Научная статья на тему 'Магнитостатические и магнитодинамические свойства многослойных систем на основе нанокомпозитов (Co 40fe 40b 20) x(SiO 2) 100-x'

Магнитостатические и магнитодинамические свойства многослойных систем на основе нанокомпозитов (Co 40fe 40b 20) x(SiO 2) 100-x Текст научной статьи по специальности «Нанотехнологии»

CC BY
172
68
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.
Ключевые слова
НАНОКОМПОЗИТЫ / ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА / МНОГОСЛОЙНАЯ ГЕТЕРОГЕННАЯ СТРУКТУРА / УДЕЛЬНОЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ / NANOCOMPOSITES / ELECTRICAL PROPERTIES / MULTI-HETEROGENEOUS STRUCTURE / THE ELECTRIC RESISTIVITY

Аннотация научной статьи по нанотехнологиям, автор научной работы — Абрычкин А. А., Калинин Ю. Е., Ситников А. В., Федосов А. Г.

Исследованы процессы намагничивания и концентрационные зависимости действительной и мнимой частей комплексной магнитной проницаемости на частоте 50 МГц многослойных гетерогенных систем на основе композитов (Co 40Fe 40B 20) X(SiO 2) 100-X. Установлено, что циклическое напыление композитов в атмосфере аргона и аргона с добавлением кислорода позволяет получить многослойную гетерогенную пленку с более высокими значениями магнитной проницаемости после порога перколяции, чем у композитов, полученных в среде аргона

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Похожие темы научных работ по нанотехнологиям , автор научной работы — Абрычкин А. А., Калинин Ю. Е., Ситников А. В., Федосов А. Г.

iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Magnetostatic and magnetodynamic properties of multilayer systems NANOCOMPOSITES BASED (Co 40Fe 40B 20) X (SIO 2) 100-X

The processes of magnetization and concentration dependence of the real and imaginary parts of the complex permeability at 50 MHz multi-heterogeneous systems based on composites (Co 40Fe 40B 20) X (SiO 2) 100-X. Found that cyclic deposition of composites in argon and argon with the addition of oxygen provides a heterogeneous multi-layer film with higher permeability after the percolation threshold than the composites produced in argon

Текст научной работы на тему «Магнитостатические и магнитодинамические свойства многослойных систем на основе нанокомпозитов (Co 40fe 40b 20) x(SiO 2) 100-x»

Материаловедение

УДК 537.622.4

МАГНИТОСТАТИЧЕСКИЕ И МАГНИТОДИНАМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА МНОГОСЛОЙНЫХ СИСТЕМ НА ОСНОВЕ НАНОКОМПОЗИТОВ (Со40Ге40В20)х(8Ю2)100-х А.А. Абрычкин, Ю.Е. Калинин, А.В. Ситников, А.Г. Федосов

Исследованы процессы намагничивания и концентрационные зависимости действительной и мнимой частей комплексной магнитной проницаемости на частоте 50 МГц многослойных гетерогенных систем на основе композитов (Со40Ре40В20)х(8Ю2)100-х. Установлено, что циклическое напыление композитов в атмосфере аргона и аргона с добавлением кислорода позволяет получить многослойную гетерогенную пленку с более высокими значениями магнитной проницаемости после порога перколяции, чем у композитов, полученных в среде аргона

Ключевые слова: нанокомпозиты, электрические свойства, многослойная гетерогенная структура, удельное электрическое сопротивление

Введение

В последнее время большой интерес привлекают исследования высокочастотных

магнитных свойств нанокомпозитов

ферромагнитный металл-диэлектрик [1-5]. Гетерогенная структура, у которой магнитные металлические гранулы диаметром несколько нанометров окружены диэлектриком, имеет высокое удельное электрическое сопротивление, зависящее от соотношения проводящей и изолирующей фаз [68]. Обычно, в качестве ферромагнитной фазы композитов используют либо переходные металлы Со, Бе, N1 или сплавы на их основе [9-14], а диэлектрическая матрица состоит из оксидов 81, А1, 2г, Сг, ИГ и т. д., либо фторидов, например М^Р2, СаБ2 [15-20].

