Высокочастотные свойства многослойных систем на основе нанокомпозитов (Co 45Fe 45zr 10) x(al 2O 3) 100-x Текст научной статьи по специальности «Нанотехнологии»

Материаловедение

УДК 539.216.2:536.425.001.57

ВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ СВОЙСТВА МНОГОСЛОЙНЫХ СИСТЕМ НА ОСНОВЕ НАНОКОМПОЗИТОВ (Со^е^ГюМАЬОзЬо-х А.А. Алешников, Ю.Е. Калинин, А.В. Ситников, О.С. Тарасова

Получены новые гетерогенные многослойные структуры композит-композит ({[(С045ре452г10)х(А12Оз)100-х]/[(Со45ре452г1 оМАЪОДюо-х+ЩО)] }зоо). Слои композита, осажденного в атмосфере аргона чередуются со слоями композита, осажденного в атмосфере аргона с добавлением кислорода или азота. Толщина слоев составляет несколько нанометров. Исследовано влияние структуры и состава на магнитные свойства гетерогенных систем

Ключевые слова: нанокомпозиты, магнитные свойства, многослойные гетерогенные структуры, магнитная проницаемость

Ведение

В последнее время большой интерес привлекают исследования высокочастотных магнитных свойств нанокомпозитов ферромагнитный металл-диэлектрик [1-5]. К настоящему времени получено большое разнообразие различных композиционных материалов. Наногранулировнные композиты, полученные разными авторами с использованием различных методов формирования гетерогенных структур, имеют достаточно хорошо согласующиеся физические свойства, что свидетельствует о едином механизме самоорганизации структуры. Однако, далеко не все композиты и не во всем концентрационном диапазоне составов (особенно после порога перколяции) проявляют магнитные свойства, благоприятные для использования их в высокочастотных устройствах. В ряде работ [6-10] сообщается о наличии значительной перпендикулярной магнитной анизотропии образцов некоторых составов, расположенных выше порога перколяции. Композиты (Со45Ре452г10)х(А12О3)100-х представляют гетерогенную систему, в которой обнаружена перпендикулярная магнитная анизотропия, связанная со структурными неоднородностями в перпендикулярном к плоскости пленки направлении. В данной работе рассмотрена возможность изменения ростовой анизотропии композитов (Со45Ре452г10)х(А12О3)100-х за счет формирования многослойной структуры и исследовано влияние изменения такой структуры на

Алешников Александр Александрович - ВГТУ, аспирант, e-mail: a.a. aleshnikov@mail.ru Калинин Юрий Егорович - ВГТУ, д-р физ.-мат. наук, профессор, e-mail: kalinin4 В @mail. ru Ситников Александр Викторович - ВГТУ, д-р физ.-мат. наук, доцент,e-mail: sitnikov04@mail.ru Тарасова Оксана Сергеевна - ВГТУ, студент, e-mail: oksanchik2603@mail.ru

магнитостатические и магнитодинамические свойства композиционных пленок.

1. Методика получения, структура и электрические свойства гетерогенных систем

Пленки гетерогенных систем на основе ферромагнитного сплава Co45Fe45Zri0 и оксида алюминия были получены ионно-лучевым распылением составной мишени на ситалловых подложках [11]. Объемные композиты (Co45Fe45Zr10)X(Al2O3)100-X были получены в среде Ar. Многослойные системы { [(Co45Fe45Zr10)X(Al2O3)lC0-xl/ /[(C045Fe45Zr10)XAl2O3)lC0-X+N2(O2)] }зС0 были синтезированы по следующей технологии. (Цифры после фигурных скобок означают число бислоев). В течении 47 секунд производилось напыление композитов (Co45Fe45Zr10)X(Al2O3)100-X в атмосфере Ar, затем 15 секунд в атмосфере аргона с добавлением азота (кислорода). Установление номинального давления реактивных газов после включения клапана натекателя составлял 4 секунды, их откачка при выключении клапана натекателя составила 8 секунд. Толщина прослойки композитов, осажденных в атмосфере аргона, составляла ~ 10 нм, и в атмосфере Ar +N2 (О2) ~ 2,5 нм.

