Научная статья на тему 'Методика проектирования интегрального микронасоса'

Методика проектирования интегрального микронасоса Текст научной статьи по специальности «Механика и машиностроение»

CC BY
133
38
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Похожие темы научных работ по механике и машиностроению , автор научной работы — Коноплев Б. Г., Лысенко И. Е.

iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Текст научной работы на тему «Методика проектирования интегрального микронасоса»

Известия ТРТУ

Специальный выпуск

Рис. 4. Графики зависимости угла Рис. 5. Зависимость угла поворота от

поворота от длины балки, длины балки и толщины алюминия

рассчитанные по выражению (1) - (-*—) и (4) - (—

Анализ результатов моделирования показал, что разработанная модель угла поворота имеет погрешность порядка 5% по сравнению с выражением (4), полученным на основе экспериментальным данных [2,3]. При этом разработанная модель позволяет учитывать толщину слоев и механические свойства биморфной , -чете различных биморфных структур.

Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования РФ (проект 208.02.02.021) в рамках программы «Научные исследования высшей шко-

», « -», ( 00-2.2-220) -тальным исследованиям в области технических наук, раздел «Электроника и радиотехника», подраздел «Проектирование электронных приборов и радиоэлек-».

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

1. URL: http://www.memsrus.com.

2. Гордое А.Н., Жагулло О.М., Иванова АТ. Основы температурных измерений. М.: Энер-гоатомиздат, 1992.

3. Новикова С.И.. Тепловое расширение твердых тел. М.: Наука, 1974.

УДК 621.3.049.77.001.2

Б.Г. Коноплев, И.Е. Лысенко МЕТОДИКА ПРОЕКТИРОВАНИЯ ИНТЕГРАЛЬНОГО МИКРОНАСОСА

Микронасосы находят широкое применение в микролабораторных системах химического анализа жидкостей, крови, ДНК; системах дозирования различных лекарственных препаратов.

Целью данной работы является разработка методики проектирования интегрального микронасоса с пьезоэлектрической активацией.

Секция конструирования электронной аппаратуры

Разработанная методика проектирования предложенного интегрального микронасоса содержит следующие этапы:

1. Задаются высота рабочей области микронасоса ^б; толщина ^ и диаметр ^ пьезоэлектрического актюатора; напряжение, прилагаемое к пьезоэлектрическому актюатору иа; давление Ра, которое необходимо создать в рабочей области; толщина первого жертвенного слоя Иохъ углы травления жертвенных 8 и структурных ф сл оев; толщина структурного слоя клапана ^.

2. Определяется толщина подвижной мембраны ^.

3. Определяется высота ^ и длина 1^ входного и выходного клапанов.

4. Определяется ширина поверхности входного и выходного клапанов ^га.

5. Определяется площадь поверхности входного и выходного клапанов ^.

6. -нии актюатора уш.

7. , -

нами при включении актюатора.

8.

У’вх.кд.

9. Определяется перемещение х’вхкл, совершаемое входным клапаном при

.

10. -

ТОра У’вых.кл.

11. Определяется перемещение х’ВЬ1ХКЛ, совершаемое выходным клапаном при

.

12. Если полученные значения параметров , х^, у’вх.кл, х’вх.кл, у’выхкл, х’ВЬ1ХКЛ не удовлетворяют техническому заданию, то переход к п. 1.

Моделирование характеристик интегральных микронасосов, спроектированных по предложенной методике, показывают приемлемое соответствие заданным .

Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования РФ (грант Т00-2.2-220 в рамках конкурса по фундаментальным исследованиям, раздел «Электроника и радиотехника»).

УДК 623.3.049.77.001.2

. . , . . , . .

ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОНАСОСЫ

Микронасосы - одни из распространенных элементов микросистемной тех, , , -щимся междисциплинарным научно-техническим направлением, определяющим новую революцию в области систем, реализуемых на микроуровне [1].

iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.

Основное назначение микронасосов в системах - перекачка небольших и часто строго дозируемых количеств различных жидкостей, отличающихся своими свойствами. Это актуально, в первую очередь, при проведении количественного и качественного анализа в системах экологического мониторинга, в медицине, в микросистемах оборонного предназначения и т.д. В последнее время используются более экзотические конструкции, использующие магнитогидродинамические (МГД) и электрогидро динамические (ЭГД) эффекты. Основным их преимущест-

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.