Похожие статьи
- ПАРАМЕТРЫ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА СЭНДВИЧ-КОНСТРУКЦИИ ЕМКОСТНОГО МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА2019 / Йе Ко Ко Аунг, Аунг Тхура, Симонов Борис Михайлович, Тимошенков Сергей Петрович
- МОДЕЛИРОВАНИЕ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА СЭНДВИЧ-КОНСТРУКЦИИ ЕМКОСТНОГО МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА С УЧЕТОМ ИЗМЕНЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПРОНИЦАЕМОСТИ2020 / Йе Ко Ко Аунг, Симонов Борис Михайлович, Тимошенков Сергей Петрович
Похожие статьи
- ИССЛЕДОВАНИЕ КОЭФФИЦИЕНТА ЖЕСТКОСТИ КРЕМНИЕВЫХ БАЛОК МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ РЕЗОНАНСНЫХ АКСЕЛЕРОМЕТРОВ2017 / Аунг Тхура, Симонов Борис Михайлович, Тимошенков Сергей Петрович
- Современные технологии проектирования микроэлектромеханических систем2017 / Баранов Александр Сергеевич
Похожие статьи
- Разработка и исследование конструкции микромеханического сенсора линейных ускорений2017 / Лысенко Игорь Евгеньевич, Ежова Ольга Александровна
- Интегральный микромеханический туннельный акселерометр на основе управляемой самоорганизации механически напряженных полупроводниковых слоев2018 / Денисенко Марк Анатольевич, Исаева Алина Сергеевна
Похожие статьи
- Особенности формирования микроэлектромеханических элементов первичных преобразователей информации2014 / Аверин Игорь Александрович, Пауткин Валерий Евгеньевич
- АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ НА ЧАСТОТНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ КРЕМНИЕВОГО МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО ГИРОСКОПА2019 / Ло Ван Хао, Нестеренко Тамара Георгиевна, Баранов Павел Фёдорович, Коледа Алексей Николаевич
Похожие статьи
- ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ СЛУЧАЙНОЙ ВИБРАЦИИ НА ХАРАКТЕРИСТИКИ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ АКСЕЛЕРОМЕТРОВ2019 / Аунг Тхура, Симонов Борис Михайлович, Тимошенков Сергей Петрович
- Технологические особенности формирования кремниевых пьезорезистивных акселерометров с расширенным температурным диапазоном измерений2016 / Абдуллин Фархад Анвярович, Пауткин Валерий Евгеньевич