Элементный состав пленок проводили энергодисперсионной рентгеновской приставкой Oxford INCA Energy 250 на сканирующем электронном микроскопе JEOL JSM-6380 LV. Кривые намагничивания были получены на вибрационном магнитометре, с помощью метода регистрации поля, создаваемого намагниченным образцом [12]. Измерение магнитной проницаемости осуществлялось резонансным методом с помощью коаксиального резонатора с изменяющимися параметрами длины в частотном диапазоне 0,3-10 ГГц [13].

Электрономикроскопические структурные исследования полученных пленок показали, что композиты (Co45Fe45Zr10)X(Al2O3)100-X в плоскости под-

ложки представляют собой металлические гранулы диаметром 3-6 нм хаотически распределенные в диэлектрической матрице. Электронная микрофотография поперечного сечения многослойной гетерогенной структуры

{ [(Со45Ре45^г10)55(А12О3)45]/[(Со45Ре45^г10)55(А12О3)45

+О2]}300 показала хорошо сформированную слоистую структуру пленки с периодом порядка 14 нм, что хорошо согласуется с рассчитанными толщинами бислоев [14,15].

Для исследований были выбраны образцы

(Со45ре45^г10)61 (A12O3)39, { [(Со45Ре452Г10)61 (А12О3)39]/ /[(Со45Ре45^г10)61 (А12О3)39+О2] }300 и

{[(Со45ре45^г10)61(А12О3)39]/[(Со45ре45^г10)61(А12О3)39+^2]}3С0* Толщины слоев, параметры получения и режимы термических обработок приведены в таблице.

Параметры исследуемых образцов

№, п.п Состав Раг, торр Р 02(N2), торр Ьпч мкм Ьк, нм Ьпр, нм Тотж» пС їотж, мин.

1 С°45Г е45^г1 п)б1 (АЬ.Оз)з9 210-4 3.4

2 С°45Г е45^г1 п)б1 (А12°3)39 210-4 3.4 400 )0

3 {[(Со4бГ ®45^г1п)бі(А120з)з9І/ [(С°45Г е45^г1 П)61 (А12 °3)39+°2І}3ПП 1.410-4 210-5 2.9 11.7 2.5

4 {[(Со4бГ ®45^г1П)61(А12О3)39і/ [(С°45Г е45^г1 П)61 (А12 °3)39+О2]}3ПП 1.410-4 210-5 2.9 11.7 2.5 400

5 {[(Со4бГ ®45^г1П)61(А12°3)39і/ [(С°45Г е45^г1 П)61 (А12 °3)39+^2 ]}3ПП 1.710-4 6.510-5 и 9.6 2.5

6 {[(Со4бГ ®45^г1П)61(А12°3)39і/ [(С°45Г е45^г1 П)61 (А12 °3)39+^2 ]}3ПП 1.710-4 6.510-5 и 9.6 2.5 400

2. Магнитостатические свойства

Для установления влияния композиционных прослоек, напыленных в присутствии реактивных газов на магнитостатические свойства многослойных гетерогенных структур были исследованы процессы намагничивания (М(Н)) пленок

(Со45Ре452Гю)61 (Al20з)39, { [(Со45Ре452Гю)61 (А^Оз^с)]/ /[(Со45Ре45^г10)61 (А1203)39+02] }300 и

{ [(Со45Ре45^г10)61 (А1203)39]/[(Со45Ре45^г10)61 (А1203)39

++N2 }300. Составы пленок были выбраны исходя из того, что композит (Со45Ре452г10)61(А1203)39 находится после порога перколяции и имеет составляющую намагниченности перпендикулярно плоскости пленки. По этой причине в композите (Со45Ре452г10)61(А1203)39 выход кривой намагниченности в насыщение происходит в полях более 1 кЭ и наблюдается значительный излом характеристики М(Н) при значениях напряженности внешнего магнитного поля несколько Э (рис.1).

