Синтез прозрачных катодов для μOLED дисплеев Текст научной статьи по специальности «Физика»

я a ^ggg 22-24 °ктябРя 2024 г-

Синтез прозрачных катодов для ^OLED дисплеев

Паращук Н.С.

Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук, Москва Е-mail: parashchuk.ns@mail.ru

DOI: 10.24412/cl-35673-2024-1-127-128

Одним из направлений исследований в области OLED устройств является уменьшение их размеров без потери пикселей, то есть разработка ^OLED дисплеев. Проблемой ^OLED является необходимость использования схемы «Top-Emitted», при которой верхний прозрачный катод наносится поверх органических слоёв, что ускоряет их деградацию при наличии неинертных газов и высоких температур [1]. Это исключает использование эталонного полупроводникового оксида индия-олова (Indium Tin Oxide, ITO), требующего O2 и высокотемпературного отжига [2].

Решением данной проблемы может являться применение однослойных металлических и многослойных соединений оксид/металл/оксид, позволяющих добиться высоких электрооптических показателей без неинертных газов и высоких температур. Для реализации данных тонкоплёночных структур были использованы магнетронный, термический и электронно-лучевой методы напыления, а параметры прозрачных катодов оценивались с помощью оптического пропускания T, поверхностного сопротивления Rsheet и выражения FoM = T'Rsheef0,1 [3].

В результате выполнения данной работы успешно синтезированы различные серии прозрачных электродов (рис. 1), включающие как оксидные полупроводниковые, так и многослойные структуры с содержанием Ag, Al, Mg [4]. Показано, что эффективность структур ITO/Ag/ITO и Mg:Ag/Ag, синтезированных без использования неинертных газов и высокотемпературных процессов, соответствуют эффективности однослойных ITO, параметры синтеза которых включал в себя использование неинертных газов и проведение отжига в кислородной атмосфере.

ШКОЛА-ИОНОСРЕНЦИЯ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ

НОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ, АКТИВНЫЕ СРЕДЫ И НАНОСТРУКТУРЫ

Рис. 1. Сравнение различных конфигураций прозрачных катодов с варьированием условий синтеза.

Работа подготовлена под руководством д.ф.-м.н. Чаусова Д.Н.

1. Vogel U. et al., Proc. of SPIE. 2017, 10335, 1033503(12p).

2. Yang S. et al., Journal of Materials Science: Materials in Electronics. 2019, 30(14), 13005-13012.

3. Anand A. et al., Adv Energy Mater. 2021, 11 (26).

4. Han J. et al. Solar Energy Materials and Solar Cells. 2023, 249, 112035.