CC BY
5
ПРИБОРОСТРОЕНИЕ INSTRUMENTATION ENGINEERING
https://doi.org/10.21122/2227-1031-2024-23-2-114-120 УДК 681.7.023.72
Кинематические особенности абразивной обработки боковой поверхности плоско-выпуклых конических линз по методу свободного притирания
Докт. техн. наук, проф. А. С. Козерук1*, асп. Р. О. Диас Гонсалес1' 2),
кандидаты техн. наук, доценты М. И. Филонова1*, В. О. Кузнечик1*, В. И. Юринок1*
^Белорусский национальный технический университет (Минск, Республика Беларусь), 2)Университетский политехнический институт Сантьяго Мариньо (Мерида, Боливарианская Республика Венесуэла)
© Белорусский национальный технический университет, 2024 Belarusian National Technical University, 2024
Реферат. Предложена технология трехопорной абразивной обработки плоско-выпуклых конических линз инструментом со стабилизированной плоскостностью рабочей поверхности, и рассмотрена схема устройства для реализации этой технологии. Устройство содержит инструмент-диск с плоской рабочей поверхностью, правильник в виде стеклянной пластины с отверстиями для деталей, привод вращательного движения последних и вал привода возвратно-вращательного их перемещения. При использовании устройства крепление плоско-выпуклых конических линз для их последующей групповой обработки происходит посредством оптического контакта, основанного на силах молекулярного сцепления. Такой метод блокировки повышает точность обработанных деталей и исключает применение наклеечной смолы, при нагреве которой происходит загрязнение окружающей среды канцерогенными веществами фенольной группы. Кроме того, в конструкцию устройства введены специальные компенсаторы, позволяющие свести к минимуму влияние вибраций в системе «станок - приспособление - инструмент - деталь», что способствует повышению параметров точности плоско-выпуклых конических линз. Изложены результаты исследования влияния характера обработки боковой поверхности плоско-выпуклых конических линз на точность и производительность процесса формообразования. Рассмотрены следующие случаи: с различной ориентацией вершины плоско-выпуклых конических линз относительно оси симметрии инструмента, без принудительного и с принудительным их вращением, с выходом и без выхода за край инструмента при возвратно-вращательном перемещении заготовок по рабочей поверхности последнего. Установлено, что точность формообразования и его производительность в случае обработки без выхода деталей за край инструмента в среднем на 30 % выше по сравнению с противоположной ситуацией, а обработка с принудительным относительным вращением блока деталей повышает их точность в среднем в полтора раза по сравнению с отсутствием такового, при этом внутренняя ориентация плоско-выпуклых конических линз (вершина конуса направлена в сторону оси вращения инструмента) способствует повышению интенсивности съема припуска более чем в два раза по сравнению с наружной их ориентацией.
Ключевые слова: коническая линза, плоский инструмент, правильник, трехопорная обработка, наладочные параметры, режимы обработки, свободное притирание
Для цитирования: Кинематические особенности абразивной обработки боковой поверхности плоско-выпуклых конических линз по методу свободного притирания / А. С. Козерук [и др.] // Наука и техника. 2024. Т. 23, № 2. С. 114-120. https://doi.org/10.21122/2227-1031-2024-23-2-114-120
Адрес для переписки
Козерук Альбин Степанович Белорусский национальный технический ул. Я. Коласа, 22,
220013, г. Минск, Республика Беларусь Тел.: +375 17 292-74-91 kipp@bntu.by
Address for correspondence
Kozeruk Albin S.
