CC BY
22
УДК 621.793
СОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ МЕТОДА ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО НАПЫЛЕНИЯ КЛАПАНОВ ДВИГАТЕЛЕЙ ВНУТРЕННЕГО СГОРАНИЯ НА ОСНОВЕ МУЛЬТИФРАКТАЛЬНОГО АНАЛИЗА ТОПОКОМПОЗИТНЫХ ПОКРЫТИЙ
Д.Н. Коротаев1, К.Н. Полещенко2, П.Б. Гринберг2, Е.Е. Тарасов3
1ФГБОУ ВО «СибАДИ», Омск, Россия; 2Омский научно-исследовательский институт технологии и организации производства двигателей (НИИД), Омск, Россия; 3ФГУП ФНПЦ «(Прогресс», Омск, Россия
АННОТАЦИЯ
Введение. На основе исследования топологии покрытий, созданных ионно-плазменным напылением поверхностей сталей, применяемых для клапанов двигателей внутреннего сгорания (ДВС), проведена цифровая обработка изображений и расчет спектров мультифрактальных размерностей.
Результаты. Выполнена количественная оценка структурных изменений, полученных на различных энергетических режимах ионно-плазменного напыления.
Обсуждение и заключение. Показано, что комплексные показатели мультифрактальных размерностей можно использовать для прогнозирования и оптимизации режимов ионно-плазмен-ной обработки с целью формирования износостойких покрытий на автомобильных деталях.
КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА: ионно-плазменное напыление, клапан ДВС, топокомпозитные покрытия, нанокластерная технология, мультифрактальная параметризация.
ВВЕДЕНИЕ
Интенсификация перевозок пассажиров и различных грузов обусловлена совершенствованием ремонта автомобильного транспорта, эксплуатационная надёжность которого напрямую зависит от применения прогрессивных методов восстановления работоспособности агрегатов и систем автомобилей.
Одним из наиболее экономичных вариантов обеспечения требуемого уровня работоспособности автомобилей является ремонт агрегатов и восстановление геометрических размеров деталей. Для этих целей широко используются методы газоплазменного, пламенного напыления и различные способы наплавки. Однако в процессе наплавки и напыления могут возникать дефекты, в том числе трещины и поры, которые снижают эксплуатационную надежность покрытия, а в некоторых случаях способствуют аварийному выходу детали из строя. Для предотвращения внезапного разрушения используются технические решения, объединяющие вышеуказанные методы с методами лезвийной обработки и поверхностного пластического деформирования, достаточно хорошо изученные.
Одним из прогрессивных и эффективных по соотношению цена/качество методов, обеспечивающих работоспособность и повышение ресурса деталей, которые эксплуатируются в условиях абразивного, адгезионного, коррозионного и фреттинг-усталостного изнашивания ,является ионно-плазменное нанесение топо-композитных покрытий [1].
Наноструктурные топокомпозитные покрытия (НСТКП), полученные с использованием ионно-плазменной нанокластерной технологии (ИПНКТ), обеспечивают надежность изделий и узлов за счет повышения усталостной прочности, износостойкости, сохраняют работоспособность в активных и агрессивных средах [2]. Это позволяет рассматривать ИПНКТ в качестве перспективной технологической операции на стадии финишной обработки в процессах восстановления и упрочнения деталей автотранспортной техники, в частности клапанов двигателей внутреннего сгорания.
ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ
Используемые материалы для клапанов двигателей внутреннего сгорания должны сопротивляться действию повторных динамических нагрузок при высоких температурах (до
900 °С), иметь достаточно высокую поверхностную твердость, противостоять разъедающему действию продуктов сгорания, обладать достаточной теплопроводностью и ограниченным коэффициентом термического расширения. Кроме того, клапанная сталь во избежание хрупкости не должна закаливаться на воздухе при охлаждении клапана с его рабочих температур. Лучшие клапанные стали марок Х14Н14В, Х14Н14ВС, а также сталь марки 55Х20Г9АН4, обладая высокой твердостью, достигающей 500 НВ, характеризуются высокой хрупкостью. Таким образом, ни одна из известных марок стали, всем перечисленным требованиям в полной мере не удовлетворяет.
