Вопросы построения зондовых приборов активного контроля размеров изделий Текст научной статьи по специальности «Нанотехнологии»

УДК 681.2.084-2

РО!: 10.25206/1813-8225-2018-160-127-133

Е. В. ЛЕУН

АО «НПО Лавочкина», Московская область, г. Химки

ВОПРОСЫ ПОСТРОЕНИЯ ЗОНДОВЫХ ПРИБОРОВ АКТИВНОГО КОНТРОЛЯ РАЗМЕРОВ ИЗДЕЛИЙ

В статье представлены зондовые приборы активного контроля (ПАК) размеров изделий, описаны состав, варианты, принцип и режимы работы. Измерения осуществляются за счет двухкоординатных виброколебаний наконечника по замкнутой траектории с участком сонаправленного движения и механического контактирования ¡к с поверхностью движущегося изделия. На этом участке наконечник движется V с небольшим отставанием от изделия V

' " нак " изд

с малой относительной скоростью ^v=vн¡¡к—vзsдx0, реализуя скользящее ощупывание, подобно игле профилометра или кантилевера, с измерением его положения по двум координатам / и ¡. Измерения состоят из последовательности таких ощупываний.

В статье обсуждаются вопросы функциональных возможностей, непрерывности и точности измерений зондовых ПАК.

Ключевые слова: активный контроль, размер изделия, сканер, вибродвигатель, пьезодвигатель, зондовая микроскопия, наконечник.

Введение. Начиная с момента появления в 60-х годах ХХ века за рубежом [1, 2] и в СССР [3 — 6] использование в приборо-, станко-, машиностроении и ракетно-космической отрасли приборов активного контроля (ПАК) размеров изделий на металлорежущих станках демонстрирует свою эффективность, позволяя повысить производительность труда до 2 — 5 раз на заключительных операциях изготовления изделий с прерывистой поверхностью: сверла, фрезы, развертки и др.

Несмотря на прогресс в развитии бесконтактных, в частности лазерных ПАК [7 — 9], полная замена ими контактных ПАК невозможна, т.к. они не позволяют исключить влияние на точность измерений поверхностного шлама, окисной пленки и т.п. В контактных ПАК измерительный наконечник (в дальнейшем — наконечник) подводится к детали до механического контакта с ней с одновременной фиксацией его координаты. При этом проявляются ограничения, обусловленные максимумом ударных динамических усилий и погрешности измерений при инерционном переходе наконечника с впадины на выступ.

К настоящему времени уже создан большой задел в области шаговых вибродвигателей ударного типа, созданных в 1964 г. Лавриненко В. В. [10] и позже ставших предметом исследований ученых Каунаса [11, 12]. Также имеются достижения в зондовой [13] и ближнепольной оптической микроскопии [14]. И данная статья, используя этот задел, посвящена способу активного контроля размеров изделий, основанном на движущемся по криволинейной траектории, близкой к эллипсу, подвижном зонде, подобном игле профилометра или кантилевера, установленном на вибродвигателе, используемом для ощупывания обрабатывае-

мой детали. Это позволяет перейти от «ударного» контактирования к «ощупывающему» с меньшими нагрузками и погрешностью измерений и большей информативностью. Такие разработки ранее не были представлены в открытой печати, и данная статья, открывая серию публикаций на эту тему, направлена на восполнение этого пробела.

1. Устройство и принцип действия. Итак, конструкция зондового ПАК поясняется с помощью рис. 1а, на котором изображено изделие 1, обрабатываемое шлифовальным кругом 2; консольно установленный на вибродвигатель 3 актюатор 4, на конце которого закреплен заостренный наконечник 5 с калиброванной контактирующей поверхностью преимущественно из корундов (сапфир, рубин) с нанесенным снаружи отражающим покрытием 6, например, из алюминия (Л!) толщиной до 20...50 мкм (рис. 2) с центральным несимметричным отверстием на торце наконечника 5 для прохождения оптического потока, оптически связанный с волоконно-оптическим преобразователем (ВОП)7; волоконный измеритель 8, сканер 9.

Работа зондового ПАК далее рассмотрена на примере активного контроля размеров изделия 1 с прерывистой поверхностью во время обработки шлифовальным кругом 2 на круглошлифовальном станке.