Belarusian National Technical University 22, Ya. Kolasa str., 220013, Minsk, Republic of Belarus Tel.: +375 17 292-74-91 kipp@bntu.by
Наука
итехника. Т. 23, № 2 (2024)
Kinematic Features of Abrasive Processing of Lateral Surface of Flat-Convex Conical Lenses Using Free Rubbing Method
A. S. Kozeruk1), R. O. Diaz Gonzales1, 2), M. I. Filonova1), V. O. Kuznechik1), V. I. Yurinok1)
1)Belarusian National Technical University (Minsk, Republic of Belarus),
2)Polytechnic University Institute of Santiago Marino (Merida, Venezuela)
Abstract. A technology for three-support abrasive processing of flat-convex conical lenses using a tool with a stabilized flatness of the working surface is proposed, and a device diagram for implementing this technology is considered. The device contains a disk tool with a flat working surface, a straightener in the form of a glass plate with holes for parts, a drive for the rotational movement of the latter and a drive shaft for their reciprocating rotational movement. When using the device, the attachment of flat-convex conical lenses for their subsequent group processing occurs through optical contact based on mo-lecular adhesion forces. This blocking method increases the accuracy of processed parts and eliminates the use of adhesive resin, which, when heated, pollutes the environment with carcinogenic substances of the phenolic group. In addition, special compensators have been introduced into the design of the device to minimize the influence of vibrations in the "machine -fixture - tool - part" system, which helps to improve the accuracy parameters of plano-convex conical lenses. The paper presents results of a study of the influence of the nature of processing of the lateral surface of flat-convex conical lenses on the accuracy and productivity of the shaping process. The following cases are considered: with different orientations of the top of flat-convex conical lenses relative to the axis of symmetry of the tool, without forced and with forced rotation, with and without going beyond the edge of the tool during reciprocating rotational movement of workpieces along the working surface of the latter. It has been established that the accuracy of shaping and its productivity in the case of processing without parts lea-ving the edge of the tool are on average 30 % higher compared to the opposite situation, and processing with forced relative rotation of a block of parts increases their accuracy on average by one and a half times compared with absence of such, while the internal orientation of flat-convex conical lenses (the top of the cone is directed towards the axis of rotation of the tool) helps to increase the intensity of stock removal by more than two times compared to their external orientation.
Keywords: conical lens, flat tool, straightener, three-support processing, adjustment parameters, processing modes, free grinding
For citation: Kozeruk A. S., Diaz Gonzales R. O., Filonova M. I., Kuznechik V. O., Yurinok V. I. (2024) Kinematic Features of Abrasive Processing of Lateral Surface of Flat-Convex Conical Lenses Using Free Rubbing Method. Science and Technique. 23 (2), 114-120. https://doi.org/10.21122/2227-1031-2024-23-2-114-120 (in Russian)
Введение
Достоинством плоско-выпуклых конических линз является то, что они в отличие от сферических линз, которые создают широкий пучок Гаусса, формируют узкий пучок Бесселя с полушириной несколько микрометров [1, 2]. Это свойство плоско-выпуклых конических линз позволяет эффективно применять их в оптической системе различных устройств, работа которых основана на использовании высокоэнергетического светового пучка (инструменты для механической обработки различных материалов, лазерные скальпели в медицине и др.) [3-6].
При изготовлении плоско-выпуклых конических линз по существующей технологии на отечественных предприятиях оптической промышленности заготовку закрепляют на шпиндель рычажного шлифовально-полировального станка, а инструменту в виде диска сообщают возвратно-поступательное перемещение по об-
■ Наука
итехника. Т. 23, № 2 (2024)
разующей конуса. При этом происходит как съем припуска с поверхности заготовки детали, так и неравномерный износ инструмента, что нарушает его первоначальную плоскостность. Следовательно, это поштучная низкопроизводительная обработка, в которой скорость вращения инструмента (она зависит от длины линии контакта инструмента с образующей конуса) и плоскостность его рабочей поверхности непостоянны, что вызывает общее и локальное отклонение образующей конуса от прямолинейности в пределах ±0,25 и ±0,025 мкм соответственно. Эти погрешности превышают аналогичные характеристики для плоско-выпуклых конических линз мирового уровня.
Сущность технологии
Технология обработки плоско-выпуклых конических линз, которая в настоящее время используется иностранными фирмами, включает следующие этапы: 1) шлифование металли-
ческим и грубое полирование полиуретановым инструментами в виде диска без перемещения детали по рабочей поверхности последнего; 2) тонкое плазменное полирование; 3) доводку формы и чистоты конической поверхности гибким зональным инструментом [7]. Технология поштучная и непроизводительная, при ее использовании получается общее и локальное отклонение образующей конуса от прямолинейности на уровне ±0,18 и ±0,018 мкм соответственно, что не всегда удовлетворяет современным требованиям.
