Научная статья на тему 'СУММАРНАЯ ПОГЛОТИТЕЛЬНАЯ СПОСОБНОСТЬ СФЕРИЧЕСКИХ КРИОАДСОРБЦИОННЫХ НАСОСОВ'

СУММАРНАЯ ПОГЛОТИТЕЛЬНАЯ СПОСОБНОСТЬ СФЕРИЧЕСКИХ КРИОАДСОРБЦИОННЫХ НАСОСОВ Текст научной статьи по специальности «Химические технологии»

CC BY
46
10
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.
Ключевые слова
КРИОСОРБЦИОННЫЙ НАСОС / CRYOSORPTION PUMP / ВАКУУМ / VACUUM / АДСОРБЦИЯ / ADSORPTION / ЖИДКИЙ АЗОТ / LIQUID NITROGEN / ДАВЛЕНИЕ / PRESSURE / ТЕМПЕРАТУРА / TEMPERATURE / ОТНОСИТЕЛЬНАЯ РАСЧЕТНАЯ ОШИБКА / RELATIVE COMPUTATIONAL ERROR / ПОРИСТАЯ СТРУКТУРА / PORE STRUCTURE / ПОГЛОТИТЕЛЬНАЯ СПОСОБНОСТЬ / ADSORPTION CAPACITY

Аннотация научной статьи по химическим технологиям, автор научной работы — Очков Андрей Андреевич, Исаев Александр Вадимович, Андреев Роман Олегович, Кряковкин Вячеслав Петрович, Цакадзе Георгий Тамазиевич

Целью работы является исследование влияния типа адсорбента и температуры адсорбции на поглотительную способность насоса. Использовались два метода: приближенный расчет по средней температуре и точный расчет путем интегрирования уравнения адсорбции по всему объему адсорбента. При этом исследования проводились при давлениях, соответствующих различным степеням вакуума. Соответственно, были получены аналитические зависимости относительной расчетной ошибки от температуры на периферии адсорбента для следующих условий: адсорбция различных газов для насосов на охлажденном и переохлажденном жидком азоте, для адсорбента с различными значениями постоянной пористой структуры при различных давлениях всасывания.

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.
iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

The total absorption capacity of spherical cryosorption pumps

The aim of the study is to research influence of the type of adsorbent and the adsorption temperature to the adsorption capacity of the pump. Two methods were used: an approximate calculation of the average temperature and the accurate calculation by integration equation adsorption over the entire volume of the adsorbent. Research carried out at pressure corresponding to different degrees of vacuum. Accordingly were obtained analytical relative computational error - temperature in the periphery of the adsorbent dependence to the following conditions: adsorption of different gases for cooling liquid nitrogen pumps and overcooled liquid nitrogen pumps for the adsorbent with different values of the constant of the pore structure at different intake pressure.

Текст научной работы на тему «СУММАРНАЯ ПОГЛОТИТЕЛЬНАЯ СПОСОБНОСТЬ СФЕРИЧЕСКИХ КРИОАДСОРБЦИОННЫХ НАСОСОВ»

Статья поступила в редакцию 16.11.15. Ред. рег. № 2414

The article has entered in publishing office 16.11.15. Ed. reg. No. 2414

УДК 621.51 doi: 10.15518/isjaee.2015.21.009

СУММАРНАЯ ПОГЛОТИТЕЛЬНАЯ СПОСОБНОСТЬ СФЕРИЧЕСКИХ КРИОАДСОРБЦИОННЫХ НАСОСОВ

А.А. Очков1, А.В. Исаев1, Р. О. Андреев1, В.П. Кряковкин2, Г. Т. Цакадзе1

'Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана 105005 Москва, ул. 2-я Бауманская, д. 5 Тел.: (916) 028-3753; e-mail: aochkov@bmstu.ru, zhenkong46@yandex.ru 2ЗАО «Научно-производственное предприятие Криосервис» («НПП Криосервис») 143903 Балашиха Московской обл., ул. Пушкинская, д. 7, стр. 1 Тел.: (916) 905-5684; e-mail: kvp@cryoservice.ru