Принцип действия зондового ПАК в режиме контактных измерений подобен принципу весла, реализованному в вибродвигателях ударного типа. Заостренный наконечник 5, установленный на конце консольно закрепленного актюатора 4 вибродвигателя 3, осуществляет с их помощью циклические двухкоординатные виброколебания по траектории, близкой к эллипсу, с четырьмя последовательными этапами: подведение к поверхности ^ контактное

а) б)

Рис. 1. Схема зондового ПАк (а) и траектории движения наконечника во время измерений (б)

а)

б)

в)

Рис. 2 Двухзондовый ПАк: в режиме двухтактных противофазных измерений (а), угловое разнесение наконечников (б), последовательное расположение двух зондов (в)

скольжение по поверхности ^ отведение от поверхности ^ возвратное бесконтактное движение. На втором этапе наконечник 5 с небольшим отставанием скользит со скоростью V на участке 1

1 нак 1 к

по поверхности изделия 1, движущегося со скоростью V , а их относительная скорость мала:

^ изд 1

Дv= V — V и 0. В процессе этого скольжения

изд нак ± '

поверхность изделия 1 ощупывается наконечником 5, пространственное положение которого ¡х и ¡у измеряется сканером 9.

Контактные измерения состоят из последовательности таких ощупываний, а на остальных этапах движения наконечник 5 не касается поверхности изделия 1.

1.1. Обеспечение непрерывности измерений. В связи с наличием этапа возвратного движения наконечника без контакта с изделием и появлением из-за этого неизмеренного участка, обеспечение непрерывности измерений возможно при использовании двух зондов с двухтактным противофазным режимом работы на одном участке контроля ¡к (рис. 2а, б) с последовательным расположением двух зондов (рис. 2в), контактно-бесконтактными измерениями с помощью гибридных ПАК (рис. 3б), а также расчетным путем.

Двухтактный режим двухзондового ПАК (рис. 2а) реализуем при использовании двух зондов с симметричным угловым разнесением ±а наконечников относительно вертикали, эллиптических движений в двух разных плоскостях, пересекающихся на участке контроля ¡к (рис. 2б), и их противофазной

работы с длительностью возвратного движения Т , не превышающем время измерений Т : Т < Т .

1 1 1 1 изм возв изм

Измерения гибридными ПАК осуществляются контактно при контактировании с изделием и бесконтактно при возвратном движении. Для обеспечения этого, а также проведения периодической калибровки, учета износа наконечника, определения зазора между изделием и наконечником в процессе механического контактирования в наконечнике размещается волоконный интерфероме-трический датчик с микрооптическим элементом на торце (рис. 3б) с достигаемой точностью измерения не хуже 1 мкм [15, 16].

Корректное восстановление профиля поверхности возможно также расчетным путем на основе предварительных данных о форме изделия, скорости перемещения изделия и по результатам дискретных измерений зондовым ПАК при соблюдении условия минимальной частоты ощупываний, определяемой теоремой отсчетов Котельникова. Более подробно этот вопрос будет рассмотрен в одном из следующих авторских исследований.

1.2. Синхронизация измерений за счет определения бокового приближения выступов изделия. Эффективность активного контроля изделий, особенно с прерывистой поверхностью, повышается при синхронизации измерений за счет определения бокового приближения выступов изделия и использования волоконного интерферометрического датчика.

Вопросы обеспечения синхронизации измерений за счет определения бокового приближения

ивыхЦх,1у)

Рис. 3. Наконечники зондовых ПАК: с формированием несимметричного выходного оптического потока: вид сбоку (а), диаграмма направленности (б) и с введенным волоконным интерференционным датчиком (в)

д)

Рис. 4. Траектории движения наконечника (а—г) и пилообразный сигнал с экспериментальной характеристикой движения (д), полученные для актюатора с мультипликатором [18]

выступов изделия позволяет по отраженному оптическому сигналу «следить» как за боковым приближением выступа изделия, так и после начала механического контактирования ИН с поверхностью оценивать его характер на предмет наличия/ отсутствия контакта или отрыва от поверхности. Подобные вопросы ранее уже было подробно рассмотрены в [17]. Было показано, что условием для осуществления этого является формирование направленного несимметричного потока излучения и регистрация отраженного сигнала за счет применения амплитудных методов или фазовой синхронизации на основе фазовой автоподстройки частоты.