При обработке плоско-выпуклых конических линз размером 4 мм и более по предлагаемой технологии используются одновременно три заготовки, которые вращаются принудительно с постоянной скоростью и совершают колебательное перемещение по плоской рабочей поверхности инструмента без выхода за его край (рис. 1) [8]. Это технология групповой трехопорной абразивной обработки плосковыпуклых конических линз. Она позволяет поддерживать необходимую плоскостность рабочей поверхности инструмента в виде диска 2 с помощью специального правильника 3, который представляет собой стеклянный диск с ровной рабочей поверхностью и тремя отверстиями для обрабатываемых деталей (суммарная площадь отверстий в сепараторе не должна превышать 30 % от общей площади самого сепаратора, и они (отверстия) расположены на разных угловых расстояниях друг от друга и различных расстояниях от центра [9]). И поскольку вес правильника значительно превышает вес обрабатываемых плоско-выпуклых конических линз, то он непрерывно нивелирует неравномерное срабатывание инструмента деталями и при определенных режимах обработки постоянно поддерживает необходимую плоскостность его рабочей поверхности. Кроме того, при использовании данной технологии представляется возможность управлять процессом формообразования исполнительных поверхностей плоско-выпуклых конических линз посредством изменения параметров режимов обработки. Вместе с тем в данном случае наклонами заготовки по лимбу предлагаемого устройства можно обеспечить точное значение угла при вершине конуса. Эти возможности отсутствуют в существующей технологии.
2
Рис. 1. Схема устройства: 1 - шпиндель базового станка, 2 - инструмент-планшайба, 3 - правильник в виде стеклянной пластины с отверстиями для деталей, 4 - деталь (плоско-выпуклая коническая линза), 5 - привод вращательного движения деталей, 6 - вал привода возвратно-вращательного движения деталей
Fig. 1. Device diagram: 1 - spindle of the base machine, 2 - faceplate tool, 3 - straightener in the form of a glass plate with holes for parts, 4 - part (plano-convex conical lens), 5 - drive for rotational movement of parts, 6 - drive shaft for reciprocating rotation of parts
Использование предлагаемого устройства позволяет повысить производительность обработки плоско-выпуклых конических линз и уменьшить отклонение их образующей от прямолинейности и локальной погрешности на исполнительных поверхностях до уровней соответственно ±0,12 и ±0,012 мкм.
Результаты исследования и их анализ
Проведены исследования влияния характера обработки боковой поверхности плоско-выпуклых конических линз на точность и производительность процесса формообразования. Рассматривались следующие случаи: с различной ориентацией вершины линзы относительно оси симметрии инструмента, без принудительного и с принудительным их вращением, с выходом и без выхода за край инструмента при возвратно-вращательном перемещении заготовок по рабочей поверхности последнего.
Анализ полученных экспериментальных результатов, приведенных на рис. 2, показывает, что в случае внутренней ориентации плосковыпуклой конической линзы (вершина конуса направлена в сторону оси вращения инструмента) величина отклонения ее боковой поверхности от прямолинейности h (стрелки прогиба) с исходного значения 15 мкм уменьши-
Наука
итехника. Т. 23, № 2 (2024)
лась до 5 мкм за 14 мин обработки (кривая 1), а при наружной ориентации - за 36 мин (кривая 2). Следовательно, интенсивность съема припуска в первом случае более чем в два раза выше по сравнению со вторым.
15
h, мкм
t, мин
Рис. 2. Закономерность изменения стрелки прогиба h образующей конуса от времени обработки t при ее внутренней (1) и наружной (2) ориентациях
Fig. 2. Pattern of changes in the deflection arrow h of the cone generatrix depending on the processing time t for its internal (1) and external (2) orientations
Результаты экспериментальных исследований геометрической точности и скорости съема припуска при обработке боковой поверхности плоско-выпуклых конических линз без выхода и с выходом их за край инструмента приведены на рис. 3. Они свидетельствуют о том, что при обработке без выхода за край инструмента зависимость h(t), уменьшаясь, асимптотически приближается к горизонтальной прямой на уровне h = 2 мкм после 25 мин обработки, в то время как при обработке с выходом за край инструмента h(t) асимптотически приближается к горизонтальной прямой на уровне h = 3 мкм после 35 мин обработки. И поскольку значение стрелки прогиба h (2 и 3 мкм) после отмеченных схем обработки отображает ее точность, а время обработки (25 и 35 мин) - производительность процесса, то это значит, что точность формообразования и его производительность в первом случае (без выхода за край инструмента) в среднем на 30 % выше по сравнению со вторым случаем.