К настоящему времени получено большое разнообразие различных композиционных материалов. Наногранулировнные композиты, полученные разными авторами с использованием различных методов формирования гетерогенных структур, имеют достаточно хорошо согласующиеся физические свойства, что свидетельствует о едином механизме самоорганизации структуры. Однако, далеко не все композиты и не во всем диапазоне концентраций фаз (особенно после порога перколяции) проявляют магнитные свойства, благоприятные для использования их в высокочастотных устройствах. В ряде работ [9, 16, 21-23] сообщается о наличии значительной перпендикулярной магнитной анизотропии образцов некоторых составов, расположенных выше порога перколяции. Структурные исследования для

Абрычкин Антон Александрович - ВГТУ, аспирант, тел. 8-920-214-68-14

Калинин Юрий Егорович - ВГТУ, д-р физ.-мат. наук, профессор, e-mail: kalinin48@mail.ru Ситников Александр Викторович - ВГТУ, д-р физ.-мат. наук, доцент, тел. 8-919-241-12-01

Федосов Алексей Григорьевич - ВГТУ, аспирант, e-mail: alftirex@mail.ru

некоторых композитов показывают наличие столбчатой структуры кластеров металлических гранул в перпендикулярном направлении к плоскости пленок, которая формируется в процессе синтеза композиционного материала. В композитах (Со4оРб4оВ2о)х(Зі02)іоо-х не обнаружена

перпендикулярная магнитная анизотропия.

Однако микрофотография поперечного разреза пленки наногранулированного композита (Со4оРе4оВ2о)бо(8102)4о выявисли анизотропию расположения гранул в поперечном направлении (рис. і).

10 пт

Рис. 1. Микрофотография поперечного разреза пленки наногранулированного композита

(Со40ре40В20)60(81°2)40

В предлагаемой работе рассмотрена возможность ограничения роста столбчатой

структуры пленки за счет формирования прослоек из композита, полученного в среде активного газа и влияние многослойной структуры на магнитостатические и магнитодинамические свойства.

Образцы и методика эксперимента

Пленки гетерогенных систем на основе

ферромагнитного сплава Со40Бе40В20 и оксида кремния получены ионно-лучевым распылением

составной мишени и последующего осаждения распыляемых атомов на ситалловые подложки [24]. Были синтезированы объемные композиты

(Со40Бе40В20)х(8Ю2)100-х и многослойные структуры,

{[(CO40Fe40B20)x(SlO2)100_x]/[(CO40Fe40B20)x(SlO2)100_ х+02] }n, { [(Co40Fe40B20)X(SlO2)100-X]/[SlO2] }80-

Осаждение композитов осуществлялось как в среде чистого аргона (р=6-10-4 Торр), так и в смешанной среде аргона с добавлением кислорода с парциальным давлением 4,2 %. Получение

многослойных гетерогенных структур композит-композит было осуществлено по следующей технологии.

В течение 47 секунд производилось напыление композитов (Co40Fe40B20)X(SiO2)100-X в атмосфере аргона, затем 15 секунд в атмосфере аргона с добавлением кислорода при тех же условиях, что и для объемных композитов. Установление номинального давления реактивных газов после включения клапана натекателя составляло 4 секунды, их откачка при выключении клапана натекателя - 8 секунд. По скорости и времени напыления композитов были сделаны оценки толщины слоев многослойной структуры, которые составили для прослойки композитов, осажденных в атмосфере аргона 8-14 нм и в смешанной атмосфере аргона + кислорода 3- 5 нм, в

зависимости от давления кислорода.

Элементный состав пленок проводили энергодисперсионной рентгеновской приставкой Oxford INCA Energy 250 на сканирующем электронном микроскопе JEOL JSM-6380 LV. Кривые намагничивания были получены на вибрационном магнитометре. Измерение магнитной проницаемости осуществлялось резонансным методом на частоте 50 МГц в катушке индуктивности с использованием Q-метра. Ориентация переменного измерительного поля была направлена в плоскости пленки параллельно продольной оси образца. Относительная

погрешность в определении действительной (р/) и мнимой (^//) частей комплексной магнитной проницаемости составила 8 %.

