CC BY
0СЛОИСТЫЕ СВЕРХПРОВОДНИКИ И ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВАН-ДЕР-ВААЛЬСОВЫХ ГЕТЕРОСТРУКТУР Шевчун А.Ф., Прокудина М.Г., Тихонов Е.С.
Институт Физики Твердого Тела РАН имени Ю.А. Осипьяна, г. Черноголовка, Россия, shevchun@issp .ac.ru
В работе мы представляем свежие результаты, полученные при исследовании изготовленных нами образцов из щепленных слоистых сверхпроводников различной толщины. Были исследованы различные материалы: NbSe2, Bi2Sr2CaCu2O8+s и органические сверхпроводники.
Для изготовления образцов были применены следующие технологии: получение флеек разной толщины на поверхности полимеров PDMS и PPC; сборка структур из материала и защитного диэлектрического слоя hBN; трансфер структуры на предварительно изготовленные контакты; травление мезы в направленной плазме CHF3 и
O2.
На рисунках представлены результаты, полученные на образцах из NbSe2 разной толщины. В верхнем ряду приведена фотография мезы объемного образца и зависимость ее сопротивления от магнитного поля при температурах 0.5 K и 4.2 К. Ниже приведены фотография выложенной на золотые контакты тонкой (несколько монослоев) флейки, закрытой сверху защитным слоем hBN, и ее температурная зависимость, измеренная по четырехточечной схеме.
Работа профинансирована в рамках выполнения гранта РНФ (проект 22-1200342).