Выполнена также обработка боковой поверхности плоско-выпуклой конической линзы без принудительного и с принудительным ее вращением. Получены следующие результаты: при обработке без принудительного вращения h = (0,05-0,06) мкм, а с принудительным вращением h = (0,03-0,04) мкм, т. е. в среднем в полтора раза точнее.
■ Наука
итехника. Т. 23, № 2 (2024)
15 h, мкм
12 10 8
6 4 2
10
15
20
25
t, мин
35
Рис. 3. Зависимость стрелки прогиба h от времени обработки t образующей конуса без выхода (1) и с выходом (2) детали за край обрабатывающей поверхности
Fig. 3. Dependence of the deflection arrow h on the processing time t of the cone generatrix without exit (1) and with exit (2) of the part beyond the edge of the processing surface
Если в процессе обработки исполнительных поверхностей плоско-выпуклых конических линз точность их геометрических параметров (отклонение основания конуса от плоскостности и его образующей от прямолинейности) выходила за пределы допуска, корректировали параметры режимов формообразования (величину частоты вращения инструмента vH, заготовок плоско-выпуклых конических линз у, и кривошипа шарнирного четырехзвенника станка v2, отношение v6/vh, где v6 - частота вращения блока заготовок рассматриваемых деталей, а также длину штриха L колебательного движения выходного звена базового станка). Величину корректировки этих параметров определяли по разработанной методике, а их исходные значения устанавливали с учетом рекомендуемых технологических режимов, приведенных в табл. 1 для случаев равномерного съема припуска с рабочей поверхности пра-вильника и исполнительных поверхностей плоско-выпуклой конической линзы, и когда необходимо обеспечить более интенсивную обработку как в краевой, так и в центральной зонах правильника и основания конуса.
В частности, оптимальные режимы обработки в зависимости от макропогрешности (характера распределения припуска) на исходной поверхности правильника диаметром dH = 0,9dH (dH - диаметр инструмента) и на основании заготовки конической линзы в блоке диаметром ёб = 0,8dH следующие: •
• общая «яма» на правильнике - частота вращения инструмента vH = a1dH(a1 = 0,074 с-1 •м-1), частота вращения входного звена исполнитель-
ного механизма технологического оборудования V2 = а2аЦа2 = 0,004 с-1-м-1), амплитуда колебательного движений выходного звена исполнительного механизма технологического оборудования Ь = 0,88^и;
• общий «бугор» на правильнике: vи = = а3А?и (а3 = 0,012 с-1-м-1), V2 = а4йи (а4 = = 0,027 с-1-м-1), Ь = 0,64^;
• общая «яма» на основании конуса: vи = = а5^и(а5 = 0,03 с-1-м-1), V2 = а3^и, Ь = 0,67
• общий «бугор» на основании конуса: vи = = а6йи (а6 = 0,025 с-1-м-1), V2 = а7йи (а7 = = 0,021 с-1-м-1), Ь = 0,595^.
Для равномерного срабатывания рабочей поверхности правильника и равномерного съема припуска с основания конуса следует назначать: vи = а8йи (а8 = 0,023 с-1-м-1), V2 = = а9йи (а9 = 0,013 с-1-м-1), Ь = 0,79^и и vи = а4^и, V2 = а10А?и (а10 = 0,017 с-1-м-1), Ь = 0,64 ^ соот-
ветственно, а для равномерного съема припуска с конической поверхности линзы: vб/vи = = аи^б (а11 = 0,003 с-1-м-1); vи = а12^б (а12 = = 0,399 с-1-м-1); V2 = а^б (ап = 0,022 с-1-м-1); vл = а14^б (а14 = 0,32 с-1-м-1); Ь = 0,205
Численные значения коэффициентов а1-а10 получены делением расчетных относительных путей трения в краевой зоне обрабатываемых поверхностей правильника и основания плоско-выпуклой конической линзы, приведенных соответственно в [10] и [11] для различных параметров режимов обработки, на диаметр инструмента, который использовался при проведении расчетов (в нашем случае 250 мм), а величина коэффициентов а11-а14 - делением соответствующих расчетных относительных путей трения, изложенных в [8], на диаметр блока заготовок плоско-выпуклых конических линз (в нашем случае 200 мм).