Представляется, что для данного зондового ПАК достаточно, чтобы несимметричный поток излучения наконечника имел диаграмму направленности в угловых секторах (рис. 3а): в диапазонах —10°.

+ 20° и —20° .+20° соответственно в плоскостях ХОУ и Х02.

1.3. Характер и траектории движения измерительного наконечника. Взаимное сонаправлен-ное движение наконечника 5 по поверхности изделия 1 предполагает его обгон при v > v или

^ 1 ^ 1 нак изд

отставание при v < v . Первый вариант пред-

нак изд

полагает более высокие требования к быстродействию зонда, что малоперспективно и в дальнейшем рассматриваться не будет. Во втором варианте южно записать v =v — Дv и, соот-

нак изд

Дй

ветственно,

1 --

Так как для каж до го

цикла измерендй в течение фиксированного периода време—и происходит измерение размеров в пределах 1к приперемещении изделия на значение

, Дй 1к йю

! и -= —й, то можно записать —

изд й I й

ззя ззя зл

1 —

я

С учетом этого получаем выр ажение

I

н 1--

(1)

демонстрирующее связь относительного участка

контроля

_н

с,.

с относительной скоростью

изд изд

для которой характерны два крайних случая. Так, при неподвижном неко нечнике с VHaK = 0 длина контроля ¡к равна длиае перемещения изделия ¡ад,

т.е. l =l и поэтому р 1. При движении же

к изд 1

изд

со скоростью, равной скороста даижение изделия v = v , наконечник неподвижен относетельнопо-

нак изд ^

верхности изделия и } = 0. Остальные случаи явля-ются промежуточными между вышеописанными.

В зависимости от тсобенностей формы поверо-ности изделия траектория движения наконечника, будучи замкнутой кравай, мсжет приближаться

а а

х у

по форме к эллипс.. ~ + р 1 (рис. 4а), подобно овалам Декарта (в виде ранорванноро вытянутого торт, рис. 4б): (x2 + y2 — Ix)^ x2 + y2— 1, иметь в пределах участка контроош ¡°° азменябмое усилие прижима к изделию, компенсирдтощеп колебания, возникающие отоеханического контакта (рис. 4в) с прям н линейны м )аастк о а (рис. рг) или и другие формы.

Движение накоааааика до пртстым т]аанкто-риям типэ эллипса, сфоумировалное при подаче на актюатор простых моноаармоличесаих сигналов, делает измнрительное усилие AFuy и/или скорость движенид непостоянтам: aaFa ^ const и еняа ^ coast: . Линеаризация этих параметров вынуждает применять болуе ндожные сигналы управления, например, пило образный полигармонический сигнал со сложным спектр ан:

Иop(t) e ГИР ж

4 i ^ sin—t--san °мt л

1 1

о—sinP—,t--sinpM,t о-...

. p 1 4 1 .

образователей весьма малы и лежат в диапазоне от 0,1 мкм до 0,1 — 0,2 мм [11] с частотами до нескольких десятков i—е—ы герц [—8[. Для них исполь т у -ют пьезоэлектричеткие, —[лектро- л магнитостр—ы-ционные материал—i.

В работе [19] —л ссылкой ла [20] указывается на достижение линейной скорости 0,75 м°с , а в работе [21] описывается пьезоактюатор с чувствительностью 0,70 мкм,.]1) при налряжении питания 170 В, смещения 1д которо го на частоте резонанса fng=1 кГц возрасоают до 10 раз. С учетом этого значение скорости дсижения вибропреобразователя для каждого тобупевиода пероменного сигнала можно выбиблитв —ю фо—муле:

i С • 101 с • a„r

(21

1.4. Пирометрическое измерение температуры. Высокая прозрачность корундов в широком диапазоне длин волн, включая ИК-диапазон, позволяет измерять ее температуру Т пирометром, расположенным в волоконном измерителе 8. В общем случае изменения температуры в широком диапазоне от20 °С до 450 °С соответствуют передаче по ВОП дм последующего измерения оптического излучения в инфракрасном диапазоне длин волн ДХ ~ 1,0. ,р мкм. Одна ко в р вальности за счет использования смазочно-охлаждающих жидкостей диапазон тимператэдэ и, соответртвенно, диапазон длин волн будет уже, упрощая схему измерений.