Для определения степени магнитной анизотропности в плоскости пленки измерения проводились по двум ортогональным направлениям. Анализ кривых намагничивания для композита (Со45Ре452г10)61(А1203)39 показывает, что в процессе напыления более трудная ось намагничивания (с большим значением поля выхода кривой намагничивания в насыщение) сформировалась перпендикулярно оси образца (рис. 1 кривая 2 вставка).

(Со45Ре452г10)61(А1203)39 , измеренные в плоскости пленки: 1 - вдоль оси образца, 2 - перпендикулярно оси образца

Вид магнитных характеристик при малых магнитных полях не соответствует пленке с одноосной магнитной анизотропной структурой. Это может свидетельствовать о значительной дисперсии локальных полей анизотропии в плоскости образца композита.

Измерения кривых намагничивания для многослойных гетерогенных структур

{ [(Со45Ре45^г10)61 (А1203)39]/[(Со45Ре45^г10)61 (А1203)39 +О2]}300 и { [(Со45Ре45^г10)61 (А1203)39]/

/[(Со45Ре452г10)61(АЬ03)39+^]}300 показали, что вид зависимости М(Н) изменился (рис.2,3) по сравнению с объемными композитами (рис. 1).

Рис. 2. Кривые намагничивания пленок многослойной гетерогенной структуры

[(С45Ре45&10)61(А20)39И(С45Ре*^10)61(А20)39+02]300 измеренные в плоскости пленки: 1 - вдоль оси образца, 2 - перпендикулярно оси образца

Рис. 3. Кривые намагничивания пленок многослойной гетерогенной структуры {[(Со45Ре^10)61(А12Оз)39]/ [(С45Ре4&1оМА2О)39+М2]}3а) , измеренные в плоскости пленки: 1 - вдоль оси образца, 2 - перпендикулярно оси образца

Так, на кривой, измеренной в плоскости пленки вдоль оси образца, не проявляется перегиб, который

позволил нам выявить перпендикулярную составляющую намагниченности в объемном композите. Однако, существенной магнитной анизотропии в плоскости пленки в данных многослойных структурах не наблюдается. Возможно, это является следствием склонности композита (Со45Ре45&10))ХА2О)іа0Х к формированию столбчатой структуры [9].

Таким образом, введение прослоек из окисленного (азотированного) композита в структуру гетерогенных систем (Со45Ре452г10)х(Л12О3)100-х подавляет перпендикулярную магнитную анизотропию.

4O

2O

1

□ Pdd

2

|0°^°0

П[Ь uOb

□ UO

1OOO

1OOOO

f, МГц

3. Магнитодинамические свойства

Изменение магнитостатических свойств композитов при формировании многослойной структуры определяет частотные зависимости действительной (т) и мнимой (т ) частей комплексной магнитной проницаемости.

Анализ зависимостей т (/) и т (/) для композита Со45Ре452г10)61(А12О3)39 (рис. 4), многослойных гетерогенных структур {[(Со45Ре452г10)61(А12О3)39]/

/[(Со45Ре45^г10)61 (А12О3)39+О2] }300 (рис. 5) и

{ [(Со45Ре45^г10)61 (А12О3)39]/[(Со45Ре45^г10)61 (А12О3)39

++М2]}300 (рис. 6) позволил выявить некоторые закономерности. Так частота естественного ферромагнитного резонанса (/рез) для объемного композита составила ~ 600 МГц, многослойной структуры с прослойками из окисленного композита ~ 800-1000 МГц и для гетерогенной структуры