Структурные особенности гранулированных композиционных структур исследованы методом просвечивающей электронной микроскопии в центре коллективного пользования Белгородского государственного университета.

Предложенный нами метод получения многослойной гетерогенной структуры направлен на подавление перпендикулярной структурной анизотропии. Действительно, микрофотография поперечного разреза пленки многослойной структуры

{ [(Co40Fe40B20)60(SlO2)40]/[(Co40Fe40B20)60(SlO2)40+O2]

}176, показывает наличие наноразмерных параллельных плоскости пленки слоев, наличие которых существенно затрудняет образование цепочек гранул, выстроенных перпендикулярно поверхности подложки (рис. 2).

Рис. 2. Микрофотография поперечного разреза пленки многослойной структуры

{ [(Со40Бе40В20)60(8102)40]/[(Со40Бе40В20)60(8102)40+02]

}176, полученной при циклическом напылении в атмосфере Аг с давлением 6-10-4 Торр в течение 47сек и смешанной атмосфере (Аг с давлением 6-10-4 Торр и О2 с давлением 2,4-10-5 Торр) в течение 15 сек

Результаты эксперимента и их обсуждение

Для установления влияния прослоек окисленного композита на магнитостатические и магнитодинамические свойства гетерогенных структур были исследованы процессы намагничивания пленок и концентрационные зависимости комплексной магнитной

проницаемости полученных образцов.

На рисунке 3, в качестве примера, представлены кривые намагничивания композита (Со40Ре40В20)65(8102)35. Для определения степени магнитной анизотропности в плоскости пленки измерения проводились по двум ортогональным направлениям. Анализ кривых показывает, что в процессе напыления более трудная ось намагничивания сформировалась вдоль оси образца. Вид магнитных характеристик не соответствует пленке с одноосной магнитной анизотропной структурой. Это может свидетельствовать о значительной дисперсии локальных полей анизотропии композита (Со410Ре40В20)65(8102)35. Кроме того, на кривой М(И) измеренной вдоль оси образца в плоскости пленки (рис. 3 кривая 1) заметен излом намагничивания в малых магнитных полях. Такая характеристика возможна при некотором отклонении вектора намагничивания от плоскости пленки, тоесть в композиционной структуре есть неоднородности, формирующие магнитную анизотропию в перпендикулярном к плоскости образца направлении. Этот вывод согласуется с микрофотографией поперечного разреза пленки наногранулированного композита (Со40ре40В20)60(8102)40 (рис.1)

Концентрационные зависимости

действительной (р/) и мнимой (^7/) частей комплексной магнитной проницаемости композита (Со40Ре40В20)х(8Ю2)100-х, измеренные на частоте 50 МГц представлены на рисунке 4.

н, Э

Рис. 3. Кривые намагничивания композита (Со4оРе4оВ2о)б5(8Ю2)35 измеренные в плоскости пленки 1-вдоль оси образца, 2- перпендикулярно оси образца

Х, ат.%

Рис. 4. Концентрационные зависимости

действительной (кривая 1) и мнимой (кривая 2) частей комплексной магнитной проницаемости композита (Со40Ге40В20)х(8Ю2)100-х, измеренные на частоте 50 МГц

Для объяснения полученных результатов необходимо рассмотреть трансформацию структуры композитов при различной концентрации металлической фазы и ее влияние на изменение магнитных свойств. Для композитов с изотропным распределением частиц справедливы следующие представления. С уменьшением расстояния между ферромагнитными гранулами при приближении состава композита к порогу перколяции возрастает диполь-дипольное взаимодействие между ними и вероятность образования кластеров из соприкасающихся частиц. Время разрушения магнитной упорядоченности после процесса намагничивания (время релаксации) увеличивается с ростом х и при некоторой концентрации металлической фазы совпадает с

характеристическим временем измерения. В этом концентрационном диапазоне наблюдается максимум тангенса магнитных потерь, имеющий релаксационную природу. В представленной зависимости это дапазон концентраций металлической фазы 46-47 ат.%.