Вместе с тем результаты апробации материалов и изделий с наноструктурными то-покомпозитными покрытиями показали, что посредством использования нанокластерной технологии достигается повышение эксплуатационных свойств исследуемых объектов в широком диапазоне температурно-скоростно-го нагружения. Результаты испытаний показали, что наноструктурные топокомпозитные покрытия обеспечивают высокую микротвердость поверхности (до 1 800-2 500 кгс/мм2), низкую склонность к схватыванию и пониженный (в 2-4 раза) коэффициент трения по сравнению с немодифицированными изделиями. Эти характеристики обеспечивают повышение эрозионной стойкости поверхности деталей до 50% при абразивном изнашивании. Кроме того, НСТКП имеют пониженный электрохимический потенциал, что способствует снижению интенсивности коррозионных процессов разрушения поверхностных слоев деталей в процессе их эксплуатации.
Структурно-фазовые состояния покрытий, сформированных при ионно-плазменном воздействии, характеризуются высокой плотностью дефектов, субзеренной структурой с различной степенью упорядоченности, а также наличием ультрадисперсной кристаллической структуры, содержащей нанофазные образования. При определённых условиях ионно-плазменной обработки поверхность покрытий характеризуется специфической топологией, отличающейся наличием кластерных образований.
Как было установлено ранее [3], эксплуатационное поведение конструктивных элементов с наноструктурными топокомпозитными покрытиями зависит от их структурно-морфологических характеристик [1,2,3]. В связи с этим особую актуальность приобретает решение задачи установления надежных кор-
реляций между технологическими режимами ионно-плазменной обработки, топологическими характеристиками поверхности покрытий и эксплуатационными свойствами модифицированных деталей.
ЦЕЛЬ РАБОТЫ
Установление взаимосвязей между муль-тифрактальными параметрами топокомпозит-ных покрытий, режимами ионно-плазменной обработки и эксплуатационными свойствами модифицированных изделий для совершенствования технологии упрочнения и восстановления клапанов двигателей внутреннего сгорания.
СПОСОБ РЕШЕНИЯ ЗАДАЧИ
Ионно-плазменное воздействие на металлические материалы проявляется в первую очередь как мощный тепловой источник, инициирующий развитие высоких температур, их градиентов, ударных импульсов, а также сверхскоростных процессов нагрева и охлаждения, которые определяют динамику неравновесных структурных превращений и особенности формируемой топологии поверхности. В таких условиях для получения наиболее полной информации о результатах структу-рообразования кроме экспериментальных металлографических и электронно-микроскопических исследований требуются методы количественного анализа модифицированных поверхностей.
Эффективным способом визуализации и количественного описания структур является мультифрактальная параметризация (МФП), с помощью которой возможно охарактеризовать образование покрытий при различных внешних воздействиях [4, 5]. МФП с помощью спектра мультифрактальных размерностей позволяет описать системы со сложной и неоднородной структурой, к числу которых относятся покрытия, созданные ионно-плазменной обработкой материалов.
По спектрам мультифрактальных размерностей количественно оценивают не только конфигурацию исследуемой структуры в целом, но и определяют комплексные показатели, характеризующие упорядоченность, однородность и периодичность в структурной организации материала [6].
В качестве мер для вычисления фрактальных и мультифрактальных параметров структуры материалов используют количество микроструктурных объектов на единичной площади металлографического шлифа, размер
зерен, их площадь и длину периметра границ, уровень темно-серого оттенка и т.п. [4,5,6].
На основе спектра мультифрактальных размерностей можно вычислить комплексный показатель
А = D. - D ,
q 1 q'
где q - целочисленная величина от -« до +«, используемая для генерации мультифрактальных характеристик.
Отдельные составляющие спектра мультифрактальных размерностей Dq и f(aq) характеризуют структурно-энергетическое состояние материала и полноту информационного
описания, а комплексные показатели А -сте-
q
пень упорядоченности, периодичности и однородности его структуры [4].
ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ И МЕТОДИКА ИССЛЕДОВАНИЯ
Ионно-плазменная обработка осуществлялась на модернизированной установке ННВ-6.6 с использованием трехкатодной системы, позволяющей осуществлять активацию поверхности за счет ее распыления под разными углами, а также наносить покрытия различного состава [4]. Режимы ионно-плазменного модифицирования приведены в таблице 1. В качестве материалов катодов использовались сплавы ВТ1-0, Х99А и А99. Обработке подвергались образцы из стали Х14Н14ВС широко используемой в качестве материала для выпускных клапанов. Испытания на износостойкость проводились на виброустановке, позволяющей оценивать износостойкость образцов в условиях окислительных и колебательных процессов. Методика эксперимента и обработка экспериментальных данных проводилась в соответствие с общепринятыми рекомендациями [7]. Принимались следующие условия испытаний на износостойкость: давление Р = 4МПа; скорость перемещения V = 1м/с; время испытания t = 60 мин; частота колебаний f = 10 Гц, амплитуда перемещений Ап = 0,2 мм.
Для изучения топологии поверхности использовался растровый электронный микроскоп JEOL. Были получены изображения поверхностей в зависимости от варьируемых режимов ионно-плазменной обработки. На основе анализа полученных данных определялись соответствующие режимам ион-но-плазменного воздействия структурно-морфологические типы покрытий.
Расчет спектра мультифрактальных размерностей осуществлялся с помощью программы MFRDrom, разработанной Институтом металлургии и материаловедения им. А.А. Байкова РАН. Для этого из оцифрованных изображений исследуемых микроструктур вырезались фрагменты размером 250x250 пикселей, и с них снималась контрастная маска. По полученным изображениям определялись мультифрактальные показатели структурной организации материала. Генерация спектра мультифрактальных размерностей осуществлялась в диапазоне 0 < q < +40.
В качестве основных показателей для структурного анализа принимались фрактальная размерность самоподобия D0, информационная размерность D1, корреляционная размерность D2, пороговая устойчивость D40, а также А40, а40 и f40. Комплексный показатель А40 характеризует упорядоченность, а40 - периодичность и устойчивость структурного состояния, f40 - однородность структуры.
ПОЛУЧЕННЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ
На рисунке 1 приведены изображения изменения структуры покрытий после ион-но-плазменной обработки, на основе которых рассчитывались МФП структур.
Характеристика D40 содержит количественную информацию о термодинамических условиях формирования изучаемых структур. Чем выше значение D40 тем больше значения энтропии, поэтому величина D может приме-
Таблица 1
РЕЖИМЫ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО МОДИФИЦИРОВАНИЯ
Table 1
MODES OF ION-PLASMA MODIFICATION
Номер режима Напряжение на подложке U, В Ток разряда I, А Температура нагрева,° С Реактивный газ
1 80-90 70-80 300-320 Азот
2 100-120 80-85 370-390 Азот
3 180-200 100-110 400-420 Азот
4 600-620 120-140 450-470 Азот
5 900-920 180-200 600-650 Азот
няться для распознания изучаемых структур материалов. Под степенью однородности понимается показатель характера распределения единичных элементов рассматриваемой структуры в евклидовом пространстве, охватывающем эту структуру. Чем больше тем структура более однородна для канонических вариантов спектров. Показатель Д40 отражает степень упорядоченности и нарушения симметрии для общей конфигурации ис-
следуемой структуры в целом. Увеличение Д40 показывает, что в структуре становится больше периодической составляющей и в ней возрастает степень нарушенной симметрии. Показатель а40, характеризующий периодичность и устойчивость структурного состояния, больше отвечает за дальнюю упорядоченность. Этот параметр показывает, что сформированные покрытия обладают близкой структурной устойчивостью.
Рисунок 1 - Электронно-микроскопические изображения структуры покрытий: а), б), в), г), д) соответствуют режимам 1,2,3,4,5 ионно-плазменной обработки (*4020). Обозначения: СМТ-структурно-морфологический тип покрытия, соответствующий режимам 1,2,3,4,5, приведенным в таблице 1.
Figure 1 - Electronically microscopic images of the coatings' structure: a), b), c), d), e) correspond to 1,2,3,4,5 modes of the ion-plasma treatment (* 4020). Notes: SMT is a structural morphological
type of coating, corresponding to 1,2,3,4,5 modes, given in the Table 1.
На рисунке 2 представлены расчетная таблица мультифрактальных параметров структуры и полученные с изображений канонические спектры, которые соответствуют типичному виду мультифрактальных кривых [5].