{ [(Со45Ре45^г10)61 (А12О3)39]/[(Со45Ре45^г10)61 (А12О3)39

++М2] }300 наблюдается две частоты /рез при 500 МГ ц и 1,5 ГГц. Для многослойных образцов наблюдается широкий пик зависимости т (/). Данные высокочастотные свойства можно объяснить исходя из магнитной структуры образцов. Так наличие перпендикулярной составляющей магнитной анизотропии существенно снижает частоту естественного ферромагнитного резонанса тонких пленок.

v, m

25

2O

15

1O

5

O

■ по

□D □ □ _

□ □

□

2 Ь[ппо

оо°°ООЧ)°«* О 0

1000 10000 f, MHz

Рис. 4. Частотные зависимости действительной (кривая 1) и мнимой (кривая 2) частей комплексной магнитной проницаемости композита

(C045Fe45ZriQ)61 (Al203)39

Рис. 5. Частотные зависимости действительной (кривая 1) и мнимой (кривая 2) частей комплексной магнитной проницаемости многослойной структуры

{ [(Со45Ре45^г10)61 (А12О3)39]/[(Со45Ре45^г10)61 (А12О3)39 +О2]}300.

V, v''

4O

2O

1 ' П° °а □

о°°°°о о о □ о о- 9э, о 9 °

D п Чх t*bn “tboo.

1OOO

1OOOO

f, MHz

Рис. 6. Частотные зависимости действительной (кривая 1) и мнимой (кривая2) частей комплексной магнитной проницаемости многослойной гетерогенной структуры [(Со45Ре452Г10)61(АЬО3)39]/

/[(Со45Ре45^г10)61 (А12О3)39+^2] }300.

Напротив, в многослойных структурах низкое значение /рез и широкий максимум кривых т (/) могут быть связаны с отсутствием магнитной анизотропии в плоскости пленки.

Проведенный анализ показывает, что наиболее ярко отсутствие перпендикулярной магнитной анизотропии может проявиться на высокочастотных свойствах, если в гетерогенных структурах будет сформирована магнитная анизотропия в плоскости пленки.

4. Влияние термомагнитной обработки на магнитные свойства гетерогенных структур

Ранее проведенные исследования структуры композита (Со45Ре452г10)х(А12О3)100-х показали, что металлические гранулы и диэлектрическая матрица находятся в аморфном состоянии [16,18]. Для аморфных ферромагнитных сплавов одним из механизмов формирования наведенной магнитной анизотропии является не приводящий к кристаллизации

O

O

отжиг в магнитном поле при температурах ниже температуры Кюри сплава. При этом изменение магнитной анизотропии вызвано процессами парного упорядочения атомов магнитного сплава. В связи с этим было исследовано влияние термомагнитной обработки на магнитную структуру композитов и многослойных пленок. Термомагнитная обработка проводилась в вакууме при давлении остаточных газов не хуже 10-3 Торр и температуре 400 0С в течение 30 минут. Магнитное поле Н = 2500 Э ориентировалось в плоскости пленки перпендикулярно длинной стороны образца. Температура отжига была выбрана исходя из того, что данное тепловое воздействие не приводит к существенному изменению структуры композита и она существенно ниже температуры Кюри и температуры кристаллизации аморфного сплава Со45Ре452г10.

Критерием анизотропности магнитных свойств пленки выбрано магнитное поле, в котором образец достигнет насыщения при магнитной проницаемости материала, найденной в малых внешних полях. В случае хорошо сформированной одноосной магнитной анизотропии и проведения измерения вдоль трудной оси намагничивания найденное таким образом поле совпадает с полем магнитной анизотропии (На). Измерения намагниченности проводились в двух геометриях. Внешнее поле прикладывалось в плоскости пленки вдоль и перпендикулярно оси образца.

Кривые намагничивания для исследуемых структур приведены на рисунках 7-9. Анализ кривых М(Н) показывает, что в случае композита (Со45Ре452г10)61(Л1203)39 отжиг привел к уменьшению поля анизотропии в плоскости образца (см. рис.1 вставка и рис. 7) и к уменьшению составляющей намагниченности в перпендикулярном к поверхности направлении. Первое объясняется тем, что внешнее поле при отжиге было направлено вдоль более трудной оси намагничивания исходного образца.