Когда энергия диполь-дипольного

взаимодействия становится больше кТ, где Т температура измерений, гетерогенная система переходит в магнитоупорядоченное состояние. При этом отдельные частицы могут иметь собственные

направления полей анизотропии, обусловленные различными механизмами (формой частиц,

направлением кристаллографических осей, упорядочением пар атомов в отдельной грануле, величиной и направлением локальных напряжений на границе диэлектрик-магнитострикционная ферромагнитная частица), что приводит к значительной дисперсии полей локальной

анизотропии пленки.

Дальнейшее увеличение доли металлической фазы приводит к формированию бесконечной сетки соприкасающихся металлических частиц и как следствие вклад обменного взаимодействия между

магнитными моментами атомов соседних

контактирующих гранул увеличивается. Такие структурные изменения приводят к уменьшению дисперсии локальных осей анизотропии относительно области с меньшей концентрацией металлической фазы, хотя величина магнитной неоднородности за счет наличия отдельных гранул, не связанных обменным взаимодействием с формирующейся проводящей металлической

сеткой, остается значительной. Это приводит к росту р/, но из-за дисперсии локальных полей анизотропии наблюдаются высокие значения магнитных потерь при высокочастотном перемагничивании в данной концентрационной

области композита. Для композита

(Со40Бе40В20)х(8102)100-х это концентрационный диапазон 47-53 ат.%.

В области значительных концентраций

металлической фазы композит можно рассматривать

как объемный материал с наноразмерными включениями диэлектрика. В такой структуре дисперсия локальных полей анизотропии будет относительно невысокой и величина ^// имеет небольшие значения (53-70 ат.%). Такое деление достаточно условно, но дает возможность качественно объяснить экспериментальные

зависимости р/(х) и ^//(х).

Влияние прослоек из окисленного композта на магнитостатические характеристики гетерогенных систем {[(Со40Бе40В20)х(8102)100-х]/

[(Со40ре40В20)х(8102)ю0-х+02]}п можно увидеть, рассмотрев кривые намагничивания на рис. 5.

Существенным отличием от кривых намагничивания композита (Со40Ге40В20)65(8102)35 (рис.3) является отсутствие изломов на зависимостях М(И) и более явно выраженная магнитная анизотропия в плоскости пленки. Это может свидетельствовать об отсутствии перпендикулярной магнитной анизотропии пленок. Кроме того, увеличение давления кислорода не оказывает существенного влияния на процесс намагничивания гетерогенной структуры. Данное обстоятельство свидетельствует об определяющем вкладе в зависимости М(И) не окисленных слоев многослойной структуры {[(Со40Бе40В20)х(8102)100-х]/

[(Со40Бе40В20)х(8102)100-х+02] }п.

Рис. 5. Кривые намагничивания многослойной гетерогенной структуры

{ [(Со40Бе40В20)65(8102)35]/[(Со40Бе40В20)65(8102)35+02]

}176, полученной при циклическом напылении в атмосфере Аг с давлением 6-10-4 Торр в течение 47сек и смешанной атмосфере (Аг с давлением 6-10-4 Торр и О2 с давлением а- 2,4-10-5 Торр, Ь - 3,2-10-5 Торр, с - 6,3-10-5 Торр и ё - 1-10-4 Торр) в течение 15 сек. измеренные в плоскости пленки 1- вдоль оси образца, 2 - перпендикулярно оси образца

Для установления влияния магнитостатических свойств гетерогенных пленок и особенно наличия перпендикулярной магнитной анизотропии на высокочастотные свойства гетерогенных многослойных структур были исследованы концентрационные зависимости комплексной магнитной проницаемости полученных образцов.

На рис. 6-9 представлены зависимости р/(х) и ^//(х) многослойных гетерогенных структур

{ [(Со40Бе40В20)х(8102)100-х]/[(Со40Бе40В20)х(8102)100-

х+02]}п, полученных при циклическом напылении в атмосфере Аг в течение 47 секунд и смешанной атмосфере Аг с добавлением кислорода в различных парциальных соотношениях. Видно, что в многослойных структурах заметно увеличилось значение \\! после порога перколяции и при давлении О2 1,0-10-4 Торр достигает значений

порядка 2000 единиц. Несколько не однозначен ход зависимости ^//(х) в диапазоне концентраций металлической фазы 45-70 ат.%. Если при умеренных давлениях кислорода до 3,2-10-5 Торр ^//(х) имеет хорошо сформированный максимум при х ~ 50 ат.% и в диапозоне концентраций 60-70 ат.% составляет не значительную величину относительно ^ . Тогда как при давлениях кислорода выше 6,3-10-5 Торр максимум ^//(х) со стороны высоких концентраций металлической фазы существенно размывается. Это может быть связано с влиянием переходного слоя между окисленной прослойкой и композиционным слоем, полученным в атмосфере аргона. Время изменения давления реактивного газа в камере пропорционально его давлению.

