CC BY
51
Секция конструирования электронных систем
рукций условной генерации компонентов проекта предложено использовать комбинирование VHDL-oпиcaний с рядом конструкций языка программиро-. -тации использованы конструкции языка VHDL.
Механизм коммутации элементов структурной схемы разделен на управляющую и транспортную составляющие. Предложены реализации управляющего и транспортного механизмов средствами VHDL.
ЛИТЕРАТУРА
1. Коноплев Б.Г. Реализация многопроцессорных систем на основе суперкристаллов и СБИС пластин. // Микроэлектроника. Т.17. 1988. Вып.5. С.432-438.
2. Рындин ЕЛ. Сравнительный анализ методов структурного резервирования микросистем // Известия вузов. Электроника. №5. 1999. С.75-80.
УДК 621.382.8(075)
Б.Г. Коноплев, И.Е. Лысенко ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ТЕРМОПНЕВМАТИЧЕСКИЙ МИКРОНАСОС
Целью данной работы является разработка конструкции и интегральной технологии изготовления термопневматического микронасоса.
Микронасос содержит поликремниевые входной и выходной клапаны, мембрану; герметичную полость, с расположенным в ней термоактюатором (рис.1).
Герметичная полость
Рис.1
Микронасосы находят широкое применение в микролабораторных системах химического анализа жидкостей, крови, ДНК; системах дозирования различных лекарственных препаратов.
Разработанный термопневматический микронасос изготовляется в процессе стандартной технологии поверхностной микрообработки.
При включении термоактюатора происходит нагревание воздушной среды в герметичной полости. Нагревание воздушной среды приводит к изменению объема герметичной полости, что, в свою очередь, приводит к деформации поликремниевой мембраны. При отклонении поликремниевой мембраны происходит изменение объема рабочей области микронасоса. В результате возникает разность давлений жидкостей, находящихся в рабо-
Известия ТРТУ
Специальный выпуск
чей области, «на входе» и «на выходе». Под воздействием жидкости, находящейся в рабочей области, входной клапан закрывается, а выходной -
.
микронасоса через выходной клапан.
При выключении термоактюатора происходит охлаждение воздушной среды в герметичной полости. Поликремниевая мембрана возвращается в первоначальное положение и, следовательно, объем рабочей области мик.
, , « » « ». , « », -, , « », -ходной клапан закрывается. Рабочая область заполняется жидкостью через входной клапан.
УДК 621.3.049.77
А. И. Сухоруков
НЕКОТОРЫЕ ПРОБЛЕМЫ СОЗДАНИЯ БИОЭЛЕКТРОННЫХ
КРИСТАЛЛОВ
Возможности современной микроэлектроники зависят от разработки новых технологий проектирования и изготовления, обеспечивающих создание сложных сверхбольших интегральных схем (СБИС). За последующие годы достигнут существенный прогресс в области СБИС, число транзисторов на кристалле превышает сотни миллионов, а проектные минимальные размеры элементов снизились до 0,2...0,1 мкм. Однако, как только будут достигнуты преде-, , -щения элементов СБИС приведет к возрастанию появления дефектов и увеличению экономических затрат. В связи с этим, все большее внимание уделяется использованию биологических методов и материалов для изготовления микроэлектронных сложных устройств. Научные разработки в этой области ведутся по двум направлениям: это - использование метода осаждения очень тонких пленок металлов на белковые основы (ультрацитохимия) и ориентация мономолекулярного слоя белка для получения функциональных узлов, из которых составляется биоэлекторонная схема и проектируется биокристалл. Создание приборов на молекулярном уровне, годных к серийному производству, связано с решением следующих задач:
♦ разработка биомолекулярных переключателей;
♦ изготовление биомолекулярных переключателей в стабильной среде;
♦ управление биомолекулярной схемой и обеспечение доступа к ней, т.е. подключение к внешним устройствам;
♦ разработка систем новой архитектуры для использования биокристаллов.
В настоящее время реальными изделиями биотехнологии являются биодатчики на полевых транзисторах, реагирующие на электрический потенциал, создаваемый продуктами биохимических реакций. Биодатчики широко используются в микросистемной технике, биомедицине, устройствах управления промышленными сложными процессами, приборах наблюдения за состоянием