Заключение совета рецензентов: 19.11.15 Заключение совета экспертов: 22.11.15 Принято к публикации: 25.11.15

Целью работы является исследование влияния типа адсорбента и температуры адсорбции на поглотительную способность насоса. Использовались два метода: приближенный расчет по средней температуре и точный расчет путем интегрирования уравнения адсорбции по всему объему адсорбента. При этом исследования проводились при давлениях, соответствующих различным степеням вакуума. Соответственно, были получены аналитические зависимости относительной расчетной ошибки от температуры на периферии адсорбента для следующих условий: адсорбция различных газов для насосов на охлажденном и переохлажденном жидком азоте, для адсорбента с различными значениями постоянной пористой структуры при различных давлениях всасывания.

Ключевые слова: криосорбционный насос, вакуум, адсорбция, жидкий азот, давление, температура, относительная расчетная ошибка, пористая структура, поглотительная способность.

THE TOTAL ABSORPTION CAPACITY OF SPHERICAL CRYOSORPTION PUMPS A.A. Ochkov1, A.V. Isaev1, R.O. Andreev1, V.P. Kryakovkin2, G.T. Tsakadze1

1N.E. Bauman Moscow State Technical University (MSTU) 5, 2-nd Baumanskaya str., Moscow, 105005, Russia Tel.: (916) 028-3753; e-mail: aochkov@bmstu.ru, zhenkong46@yandex.ru 2Research and manufacturing corporation «Cryoservice» (Cryoservice corp.)

7/1 Pushkinskaya str., Balashikha, Moscow reg., 143903, Russia Tel.: (916) 905-5684; e-mail: kvp@cryoservice.ru

Referred: 19.11.15 Expertise: 22.11.15 Accepted: 25.11.15

The aim of the study is to research influence of the type of adsorbent and the adsorption temperature to the adsorption capacity of the pump. Two methods were used: an approximate calculation of the average temperature and the accurate calculation by integration equation adsorption over the entire volume of the adsorbent. Research carried out at pressure corresponding to different degrees of vacuum. Accordingly were obtained analytical relative computational error - temperature in the periphery of the adsorbent dependence to the following conditions: adsorption of different gases for cooling liquid nitrogen pumps and overcooled liquid nitrogen pumps for the adsorbent with different values of the constant of the pore structure at different intake pressure.

Keywords: cryosorption pump, vacuum, adsorption, liquid nitrogen, pressure, temperature, relative computational error, pore structure, adsorption capacity.

Сведения об авторе: магистр по направлению «технологические машины и оборудование», студент МГТУ им. Н.Э. Баумана.

Образование: МГТУ им. Н.Э.Баумана (2017).

Область научных интересов: криогенно-вакуумная техника, пневмотранспорт, вакуумная тепловая изоляция.

Information about the author: master of technological machinery and equipment. Education: N.E. Bauman MSTU (2017).

Research area: cryovacuum technical equipment, pneumatic transport, vacuum thermal insulation.

Роман Олегович

Андреев Roman O. Andreev

Сведения об авторе: магистр по направлению технологические машины и оборудование, студент МГТУ им. Н.Э. Баумана.

Образование: МГТУ им. Н.Э. Баумана (2017 г.).

Область научных интересов: криогенно-вакуумная техника, пневмотранспорт, вакуумная тепловая изоляция.

Information about author: master of technological machinery and equipment. Education: Bauman Moscow State Technical University (2017).

Research area: cryovacuum-technical equipment, pneumatic transport, vacuum thermal insulation.

Георгий Тамазиевич

Цакадзе Georgy T. Tsakadze

Андрей Андреевич

Очков Andrei A. Ochkov

Сведения об авторе: ассистент МГТУ им. Н.Э. Баумана. Образование: МГТУ им. Н.Э. Баумана (2013).

Область научных интересов: высоковакуумные механические насосы, высоковакуумные криоадсорбционные насосы, процессы оптимизации высоковакуумных механических насосов. Публикации: более 10 научных работ и изобретений.

