Научная статья на тему 'ИССЛЕДОВАНИЕ РОСТОВЫХ ДЕФЕКТОВ В СИНТЕТИЧЕСКИХ АЛМАЗАХ МЕТОДОМ РЕНТГЕНОВСКОЙ ТОПО-ТОМОГРАФИИ'

ИССЛЕДОВАНИЕ РОСТОВЫХ ДЕФЕКТОВ В СИНТЕТИЧЕСКИХ АЛМАЗАХ МЕТОДОМ РЕНТГЕНОВСКОЙ ТОПО-ТОМОГРАФИИ Текст научной статьи по специальности «Нанотехнологии»

CC BY
28
10
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.
Ключевые слова
ТОМОГРАФИЯ / СИНТЕТИЧЕСКИЕ АЛМАЗЫ / ТОПО-ТОМОГРАФИЯ / РОСТОВЫЕ ДЕФЕКТЫ

Аннотация научной статьи по нанотехнологиям, автор научной работы — Анисимов Н. П., Золотов Д. А., Бузмаков А. В., Дьячкова И. Г., Асадчиков В. Е.

В работе с применением лабораторного источника рентгеновского излучения исследовались синтетические монокристаллы алмаза кубооктаэдрического габитуса, выращенные методом НРНТ вблизи линии равновесия алмаз-графит. Получены двумерные и трехмерные дифракционные изображения в геометрии Лауэ пучков ростовых дислокаций. Проведен качественный анализ расположения таких линейных дефектов

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Похожие темы научных работ по нанотехнологиям , автор научной работы — Анисимов Н. П., Золотов Д. А., Бузмаков А. В., Дьячкова И. Г., Асадчиков В. Е.

iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

THE STUDY OF GROWTH DEFECTS IN SYNTHETIC DIAMONDS USING X-RAY TOPO-TOMOGRAPHY

Growth dislocations in single-crystal cuboctahedral synthetic diamonds grown by HPHT method are investigated using a laboratory X-ray source. Two- and three-dimensional diffraction images in the Laue geometry of growth dislocation bundles have been obtained. The spatial arrangement of such linear defects is analyzed

Текст научной работы на тему «ИССЛЕДОВАНИЕ РОСТОВЫХ ДЕФЕКТОВ В СИНТЕТИЧЕСКИХ АЛМАЗАХ МЕТОДОМ РЕНТГЕНОВСКОЙ ТОПО-ТОМОГРАФИИ»

УДК 548.73, 548.4, 616-073.756.8

Анисимов Н.П., Золотов Д.А., Бузмаков А.В., Дьячкова И.Г., Асадчиков В.Е., Ширяев А. А.

ИССЛЕДОВАНИЕ РОСТОВЫХ ДЕФЕКТОВ В СИНТЕТИЧЕСКИХ АЛМАЗАХ МЕТОДОМ РЕНТГЕНОВСКОЙ ТОПО-ТОМОГРАФИИ

Анисимов Николай Петрович - магистрант 1-го года обучения кафедры оптики, спектроскопии и физики наносистем; Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Россия, Москва, 119991, Ленинские горы, д. 1; [email protected]

Золотов Денис Александрович - кандидат физико-математических наук, старший научный сотрудник; ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН, 119333, Москва, Ленинский проспект, дом 59.

Бузмаков Алексей Владимирович - кандидат физико-математических наук, старший научный сотрудник; ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН, 119333, Москва, Ленинский проспект, дом 59. Дьячкова Ирина Геннадьевна - кандидат физико-математических наук, старший научный сотрудник; ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН, 119333, Москва, Ленинский проспект, дом 59. Асадчиков Виктор Евгеньевич - доктор физико-математических наук, профессор, главный научный сотрудник; ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН, 119333, Москва, Ленинский проспект, дом 59. Ширяев Андрей Альбертович - доктор химических наук, главный научный сотрудник; ИФХЭ РАН, Москва, Ленинский проспект, 119071, дом 31, корпус 4.

В работе c применением лабораторного источника рентгеновского излучения исследовались синтетические монокристаллы алмаза кубооктаэдрического габитуса, выращенные методом HPHT вблизи линии равновесия алмаз-графит. Получены двумерные и трехмерные дифракционные изображения в геометрии Лауэ пучков ростовых дислокаций. Проведен качественный анализ расположения таких линейных дефектов. Ключевые слова: томография, синтетические алмазы, топо-томография, ростовые дефекты.

THE STUDY OF GROWTH DEFECTS IN SYNTHETIC DIAMONDS USING X-RAY TOPO-TOMOGRAPHY

Anisimov N.P.1,2, Zolotov D.A.2, Buzmakov A.V.2, Dyachkova I.G.2, Asadchikov V.E.2, Shiryaev A.A.3

1 Lomonosov Moscow State University, Moscow, Russian Federation.

2 FSRC Crystallography and Photonics, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russian Federation.

3 Frumkin Institute of Physical Chemistry and Electrochemistry, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russian Federation.

Growth dislocations in single-crystal cuboctahedral synthetic diamonds grown by HPHT method are investigated using a laboratory X-ray source. Two- and three-dimensional diffraction images in the Laue geometry of growth dislocation bundles have been obtained. The spatial arrangement of such linear defects is analyzed. Keywords: tomography, synthetic diamonds, topo-tomography, growth defects.