2. Конструктав ные осаоенности итехнические характарисрики. 1а разделеописаны основныеузлы зондовых ПАК, определяющие его технические характеристики и функциональные возможности с учетом скорости движения поверхности изделия V и 0,6 м/с.

изд '

2.1. Вибродвигатели. На данный момент вибродвигатели ударного типа уже достаточно хорошо исследованы [10—12]. Так, для большинства вибродвигателей амплитуды колебаний вибропре-

получив расчетное значение ьць» и,р еОс с превышением vh над vu3g более 4 раз и создач рредпо -сылки для успешного использования в зондовых ПАК.

Использование мультяпликатороо но позволяет существенно певыситч у , т.яе. увеличение выходных перемещений И' с кмА1пд связано с таким же снижением честоты ядижений ТПя с Tщ / кс [18], где км — коэффисиент мулптипли/ации, И1 и in — собственныеамплотуза и частота смещений пьезопреобразоватеи, И11 и ТПд — амплитуда и частота смещений на выходе мультиплисотора, а эти изменения компенсирмют дриг друга. Тем не менее использование мультипликатора позволяет найти оптимум между v1 и fng то другимипараметрами ПАК, например, быстродействием сканера.

Точность задания траектории движения наконечника обеспечивается датчиками обратной авя-зи в виде встроенных в актюатор тензорезисторов, ужеактивно используемых в [22].

2.2. Корундовый наконечник. Из всех высокопрочных и оптически прозрачных материалов ко-рунды (сапфир, рубин), вероятно, являются наиболее подходящими для изготовления наконечников из-за своей доступности и технологичности. Устойчивость их к высоким ударным нагрузкам, возникающим при активном контроле, из-за высоких прочностных свойств подтверждена расчетным путем в [7] с получением оценки « 30-кратного запаса прочности и экспериментально [23].

2.3 Сканер. Для измерения положения по двум координатам ¡х и ly наиболее подходящими являются сканеры серии 29Х0 типа scanCONTROL фирмы Micro-Epsilon (Германия) [24]. Высокоточный сканер LLT2950-10/BL имеет следующие характеристики: диапазон измерения 10 мм, линейность измерений ±0,17 % (от диапазона) и разрешающая способность 1 мкм, апертурный угол 10° на линию сканирования, частота сканирования до 2000 Гц с пространственным разрешением 1280 точек.

2.4. Волоконно-оптический преобразователь. Хорошие тактико-технические характеристики, достигнутые волоконными некогерентными интерферометрами, способными при использовании слабокогерентных излучателей работать с шероховатыми поверхностями, делает их перспективными для использования в составе наконечника зондовых ПАК. Исходя из многочисленных исследований этих устройств [15, 16], достижимая погрешность измерений может быть не хуже 1 мкм.

3. Анализ технических характеристик зондовых ПАК. Для понимания потенциала разработанных зондовых ПАК оценим их основные тех-

/

я

я

нические характеристияи и, в первую очередь, быстродействие и т-чность измерений.

3.1. Анализ быстроднйствия. Для вышеупомянутого сканерй ЛЬТ205Я-10/БЬ при частоте сканирования до 2000 сц с прсстранственным разрешением 1280 точек на скайияование и измерение положения одной точки уходит не более 0,39 мкс. Если разрешающая сыособность этого сканера, равная 1 мкм, будет равна динамической погрешности, то максимальная кы ет—олируемая скорость перемещений наконезника сосзавит и 2,56 м/с. И это рассчитанное зоачение существенно, почти в 4 раза, больше скорости движения поверхности изделия V и 0,6 м/с, обеспечиоая достаточный запас по бы-

изд ' ' ^

стродействию.

3.2. Метролыгеческий анализ зондового ПАК. Для оценки точностных парсметров рассчигаем погрешности конгакыных Д/ и бесконтактных ДЬ из-

1 ки ои

мерений разработанного зо ндового ПАК.