Information about author: the assistant of the N.E. Bauman Moscow State Technical University. Education: N.E. Bauman Moscow State Technical University (2013).

Research area: high-vacuum mechanicals pumps, high-vacuum cryoadsorptive pumps, optimization processes for high-vacuum mechanical pumps. Publications: more than 10 scientific works and inventions.

I l i /Л.

Александр Вадимович Исаев Aleksandr V. Isaev

Сведения об авторе: канд. техн. наук, доцент МГТУ им. Н.Э. Баумана.

Образование: МВТУ им. Н.Э. Баумана (1971).

Область научных интересов: криогенно-вакуумная техника, исследования процессов переноса при низкотемпературной адсорбции, разработка промышленных средств криоадсорбцион-ной откачки и криоадсорбционных устройств теплоизоляционных полостей криогенного оборудования.

Публикации: более 100 научных работ и изобретений.

Information about author: Cand. Tech. Sci., the senior lecturer of the N.E. Bauman Moscow State Technical University.

Education: N.E. Bauman MSTU (1971).

Research area: cryovacuum technical equipment, research of processes of carry at adsorption, development of industrial means of cryoadsorption pumping and cryoadsorption devices of thermoinsulation cavities of the cryogenic equipment.

Publications: more than 100 scientific works and inventions.

Вячеслав Петрович Кряковкин Vyacheslav P. Kryakovkin

Сведения об авторе: канд. техн. наук, зам. ген. директора ЗАО «НПП Криосервис».

Образование: Московский институт химического машиностроения (1973).

Область научных интересов: криогенно-вакуумная техника, исследования процессов переноса при низкотемпературной адсорбции, разработка промышленных средств криоадсорбци-онной откачки и криоадсорбционных устройств теплоизоляционных полостей криогенного оборудования.

Публикации: более 70 научных работ и изобретений.

Information about author: Cand. Tech. Sci., the assistant of the general director of Cryoservice corp.

Education: Moscow Institute of Chemical-Mechanical Engineering (1973).

Research area: cryovacuum-technical equipment, research of processes of carry at adsorption, development of industrial means of cryoadsorption pumping and cryoadsorption devices of thermoinsulation cavities of the cryogenic equipment.

Publications: more than 70 scientific works and inventions.

Введение

Сферические насосы имеют минимальные тепло-притоки, поэтому хладагент, залитый во внутренний сферический сосуд, испаряется медленно и можно длительно эксплуатировать насос без дозаправки, то есть без обслуживающего персонала. Поэтому такими насосами могут оснащаться вакуумные установки для дегазации теплоизоляционной полости (ТИП) криогенного оборудования, а также установки повышенной чувствительности течеискания.

Насос представляет собой сферический сосуд для хладагента, на поверхности которого крепится адсорбент. Адсорбент защищается от теплопритоков сферическим экраном. Вся кассета и экраны располагаются по центру сферического корпуса. Для этой цели служит тонкостенная трубка из нержавеющей стали, на которой внутренний сосуд с экраном закреплены в центре корпуса. Эта же трубка служит для залива хладагента во внутренний сосуд [1, 2].

Таким образом, адсорбент представляет собой сферический слой, на границах которого поддерживаются постоянные температуры - на внутренней поверхности температура кипения хладагента в сосуде - Т1, на внешней поверхности температура экрана - Т2. Если принять, что в диапазоне температур Т1-Т2 коэффициент теплопроводности засыпки адсорбента является величиной постоянной - X, то поле распределения температуры по радиусу адсорбционного слоя будет иметь вид [3]:

T (r)=71 + w-i((1"1 r

(1)

Теперь определим среднюю температуру в слое адсорбента:

7 =

71 +

1 r 3

[ 4 nr 2T (r )dr = —-- x

J V — V

(4V3)(r23 -r.3)

T - T

2 -4

)r3 - r3

T2 - T r22 - r,2

(1/r, - 1/r2 ) J 3 1/r, - 1/r2

•(2)

Расчет суммарной поглотительной способности в области высокого вакуума

В области высокого вакуума адсорбция подчиняется уравнению типа Генри:

= ßpeQJЮ,

(3)

где ууд - удельная емкость адсорбента, м3-Па/кг; В -постоянная адсорбции, кг/м3; Р - рабочее давление, Па; Qш - теплота адсорбции, Дж/моль; Я - универсальная газовая постоянная, Дж/моль-К; <Т> - температура адсорбента, К.

