Научная статья на тему 'Эксперимент “Карбон” на космическом аппарате “Бион-М” № 1'

Эксперимент “Карбон” на космическом аппарате “Бион-М” № 1 Текст научной статьи по специальности «Нанотехнологии»

CC BY
320
93
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.
Ключевые слова
КОСМИЧЕСКИЙ ЭКСПЕРИМЕНТ / ФАКТОРЫ КОСМИЧЕСКОГО ПРОСТРАНСТВА / ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ / КАРБИД КРЕМНИЯ / СТРУКТУРЫ / ТОНКИЕ ПЛЁНКИ / ИЗОЛИРУЮЩИЕ ПОДЛОЖКИ / SPACE EXPERIMENT / SPACE FACTORS / SEMICONDUCTOR MATERIALS / SILICON CARBIDE / STRUCTURES / THE THIN FILMS / ISOLATING SUBSTRATES

Аннотация научной статьи по нанотехнологиям, автор научной работы — Абрашкин Валерий Иванович, Горелов Юрий Николаевич, Курганская Любовь Викторовна, Щербак Андрей Владимирович

В статье рассматриваются цели и задачи исследования, основные результаты проведенного на космическом аппарате “БИОН-М” № 1 эксперимента “КАРБОН”. Описаны основные этапы разработки эксперимента и научной аппаратуры “КАРБОН”. С учетом возможных областей применения в экстремальной микрои наноэлектронике и аэрокосмическом приборостроении приведены краткие сведения о свойствах карбида кремния, как уникального полупроводникового материала.

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Похожие темы научных работ по нанотехнологиям , автор научной работы — Абрашкин Валерий Иванович, Горелов Юрий Николаевич, Курганская Любовь Викторовна, Щербак Андрей Владимирович

iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

THE EXPERIMENT “CARBON” ON THE SPACECRAFT “BION-M” 11State Research and Production Space-Rocket Center “TsSKB-Progress”

The article discusses the purposes and research problems, main results for the space experiment "CARBON" made on the spacecraft "BION-M" # 1. It describes the main development stages of the experiment and the scientific equipment "CARBON". With regard to the possible field of application in extreme micro and nanoelectronics and aerospace instrument-making provides a summary of information about properties of silicon carbide as a unique semiconductor material.

Текст научной работы на тему «Эксперимент “Карбон” на космическом аппарате “Бион-М” № 1»

УДК 629.78:537.311322

ЭКСПЕРИМЕНТ «КАРБОН» НА КОСМИЧЕСКОМ АППАРАТЕ «БИОН-М» № 1

© 2013 В.И. Абрашкин1, Ю.Н. Горелов2, Л.В.Курганская2, А.В. Щербак3

1 ФГУП ГНП РКЦ «ЦСКБ-Прогресс», г. Самара 2 Институт проблем управления сложными системами РАН, г. Самара 3 Самарский государственный университет

Поступила в редакцию 5.11.2013

В статье рассматриваются цели и задачи исследования, основные результаты проведенного на космическом аппарате «БИОН-М» № 1 эксперимента «КАРБОН». Описаны основные этапы разработки эксперимента и научной аппаратуры «КАРБОН». С учетом возможных областей применения в экстремальной микро- и наноэлектронике и аэрокосмическом приборостроении приведены краткие сведения о свойствах карбида кремния, как уникального полупроводникового материала. Ключевые слова: космический эксперимент, факторы космического пространства, полупроводниковые материалы, карбид кремния, структуры, тонкие плёнки, изолирующие подложки

ВВЕДЕНИЕ

В рамках Федеральной космической программы 19 апреля 2013 года в 14:00 мск с космодрома Байконур была запущена ракета космического назначения «Союз-2.1а», которая вывела на орбиту научный космический аппарат (КА) «БИОН-М» № 1 разработки ГНПРКЦ «ЦСКБ-Прогресс» [1]. КА «БИОН-М» № 1 был выведен на рабочую околокруговую орбиту со средней высотой полёта 575 км и наклонением 64,9° и после 30-ти суточного полёта на 448 витке его спускаемый аппарат 19 мая 2013 в 07:12 мск совершил посадку. В программу научных экспериментов на борту КА «БИОН-М» № 1 входили исследования по космической биологии и медицине, в том числе радиобиологические исследования. По спектру решаемых задач КА «БИОН-М» № 1 - уникальная орбитальная научно-исследовательская лаборатория, с помощью которой было проведено 79 научных экспериментов, в том числе космический эксперимент (КЭ) «КАРБОН» по исследованию комплексного воздействия факторов космического полёта (открытого космического пространства [2]) на карбидокремниевые структуры. Идея проведения такого КЭ возникла в 2009 году по результатам завершённых исследований [3]. Она была поддержана и, более того, получила активное содействие в её осуществлении и пос-

