудованию. Безусловно, при этом его характеристики должны быть не ниже, чем у современных зарубежных аналогов. Современ-, -тизированного проведения техпроцесса также являлись необходимым условием.
, , широкого класса задач по разработке и пилотному выпуску приборов СВЧ-микроэлектроники и микросистемной техники.
Созданный комплекс одновременно является современной базой для постановки образовательного процесса в НОЦ. Реальное знакомство студентов и аспирантов , -лупроводниковых приборов обеспечивают хорошую основу для качественной подготовки молодых кадров для российской электронной промышленности.
Рис. 2. Гермозона НОЦ «Нанотвснологии» ЮФУ с комплексом планарного
,
СВЧ-микроэлектроники и МЭМС
На сегодняшний день при поддержке Минобрнауки России SemiTEq создает ключевой продукт "Нанолаборатория", который, по сути, представляет собой комплексное решение для R&D центров. Данное решение включает, помимо поставки оборудования, комплектацию его базовыми технологическими процессами, разработку связанных технологических маршрутов изготовления полупроводниковых , . опыт реализации проекта по комплексному оснащению НОЦ «Нанотехнологии» ЮФУ технологической линией оборудования наглядно демонстрирует возможность эффективного взаимодействия вузовского центра и отечественных производителей в ситуации, когда реализация проекта была основана на правильных принципах. Сформированный в ходе выполнения проекта задел, безусловно, будет востребован и поможет эффективно реализовать подобные проекты в других рос- .
Статью рекомендовал к опубликованию д.т.н. Е.А. Рындин.
Алексеев Алексей Николаевич
Закрытое акционерное общество «Научное и технологическое оборудование».
E-mail: [email protected].
г. Санкт-Петербург, пр. Энгельса, 27.
Тел.: +88127021308; факс: +78126330597.
Генеральный директор; к.ф.-м.н.
Соколов Игорь Альбертович
E-mail: [email protected].
Заместитель генерального директора; к.ф.-м.н.
Агеев Олег Алексеевич
Технологический институт федерального государственного автономного образовательного учреждения высшего профессионального образования «Южный федеральный университет» в г. Таганроге.
E-mail: [email protected].
347928, . , . , 2.
.: 88634371611.
Кафедра технологии микро- и наноэлектронной аппаратуры; заведующий кафедрой; . . ; .
Коноплев Борис Георгиевич
Технологический институт федерального государственного автономного образовательного учреждения высшего профессионального образования «Южный федеральный университет» в г. Таганроге.
E-mail: [email protected].
347928, г. Тагаганрог, пер. Некрасовский, 44.
.: 88634371767.
Факультет электроники и приборостроения; декан; д.т.н.; профессор.
Alexeev Alexey Nikolaevich
«Semiconductor Technologies and Equipment» JSC.
E-mail: [email protected].
27, Engels Avenue, Saint Peterburg, Russia.
Phone: +78127021308; fax: +78126330597.
Chief Executive Officer; Cand. of Phis.-Math. Sc.
Sokolov Igor Al’bertovich
E-mail: [email protected].
Assistant director; Cand. of Phis.-Math. Sc.
Ageev Oleg Alexeevich
Taganrog Institute of Technology - Federal State-Owned Autonomy Educational Establishment of Higher Vocational Education “Southern Federal University”.
E-mail: [email protected].
2, Shevchenko Street, Taganrog, 347928, Russia.
Phone: +78634371611.
The Department of Micro- and Nanoelecronics; Head the Department; Dr. of Eng. Sc., Professor.
Konoplev Boris Georgievich
Taganrog Institute of Technology - Federal State-Owned Autonomy Educational Establishment of Higher Vocational Education “Southern Federal University”.
E-mail: [email protected].
44, Nekrasovskiy, Taganrog, 347928, Russia. hone: +78634371767.
College of Electronics and Electronic Equipment Engineering; Dean; Dr. of Eng. Sc.; Professor.
УДК 621.3.049.
В.А. Быков
КЛАСТЕРНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ СОЗДАНИЯ И ИССЛЕДОВАНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ
Группой компаний НТ-МДТ на протяжении многих пет рпзрабатывалась концепция создания многофункциональных кластерных научно-технологических комплексов, интегрирующих широкий спектр самого современного научного и технологического оборудования