Применяют 2 метода: приближенный расчет по средней температуре и точный расчет путем интегрирования уравнения адсорбции по всему объему адсорбента.

Приближенный расчет по средней температуре

^ =(4п/3)(г3 - г3 )рВРе^Я<Т> , (4)

где с - плотность засыпки адсорбента.

Здесь вместо <Т> подставляется ее значение из формулы (2).

Точный интегральный расчет

Г г2

КЕинг = 14пг2ВРре&'1к(Т)с1г = 4пВРр/ г^е^^йг, (5) г2 Г1

где Т(г) - поле температуры в слое адсорбента (1).

Для сравнения результатов по этим методам определим величину относительной ошибки:

° = 1 - ^ср/^ . (6)

Подставим в (6) выражения входящих функций:

(4/3)(г3 - Г13)еа»/ а = 1 -^Ц^-^-, (7)

4/ г 2еа"/яТйг

Г]

где <Т> - средняя температура (2), а Т(г) по (1).

Таким образом, как это следует из (7), величина относительной ошибки расчетов зависит от следующих параметров: г1, г2, Т1, Т2, Qад. Исследуем фактор влияния этих параметров на величину относительной ошибки а. Прежде всего рассмотрим насосы для среднего вакуума, где для охлаждения слоя адсорбента применяют жидкий азот [4, 5]. Таким образом, Т1 = 77,8 К. В качестве откачиваемого газа рассмотрим азот, теплота адсорбции которого на активированном угле СКТ-4 и вакуумном цеолите СаБИ-4Б составляет Qaд = 12500 Дж/моль. Толщина слоя адсорбента 0,025 м для г! = 0,06 м и г2 = 0,085 м. Такие геометрические соотношения часто применяются при создании сферических криосорбционных насосов. Таким образом, остается один параметр Т2, который и будем варьировать. Действительно, Т2 является переменной величиной, которая может меняться в достаточно широких пределах в зависимости от величины теплового потока, падающего на экран. Часть этого теплового потока проникает к поверхности адсорбента, приводя к росту Т2. Учитывая очень низкую величину коэффициента теплопроводности засыпки адсорбента (~1-10-3 Вт/м-К) [6], даже незначительный поток тепла может привести к большому перегреву. Эксперименты показывают, что Т2 может превышать Т на несколько десятков градусов. Подставляя значения фиксированных параметров в (7),

получим зависимость а = _ДТ2) - рис. 1. На графике дополнительно представлены кривые еще и для других газов: для адсорбции кислорода - Qад = 9900 Дж/моль; для адсорбции аргона - Qад = 9630 Дж/моль; для адсорбции метана - Qад = 16300 Дж/моль; для адсорбции водорода - Qад = 5000 Дж/моль и для адсорбции гелия - Qад = 585 Дж/моль. Из графика следует, что с ростом температуры периферии адсорбционного слоя относительная ошибка монотонно возрастает, асимптотически приближаясь к единице. Однако темп подъема кривых различен и пропорционален теплоте адсорбции. Поэтому наибольшая ошибка в определении суммарной поглотительной способности по средней температуре наблюдается для метана, а минимальная - для гелия. Так, например, для СН4 уже при Т2 = 92 К приближенное значение меньше точного в два раза, а при Т2 = 110 К интегральное значение превышает приближенное на один порядок величины. Для гелия величина относительной ошибки во всем приведенном диапазоне температур не превышает 0,3, что является вполне допустимым. Тогда как для адсорбции основных газов, составляющих воздуха, 02, Аг и Н2 расчет по средней температуре ведет к большей ошибке и суммарная поглотительная способность в несколько раз занижается по сравнению со своим действительным значением.