Multifracial Parameters
Pararns way2 □
D1-D40 0.07000
F40 0.Э3700
D-40-D40 0.41900
D-40 2.33700
DO 1.ЭЭ400
D1 1.98800
D2 1.88300
D40 1.81800
FO 1.88400
AlfO 2.00100
4 У \
AddShortReport | NewShortReport |
а) б)
Рисунок 2 - Пример расчета мультифрактальных параметров (а) и вид мультифрактальных спектров (б) Figure 2 - Example of the multifractal parameters' calculation (a) and the form of multifractal spectra (b)
По характеру изменения мультифракталь-ных спектров можно заключить, что структурные изменения в результате ионно-плаз-менного воздействия реализуются по единым алгоритмам, отличаясь незначительно на количественном уровне.
Основные мультифрактальные характеристики поверхностно-модифицированных слоев, рассчитанные с помощью программы MFRDrom, приведены в таблице 2.
Показателями присутствия фрактальных свойств у поверхностей являются соответству-
ющие величины размерности самоподобия D0 = 1,991 - 2,013 и пороговая устойчивость D40 = 1,781 - 1,932, так как известно, что материалы не испытывающие никаких изменений, не переходят порог перколяции составляющий D40 = 1,757 [6].
Для исследуемых структур покрытий установлено, что при обработке поверхностей образцов на режимах 4 и 5 показатель Д40, характеризующий структурную упорядоченность, имеет минимальные значения.
Таблица 2
ЗНАЧЕНИЯ МУЛЬТИФРАКТАЛЬНЫХ ПАРАМЕТРОВ ПОКРЫТИЙ ПОСЛЕ ИОННО-ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ
Table 2
VALUES OF THE COATINGS' MULTIFRACTAL PARAMETERS AFTER ION-PLASMA TREATMENT
Параметр Номер режима
1 2 3 4 5
A40 0,193 0,186 0,088 0,055 0,070
f40 0,347 0,236 0,167 0,919 0,937
D0 1,993 2,013 1,996 1,991 1,994
D1 1,974 1,985 1,991 1,987 1,988
D2 1,955 1,957 1,986 1,984 1,983
D40 1,781 1,799 1,903 1,932 1,918
a40 1,745 1,760 1,859 1,907 1,893
На рисунке 3 приведено влияние режимов ионно-плазменной обработки на комплексный муль-тифрактальный показатель структуры С40 и скорость изнашивания покрытия.
Рисунке 3 - Влияние режимов ионно-плазменной обработки (ИПО) на мультифрактальный параметр структуры D40 Figure 3 - Influence of ion-plasma treatment modes (IPO) on the multifractal parameter of the D0 structure
Рисунок 4 - Влияние режимов ионно-плазменной обработки (ИПО) на скорость изнашивания стали с
наноструктурным топокомпозитным покрытием Figure 4 - Influence of ion-plasma treatment (IPO) modes on the wear rate of steel with nanostructured topocomposite coating
Установлено, что в диапазоне развития наиболее однородной структуры (таблица 2) с максимальным порогом устойчивости (рисунок 3) и наименьшей упорядоченностью (таблица 2) располагается минимум скорости изнашивания покрытия, сформированного ионно-плаз-менной обработкой на режимах 4 и 5.
ВЫВОДЫ
1. Электронно-микроскопические исследования структуры покрытий при различных режимах ионно-плазменной обработки и количественная оценка их микроструктурных параметров с помощью спектра мультифрак-тальных размерностей позволили установить закономерности изменения топологии поверхности.
2. На основе проведённого мультифрак-тального анализа установлено, что наиболее чувствительными характеристиками к режимам ионно-плазменного воздействия являются степень однородности и структурной упорядоченности Д40.
3. В результате проведенного исследования установлена взаимосвязь между комплексными параметрами спектра мультифракталь-ных размерностей структур, сформированных ионно-плазменным модифицированием, и эксплуатационными свойствами изделий с наноструктурными покрытиями. Показано,
что минимальное значение скорости изнашивания сталей с топокомпозитными покрытиями достигается в области развития наименее упорядоченной микроструктуры и наибольшей пороговой устойчивости.