Введение

Благодаря своим уникальным физическим свойствам алмаз является перспективным материалом с точки зрения физики полупроводников. Так, существует возможность создания на базе алмазных подложек полупроводниковых элементов, которые по многим своим параметрам превосходят ныне существующие устройства на основе кремния [1]. Однако это требует совершенствования технологии выращивания алмаза и контроля качества получаемых кристаллов. В данной работе представлены результаты, связанные с изучением пространственного распределения линейных дефектов в кубооктаэдрических монокристаллах синтетических алмазов,

выращенных в лабораторных условиях методом HPHT (от англ. High Pressure and High Temperature). Исследование проводилось с помощью методов рентгеновской топографии и топо-томографии на лабораторном источнике рентгеновского излучения. Образцы характеризовались ярко выраженными кубическими гранями {100}. Исследовалось три образца весом 2.48, 3.09 и 4.69 карата, которые здесь и далее обозначены буквами A, B и C соответственно.

Экспериментальная часть

Исследование ростовых дефектов проводилось на экспериментальной установке для рентгеновской топо-томографии, представляющей

модифицированный лабораторный микротомограф [2]. В качестве источника излучения была выбрана рентгеновская трубка с молибденовым анодом (характеристическое МоКа1-излучение, X = 0.709 А). Изучаемый образец выставлялся таким образом, чтобы ось вращения гониометра была параллельна выбранному вектору дифракции Ь[111], а угол между образцом и падающим пучком был равен углу Брэгга, отсчитываемому в плоскости, перпендикулярной плоскости детектора (в данном случае 0в = 9.916°). Для регистрации топограмм использовался двумерный ПЗС-детектор с разрешением 9 мкм. Угловое перемещение гониометра осуществлялось с помощью шагового двигателя, в диапазоне от 0° до 360°, с шагом ф = 2°. Необходимое время экспозиции составило 5 минут.

В результате проведения серии экспериментов были получены наборы рентгеновских топограмм для каждого из образцов. Картина распределения

дефектов для всех кристаллов оказалось очень похожей (рис. 1).

Реконструкцию по полученным экспериментальным данным проводили с помощью алгебраического метода SIRT [3]. Он основан на решении системы линейных уравнений методом последовательных приближений, вычисляемых (при восстановлении структуры объекта) проекций к экспериментальным. Для численного решения использовали набор библиотек ASTRA Tomography Toolbox [4], позволяющий описать геометрию проведенного эксперимента.

It - 30° Ф = 60°

tp = 0°

tp = 90°

" Л Г л

[111] V ~ 2 мм

Рис. 1. Рентгеновские топограммы для образца С с угловым шагом в 30 градусов. Стрелка на рисунке показывает направление вектора дифракции [111],

вокруг которого образец вращается на угол (р.

2.3 S 7.5 10 12.9 «5

2.3 3 7.3 10 12.3 15

h

ш

Рис. 2. Результат реконструкции образца С.

Красным выделены пучки дислокаций. В результате процедуры реконструкции были получены ЭБ-модели образцов (рис. 2). Красным цветом обозначены дефекты, которые удалось выделить из ЭБ-модели.

Дислокации развивались в направлении роста кристалла 100 (рис. 3). Видны два пучка дислокаций: один перпендикулярен плоскости роста 100, другой составляет с ней угол ~ 54°. Такая картина распределения дефектов оказалась характерна для всех исследуемых в работе образцов. Исходя из значений углов, можно предположить, что центральный пучок дислокаций принадлежит семейству плоскостей типа {010}, тогда как

отклоняющийся пучок залегает в плоскости типа {111}. Ранее похожие результаты были получены в работах [5-6], где наличие дислокационных пучков в образцах связывают с несовершенством кристалла, используемого в качестве затравки при выращивании. Видно, что оба пучка выходят из единого центра, в котором предположительно находился этот затравочный кристалл (рис. 3).

[100]

— 90,2* /

< л шФ

[010]

[Ю1]

Рис. 3. Слой, перпендикулярный плоскости роста кристалла 100. Образец C массой 4.69 карата. На снимке видны два пучка дислокаций: центральный и побочный. Заключение

Таким образом, анализ полученных результатов позволил описать характер распределения и пространственную конфигурацию линейных дефектов в изучаемых образцах синтетического алмаза. Так, было установлено, что присутствие дислокационных пучков в образцах наиболее вероятно может быть связано с присутствием линейных дефектов в кристаллической затравке. Результаты данной работы можно будет использовать в дальнейших исследованиях для получения количественной информации о полях деформации вокруг линейных дефектов.

Работа выполнена при поддержке Министерства науки и высшего образования в рамках проведения исследований по Государственному заданию ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН в части обработки экспериментальных данных, в рамках задания Минобрнауки России Грант №075-15-20211362 в части рентгеновских исследований. Список литературы

1. Makoto Kasu. Diamond epitaxy: Basics and applications // Progress in Crystal Growth and Characterization of Materials. 2016. N 2. P. 317-328.

2. Zolotov D. A. et al. Unusual X-Shaped Defects in the Silicon Single Crystal Subjected to Four-Point Bending // JETP Letters. 2021. N 3." P. 149-154.

3. Andersen A.H. Kak A.C. // Ultrason. Imag. 1984. N 6. C. 81.

4. W. van Aarle et al. Fast and Flexible X-ray Tomography Using the ASTRA Toolbox // Optics Express. 2016. N 22. P. 25129-25147.

5. Sumiya H. Tamasaku K. Large defect-free synthetic type IIa diamond crystals synthesized via high pressure and high temperature // Japanese journal of applied physics. 2012. N 9. P. 090102.

6. Sumiya H. Toda N., Satoh S. Development of high-quality large-size synthetic diamond crystals // /SEI TECHNICAL REVIEW-ENGLISH EDITION. 2005. N 60. P. 10.

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.