Х, ат. %

Рис. 6. Концентрационные зависимости

действительной (кривая 1) и мнимой (кривая 2) частей комплексной магнитной проницаемости многослойной гетерогенной структуры

{ [(Со40ре40В20)х(8102)100-х]/[(Со40Бе40В20)х(8102)100-

х+02]}176, полученной при циклическом напылении в атмосфере Аг с давлением 6-10-4 Торр в течение 47сек и смешанной атмосфере (Аг с давлением 6-10-4 Торр и О2 с давлением 2,4-10-5 Торр) в течение 15 сек измеренные на частоте 50 МГц

Х, ат.%

Рис. 7. Концентрационные зависимости

действительной (кривая 1) и мнимой (кривая 2) частей комплексной магнитной проницаемости многослойной гетерогенной структуры

{ [(Со40ре40В20)х(8102)100-х]/[(Со40Бе40В20)х(8102)100-

х+02]}178, полученной при циклическом напылении в атмосфере Аг с давлением 6-10-4 Торр в течение 47сек и смешанной атмосфере (Аг с давлением 6-10-4 Торр и О2 с давлением 3,2-10-5 Торр) в течение 15 сек измеренные на частоте 50 МГц

Х, ат. %

Рис. 8. Концентрационные зависимости

действительной (кривая 1) и мнимой (кривая 2) частей комплексной магнитной проницаемости многослойной гетерогенной структуры

{ [(Со40ре40В20)х(8102)100-х]/[(Со40Бе40В20)х(8102)100-

х+02]}176, полученной при циклическом напылении в атмосфере Аг с давлением 6-10-4 Торр в течение 47сек и смешанной атмосфере (Аг с давлением 6-10-4 Торр и О2 с давлением 6,3-10-5 Торр) в течение 15 сек измеренные на частоте 50 МГц

Рис. 9. Концентрационные зависимости

действительной (кривая 1) и мнимой (кривая 2) частей комплексной магнитной проницаемости многослойной гетерогенной структуры

{ [(Со40ре40В20)х(8102)100-х]/[(Со40Бе40В20)х(8102)100-

х+02]}176, полученной при циклическом напылении в атмосфере Аг с давлением 5,9-10-4 Торр в течение 47сек и смешанной атмосфере (Аг с давлением 5,9-10-4 Торр и О2 с давлением 1,0-10-4 Торр) в течение 15 сек измеренные на частоте 50 МГц

Необходимо обратить внимание на еще одно существенную деталь концентрационных зависимостей комплексной магнитной

проницаемости. При исследовании

iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.

концентрационных зависимостей сопротивления композита и многослойных гетерогенных структур были определены концентрации перколяционных переходов (хПП) исследуемых образцов. Оказалось, что с увеличением парциального давления кислорода при осаждении окисленной прослойки хПП увеличивается. Это происходит по причине перехода перколяционного кластера

соприкасающихся металлических гранул из трехмерного в квазидвухмерное пространственное состояние. На графиках концентрационных зависимостей действительной и мнимой частей комплексной магнитной проницаемости

вертикальная черта указывает положение перкаляционного перехода. Видно, что изменение р/(х) и ^//(х) на всех представленных графиках строго корелирует с концентрацией металлической фазы и почти независит от положения порога перколяции данной гетерогенной системы. Тоесть в многослойной гетерогенной структуре

{ [(Со40Бе40В20)х(8102)100-х]/[(Со40Бе40В20)х(8102)100-

х+02]}176, полученной при циклическом напылении в атмосфере Аг и смешанной атмосфере Аг и О2 с давлением 1,0-10-4 Торр мы наблюдаем хорошо сформированную магнитную структуру с высокими значениями магнитной проницаемости в составах находящихся до порога перколяции. Такие пленки обладают высоким удельным электрическим сопротивлением и низкими значениями комплексной диэлектрической проницаемости. Это дает дополнительные возможности создать высокочастотные материалы с низким значением волнового сопротивления.