Рис. 1. Зависимость относительной расчетной ошибки от температуры на периферии адсорбента при адсорбции различных газов для насосов, охлаждаемых жидким азотом

Fig. 1. Dependence of the relative error estimated from the temperature at the periphery of the adsorbent in the adsorption of various gases for pumps, chilled with liquid nitrogen

Для обеспечения более глубокого вакуума необходимо охладить адсорбент до более низких температур. Для этих целей можно использовать, напри-

мер, жидкие неон или водород, однако, учитывая высокую стоимость этих хладагентов, эксплуатация таких насосов будет стоить значительно дороже. Поэтому можно предложить иное решение, основанное на использовании переохлажденного жидкого азота. Путем вакуумирования пространства над жидкостью можно понизить температуру жидкого азота с 77,8 К до 63 К, после чего жидкость начинает переходить в кристаллическую фазу [7, 8]. Величина относительной ошибки для насосов, работающих на переохлажденном жидком азоте (Т1 = 63 К), иллюстрируется графиком (рис. 2).

Рис. 2. Зависимость относительной расчетной ошибки от температуры на периферии адсорбента при адсорбции различных газов для насосов на переохлажденном жидком азоте Fig. 2. Dependence of the relative error estimated from the temperature at the periphery of the adsorbent in the adsorption of various gases on the pump supercooled liquid nitrogen

iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.

Характер кривых сохраняется таким же, как и на графике рис. 2. Однако с ростом температуры на периферии адсорбционного слоя относительная ошибка возрастает быстрее, и при Т2 = 120 К для всех приведенных газов, кроме водорода и гелия, интегральное значение превосходит приближенное на порядок.

Расчет суммарной поглотительной способности в области низкого вакуума

В области низкого вакуума адсорбция подчиняется закономерности Дубинина-Радушкевича [2]:

V = -техр и

-4f (- P

(8)

где м> - удельный объем адсорбционного пространства, м3/кг; и - константа, определяемая типом адсорбента, Па-1; А - константа пористой структуры, К-2; Ря - давление насыщенных паров адсорбата при температуре Т, Па; Р - рабочее давление над адсорбентом, Па; в - коэффициент аффинности.

Точный интегральный расчет Для точного расчета будем проводить интегрирование по всему объему слоя адсорбента:

= 4п-

w„

'2

pJ

r exp

-Í " P

dr . (10)

Приближенный расчет по средней температуре При расчете суммарной поглотительной способности по средней температуре адсорбента (2) получим:

В (10) Т(г) подставляется из (1), а Ря является функцией температуры адсорбента. В работе [9] для различных газов предлагаются следующие зависимости:

=р(4п/3)(r23 -ri3)-—Оexp

- A

(T) '

-g P

. (9)

lgPs = 7,17 - 326/T - азот;

lgPs = 7,26 - 380/T - аргон;

lgPs = 4,8 - 45/T + 0,02T - водород;

lgPs = 7,16 - 377,2/T - кислород; lgPs = 7,15 - 465/T - метан.

(11)

- € -Ж

Подставляя значение Ps для азота из (11) и T(r) в (10), получаем:

■а

ÜJ

с

О

'2

—0 Г

= 4п-0 pJ r

т» j

exp

- A

T - T T + 2 1

. 1 V r, - V r2

(V r - V r)

7,17 -

326

T1 +

T - T 1 r1 -1/ r

-- lg P

(V r - V r)

dr. (12)

i Э-

5 о

Теперь можно записать выражение для относительной ошибки расчета при вычислении суммарной погло-

тительной способности по азоту:

3 3

r - r

-exp

ст = 1 --

- A-

T + -

T - T

2 M

A „3 „3

3 rp rp 2 2 ]