Параметр режима обработки Усиленный съем припуска
в краевой зоне в центральной зоне равномерный съем материала
Правильник
a1dB (а1 = 0,074 с4 • м"1) а3^и (а3 = 0,012 с"1 • м"1) а8^и (а8 = 0,023 с 1 • м 1)
V2 a2dH (а2 = 0,04 с"1 • м"1) а4^и (а4 = 0,027 с"1 • м"1) а9^и (а9 = 0,013 с"1 • м"1)
L 0,88й?и 0,64й?и 0,79й?и
Основание конической линзы
а5^и (а5 = 0,03 с 1 • м 1) (а6 = 0,025 с"1 • м"1) аА
V2 аз^и а7^и (а7 = 0,021 с"1 • м"1) аиЧ, (аи = 0,017 с" • м")
L 0,67d„ 0,595d„ 0,64d„
Боковая поверхность конической линзы
Va/ ^ а11^б (а11 = 0,003 с 1 • м 1)
а12й?6 (а12 = 0,039 с"1 • м)
V2 а13а?6 (а13 = 0,022 с"1 • м"1)
а14^б (а14 = 0,32 с• м"1)
L 0, 205й?6
Таблица 1
Рекомендуемые технологические режимы обработки рабочей поверхности правильника и исполнительных поверхностей плоско-выпуклой конической линзы
Recommended technological modes for processing the working surface of the straightener and the working surfaces of a flat-convex conical lens
Наука
итехника. Т. 23, № 2 (2024)
Значения технологических режимов, изложенных в табл. 1, зависят от диаметра инструмента в виде диска (через коэффициенты а1-а14), величина которого, в свою очередь, определяется с учетом геометрических параметров обрабатываемой плоско-выпуклой конической линзы.
Аналитическая связь диаметра инструмента с1и с геометрическими параметрами плосковыпуклой конической линзы (с диаметром основания конуса его высотой к и углом при вершине конуса а) получена из анализа рис. 4, где коническая линза 1 расположена в отверстии 2 правильника 3.
Рис. 4. Схема расположения плоско-выпуклой конической линзы в отверстии плавильника
Fig. 4. Layout of a flat-convex conical lens in the hole of the melter
Из рис. 4 следует, что радиус r окружности, описанной около треугольника ABD, отображающего геометрические параметры конической линзы, выражается соотношением
а
r = -
cos0,5а
(1)
где а = -
Ii
h2 - длина образующей
конуса плоско-выпуклой конической линзы.
Для свободного расположения плоско-выпуклой конической линзы в отверстии 2 пра-вильника 3 радиус этого отверстия должен быть больше радиуса г по меньшей мере на 3 мм, т. е. Лотв = г + 3. Следовательно, суммарная площадь трех отверстий правильника (общепринятая конструкция правильника) будет:
■ Наука
итехника. Т. 23, № 2 (2024)
S
Еотв
где
= 3S01B = 3л (r + 3),
S отв =лЯо2тв =n(r + 3)2.
(2)
И поскольку эта площадь не должна превышать 30 % от общей рабочей поверхности правильника, т. е
S
Sv
пр
0,3
=<,,
(3)
радиус правильника равен
К ='
Sv
0,3 л
=л/1° (r + 3)2
а его диаметр
<р = 2> (r + 3)2.
(4)
(5)
Одной из особенностей обработки в условиях свободного притирания является то, что нижнее звено (в нашем случае инструмент) должно быть больше верхнего (в нашем случае правильника) в е = 1,1-1,2 раза, т. е.
d, = ed = 2е
пр
Vl0 (r + 3)2.