Абрашкин Валерий Иванович, кандидат технических наук, начальник отдела. E-mail: [email protected] Горелов Юрий Николаевич, доктор технических наук, профессор, заместитель директора по научной работе. E-mail: yungorO 7@mail. ru

Курганская Любовь Викторовна, кандидат физико-математических наук, старший научный сотрудник. E-mail: [email protected]

Щербак Андрей Владимирович, кандидат физико-математических наук, старший преподаватель. E-mail: [email protected]

ледующей реализации в виде КЭ «КАРБОН» как со стороны ГНПРКЦ «ЦСКБ-Прогресс» (разработчик КА «БИОН-М»), так и со стороны ИМБП РАН (разработчик и головной исполнитель научной программы «Биоспутник»). В конечном счёте, совместные усилия учёных и специалистов ГНПРКЦ «ЦСКБ-Прогресс», ИМБП РАН и Самарского государственного университета (СамГУ), соответствующее решение Совета по космосу РАН привели к утверждению Федеральным космическим агентством (Роскосмос) в апреле 2010 г. решения об уточнении состава научной аппаратуры КА «БИОН-М» №1, в котором было указано, что «для проведения исследований по изучению влияния факторов космического пространства на физико-химические свойства образцов на основе структур карбида кремния ввести дополнительно в состав автономных экспериментов (снаружи СА - спускаемый аппарат КА) эксперимент КАРБОН...». Таким образом, идея о КЭ была переведена в русло практической реализации. Решение задач, связанных с разработкой КЭ и научной аппаратуры (НА) КАРБОН, вначале проводилось на базе научно-образовательного центра «Космические системы дистанционного зондирования» СамГУ, а с середины 2011 года - на этапах изготовления и проведения испытаний (приемо-сдаточных, конструктор-ско-доводочных и т.д.) НА КАРБОН - в круг её разработчиков и участников КЭ был включён также и ИПУСС РАН.

1. О КАРБИДЕ КРЕМНИЯ И SIC-ЭЛЕКТРОНИКЕ.

МОТИВАЦИЯ КОСМИЧЕСКОГО ЭКСПЕРИМЕНТА

Карбид кремния - БЮ с момента его открытия Генри Муассаном (Мо188ап) в виде кристал-

лов при исследовании метеоритов в каньоне Дьявола в Аризонской пустыне [4] на протяжении уже более ста лет привлекает внимание исследователей своими уникальными свойствами. Карбид кремния является полупроводником, тип проводимости которого зависит от примесей. Благодаря ширине запрещённой зоны (>3 эВ), высокочистые кристаллы БЮ прозрачны, при значительном содержании примеси азота они приобретают зеленый цвет. После открытия в 1949 году транзисторного эффекта в р-п-перехо-дах на кристаллах германия возник промышленный интерес к полупроводникам и в первой половине 50-х годов прошлого века начались поиски полупроводниковых материалов, способных работать при более высоких температурах, чем германий. В связи с этим в последующие годы были проведены обширные исследования БЮ и разработки полупроводниковых приборов на его основе, но к началу 70-х годов интерес к карбиду кремния снизился в связи с успехами в развитии кремниевой и арсенид-галлиевой технологий. В настоящее время давно известный полупроводник - БЮ, на котором были сделаны важнейшие для физики полупроводников открытия, начинает находить все более широкое применение для производства современных полупроводниковых приборов, в том числе и в особенности в экстремальной микро- и наноэлектронике. При этом широко используются такие его физические свойства, как твёрдость (9,2-9,3 по шкале Мосса; БЮ уступает только алмазу и нитриду бора) и термостойкость (диапазон рабочих температур до 600...1000°С). Практически по всем основным параметрам карбид кремния превосходит классические полупроводниковые материалы - кремний и арсенид галлия (табл. 1) [4, 5].

