Технологии материалов список научных статей
-
РЕФЕРАТЫ. СОСТАВИТЕЛЬ Конкевич В.Ю.2021 /ВАКCAS
-
ВЛИЯНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПРОЦЕССА АТОМНО-СЛОЕВОЙ ЭПИТАКСИИ НА ОДНОРОДНОСТЬ ТОЛЩИНЫ ЗАРОДЫШЕВЫХ СЛОЕВ GAN
Один из способов получения совершенных нитридных структур для микроэлектроники - использование метода атомно-слоевой эпитаксии. В работе рассмотрено влияние технологических параметров процесса атомно-слоевой эпитаксии на динамику роста и равномерность распределения осажденного слоя нитрида галлия...
2020 / Никифоров Максим Олегович, Дедкова Анна Александровна, Рыгалин Борис НиколаевичВАКRSCI -
ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ФАКТОРОВ НА ХАРАКТЕРИСТИКИ ГИБКИХ БЕЗАДГЕЗИВНЫХ ФОЛЬГИРОВАННЫХ ДИЭЛЕКТРИКОВ
Из широкого спектра выпускаемых гибких фольгированных диэлектриков выгодно отличаются безадгезивные материалы. Они выдерживают воздействие высоких температур, позволяют существенно повысить плотность элементов и имеют лучшие качественные характеристики, так как адгезивы оказывают отрицательное...
2020 / Воробьев Андрей Валерьевич, Жора Владимир Дмитриевич, Плис Николай Иванович, Тимошенков Сергей ПетровичВАКRSCI -
МЕТАЛЛИЗАЦИЯ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫХ КРЕМНИЕВЫХ ИС НА ОСНОВЕ СПЛАВА ВОЛЬФРАМА С ТИТАНОМ
Одним из приоритетных направлений развития электроники как в нашей стране, так и за рубежом является создание кремниевых полупроводниковых приборов и ИС с субмикронными топологическими нормами, способных функционировать при температуре 200 °С и выше. К критическим узлам кремниевой электронной...
2019 / Белов Алексей Николаевич, Голишников Александр Анатольевич, Костюков Денис Андреевич, Шевяков Василий ИвановичВАКRSCI -
ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДА КОМПЛЕКСНОГО ПЛАНИРОВАНИЯ ЭКСПЕРИМЕНТА ДЛЯ ОПТИМИЗАЦИИ ПРОЦЕССА ГЛУБОКОГО АНИЗОТРОПНОГО ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ
При формировании структур методом глубокого анизотропного плазменного травления кремния с малыми и сверхмалыми аспектными отношениями (много меньше 0,5) возникают сложности, связанные с геометрией структур и качеством травления. Это, в частности, обусловлено большими площадями вскрытия (30 % и...
2019 / Рудаков Григорий Александрович, Парамонов Владислав ВитальевичВАКRSCI -
ОПТИМИЗАЦИЯ УСИЛИТЕЛЬНОЙ СПОСОБНОСТИ ДВУХКАМЕРНЫХ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ
Рассмотрена проблема повышения коэффициента преобразования двухкамерных электронно-оптических преобразователей, используемых в технике ночного видения. В работе приведены результаты исследования влияния технологии вакуумной обработки обеих камер данных изделий на их усилительную способность....
2019 / Гончаров Игорь Николаевич, Козырев Евгений Николаевич, Урумов Владимир ВладимировичВАКRSCI -
ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ЭЛЕКТРООСАЖДЕНИЯ СПЛАВА ОЛОВО - СВИНЕЦ С ВЫСОКИМ СОДЕРЖАНИЕМ СВИНЦА
В процессе изготовления многокристальных модулей на основе бескорпусных ИС с матричным расположением контактных площадок в связи с большим количеством последовательно проводимых операций пайки температура плавления припоя на первой операции должна быть не ниже 270 °С. При большом количестве...