4. Результаты проведенного исследования выявили корреляцию между режимами ионно-плазменной обработки, мультифрак-тальными параметрами наноструктурных покрытий и физико-механическими свойствами модифицированных изделий, которые можно использовать в качестве рекомендаций при разработке технологий упрочнения и восстановления деталей автотранспортной техники.
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
1. Гринберг П.Б., Горюнов В.Н., Полещенко К.Н., Тарасов Е.Е. Инновационные методы и технологии повышения ресурса трибосопряжений // Архитектура. Строительство. Транспорт. Технологии. Инновации: матер. Международного конгресса. Омск: СибАДИ, 2013. Кн. 3. С.352-355.
2. Гринберг П.Б., Коротаев Д.Н., Полещенко К.Н., Суриков В.И. Разработка и получение наноструктурных то-покомпозитов // Вестник СибАДИ. 2015. № 3(43). С.39-45.
3. Полещенко К.Н., Коротаев Д.Н., Тарасов Е.Е. Структурно-морфологические особенности наноструктурных топокомпозитных покрытий триботехнического назначения // Вестник СибАДИ. № 4 (50). 2016. С.126-132.
4. Встовский Г.В., Колмаков А.Г., Бунин И.Ж. Введение в мультифрактальную параметризацию структур материалов. М.- Ижевск: научно-издательский центр «Регулярная и хаотическая динамика». 2001. 116 с.
5. Korotaev D.N., Ivanova E.V., Kim V.A. Fractal parametrization in erosion process and surface investigation
received by electrospark modificat on/ Journal of Physics: Conference Series. № 858 (2017). C. 012016.
6. Русинов П.О., Бледнова Ж.М. Структурные и технологические закономерности формирования поверхностных слоев из материалов с эффектом памяти формы высокоскоростным газопламенным напылением // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов. 2014. № 6. С. 322-329.
7. ГОСТ 23.211-80 - «Обеспечение износостойкости
изделий. Метод испытаний материалов на изнашивание при фреттинге и фреттинг-коррозии».
Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ проекта № 11.11760.2018/11.12.
IMPROVEMENT OF THE ION-PLASMA DUSTING METHOD OF THE INTERNAL COMBUSTION ENGINES' VALVES BASING ON THE TOPOCOMPOSITE COVERINGS' MULTIFRACTAL ANALYSIS
D.N. Korotaev, K.N. Poleshchenko, P.B. Grinberg, E.E. Tarasov
ABSTRACT
Introduction. Digital image and calculation of multifractal dimension spectra are carried out in the research basing on the investigation of the coatings' topology, which are created by ion-plasma spraying on steel surfaces and used for internal combustion engine (ICE) valves.
Results. Quantitative assessment of the structural changes received on the different power modes of ion-plasma dusting is executed in the article.
Discussion and conclusion. It is concluded that complex indicators of multifractal dimensions could be used for forecasting and optimization of the ion-plasma processing modes for the purpose of anti-wear coatings on automobile parts at the repair process forming.
KEYWORDS: automobile parts, ion-plasma dusting, ICE valve, topocomposite coverings, nanocluster technology, multifractal parametrization.
REFERENCES
1. Grinberg P.B., Goryunov V.N., Poleschenko K.N., Tarasov E.E. Innovacionnie metodi i tehnologii povisheniya re-sursa tribosopryajenii [Innovative methods and technologies to increase the life of tribo-joints]. Arhitektura. Stroitelstvo. Transport. Tehnologii. Innovacii. Mater. Mejdunarodnogo kon-gressa. Omsk.SibADI, 2013. Kn. 3, pp.352 - 355.
2. Grinberg PB., Korotaev D.N, Poleschenko K.N., Su-rikov V.I. Razrabotka i poluchenie nanostrukturnih topokom-pozitov [Development and production of nanostructured topocomposites]. Vestnik SibADI, 2015, no. 3 (43), pp.39 - 45.
3. Poleshhenko K.N., Korotaev D.N., Tarasov E.E. Struk-turno-morfologicheskie osobennosti nanostrukturnykh topo-kompozitnykh pokrytij tribotekhnicheskogo naznacheniya [Structural-morphological features of nanostructural topo-kompozitny coverings of tribotechnical appointment]. Vestnik SibADI, no. 4 (50), 2016 pp.126-132.