- T2 - T1 r2 - r1 I

1 (V r -1 r )r J 3 (V r - 1/ r ) 2

'2

J r2 exp

- A

T - T T + 12 T

.1 V r - V r

(1/ r -1 r)

7,17 -

326

T + (1/r -Vr)

- lg P

1 V r - V r2

dr

f

7,17--

326

3 3 r2 - r1

T1 +

T - T

2 M

(1/r! - 1/ r2 )

T2 - T1 r22 - r12

3 ((r1 - V r2 )r1 2

-lg P

r exp

- A

T - T T + T T

. 1 1 r1 - V r2

(( r1 - V r )

7,17 -

326

T1 ((r1 - 1 r2)

- lg P

1 r - v r

dr

iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.

(13)

x

Таким образом, как это следует из (13), величина относительной ошибки расчетов зависит от следующих параметров: гь г2, Ть Т2, А, Р. Исследуем фактор влияния этих параметров на величину относительной ошибки а. Прежде всего рассмотрим насосы для среднего вакуума, где для охлаждения слоя адсорбента применяют жидкий азот [1, 6]. Таким образом, Т = 77,8 К. В качестве откачиваемого газа рассмотрим азот. Примем Р = 1000 гПа. Толщина слоя адсорбента 0,025 м для г = 0,06 м и г2 = 0,085 м. Коэффициент пористой структуры А зависит от материала адсорбента. Рассмотрим 3 случая: А = 1-10-6 К-2; А = 0,5-10-6 К-2; А = 5-10-6 К-2. Таким образом, остается один параметр Т2, который и будем варьировать. Подставляя значения фиксированных параметров в (13), получим зависимость а = _ДТ2) - рис. 3-5. На графиках дополнительно представлены еще кривые для различных давлений всасывания: Р = 500; 100; 50; 10; 1 гПа.

Из графиков следует, что с ростом температуры периферии адсорбционного слоя относительная ошибка монотонно возрастает, асимптотически приближаясь к единице. Однако темп подъема кривых различен и обратно пропорционален давлению всасывания. Поэтому наибольшая ошибка в определении суммарной поглотительной способности по средней температуре наблюдается при Р = 1 гПа, а минимальная - для Р = 1000 гПа. Такой результат предсказуем, так как формула Дубинина-Радушке-вича дает результат для адсорбции в области низкого вакуума. Кроме этого, стоит отметить, что с увеличением значения постоянной пористой структуры А растет величина относительной ошибки.

Рис. 3. Зависимость относительной расчетной ошибки от температуры на периферии адсорбента с А = Г10"6 К-2 при различных давлениях всасывания, охлаждаемых жидким азотом Fig. 3. Dependence of the relative error estimated from the temperature at the periphery of the adsorbent with А = 1-10-6 К-2 at different suction pressures, cooled by liquid nitrogen

Рис. 4. Зависимость относительной расчетной ошибки от температуры на периферии адсорбента с А = 0,510-6 К-2 при различных давлениях всасывания, охлаждаемых жидким азотом Fig. 4. Dependence of the relative error estimated from the temperature at the periphery of the adsorbent with А = 0.510-6 К-2 at different suction pressures, cooled by liquid nitrogen

Рис. 5. Зависимость относительной расчетной ошибки от температуры на периферии адсорбента с А = 510-6 К-2 при различных давлениях всасывания, охлаждаемых жидким азотом Fig. 5. Dependence of the relative error estimated from the temperature at the periphery of the adsorbent with А = 510-6 К-2 at different suction pressures, cooled by liquid nitrogen

Выводы

1. Расчет по средней температуре приводит к большому занижению суммарной поглотительной способности насоса.

2. Величина ошибки прямо пропорциональна перепаду температуры в слое адсорбента и обратно

пропорциональна температуре криогенной жидкости, используемой для охлаждения.

3. Теплота адсорбции оказывает сильное влияние на ошибку и для газов с высокой Qад, таких как СИ4 и даже незначительные перепады температуры ведут к занижению истинного значения в несколько раз.