2019 / Любимов Андрей Викторович, Борисов Александр Григорьевич, Корчагин Егор Павлович, Козлитин Алексей Иванович, Осипенкова Наталья ГеннадиевнаВАКRSCI -
ТЕРМОМЕХАНИЧЕСКАЯ ПРОЧНОСТЬ СОЕДИНЕНИЙ ЭЛЕМЕНТОВ В МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ МОДУЛЯХ
Важными факторами надежности и прочности микроэлектронных модулей являются конструкция и технология паяного и клеевого соединений, упругие прочностные и пластические свойства материалов кристалла кремния, припоя и клеевого шва. Многослойные конструкции соединений элементов в микроэлектронных...
2019 / Погалов Анатолий Иванович, Титов Андрей Юрьевич, Тимошенков Сергей ПетровичВАКRSCI -
КОНСТРУКТИВНАЯ ПРОЧНОСТЬ И ТЕПЛОВОЙ РЕЖИМ МНОГОКРИСТАЛЬНЫХ МОДУЛЕЙ
Изложены общие принципы проектирования многокристальных модулей в трехмерном исполнении. Проведено моделирование многокристальных модулей и исследовано влияние конструктивных параметров на прочность и тепловой режим изделий. Определены величины термомеханических напряжений, тепловых сопротивлений и ...
2017 / Погалов Анатолий Иванович, Блинов Геннадий Андреевич, Чугунов Евгений ЮрьевичВАКRSCI -
ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА АНИЗОТРОПНОГО ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ ПАССИВИРУЮЩИХ СЛОЕВ SI3N4-SIO2 В УСЛОВИЯХ НИЗКОЙ ПОЛИМЕРИЗАЦИИ
Разработан процесс плазменного травления пассивирующей структуры Si3N4-SiO2, обеспечивающий получение анизотропного профиля травления и отсутствие полимерной пленки на поверхности алюминиевых контактных площадок. Рассмотрено влияние различных операционных параметров, таких как расход газовой смеси...
2017 / Голишников Александр Анатольевич, Путря Михаил Георгиевич, Шабанов Андрей АлександровичВАКRSCI -
ИССЛЕДОВАНИЕ И РАЗРАБОТКА РЕАКТОРА ЭПИТАКСИАЛЬНОГО НАРАЩИВАНИЯ ДЛЯ ИНДИВИДУАЛЬНОЙ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖЕК
Эпитаксиальные процессы на подложках большого диаметра характеризуются формированием дефектных периферийных зон вследствие пластической деформации. Формирование зон с пластическими деформациями зависит от распределения температурных напряжений и способа нагрева и укладки подложки в реакторе....
2017 / Кравченко Анатолий Анатольевич, Погалов Анатолий ИвановичВАКRSCI -
ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫЕ МЭМС-ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ДАВЛЕНИЯ И МОДУЛИ НА ИХ ОСНОВЕ
Представлены результаты разработки группы тензорезистивных преобразователей давления, изготовленных по технологии объемной микрообработки кремния. Рассмотрены одноканальные преобразователи абсолютного и избыточного давления на основе сложнопрофилированных мембран со встроенной защитой от...
2015 / Гусев Д.В., Данилова Н.Л., Литвиненко Р.С., Михайлов Ю.А., Панков В.В., Суханов В.С.ВАКRSCI -
ВЛИЯНИЕ РЕЖИМОВ ТЕРМООБРАБОТКИ НА ПРОЧНОСТЬ СОЕДИНЕНИЯ ПЛАСТИН КРЕМНИЯ
The low temperature bonding method for the silicon wafers using the «sol-gel» technology has been investigated at relatively low temperatures. The bond strength has been estimated. The conclusions of the experiment have been presented.
2014 / Кислицин Максим Валерьевич, Королёв Михаил АлександровичВАКRSCI -
ПРИМЕНЕНИЕ ТЕХНОЛОГИИ ЛИТЬЯ ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ ПЬЕЗОКЕРАМИЧЕСКИХ БАЛОК ДЛЯ ГИРОСКОПА
Рассмотрен чувствительный элемент пьезокерамического гироскопа. Проведен анализ электрофизических параметров чувствительного элемента в форме биморфной балки, изготовленной по традиционной монолитной и новой технологии литья. Показано, что по новой технологии заготовки получаются менее...
