CC BY
8УДК 621.3:502.34
Модернизация системы мониторинга отходов производства изделий нано- и микросистемной техники
Р.Ю.Егоркина
Московский государственный институт электронной техники (технический университет)
Отходы высоких технологий в основном многокомпонентны по своему составу и обладают сложным механизмом взаимодействия с окружающей средой. Мониторинг отходов осуществляется путем обобщения информации, предоставленной природопользователями. Формализованные данные об агрегатном и физическом состоянии, опасных свойствах, о степени вредного воздействия на окружающую природную среду и происхождении отходов содержатся в Федеральном классификационном каталоге отходов (ФККО). Применяемая в каталоге тринадцатизначная кодовая система обеспечивает идентификацию основных критериев отходов и намеренно содержит пробелы в кодировке [1]. Классификатор не включает информацию об отходах, образующихся в результате производства изделий нано- и микросистемной техники. В этом случае отходы, как правило, приравнивают к отходам другого происхождения. Например, брак заготовок фотошаблонов на 99,98% состоит из кварцевого стекла, а 0,02% составляет напыление хрома. Следовательно, этот вид отхода по ФККО возможно характеризовать либо как «Лом и отходы, содержащие хром» 3-го класса опасности, либо как «Стеклянные отходы» 5-го класса опасности. Такой подход к кодировке дает противоречивую информацию об объемах, происхождении и классе опасности образовавшегося отхода. При несоответствии свойств отхода информации, зашифрованной в коде ФККО, природопользователю необходимо предоставить на согласование в контрольно-надзорные органы информацию об отходе и лабораторные исследования, закрепленные в паспорте опасного отхода. Упрощение процедуры принятия решения и снижение затрат на обоснование достоверной информации могут быть реализованы путем пополнения действующего каталога.
Опираясь на принципы ФККО и критерии отнесения опасных отходов к классу опасности для окружающей среды, разработаны предложения по кодировке отходов производства изделий нано- и микросистемной техники. При расчете класса опасности отходов используются такие критерии вредного воздействия на окружающую среду и человека, как предельно допустимые концентрации вредных химических веществ в почве (ПДКп), в воздухе рабочей зоны (ПДКрз), токсичность (DL50), компонентный состав, растворимость компонентов в воде (5), летучесть компонентов [2, 3].
Полученные результаты выполненных расчетов параметров воздействия на окружающую среду и анализа свойств отработанных материалов и веществ производства изделий нано- и микросистемной техники положены в основу разработанного блока ФККО. В качестве примера в таблице приведена часть информационного блока кодировок по отходам изготовления фотошаблонов.
Некоторые предложения по классификации отходов изготовления изделий нано- и микросистемной техники
Предлагаемый код по ФККО
Наименование отходов
70000000 00 00 0 Отходы высоких технологий
71000000 00 00 0 Отходы производства изделий нано- и микросистемной техники
71000000 02 07 0 Отработанные органические растворители маскирующего покрытия
© Р.Ю.Егоркина, 2010
Краткие сообщения
Окончание таблицы
Предлагаемый код по ФККО
Наименование отходов
71200000 02 07 3 Диметилформамид, содержащий резист
71300000 02 07 3 Тетраметиловый гидроксид аммония, содержащий резист
71000000 13 00 4 Фотошаблонные заготовки, потерявшие свои потребительские свойства, и брак
7150000 00 00 0 Отходы эксплуатации и обслуживания ЧПП
71500000 00 00 0 Фильтрующие загрузки и фильтры воздухоподготовки
71500000 00 00 0 Климатические жидкости и смеси
71500000 00 00 0 Фильтрующие загрузки и фильтры водоподготовки
Используя разработанные для каталога коды, будет значительно проще составить паспорт опасного отхода. При этом отпадет необходимость в лабораторных подтверждениях свойств неоднозначно трактуемых отходов нано- и микросистемной техники. Это снизит затраты при-родопользователей на обеспечение процедуры регистрации данных.
Внедрение в ФККО дополнительного информационного блока, содержащего данные о конечном этапе жизненного цикла производства изделий нано- и микросистемной техники, поможет решить задачу организации достоверного мониторинга отходов отрасли.
Литература
1. Федеральный классификационный каталог отходов // Безопасное обращение с отходами: Сборник нормативно-методических документов. СПб.: РЭЦ «Петрохим-Технология», ООО Фирма «Интеграл», 1999. - С. 234-243.
2. Комисоров Ю.А., Гордеев Л.С., Эдельштейн Ю.Д., Вент Д.П. Экологический мониторинг окружающей среды: В 2 т. Т. 2. Учеб. пособие для вузов / Под ред. П.Д.Саркисова. - М.: Химия, 2005. - 403 с.
3. Критерии отнесения опасных отходов к классу опасности для окружающей природной среды. Утверждены приказом МПР России от 15 июня 2001 г. № 511.
Поступило 5 февраля 2010 г.
Егоркина Регина Юрьевна — аспирант кафедры промышленной экологии МИЭТ. Область научных интересов: экология и охрана окружающей среды на предприятиях микроэлектроники. E-mail: Regina.egorkina@bk.ru
Г
Уважаемые авторы и читатели!
Вышел в свет очередной номер журнала SEMICONDUCTORS English Translation of
Izvestiya Vysshikh Uchebnykh ZavedeniL Elektronika. -Vol. 43, N13, December 2009. - ISSN 1063-7826, в котором публикуются выборочные статьи из журнала «Известия высших учебных заведений. Электроника». http://www.maik.ru http://www.springerlink.com