Для многослойных гетерогенных структур

{[(Со45р|еб2Г10)61(Л1203)39]/[(Со45р|еб2Г10)61(Л1203)39'+02]}зС0 и

{[(С45Ре45^10)61(Л20)39И(С45Ре45^10)61(Л20)39+^}3ю термомагнитная обработка позволила создать магнитную анизотропию в плоскости пленки (рис.8,9).

1 - вдоль оси образца, 2 - перпендикулярно оси образца

Рис. 8. Кривые намагничивания пленок многослойной гетерогенной структуры [(Со45ре^іо)5і(АІ20з)з9]/[(Со45ра^іо)5і(АІ20з)з9+02]3со после термомагнитной обработки, измеренные в плоскости пленки: 1 - вдоль оси образца, 2 - перпендикулярно оси образца

Рис. 9. Кривые намагничивания пленок многослойной гетерогенной структуры

{ [(С045Ре45^г10)61(^Л12^03)39]/[(С'О45Ре452^г10)61(^Л120^3)39++^2] }3!0 после

термомагнитной обработки, измеренные в плоскости пленки: 1 - вдоль оси образца, 2 - перпендикулярно оси образца

Уменьшение составляющей намагниченности в перпендикулярном к поверхности образца направлении в композите (Со45Ре452г10)61(Л1203)39 увеличило значение /рез до 2,5 ГГц. Однако абсолютные значения ц/щах и ц/ до частоты естественного ферромагнитного резонанса остаются достаточно низкими и не превышают 8 и 17 в исследуемом диапазоне частот, соответственно (рис.10).

Рис. 7. Кривые намагничивания композита (Со45Ре452г10)61(Л1203)39 после термомагнитной обработки, измеренные в плоскости пленки:

10

□□ 1 ь

2 о о о°ооо0о°оСГ}<: «О □ иі оо° п Э □

\ц}*Р1‘а'р

1000 10000 Ъ М№

0

Рис. 10. Частотные зависимости действительной (кривая 1) и мнимой (кривая 2) частей комплексной магнитной проницаемости композита (Со45Ре452г10)61(Л12Оз)з9 после термомагнитной обработки

т,

100 80 60 40 20 0 -20

; 1 D ° >=bnn

■

2 □ Dr V

°o О о

1000 10000 f, MHz

Рис. 11. Частотные зависимости действительной (кривая 1) и мнимой (кривая 2) частей комплексной магнитной проницаемости многослойной гетерогенной структуры {[(Co45Fe45Zri о)б1 (АЬОзЫ/ /[(Co45Fe45Zri о)б1 (АЬОз)з9+О2] }зоо после термомагнитной обработки

v, v'

120

100

80

60

40

20

0

-20

j 1

.□ D n i

□ □

1 □ □□

_ 0c? о р □ □

2 □ ,п

о о о V

Пп

1000

10000

f, MHz

Рис. 12. Частотные зависимости действительной (кривая 1) и мнимой (кривая 2) частей комплексной магнитной проницаемости многослойной гетерогенной структуры { [(С045ре45^Г1 о)б1 (Л12Оз)з9]/ /[(Со45ре452г1о)61(ЛЬОз)з9+^]}зоо после термомагнитной обработки

Формирование одноосной магнитной анизотропии в плоскости пленки для многослойной гетерогенной структуры [(Со45Бе452г10)61(Л12Оз)з9]/

/[(Со45ре452гю)б1(Л12Оз)з9+О2]}зоо в результате термомагнитной обработки привело к увеличению частоты естественного ферромагнитного резонанса до

2 ГГц, при этом возросло значение действительной части комплексной магнитной проницаемости и уменьшилась ширина пика мнимой части комплексной магнитной проницаемости (рис. 11). Для пленок

{ [(Со45Ре45^г1 о)61 (Л12Оз)з9]/[(Со45Ре45^г1 о)61 (Л12Оз)з9

++N2]}300 после отжига увеличилось значение ц/ до частоты естественного ферромагнитного резонанса, а /рез составили 600 МГц и 2 ГГц. (рис. 12).