В [4] отмечаются следующие достоинства БЮ, определяющие перспективы его широкого промышленного применения. Во-первых, это большая, по сравнению с и GaAs, ширина зап-

рещённой зоны, что приводит к большему диапазону рабочих температур. Во-вторых, по сравнению с кремнием почти на порядок большее значение поля пробоя БЮ, а также при одном и том же значении напряжения пробоя уровень легирования БЮ-диода может быть на два порядка выше, чем кремниевого, что приводит, в конечном счете, к высокой радиационной стойкости БЮ-приборов. В-третьих, высокая теплопроводность в сочетании с высокими допустимыми рабочими температурами (что в значительной степени снижает проблемы теплоотвода) и большими скоростями насыщения носителей обеспечивает хорошие перспективы БЮ-приборам при использовании в силовой электронике. В-четвёртых, высокая температура Дебая, которую можно рассматривать как параметр, характеризующий термическую стабильность полупроводника. В-пятых, это возможности изготовления из того же материала, что и полупроводниковая структура, подложек большого размера и получения БЮ п- и р-типов проводимости, а также наличие собственного окисла (БЮ2), что позволит изготавливать на основе БЮ любые типы полупроводниковых приборов. Особое значение перечисленные достоинства БЮ имеют для экстремальной микро- и наноэлектроники, для аэрокосмического приборостроения и, в особенности, при создании элементной базы и приборов, способных работать в условиях открытого космического пространства. В связи с этим отметим, что это актуально для современных КА дистанционного зондирования Земли, оснащаемых оптико-электронными телескопическими комплексами [1]. Одним из сложных полупроводниковых приборов в такой бортовой аппаратуре являются ПЗС-матрицы [6], характеристики которых существенно влияют на показатели эффективности применения КА такого класса. Кроме того, в области аэрокосмического приборостроения актуальны и представляют практический интерес планарные технологии

Таблица 1. Параметры некоторых полупроводниковых материалов [4]

Материал Ширина запрещенной зоны, эВ Напряжение пробоя, мВ /см Подвижность электронов, см2/В 'с Дрейфовая скорость электронов при Унас, см/с Теплопроводность , Вт/м/К

81 1,12 0,6 1,1 1 ■ 107 150

ОаАэ 1,42 0,6 6,0 8108 50

ОаК 3,39 3,3 1,0 2,5 ■Ю7 130

3С-81С 2,20 2,0 750 2,5 ■Ю7 500

4Н-81С 3,26 3,0 800 2107 490

6Н-81С 3,00 3,0 370 2107 490

Алмаз 5,50 6,0 2200 2,7 ■Ю7 2000

на основе карбидокремниевых структур (Б1С) на изолирующих подложках с целью разработки широкого спектра полупроводниковых датчиков и приборов для экстремальной микро- и наноэ-лектроники. Несмотря на то, что свойства Б1С (и его многочисленных политипов, а их более 200) и возможные области его применения достаточно хорошо изучены [4], тем не менее технологические основы его практического применения в аэрокосмическом приборостроении практически отсутствуют, в том числе не изучено влияние на карбидокремниевые структуры (наноплёнки толщиной от 200...500 нм до 1...2 мкм) экстремальных факторов [5], в том числе факторов космического пространства (вакуум, радиация, температурные перепады и т.п. [2]), что и мотивировало подготовку и проведение соответствующего КЭ [7].

2. ЦЕЛИ И ЗАДАЧИ КОСМИЧЕСКОГО ЭКСПЕРИМЕНТА.

НАУЧНАЯ АППАРАТУРА КАРБОН

В техническом задании на разработку научной аппаратуры КАРБОН основная цель и задачи КЭ заключаются в исследовании комплексного воздействия факторов космического пространства (ФКП) на стойкость карбидокремниевых структур и чувствительных элементов на их основе при их экспонировании в условиях открытого космического пространства, в проведении соответствующих лабораторных исследований. Исходя из этого, практическая реализация КЭ потребовала решения следующих инженерно-технических задач: во-первых, получение образцов структур Б1С на изолирующих подложках (далее - Элементы Карбон); во-вторых, разработка оборудования для измерения параметров и характеристик Элементов Карбон, и, в-третьих, разработка научной аппаратуры КАРБОН для проведения КЭ, а также изготовление и проведение ее необходимых испытаний.