4. В области низкого вакуума величина ошибки обратно пропорциональна давлению всасывания и прямо пропорциональна значению постоянной пористой структуры.

5. Расчет по средней температуре в области низкого вакуума приводит к завышению суммарной поглотительной способности насоса.

Список литературы

1. Исаев А.В., Куприянов В.И., Лунчев В.П., Чо-пов С.М. Малогабаритный криосорбционный насос // ВАНТ. Сер. Общая и ядерная физика. 1979. Вып. 1 (7). С. 32-35.

2. Демихов К.Е., Панфилов Ю.В., Никулин Н.К., Автономова И. В. Вакуумная техника. Справочник / под. общ. ред. К.Е. Демихова, Ю.В. Панфилова. 3-е изд., перераб. и доп. М.: Машиностроение, 2009.

3. Исаев С.И., Кожинов И.А., Кофанов В.И., Леонтьев А.И., Миронов Б.М., Никитин В.М., Петра-жицкий Г.Б., Самойлов М.С., Хвостов В.И., Шишов Е.В. Теория тепломассообмена / под ред. А.И. Леонтьева. М.: Высшая школа, 1979.

4. Валеев Р.Г., Бельтюков А.Н., Ветошкин В.М., Сурнин Д.В., Бакиева О.Р., Хоряков С.В. Модернизация камеры подготовки образцов установки RiberLAS - 2000 для сверхвысоковакуумного напыления тонких полупроводниковых пленок // Вакуумная техника и технология. 2010. Т. 20, № 4. С. 235-240.

5. Исаев А.В., Ермохин В.М., Куприянов В.И., Кряковкин В.П., Чопов С.М. Серия криосорбцион-ных вакуумных насосов широкого назначения. Тез. 5-й Всесоюзной конф. «Физика и техника высокого и сверхвысокого вакуума». Л.: НТОПриборпром. 1985. С. 41-42.

6. Исаев А.В., Куприянов В.И. Теплопроводность засыпки вакуумного цеолита // ВАНТ. Сер. Общая и ядерная физика. 1979. Вып. 1 (7). С. 36-38.

7. Батраков Б.П., Гласов Б.В., Лавышев И.В. Автоматическое устройство для поддержания температуры и уровня жидкого азота // ВАНТ. Сер. Ядерно-физические исследования (теория и эксперимент). 1989. Вып. 3. С. 60-63.

8. Исаев А.В., Кряковкин В.П. О бездренажном хранении криогенных жидкостей // Альтернативная энергетика и экология - ISJAEE. 2008. № 8. С. 27-30.

9. Мамов М.П., Данилов И.Б., Зельдович А.Г., Фрадков А.Б. Справочник по физико-техническим основам криогеники / под ред. Малкова М.П., 3-е изд. М.: Энергоатомиздат, 1985.

10. Исаев А.В., Куприянов В.И., Ермохин В.М., Кузнецов В.И., Юшин Н.П. Адсорбционные вакуумные насосы / под общ. ред. А.В. Исаева, В.И. Куприянова. М.: ЦИНТИхимнефтемаш, 1980.

11. Беляков В.П. Криогенная техника и технология. М.: Энергоиздат, 1982.

References

1. Isaev A.V., Kuprianov V.I., Luncev V.P., Copov S.M. Malogabaritnyj kriosorbcionnyj nasos // VANT. Ser. Obsaa i adernaa fizika. 1979. Vyp. 1 (7). S. 32-35.

2. Demihov K.E., Panfilov Ü.V., Nikulin N.K., Avtonomova I.V. Vakuumnaa tehnika. Spravocnik / pod. obs. red. K.E. Demihova, Ü.V. Panfilova. 3-e izd., pererab. i dop. M.: Masinostroenie, 2009.

3. Isaev S.I., Kozinov I.A., Kofanov V.I., Leont'ev A.I., Mironov B.M., Nikitin V.M., Petrazickij G.B., Samojlov M.S., Hvostov V.I., Sisov E.V. Teoria teplomassoobmena / pod red. A.I. Leont'eva. M.: Vyssaa skola, 1979.