Выводы

Исследованы магнитостатические и магнитодинамические свойства новых многослойных гетерогенных систем композит - композит. Установлено, что прослойка из композита, полученная в среде активных газов в многослойных структурах

{[(C45Fe*Z1oMA2°)ia)-X]/ 4(С45^1оМАЛ^Х+°]}3С0 и {[(C45Fe*ZloMA2O)lcaxl4(C45Fe*ZloMA2O)lcax+N2(C)2)] }зо

позволяет подавить перпендикулярную составляющую магнитной анизотропии в композитах (Co^Fe^Zr^^AbO^m^. Показано, что отсутствие перпендикулярной магнитной анизотропии увеличивает значения комплексной магнитной проницаемости в диапазоне частот до частоты естественного ферромагнитного резонанса.

Изучено влияние термомагнитной обработки на магнитные свойства исследуемых систем. Установлено, что отжиг в магнитном поле 25оо Э, приложенном в плоскости пленки перпендикулярно оси образца, при температуре 4оо оС в течение 3о минут, позволяет сформировать магнитную анизотропию в плоскости пленки за счет процессов парного упорядочения в гранулах Co45Fe45Zr^ , находящихся в аморфном состоянии. Наличие одноосной магнитной анизотропии в плоскости пленки после термомагнитной обработке увеличивает частоту естественного ферромагнитного резонанса в исследуемых системах.

Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (проект № 13-02-97511-р_центр_а )■

Литература

1. Ohnuma S. H., Fujimori H., Mitani S., and Masumo-to T. High frequency magnetic properties in metal-nonmetal granular films// J. Appl. Phys.- 1996.-У.79.-Р.5Ш-5135.

2. Bloemen P. J. H. and Rulkens B. On the frequency dependence of the magnetic permeability of FeHfO thin films // J. Appl. Phys.-1998.-V.84.P6778-6781.

3. Shihui Ge, Yang Xiaolin, Kim Kwang Youn, Xi Li, Kou Xiaoming, Yao Dongsheng, Li Binsheng, and Wang Xinwei Study on mechanism of soft magnetic properties for high-frequency application in Ni75Fe25-SiO2 granular films// Phys. Stat. Sol. A.-2005.-V.202.-N.10.-P.2021-2027.

4. Sohn J. C., Byun D. J., and Lim S. H. Theoretical and experimental permeability spectra of nano-granular Co-Fe-Al-O films for GHz magnetoelastic device applications// Phys. Stat. Sol. A.-2004.-V.201.-N.8.-P.1946-1950.

5. Buznikov N.A., Iakubov I.T., Rakhmanov A.L., Sboychakov A.O.High-frequency magnetic permeability of nanocomposite film// J. Magn. and Magn. Mater^^S-V.293.-P.938-946.

6. H. Ohnuma, K. Hono, H. Onoder, S. Ohnuma, H. Fujimori, J.S. Pedersen Microstructures and magnetic properties of Co-Al-O granular thin films// J. Appl. Phys.-2000-V.87-N2-P.817-823.

7. Ohnuma S., Fujimori H., and Masumoto T., Xiong X. Y., Ping D. H., and Hono K. FeCo-Zr-O nanogranular soft-magnetic thin films with a high magnetic flux density// Appl. Phys. Lett.-2003-V.82.-N.6.-P.946-948.

8. Ситников А.В. механизмы наведенной магнитной анизотропии в гранулированных нанокомпозитах (Со4оЕе4оБ2о)х(8Ю2)юо-х//Альтернативная энергетика и экология. - 2008. - № 8. - С. з1-з7.