3.2.1. Пог-ешнссыь конташпных измерений. Погрешность контактных измерения зондового ПАК Д1 состоит йотрег оеновдпах сзставляюдтих: Д1 —

ки ^ 1 скан

погрешность измерения скайера, Д1 — темпе-

^ ^ Г темп

ратурная погрешность от удлинения наконечника, Д1МК — погрешностз механсетесаого ктнтактиро-вания, обусеовлшынае вдавииванием наконечника в изделие за счет изоерителсного усшшя Риу.. Приняв, что они не з аеизят друг от друга и имеют нормальное распределение в искомом выражении для Д1 , можно сложите ии пеонетрически

нак' 1

ееНсз п тео2

еОбз п^еоСсгн и (н.Убеи п

те

Д1

С учетом этого выражение для расчета Д1МК, представлеыноев [Н— имеет следующий вид:

# Р

ш агняз ,

V Р

(5)

где Яа = К1а + Я2а — среднее арифметическое отклонение профиля шероховатых поверхностей, Р — давление в пределах площади контакта, Р — давление (отношение усилия к контурной площади контакт^, определяемое как

Н =

0,36

с 31 (ОсуА)2

ер„.

(6)

где Дрт

изменение измерительного усилия на-

конечника, пв — количество контактирующих волн в зоне контакта (для сферического и плоского наконечников при активном контроле в процессе шли-

фования п =1), О

упругая постоянная контак-

тирующих материалов, кпределяемая к=к

1 т и 2 1 т и2

— = 1 нак I__^ ,

е..

где Е , Е и V , V

^ изд нак нак изд

е...

—)

модули упруго—и и ко-

(3)

При бескоятакнаыиизмерениох Да^ ы 0, а температурные удлинения наконечника из корундов в воздухе при феоовых измерения- лазерным дп-терферометром и вышеупомянутым некогерентным волоконным ячиыываются с коэффициентом 0,76 [25]. Поэтому выражение для бесконтатаны- измт-рений Д1би имезт вид

V • V

эффи—иен=ы Пуассона мате риалов, Ть = —1в-—

средний радиус волны контактирующих поверхностей.

В зависимости от совтньшения Н и 77 км зна-

с 3

чение Рг расститывается по разным формулат из системы уравнений:

т

при условии

н к

т

Н тот 1 7кш

н

при условии:Нс >

(8)

(4)

Далее ди о>аычета Д/, н Д1би определим значения их всех составляющих.

3.2.1.1. Поырееноетъ инаетэянив сшанара А1 .

скан

В разработанном зондовом ПАК сканера можно периодически калибривать с полряением координат каждой точки сканернваеия, тем сампм исключая погрешность линеййзетш н делая ее пренебрежимо малой. Тогда в формуле (4) можно использоватт разрешающую спосибность, значиние аотоиой для высокоточного сканера ШТ2950-10/БЬ составляет 1 мкм [24].

3.2.1.2. Расчет температурной погрешности

наконечника. Температуриое косширение

Д1нак корундовых наконечников можно рассчитать

по формуле Д1темп ^нгс ы е • 0Н • ИЯ , где Р — коэф"

фициент линейного расширения корунда, для сапфира и рубина в = 5,58 •Ю-6, 10 и ДТ — исходная высота и нагрев наконечника. Тогда для наконечника высотой 10 = 2 мм и при нагреве ДТ=20 °С получае м Д1 =0,22 мкм.

нак

3.2.1.3. Погрешность механического контактирования Д1 Для расчета значения Д1МК принимаем, что характер контактных деформаций шероховатых поверхностей (для Яа > 0,16 мкм) наконечника и изделия — пластический.

где Н — меньшее значзние микротвердости контактирующих материалов, как правило, соответствующее контролируемой детали.

°,е.2. Расч ет погрешностей контактных и бесконтактных измерений зондовых ПАК. Итак, в соответствии с выражениями (3), (5) — (8) были рассчитаны соответственно значения Д1МК и Д=и при каноактиро вании корундового наконечника (Е =350 ГПн, V =0,18) с изделием из быстроре-

> нак ' нак '' ^ 11

жущей стали (Е =220 ГПа, V =0,23) при итмен е-

^ 1 > изд ' изд ' ' 1

нти т в диапазоне от 0,5 до 5 Н. На основании птл^о тзн ых значений на рис. 5 построены две зависимости: Д1МК(ДРиу) — с ромбами и Ы^Дру — с квадратами, которые, как видно, близки пе ха-р актеру кривых, имея небольшое смещение между собой. С учетом этого, для максимального зна-чется ТЯас = ЗН, рекомкндованного в [6], тмеем Д1МК=1,36 мкм, а погрешность контактных измера-ний Д1 соткшетственно Д1 =1,71 мкм.