4. Valeev R.G., Bel'tükov A.N., Vetoskin V.M., Surnin D.V., Bakieva O.R., Horakov S.V. Modernizada kamery podgotovki obrazcov ustanovki RiberLAS -2000 dla sverhvysokovakuumnogo napylenia tonkih po-luprovodnikovyh plenok // Vakuumnaa tehnika i tehnologia. 2010. T. 20, № 4. S. 235-240.

5. Isaev A.V., Ermohin V.M., Kuprianov V.I., Krakovkin V.P., Copov S.M. Seria kriosorbcionnyh vakuumnyh nasosov sirokogo naznacenia. Tez. 5-j Vsesoüznoj konferencii «Fizika i tehnika vysokogo i sverhvysokogo vakuuma». L.: NTOPriborprom. 1985. S. 41-42.

6. Isaev A.V., Kuprianov V.I. Teploprovodnost' zasypki vakuumnogo ceolita // VANT. Ser. Obsaa i adernaa fizika. 1979. Vyp. 1 (7). S. 36-38.

7. Batrakov B.P., Glasov B.V., Lavysev I.V. Avtomaticeskoe ustrojstvo dla podderzania temperatury i urovna zidkogo azota // VANT. Ser. Áderno-fiziceskie issledovania (teoria i eksperiment). 1989. Vyp. 3. S. 6063.

8. Isaev A.V., Krakovkin V.P. O bezdrenaznom hranenii kriogennyh zidkostej // Al'ternativnaa ener-getika i ekologia - ISJAEE. 2008. № 8. S. 27-30.

9. Mamov M.P., Danilov I.B., Zel'dovic A.G., Fradkov A.B. Spravocnik po fiziko-tehniceskim osnovam kriogeniki / pod red. Malkova M.P., 3-e izd. M.: Energoatomizdat, 1985.

10. Isaev A.V., Kuprianov V.I., Ermohin V.M., Kuznecov V.I., Üsin N.P. Adsorbcionnye vakuumnye nasosy / pod obs. red. A.V. Isaeva, V.I. Kuprianova. M.: CINTIhimneftemas, 1980.

11. Belakov V.P. Kriogennaa tehnika i tehnologia. M.: Energoizdat, 1982.

12. Исаев А.В., Куприянов В.И. Исследование взаимосвязи адсорбционных характеристик вакуумных цеолитов с температурой // ВАНТ. Сер. Физика и техника высокого вакуума. 1977. Вып. 2 (8). С. 57-59.

13. Исаев А.В., Кряковкин В.П. К вопросу о расчете адсорбционных ловушек. 14-я научно-техн. конференция «Вакуумная наука и техника»: материалы. М.: МИЭМ, 2007. С. 81-83.

14. Каганер М.Г. Тепломассообмен в низкотемпературных теплоизоляционных конструкциях. М.: Энергия, 1979.

15. Исаев А.В. Криосорбционные насосы и устройства с пористыми экранами: автореф. дис. ... канд. техн. наук. Балашиха, 1984.

12. Isaev A.V., Kuprianov V.I. Issledovanie vzaimosvazi adsorbcionnyh harakteristik vakuumnyh ceolitov s temperaturoj // VANT. Ser. Fizika i tehnika vysokogo vakuuma. 1977. Vyp. 2 (8). S. 57-59.

13. Isaev A.V., Krakovkin V.P. K voprosu o rascete adsorbcionnyh lovusek. 14-a Naucno-tehniceskaa konferencia «Vakuumnaa nauka i tehnika»: materialy. M.: MIEM, 2007. C. 81-83.

14. Kaganer M.G. Teplomassoobmen v nizkotempe-raturnyh teploizolacionnyh konstrukciah. M.: Energia, 1979.

15. Isaev A.V. Kriosorbcionnye nasosy i ustrojstva s poristymi ekranami: avtoref. dis. ... kand. tehn. nauk. Balasiha, 1984.

Транслитерация по ISO 9:1995

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.