Заключение

Методом ионнолучевого распыления получены новые многослойные гетеросистемы

{[(CO40Fe40B20)x(8iO2)100-x]/[(CO4C>Fe40B20)x(8iO2)100-X+O2]}n. Анализ структуры показал, что циклическое напыление композитов в атмосфере аргона и аргона с добавлением кислорода позволяет получить многослойную гетерогенную пленку.

Исследования кривых намагничивания гетерогенных систем {[(Co40Fe40B20)X(8iO2)100-x]/[(Co40Fe40B20)x(SiO2)100-x+O2]}n, и объемных композитов (Co40Fe40B20)x(8iO2)100-x, полученных при разных условиях осаждения, показали, что введене окисленной прослойки композита увеличивает поле магнитной анизотропии пленок в плоскости подложки и уменьшает

перпендикулярную составляющую вектора намагниченности.

В многослойных гетерогенных структурах заметно увеличилось значение р/ после порога перколяции и при давлении кислорода 1,0-10-4 Торр достигает 2000 единиц. Также обнаружена хорошо сформированная магнитная структура пленки с высокими значениями магнитной проницаемости в составах находящихся до порога перколяции.

Литература

1. Ohnuma 8. H., Fujimori H., Mitani S., and Masumoto T. High frequency magnetic properties in metal-nonmetal granular films// J. Appl. Phys.- 1996.-V.79.-P.5130-5135.

2. Bloemen P. J. H. and Rulkens B. On the frequency dependence of the magnetic permeability of FeHfO thin films // J. Appl. Phys.-1998.-V.84.P6778-6781.

3. 8hihui Ge, Yang xiaolin, Kim Kwang Youn, xi Li, Kou xiaoming, Yao Dongsheng, Li Binsheng, and Wang xinwei 8tudy on mechanism of soft magnetic properties for high-frequency application in Ni75Fe25-8iO2 granular films// Phys. 8tat. 8ol. A.-2005.-V.202.-N.10.-P.2021-2027.

4. 8ohn J. C., Byun D. J., and Lim 8. H. Theoretical and experimental permeability spectra of nano-granular Co-Fe-Al-O films for GHz magnetoelastic device applications// Phys. 8tat. 8ol. A.-2004.-V.201.-N.8.-P.1946-1950.

5. Buznikov N.A., Iakubov I.T., Rakhmanov A.L., 8boychakov A.O.High-frequency magnetic permeability of nanocomposite film// J. Magn. and Magn. Mater.-2005-V.293.-P.938-946.

6. Ohnuma 8., Kobayashi N., Masumoto T., Mitani 8., and Fujimori H., Magnetostrictrion and soft magnetic properties of (Co1-xFex)-Al-O granular films with high electrical resistivity // J. Appl. Phys.-1999.-V.85. P.4574-4576.

7. xu Y., and Yan x. Microstructure and magnetic properties of percolating (Ni-Fe)x(8iO2)1-x granular films// J. Mat. Rsch.-1996.-V.11-P.2506-2509.

8. Hayakawa Y., Hasegawa N., Makino A., Mitani 8., and Fujimori H. Microstructure and magnetoresistance of Fe-Hf-O films with high electrical resistivity // J. Magn. Magn. Mater.-1996-V.154.-P.175-182.

9. H. Ohnuma, K. Hono, H. Onoder, 8. Ohnuma, H. Fujimori, J.8. Pedersen Microstructures and magnetic properties of Co-Al-O granular thin films// J. Appl. Phys.-2000-V.87-N2-P.817-823.

10. Wu L.Z., Ding J., Jiang H.B., Chen L.F., Ong C.K. Particle size influence to the microwave properties of iron based magnetic particulate composites//J. Magn. and Magn. Mat.-(2005)-V.285-P.233-239.