2.1. Технология получения образцов SiC-структур

Карбидокремниевые структуры в виде тонких плёнок кубического карбида кремния (3С-8Ю) на кремниевых и изолирующих подложках получались методом магнетронного напыления [8]. С этой целью применялся вакуумный универсальный пост (ВУП-5М) с приставкой магнетронного напыления (рис. 1) и высокочастотным генератором.

Напыление и-Б1С производилось на подложки из следующих материалов: а) р-Б1 (кремний р-типа); б) А1203 (поликор); в) 8Ю2 (ситалл). В

Рис. 1. Магнетронная система: 1 - подложкодержатель с нагревом образцов, 2 -магнетронно-распылительная система, 3 - заслонка

процессе формирования тонких плёнок карбида кремния на подложках контролировались следующие технологические управляющие параметры: а) температура подложечного материала; б) давление в рабочей камере; в) величина разрядного тока; г) время напыления. Кроме того, одним из основных контролируемых параметров являлось структурное состояние поверхности подложек, так как именно оно в значительной степени влияет на структуру и физические свойства получаемых плёнок Б1С. В особенности это проявляется при формировании гетеропереходов для структур карбид кремния на кремнии, поскольку в этом случае металлургическая граница раздела между подложкой и выращенным слоем плёнки совпадает с электрическим переходом. Поэтому к используемым в качестве подложек материалам предъявлялись повышенные требования к совершенству кристаллической структуры их поверхности и к геометрическому совершенству, а также к чистоте поверхности поверхностного слоя. Для их достижения проводились следующие основные операции:

- лазерное скрайбирование подложек (на отдельные образцы - Элементы Карбон);

- обезжиривание пластин кипячением в толуоле;

- промывка в спирте, а затем в деионизован-ной воде;

- химическое травление в смеси (HF : СН3СООН : HN03 = 3 : 3 : 5);

- промывка в деионизованной воде и последующая сушка.

После указанной подготовки подложки крепились на подложкодержатель в рабочем объеме магнетронно-распылительной системы (рис. 1).

Процесс напыления полупроводникового Б1С проводился в соответствии с циклограммой, показанной на рис. 2 [3] (для одного из режимов

р, Па i ^

0 (2) (20) (15) (2)(15)(2) (10) (15) (2) (, мин

Рис. 2. Временная циклограмма технологического процесса формирования слоя карбида кремния на изолирующей подложке напыления), где 1 - загрузка подложек (2 мин.), 1 ^ 2 - откачка рабочего объема камеры до давления 10-5Па (20 мин.), 2 ^ 3 - нагрев подложек до 500...750 °С (15 мин.), 3 ^ 4 - напуск рабочего газа - аргона (2 мин.), 4 ^ 5 - выход на режим распыления (разряд) и процесс напыления (до 15 мин.), 5 ^ 6 - откачка рабочего газа (2 мин.),

6 ^ 7 - вакуумный отжиг подложек ( « 10 мин.),

7 ^ 8 - процесс охлаждения подложек (15 мин.),

8 ^ 9 - напуск воздуха и завершающие операции ( « 2 мин.).

Основные параметры оптимального режима роста пленок полупроводникового карбида кремния требуемого качества следующие: а) нагрев подложек (А1203 и БЮ2) при 500...750°С до 12.15 мин; б) время напыления до 8.10 мин; в) вакуумный отжиг полученных структур до 7.10 мин. Толщина плёнок карбида кремния при этом составляла 0,2 .2,3 ( ± 0,1) мкм.

Морфология поверхности и рельеф получаемых плёнок контролировались с помощью изображений растрового электронного микроскопа и сканирующего зондового микроскопа Проведённые исследования морфологии поверхности получаемых плёнок карбида кремния показали, что плёнки имеют плотную (сплошную) структуру, а их дефекты обусловлены в основном неконтролируемыми загрязнениями поверхности подложек, которые могут быть удалены только путём проведения соответствующей обработки поверхности (например, методом плазмохимического травления).