9. Стогней О.В. Ситников А.В. Анизотропия аморфных наногранулированных композитов СоТаЫЪ-8Юп и СоЕеВ-БЮп// Физика твердого тела.-2010.- Т. 52. - Вып.

12.- С. 2з56-2з64.

10. Ситников А.В. Магнитные свойства и особенности формирования структуры наногранулированных композитов металл-диэлектрик// Материаловедение. - 2010 -№з - С. 1 з4-1з7.

11. Гранулированные нанокомпозиты металл-диэлектрик с аморфной структурой / Ю.Е. Калинин, А.Т. Пономаренко, А.В. Ситников, О.В. Стогней // Физика и химия обработки материалов. - 2001 - № 5 - С. 14-20.

12. Стогней О.В. Электроперенос и магнитные свойства аморфных наногранулированных композитов металл-диэлектрик: дис. д-ра ф.-м. наук / Стогней Олег Владимирович. - Воронеж, 2004. - з26 с.

13. Ситников А.В. Электрические и магнитные свойства наногетерогенных систем металл-диэлектрик: дис. д-ра ф.-м. наук / Ситников Александр Викторович. -Воронеж, 2009. - з21 с.

14. Алешников А.А. Магнитные свойства многослойных структур на основе нанокомпозитов (Со45Ее457гю)х(Л12Оз)юо - х/ Алешников А.А., Калинин

Воронежский государственный технический университет

Ю.Е., Ситников А.В., Федосов А.Г.// Перспективные материалы. - 2о12. - № 5. - С. 68-75.

15. Калинин, Ю. Е. Структура и электрические свойства многослойных систем на основе нанокомпозитов (Co^Fe^BM^SiO^oo^ [Текст] / Ю. Е. Калинин, А. В. Ситников, А. Г. Федосов// Вестник Воронежского государственного технического университета. - 2о12. - Т. 8. -№ 9. - С. 65-69.

16. Saad A.M. Structure and electrical properties of cofezr-aluminium oxide nanocomposite films/ A.M. Saad, A.V. Mazanik, A.K.Fedotov, I.A. Svito, Y.E. Kalinin, A.V.Sitnikov, J.A.Fedotova, S.Wrotek//Reviews on Advanced Materials Science. - 204. - Т. 8. - № 2. - С. 152-157.

17. Транспортные свойства нанокомпозитов из ферромагнитных гранул Coo,41Feo,39Bo,2o в диэлектрической матрице MgOn [Текст] / А.Б. Грановский, Ю.Е. Калинин, А.В. Ситников, А.М. Кудрин, К.С. Габриельс, М. А Каширин. // Вестник Воронежского государственного технического университета. - 2оо8. - Т. 4. - № 9. - С. 2733.

18. Electrical properties and giant magnetoresistance of the cofeb-sio2 amorphous granular composites/Yu.E. Kalinin, A.V. Sitnikov, O.V. Stognei, I.V. Zolotukhin, P.V. Neretin// Materials Science and Engineering: A. - 201. - Т. 3o4-3o6. -№ 1-2. - С. 941-945.

HIGH-FREQUENCY PROPERTIES OF MULTILAYER SYSTEMS BASED NANOCOMPOSITES (Co45Fe45Zr10MAUO3W

A.A. Aleshnikov, Ju.E .Kalinin, A.V. Sitnikov, O.S. Tarasova

New heterogeneous multilayer composite structures composite-composite ({[(Co45Fe45Zrlo)X(Al2O3)loo-

x]/[(Co45Fe45Zrio)x(Al2O3)ioo-x+N2(02)]}3oo) have been prepared. Composite layers, deposited in an argon atmosphere, alternate with composite layers, deposited in an argon atmosphere with the addition of oxygen or nitrogen. Layer thicknesses are a few nanometers. The influence of a structure and composition on magnetic properties of heterogeneous systems has been studied

Key words: nanocomposites, magnetic properties, multi-layered heterogeneous structure, magnetic permeability