ки к—

Погрешность бесконйактных измерений, рассчитанная по формуле 4, составила Ы6 = ■

= д/нь(е,еб • е,22)2 = VI + е,ве • е,ете «1 мкм.

В обоих случаях получена высокая точность измерений, под верждающая хорошие технические характеристики разработанных зондовых ПАК.

Заключение. 1. Измерения зондовым ПАК осуществляются за счет двухкоординатных виброколебаний наконечника по замкнутой траектории

3

х

—

г

г

с

Рис. 5. Зависимости суммарной погрешности Л1пак (с квадратами) и погрешности механического контактирования Л1МК (с ромбами) от измерительного усилия ЛБ

с участком сонаправленного движения и механического контактирования Al с поверхностью движущегося изделия. На этом участке наконечник движется v с небольшим отставанием от изделия v

нак ^ изд

с малой относительной скоростью Av=v —v « 0,

1 нак изд '

реализуя скользящее ощупывание, подобно игле профилометра или кантилевера, с измерением его положения по двум координатам ¡х и ly. Измерения состоят из последовательности таких ощупываний.

2. В связи с наличием этапа возвратного движения наконечника без контакта с изделием и появлением из-за этого неизмеренного участка обеспечение непрерывности измерений возможно при использовании двух зондов с двухтактным противофазным режимом работы на одном участке контроля ¡к, с последовательным расположением двух зондов, контактно-бесконтактными измерениями с помощью гибридных ПАК, а также расчетным путем.

3. Существующий технологический уровень в областях вибродвигателей и лазерных 2D сканеров позволяет создать и использовать зондовые ПАК при скоростях движений изделий на уровне « 0,6 м/с.

4. Погрешность механического контактирования А1МК, обусловленная вдавливанием корундового наконечника в изделие из быстрорежущей стали, при измерительном усилии 3Н составляет 1,36 мкм.

5. Погрешности зондовых ПАК для контактных Al и бесконтактных измерений составляет

ки

« 1,71 мкм и « 1,0 мкм соответственно.

Библиографический список

1. Marposs. URL: http://www.marposs.com (дата обращения: 15.06.2018).

2. Industrial metrology: modern measuring systems for monitoring quality in production processes. URL: https://www. jenoptik.com/products/metrology (дата обращения: 15.06.2018).

3. Волосов С. С., Педь Е. И. Приборы для автоматического контроля в машиностроении. М.: Машиностроение, 1970. 310 с.

4. Кондашевский В. В., Лотце В. Активный контроль размеров деталей на металлорежущих станках. Омск: Зап.-Сиб. кн. изд-во, Омское отд-ние, 1976. 431 с.

5. Сайт АО «НИИизмерения». URL: http://www.micron. ru/production/active_instruments/bv-4304/ (дата обращения: 15.06.2018).

6. Леун В. И. Повышение эффективности технологии изготовления и точности измерения линейных размеров прецизионных деталей приборов, машин и изделий инструментального производства средствами автоматического контроля: дис. ... д-ра техн. наук: 05.11.14, 05.11.01. СПб., 1994. 420 с.

7. Леун Е. В. Разработка приборов активного контроля размерных параметров изделий с использованием сапфировых измерительных наконечников // Омский научный вестник. 2016. № 4 (148). С. 123-127.

8. Пат. 2603516 Российская Федерация, МПК B 24 B 49/04, B 24 B 49/12, B 23 Q 17/20. Способ измерения линейных размеров изделия, выполненного с впадинами и выступами на поверхности / Леун Е. В.; опубл. 27.11.16, Бюл. № 33.

9. Пат. 2648901 Российская Федерация, МПК B 24 B 49/00, G01 B 5/00, G 01 B 11/00, G 01B 5/00. Способ активного контроля размеров изделия в процессе его шлифования / Леун Е. В.; заявл. 04.02.16; опубл. 28.03.18, Бюл. № 10.

10. Лавриненко В. В., Карташев И. А., Вишневский В. С. Пьезоэлектрические двигатели. М.: Энергия, 1980. 110 с.

11. Бансявичюс Р., Рагульскис К. Вибродвигатели. Вильнюс: Мокслас, 1980. 193 с.