(6)
Следовательно, окончательное выражение для определения диаметра инструмента запишется в виде:
d, = 2e,
(
10
+ 4h2 4cos0,5а
2
(7)
ВЫВОДЫ
1. Использование разработанного устройства для обработки плоско-выпуклых конических линз позволяет стабилизировать плоскостность рабочей поверхности инструмента, что способствует повышению производительности процесса формообразования и уменьшению отклонения образующей конической поверхности деталей от прямолинейности, а также локальных погрешностей на их исполнительных поверхностях до уровней соответственно ±0,12 и ±0,012 мкм.
2. Предложенная методика определения размеров инструмента для обработки плосковыпуклых конических линз позволяет установить
отв
связь технологических режимов формообразования рассматриваемых деталей с их геометрическими параметрами (высотой конуса, диаметром его основания и углом при вершине).
3. Выполненные исследования влияния характера обработки боковой поверхности плоско-выпуклых конических линз на точность и производительность процесса показали, что точность формообразования и его производительность в случае обработки без выхода деталей за край инструмента в среднем на 30% выше по сравнению с противоположной ситуацией, а обработка с принудительным относительным вращением блока деталей повышает их точность в среднем в полтора раза по сравнению с отсутствием такового, при этом внутренняя ориентация линз (вершина конуса направлена в сторону оси вращения инструмента) способствует повышению интенсивности съема припуска более чем в два раза по сравнению с наружной их ориентацией.
ЛИТЕРАТУРА
1. Bessel-Like Beam Array Formation by Periodical Arrangement of the Polymeric Round-Tip Microstructures / E. Stankevicius [et al.] // Opt. Express. 2015. Vol. 23, No 22. P. 28557-28561. https://doi.org/10.1364/oe.23.028557.
2. Dudutis, J. / Non-Ideal Axicon-Generated Bessel Beam Application for Intra-Volume Glass Modification / J. Dudutis, P. GeCys, G. RaCiukaitis // Opt. Express. 2016. Vol. 24, No 25. C. 28433-28443. https://doi.org/10. 1364/oe.24.028433.
3. Matsuoka, Y. The Characteristics of laser Micro Drilling using a Bessel Beam / Y. Matsuoka, Y. Kizuka, T. Inoue // Appl. Phys., A Mater. Sci. 2006. Vol. 84, No 4. P. 423-426. https://doi.org/10.1007/s00339-006-3629-6.
4. Millijoule Femtosecond Micro-Bessel Beams for UltraHigh Aspect Ratio Machining / S. Mitra [et al.] // Appl. Optics. 2015. Vol. 54, No 24. P. 7358-7363. https://doi. org/10.1364/ao.54.007358.
5. High 90% efficiency Bragg Gratings Formed in Fused Silica by Femtosecond Gauss-Bessel Laser Beams / M. Mi-kutis [et al.] // Opt. Mater. Express. 2013. Vol. 3, No 11. P. 1865-1867. https://doi.org/10.1364/ome.3.001862.
6. High Aspect Ratio Taper-Free Microchannel Fabrication Using Femtosecond Bessel Beams / M. K. Bhuyan [et al.] // Opt. Express. 2010. Vol. 18, No 2. P. 566-571. https://doi. org/10.1364/oe.18.000566.
7. Марченко, И. А. Способ обработки конической поверхности детали: пат. 2071395 РФ, МПК B 23C 3/04 / И. А. Марченко, Ю. Н. Зорин, В. В. Щенев. Опубл. 10.01.1997.
8. Моделирование закономерностей формообразования конических поверхностей / А. С. Козерук [и др.] // Вес-щ Нацыянальнай акадэмп навук Беларуси Сер. фiзiка-тэхшчных навук. 2021. Т. 66, № 4. С. 430-439. https://doi.org/10.29235/1561-8358-2021-66-4-430-439.
9. Козерук, А. С. Технология оптического приборостроения / А. С. Козерук. Минск: БНТУ, 2016. С. 88-94.