4. Vstovskij G.V., Kolmakov A.G., Bunin I.ZH. Vvedenie v mul'tifraktal'nuyu parametrizatsiyu struktur materialov [Introduction to multifractal parametrization of material structures]. Moscow, Izhevsk: nauchno-izdatel'skij tsentr «Regulyarnaya i khaoticheskaya dinamika». 2001. 116 p.
5. Korotaev D.N., Ivanova E.V., Kim V.A. Fractal parame-trization in erosion process and surface investigation received by electrospark modification. Journal of Physics: Conference Series, no. 858 (2017) C. 012016.
6. Rusinov P.O., Blednova ZH.M. Strukturnye i tekhno-logicheskie zakonomernosti formirovaniya poverkhnostnykh sloev iz materialov s ehffektom pamyati formy vysokoskorost-nym gazoplamennym napyleniem [Structural and technological regularities in the formation of surface layers from materials with shape memory effect by high-speed gas-flame deposition]. Fiziko-khimicheskie aspektyizucheniya klasterov, nanostrukturi nanomaterialov, 2014, no. 6, pp. 322-329.
7. GOST 23.211-80 - «Obespechenie iznosostojkosti izdelij. Metod ispytanij materialov na iznashivanie pri frettinge i fretting-korrozii» [State standart 23.211-80 - "Provision of wear resistance of products. Method for testing materials for wear during fretting and fretting corrosion.].
Поступила 24.11.2017, принята к публикации 20.04.2018.
Авторы прочитали и одобрили окончательный вариант рукописи.
ИНФОРМАЦИЯ ОБ АВТОРАХ
Коротаев Дмитрий Николаевич - д-р техн. наук, доц., проф. кафедры «Экономика и проектное управление в транспортном строительстве», ФГБОУ ВО Си-бАДИ (644080, г.Омск, пр-т Мира, 5, e-mail: korotaevd99@ mail.ru).
Korotaev D. Nikolaev (Omsk, Russia) - Doctor of Technical Sciences, Associate Professor, Professor of the Department "Economy and Project Management in Transport Construction", SIBADI (644080, Omsk; 5, Mira Ave., e-mail: korotaevd99@mail.ru).
Полещенко Константин Николаевич (Омск, Россия) - д-р техн. наук, проф., главный научный сотрудник Омского научно-исследовательского института организации и технологии производства двигателей (НИИД) (644021, г. Омск, ул. Богдана Хмельницкого, 283, e-mail: oniid@mail.ru).
Poleshchenko K. Nikolaev (Omsk, Russia) - Doctor of Technical Sciences, Professor, Chief Researcher of Omsk Institute of the Organization and Production Technology of Engines (644009, Omsk; 195/18, 10 years of October St., e-mail: omsk@rea.ru).
Гринберг Петр Борисович (Омск, Россия) - генеральный директор Омского научно-исследовательского
института организации и технологии производства двигателей (644021, г. Омск, ул. Богдана Хмельницкого, 283, e-mail: oniid@mail.ru).
Grinberg P. Borisov (Omsk, Russia) - CEO of Omsk Institute of the Organization and Production Technology of Engines (644021, Omsk; 283, Bogdan Khmelnytsky St., e-mail: oniid@mail.ru).
Тарасов Евгений Евгеньевич (Омск, Россия) - инженер ФГУП ФНПЦ «Прогресс». (644018, г. Омск, ул. Кордная 5-я, 4, e-mail: info@progress-omsk.ru).
Tarasov E.Evgeniev (Omsk, Russia) - engineer of the Federal State Unitary Enterprise «(Progress» (644018, Omsk; 4, the 5th Kordnaya St., e-mail: info@progress-omsk.ru).
ВКЛАД СОАВТОРОВ
Коротаев Д.Н. Планирование эксперимента, цифровая обработка изображений, расчет спектров мультиф-рактальных размерностей, анализ экспериментальных результатов, оформление статьи.
Полещенко К.Н. Инициация работы, постановка задачи, получение электронно-микроскопических изображений структур, анализ экспериментальных результатов.
Гоинберг П.Б. Ионно-плазменное напыление поверхностей, получение экспериментальных данных.
Тарасов Е.Е. Обработка экспериментальных данных.
III III III И III III III И III III И III III III И III III И III III III И III III И III III III И III III И III III III И III III И III III III II мм