12. Bansevicius R., Blechertas V. Ultrasonic motors formass-consumer products // Ultragarsas. 2006. №. 4 (61). P. 50-53. URL: http://www.ndt.net/article/ultragarsas/61-2006-vol.4_09-r. bansevicius.pdf (дата обращения: 15.06.2018).

13. Пат. 2329465 Российская Федерация, МПК G01B 7/34 G12B 21/00. Способ измерения рельефа поверхности объекта с использованием сканирующего зондового микроскопа / Быков А. В., Быков В. А., Лесмент С. И., Рябо-конь В. Н.; № 2006145408/28; заявл. 21.12.06; опубл. 20.07.08. Бюл. № 20.

14. Быков В. А. Микромеханика для сканирующей зон-довой микроскопии и нанотехнологии. URL: http://www. microsystems.ru/files/publ/7.htm#_1._Геометрия_и_физиче-ские_свойства_(дата обращения: 15.06.2018).

15. Иванов В. В. Развитие методов низкокогерентной волоконно-оптической интерферометрии: дис. ... канд. физ.-мат. наук. Н. Новгород, 2005. 154 с.

16. Кононенко В. В., Конов В. И., Волков П. В., Иванов В. В. [и др.]. Контроль лазерной обработки поликристаллических алмазных пластин методом низкокогерентной оптической интерферометрии // Квантовая электроника. 2005. T. 35, № 7. C. 622-626.

17. Леун Е. В., Леун В. И., Шаханов А. Е. Сапфировые наконечники приборов активного контроля размеров изделий, выполненных с впадинами и выступами, с возможностью определения бокового приближения выступов // Проблемы машиноведения: материалы II Междунар. науч.-техн. конф.

Омск, 27-28 февраля 2018 г. Омск: Изд-во ОмГТУ, 2018. C. 212-221.

18. Щербин А. М. Исполнительные элементы прецизионных пьезоэлектрических приводов с увеличенным диапазоном перемещения: дис. ... канд. техн. наук: 05.13.05. М., 1997. 205 с.

19. Hunstig M. Piezoelectric inertia motors-acritical review of history, concepts, design, applications, and perspectives // Actuators. 2017. Vol. 6 (1), 7. DOI: 10.3390/act6010007. URL: http://www.mdpi.com/2076-0825/6/1/7 (дата обращения: 15.06.2018).

20. Nishimura T., Morita T. Resonant-type SIDM Actuator // ACTUATOR 10 Conference Proceedings. Wirtschafts^rderung Bremen: Bremen, Germany, 2010. P. 181-185.

21. Claeyssen F., Le Letty R., Barillot F. [et al.]. Amplified piezoelectric actuators: static & dynamic applications // Ferroelectrics. 2007. Vol. 351. P. 3-14. DOI: 10.1080/00150190701351865.

22. Низковольтовые многослойные пьезоактуаторы серии P-871. URL: http://www.eurotek-general.com/products/ systems_pi/piezoactuators/p-871-/#ad-image-0 (дата обращения: 15.06.2018).

23. Леун Е. В., Шулепов А. В. Исследование и разработка сапфировых измерительных наконечников для приборов активного контроля размерных параметров изделий // Омский научный вестник. 2017. № 3 (153). С. 91-95.

24. More Precision scanCONTROL. Micro-Epsilon // 2D/3D laser scanner (laser profile sensors). URL: https://www.micro-

epsilon.ru/download/products/cat--scanCONTROL--en.pdf (дата обращения: 15.06.2018).

25. Леун Е. В., Леун В. И., Шаханов А. Е. Метрологический анализ лазерных приборов активного контроля размеров изделий с использованием корундовых наконечников // Омский научный вестник. 2018. № 2 (158). С. 123-127.

ЛЕУН Евгений Владимирович, кандидат технических наук, ведущий инженер АО «НПО Лавочкина».

SPIN-код: 6060-8056

AuthorlD: 367560

AuthorID (SCOPUS): 57200722184

Адрес для переписки: stankin1999@mail.ru

Для цитирования

Леун Е. В. Вопросы построения зондовых приборов активного контроля размеров изделий // Омский научный вестник. 2018. № 4 (160). С. 127-133. DOI: 10.25206/1813-8225-2018-160127-133.

Статья поступила в редакцию 19.06.2018 г. © Е. В. Леун