10. Технологические особенности формообразования плоского инструмента для обработки аксиконов / А. С. Козе-
рук [и др.] // Наука и техника. 2020. Т. 19, № 4. С. 297-304. https://doi.org/10.21122/2227-1031-2020-19-4-297-304.
11. Технологические особенности процесса обработки конических линз. / М. И. Филонова [и др.] // Наука и техника. 2020. Т. 19, № 6. С. 521-527. https://doi. org/10.21122/2227-1031-2020-19-6-521-527.
Поступила 16.11.2023 Подписана к печати 23.01.2024 Опубликована онлайн 29.03.2024
REFERENCES
1. Stankevicius E., Garliauskas M., Gedvilas M., RaCiukaitis G. (2015) Bessel-Like Beam Array Formation by Periodical Arrangement of the Polymeric Round-Tip Microstructures. Optics Express, 23 (22), 28557-28561. https://doi. org/10.1364/oe.23.028557.
2. Dudutis J., GeCys P., RaCiukaitis G. (2016) Non-Ideal Axicon-Generated Bessel Beam Application for IntraVolume Glass Modification. Optics Express, 24 (25), 28433-28443. https://doi.org/10.1364/oe.24.028433.
3. Matsuoka Y., Kizuka Y., Inoue T. (2006) The Characteristics of Laser Micro Drilling using a Bessel Beam. Applied Physics A, 84 (4), 423-426. https://doi.org/10.1007/s00339-006-3629-6.
4. Mitra S., Chanal M., Clady R., Mouskeftaras A., Grojo D. (2015) Millijoule Femtosecond Micro-Bessel Beams for Ultra-High Aspect Ratio Machining. Applied Optics, 54 (24), 7358-7363. https://doi.org/10.1364/ao.54.007358.
5. Mikutis M., Kudrius T., Slekys G., Paipulas D., Juodkazis S. (2013) High 90% Efficiency Bragg Gratings Formed in Fused Silica by Femtosecond Gauss-Bessel Laser Beams. Optical Materials Express, 3 (11), 1865-1867. https://doi.org/10.1364/ome.3. 001862.
6. Bhuyan M. K., Courvoisier F., Lacourt P.-A., Jacquot M., Furfaro L., Withford M. J., Dudley J. M. (2010) High Aspect Ratio Taper-Free Microchannel Fabrication Using Femtosecond Bessel Beams. Optics Express, 18 (2), 566-571. https://doi.org/10.1364/oe.18.000566.
7. Marchenko I. A., Zorin Yu. N., Shchenev V. V. (1997) Method for Processing the Conical Surface of a Part. Patent 2071395 Russian Federation (in Russian).
8. Kozeruk A. S., Sukhotsky A. A., Diaz González R. O., Filonova M. I., Kuznechik V. O., Ali-zade E. R. (2021) Modeling of Formation Regularities of Conical Surfaces. Vestsi Natsyyanal'nai Akademii Navuk Belarusi. Seryya Fizika-Technichnych Navuk = Proceedings of the National Academy of Sciences of Belarus. Physical-Technical Series, 66 (4), 430-439. https://doi.org/10. 29235/15618358-2021-66-4-430-439 (in Russian).
9. Kozeruk A. S. (2016) Optical Instrumentation Technology. Minsk, Belarusian National Technical University, 88-94 (in Russian).
10. Kozeruk A. S., Dias Gonzalez R. O., Sukhotzkiy A. A., Fi-lonova M. I., Kuznechik V. O. (2020) Technological Features of Forming Flat Tool for Processing Axicons. Nauka i Te-hnika = Science & Technique, 19 (4), 297-304. https://doi. org/10.21122/2227-1031-2020-19-4-297-304 (in Russian).
11. Filonova M. I., Dias Gonzalez R. O., Sukhotzkiy A. A., Kozeruk A. S., Semchuonok A. V. (2020) Technological Features in Processing of Conical Lenses. Nauka i Tehni-ka = Science & Technique, 19 (6), 521-527. https://doi. org/10.21122/2227-1031-2020-19-6-521-527(in Russian).
Received: 16.11.2023 Accepted: 23.01.2024 Published online: 29.03.2024
Наука
итехника. Т. 23, № 2 (2024)