2014 / Щёголева Татьяна Валерьевна, Добрынин Андрей ВитальевичВАКRSCI -
ТЕХНОЛОГИИ ВАКУУМНОЙ ГЕРМЕТИЗАЦИИ МЭМС ОБЗОР
Показаны основные факторы, определяющие требования к герметизации микромеханических устройств и систем (МЭМС). Проанализированы применительно к герметизации МЭМС методы обработки материалов и создания трехмерных структур, используемые в микросистемной технике. Рассмотрены различные технологические...
2010 / Тимошенков Сергей Петрович, Бойко Антон Николаевич, Симонов Борис Михайлович, Заводян Алиса ВикторовнаВАКRSCI -
ФОРМИРОВАНИЕ НАНОРАЗМЕРНЫХ СВЕРХПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР С КРИТИЧЕСКОЙ ТЕМПЕРАТУРОЙ ВЫШЕ 100 К
Рассмотрены особенности технологии изготовления слоев сверхпроводника толщиной до 100 нм состава (Bi,Pb)2Sr2Ca2Cu3O10 с температурой перехода в сверхпроводящее состояние выше 100 К. Показано, что при изготовлении тонких слоев критическим является условие поддержания стехиометрического состава на...
2010 / Григорашвили Юрий Евгеньевич, Бухлин Александр Викторович, Верюжский И.В.ВАКRSCI -
ЧАСТОТНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ПОДДЕРЖИВАЮЩИХ КОНСТРУКЦИЙ БИМОРФНОГО ПЬЕЗОКЕРАМИЧЕСКОГО ЭЛЕМЕНТА БАЛОЧНОГО ГИРОСКОПА
Рассмотрен балочный пьезокерамический гироскоп, принцип его работы и конструкция. Исследовано влияние материала поддерживающих конструкций, в которые закреплен биморфный элемент, на частотные характеристики гироскопа.A beam piezo-ceramic gyroscope, the principle of its work as well as the...
2010 / Щёголева Татьяна Валерьевна, Образцов Роман Михайлович, Добрынин Андрей ВитальевичВАКRSCI -
МЕТОДЫ СБОРКИ И МОНТАЖА МАКЕТНЫХ ОБРАЗЦОВ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ
Изложены результаты исследования и разработки технологических процессов сборки и монтажа деталей МЭМС, использованные для изготовления работоспособных макетных образцовThe results of investigation and designing of the technological processes of assembling and mounting MEMS components used for...
2010 / Тимошенков Сергей Петрович, Бойко Антон Николаевич, Симонов Борис МихайловичВАКRSCI -
МОДЕЛИРОВАНИЕ НАПРЯЖЕННО-ДЕФОРМИРОВАННОГО СОСТОЯНИЯ МАТЕРИАЛОВ БЕСКОРПУСНЫХ МНОГОВЫВОДНЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ С ШАРИКОВЫМИ ВЫВОДАМИ
Разработана технология бескорпусных многовыводных ИС с шариковыми выводами, смонтированных непосредственно на прецизионную коммутационную плату. Методами моделирования исследовано напряженно-деформированное состояние материалов бескорпусных многовыводных интегральных схем с шариковыми выводами для...
2009 / Грушевский Александр Михайлович, Погалов Анатолий Иванович, Блинов Геннадий Андреевич, Долговых Юрий ГеннадьевичВАКRSCI -
РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ РЕТУШИРОВАНИЯ ПРОЗРАЧНЫХ ДЕФЕКТОВ ФОТОШАБЛОНОВ НА ЛАЗЕРНОЙ УСТАНОВКЕ ЭМ-5001Б
Установлена зависимость высоты осажденного материала от режимов осаждения, кратности проходов и длины осажденной линии. Определены технологические режимы процесса устранения прозрачных дефектов на фотошаблоне.A relationship between the heights of deposited material, the number of passes and the...
2009 / Овчинников Вячеслав АлексеевичВАКRSCI