Научная статья на тему 'Исследование тонких пленок состава SiOx(SnOy)Ag сканирующим зондовым микроскопом'

Исследование тонких пленок состава SiOx(SnOy)Ag сканирующим зондовым микроскопом Текст научной статьи по специальности «Нанотехнологии»

CC BY
104
34
Читать
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Похожие темы научных работ по нанотехнологиям , автор научной работы — Петров В. В., Плуготаренко Н. К., Назарова Т. Н., Агеев О. А.

iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.
Предварительный просмотр
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Текст научной работы на тему «Исследование тонких пленок состава SiOx(SnOy)Ag сканирующим зондовым микроскопом»

Секция химии и экологии

Кроме того, наблюдается снижение газовой чувствительности при повышении рабочей температуры сенсора. Так для температур 35; 50; и 900С чувствительность составила 0,14; 0,08; 0,07 отн.ед., соответственно.

, , с добавками серебра возможно создание низкотемпературного датчика аммиака.

УДК 539.217.5:546.28

В.В. Петров, Н.К. Плуготаренко, Т.Н. Назарова, О.А. Агеев

ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК СОСТАВА SIOx(SNOy)AG СКАНИРУЮЩИМ ЗОНДОВЫМ МИКРОСКОПОМ*

В плане разработки новых химических сенсоров одним из наиболее перспективных представляется путь создания газочувствительных материалов на базе скоррелированных ансамблей наночастиц, которые являются самосогласованной .

оказывает заметное влияние на электронные характеристики ансамбля как целого.

В настоящей работе проведено исследование пленок состава SiOX(SnOY)Ag, полученных золь-гель методом, сканирующим зондовым микроскопом Solver P47. Такой способ позволяет отследить микроструктуру пленки на различных этапах ее .

В качестве образцов были взяты пленки, отожженные при 370, 550 и 800 °С. Анализ показал, что при 370 °С поверхность еще не достаточно сформирована. При 550°С - представляет собой ядра кристаллитов оксидов олова и кремния размером 20-30 нм, окруженных гораздо большей по объему аморфной оболочкой. 800 ° - , практически не наблюдается.

Проведенная ранее проверка сенсорных свойств этих пленок [1] показала, что наилучшей газочувствительностью обладают пленки, отожженные при 550°С.

Все вышесказанное подтверждает мнение о том, что если размер наночастиц кристаллитов находится в пределах одного-трех десятков нанометров, то эти частицы объединяются в бесконечные цепочки и образуют сквозной маршрут переноса заряда через пленку, улучшая тем самым механизм чувствительности данной .

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК 1. Петров ВБ., Копылова Н.Ф., Назарова Т.Н. Формироваание тонких пленок состава SiOx(SnOy)Ag, чувствительных к сероводороду// Тез. докл. Междунар. науч. конф. «Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии». Кисловодск 13-18 октября 2002 г. - Ставрополь. - С.93-95.

* Работа выполнена при поддержке гранта Министерства образования РФ А03-3.15-501.

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.