CC BY
54
Известия ТРТУ
Специальный выпуск
Рис. 4. Графики зависимости угла Рис. 5. Зависимость угла поворота от
поворота от длины балки, длины балки и толщины алюминия
рассчитанные по выражению (1) - (-*—) и (4) - (—
Анализ результатов моделирования показал, что разработанная модель угла поворота имеет погрешность порядка 5% по сравнению с выражением (4), полученным на основе экспериментальным данных [2,3]. При этом разработанная модель позволяет учитывать толщину слоев и механические свойства биморфной , -чете различных биморфных структур.
Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования РФ (проект 208.02.02.021) в рамках программы «Научные исследования высшей шко-
», « -», ( 00-2.2-220) -тальным исследованиям в области технических наук, раздел «Электроника и радиотехника», подраздел «Проектирование электронных приборов и радиоэлек-».
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
1. URL: http://www.memsrus.com.
2. Гордое А.Н., Жагулло О.М., Иванова АТ. Основы температурных измерений. М.: Энер-гоатомиздат, 1992.
3. Новикова С.И.. Тепловое расширение твердых тел. М.: Наука, 1974.
УДК 621.3.049.77.001.2
Б.Г. Коноплев, И.Е. Лысенко МЕТОДИКА ПРОЕКТИРОВАНИЯ ИНТЕГРАЛЬНОГО МИКРОНАСОСА
Микронасосы находят широкое применение в микролабораторных системах химического анализа жидкостей, крови, ДНК; системах дозирования различных лекарственных препаратов.
Целью данной работы является разработка методики проектирования интегрального микронасоса с пьезоэлектрической активацией.
Секция конструирования электронной аппаратуры
Разработанная методика проектирования предложенного интегрального микронасоса содержит следующие этапы:
1. Задаются высота рабочей области микронасоса ^б; толщина ^ и диаметр ^ пьезоэлектрического актюатора; напряжение, прилагаемое к пьезоэлектрическому актюатору иа; давление Ра, которое необходимо создать в рабочей области; толщина первого жертвенного слоя Иохъ углы травления жертвенных 8 и структурных ф сл оев; толщина структурного слоя клапана ^.
2. Определяется толщина подвижной мембраны ^.
3. Определяется высота ^ и длина 1^ входного и выходного клапанов.
4. Определяется ширина поверхности входного и выходного клапанов ^га.
5. Определяется площадь поверхности входного и выходного клапанов ^.
6. -нии актюатора уш.
7. , -
нами при включении актюатора.
8.
У’вх.кд.
9. Определяется перемещение х’вхкл, совершаемое входным клапаном при
.
10. -
ТОра У’вых.кл.
11. Определяется перемещение х’ВЬ1ХКЛ, совершаемое выходным клапаном при
.
12. Если полученные значения параметров , х^, у’вх.кл, х’вх.кл, у’выхкл, х’ВЬ1ХКЛ не удовлетворяют техническому заданию, то переход к п. 1.
Моделирование характеристик интегральных микронасосов, спроектированных по предложенной методике, показывают приемлемое соответствие заданным .
Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования РФ (грант Т00-2.2-220 в рамках конкурса по фундаментальным исследованиям, раздел «Электроника и радиотехника»).
УДК 623.3.049.77.001.2
. . , . . , . .
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОНАСОСЫ
Микронасосы - одни из распространенных элементов микросистемной тех, , , -щимся междисциплинарным научно-техническим направлением, определяющим новую революцию в области систем, реализуемых на микроуровне [1].
Основное назначение микронасосов в системах - перекачка небольших и часто строго дозируемых количеств различных жидкостей, отличающихся своими свойствами. Это актуально, в первую очередь, при проведении количественного и качественного анализа в системах экологического мониторинга, в медицине, в микросистемах оборонного предназначения и т.д. В последнее время используются более экзотические конструкции, использующие магнитогидродинамические (МГД) и электрогидро динамические (ЭГД) эффекты. Основным их преимущест-