11. Ramprasad R., Zurcher P., Petras M., Miller M., Renaud P. Magnetic properties of metallic ferromagnetic nanoparticle composites// Appl. Phys.-2004-V.96.-N.ll.-P.519-529.

12.C. Chen, O. Kitakami, and Y. Shimada, Particle size effects and surface anisotropy in Fe-based granular films,// J. Appl. Phys.,-1998- V. 84,-P. 2184-2189.

13. Lianwen Deng, Zekun Feng, Jianjun Jiang, Huahui He Percolation and microwave characteristics of CoFeB-SiO2 nano-granular films// J. Magn. and Magn. Mater.-2007-V309.-P.285-289.

14. F. Yildiz, S. Kazan, B. Aktas, S.I. Tarapov, L. Tagirov, B. Granovsky Ferromagnetic resonance studies on (Co40Fe40B20)x(SiO2)1-x granular magnetic films// J. Magn. and Magn. Mater.-2006-V305.-P.24-27.

15. Morikawa T., Suzuki M., and Taga Y. Soft-magnetic properties of Co-Cr-O granular films// J. Appl. Phys.-1998.-V.83-P.6664-6666.

16. Ohnuma S., Fujimori H., and Masumoto T., Xiong X. Y., Ping D. H., and Hono K. FeCo-Zr-O nanogranular soft-magnetic thin films with a high magnetic flux density// Appl. Phys. Lett.-2003-V.82.-N.6.-P.946-948.

17. Coonley K. D., Mehas G. J., Sullivan C. R., Gibson U. J. Evaporatively deposited Co-MgF2 granular materials for thin-film inductors// M.S. thesis, Dartmouth College, 1999.

18.Li Liangliang, Crawford Ankur M., Wang 8han x., Marshall Ann F., Mao Ming, 8chneider Thomas, and Bubber Randhir 8oft magnetic granular material Co-Fe-Hf-O for micromagnetic device applications// J. Appl. Phys.-2005-V.97.-N.10.-P.907-910.

19. Grimes A., Grimes M., The effective permeability of granular films//IEEE Trans. Magn.-1993.- V.29-N.6-P.4092-4094.

20. 8asaki Y., Morita 8., Hatanai T., Makino A., 8ato T., and Yamasawa K. High-frequency soft magnetic properties of nanocrystalline Fe-(Co)-Hf-O films with high electrical resistivity and their applications to micro DC-DC converter// Nano8tructured Mat.-1997.-V.8.-P.1025.-1029.

21. Ситников А.В. Механизмы наведенной магнитной анизотропии в гранулированных нанокомпозитах (Co4CFe4CB2C)X(8iO2)lCC-X//Альтернативная энергетика и экология. - 2008. - № 8. - С. 31-37.

22. Стогней О.В. Ситников А.В. Анизотропия аморфных наногранулированных композитов CoTaNb-8iOn и CoFeB-8iOn// Физика твердого тела.-2010.- Т. 52. -Вып. 12.- С. 2356-2364.

23. Ситников А.В. Магнитные свойства и

особенности формирования структуры

наногранулированных композитов металл-диэлектрик// Материаловедение. - 2010 - №3 - С. 134-137.

24. Калинин Ю.Е., Пономаренко А.Т., Ситников А.В., Стогней О.В. Гранулированные нанокомпозиты металл-диэлектрик с аморфной структурой // Физика и химия обработки материалов. - 2001 - № 5 - C. 14-20.

Воронежский государственный технический университет

MAGNETOSTATIC AND MAGNETODYNAMIC PROPERTIES OF MULTILAYER SYSTEMS NANOCOMPOSITES BASED (CO40FE40B20) X (SIO2) 100-X A. A. Abrychkin, Yu. E. Kalinin, A. V. Sitnikov, A. G. Fedosov

The processes of magnetization and concentration dependence of the real and imaginary parts of the complex permeability at 50 MHz multi-heterogeneous systems based on composites (Co40Fe40B20) x (SiO2) 100-x. Found that cyclic deposition of composites in argon and argon with the addition of oxygen provides a heterogeneous multi-layer film with higher permeability after the percolation threshold than the composites produced in argon

Key words: nanocomposites, electrical properties, multi-heterogeneous structure, the electric resistivity

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.