Измерения электрофизических характеристик полученных плёнок БЮ, провёденные с помощью эффекта Холла [3], показали следующее: удельное сопротивление « 0,6 Ом-см; значение подвижности носителей заряда « 410 см/В.с; концентрация « 2,7.1016 см-3.

Рентгеновский энергодисперсионный микроанализ полученных пленок карбида кремния показал высокую стабильность химического соста-

ва в различных областях поверхности одного и того же образца и низкий разброс состава для различных образцов.

Полученные структуры (п-БЮ/А1203, п-БЮ/ БЮ2, га-БЮ/р-Б1) фрагментировались методом скрайбирования с помощью режущего алмазного диска и последующей ломкой. После получения образцов с требуемыми размерами на часть из них были нанесены омические контакты из никеля методом магнетронного напыления с использованием специальной маски для контактов. В результате были получены следующие комплекты образцов Элементов Карбон: а) Элементы Карбон-1 (рис. 3); б) Элементы Карбон-2 (рис. 4). Габаритные размеры Элементов Карбон-1: длина (1) - 7-0,05 мм; ширина (Ь) - 7-0,05 мм; толщина (Ь) - 0,5-0,04 мм, соответственно, для Элементов Карбон-2: длина (1) - 10-0,05 мм; ширина (Ь) - 5-0,05 мм; толщина (Ь) - 0,38-0,04 мм; преобразующая часть (а х 0 - не более 3 х 2 мм; ширина контактной полоски (с) - не более 1 мм; размеры омических контактов (ё х ё) - 0,3 х 0,3 мм2.

Подложка/ \n-3C-SiC

Рис. 3. Элементы Карбон-1

Рис. 4. Элементы Карбон-2

2.2. Научная аппаратура КАРБОН

В состав научной аппаратуры КАРБОН входит четыре Сборки КАРБОН, общий вид которых показан на рис. 5 и 6. Элементы Карбон-1 предназначаются для снаряжения Сборок КАР-БОН-1 и 1А (рис. 5), Элементы Карбон-2 - для

Рис. 5. Конструктивно-компоновочная схема Сборок КАРБОН-1 (1А)

Рис. 6. Конструктивно-компоновочная схема Сборок КАРБОН-2 (2А)

снаряжения Сборок КАРБОН-2 и 2А (рис. 6). Сборки КАРБОН монтируются на плату полезной нагрузки, которая в свою очередь при подготовке КА «БИОН-М» № 1 на техническом комплексе космодрома Байконур устанавливается в контейнер научной аппаратуры на внешней поверхности КА (на спускаемом аппарате). Сборки КАРБОН-1 и 1А снаряжаются Элементами Карбон-1 в количестве 64 шт., а Сборки КАРБОН 2 и 2А - элементами Карбон-2 также в количестве 64 шт.

3. ПОДГОТОВКА НАУЧНОЙ АППАРАТУРЫ, ПРОВЕДЕНИЕ И ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПЕРИМЕНТА КАРБОН, ПЕРСПЕКТИВЫ ЕГО РАЗВИТИЯ

После изготовления научной аппаратуры КАРБОН (с привлечением производственных подразделений ГНПРКЦ «ЦСКБ-Прогресс»), снаряжения её соответствующими Элементами Карбон, а также после проведения испытаний в ГНПРКЦ «ЦСКБ-Прогресс» и ИМБП РАН научная аппаратура КАРБОН была одной из первых подготовлена в полном объеме к проведению

летного КЭ. Установка научной аппаратуры КАРБОН на КА «БИОН-М» № 1 проводилась непосредственно на техническом комплексе (площадка № 112) космодрома Байконур (рис. 7, 8). После контрольного осмотра и монтажа Сборок КАРБОН на плату полезной нагрузки последняя была установлена в контейнер научной аппаратуры КА «БИОН-М» № 1 (рис. 9, 10). Завершающая операция в подготовке научной аппаратуры КАРБОН - её контрольный осмотр на борту КА (рис. 11). После успешного запуска КА «БИОН-М» № 1 19 апреля 2013 года (рис. 12) и завершения его полёта 19 мая научная аппаратура КАРБОН была демонтирована и доставлена в г. Самару для изучения экспонировавшихся в течение 30-ти суток в условиях открытого космического пространства Элементов Карбон - карбидокремниевых структур на изолирующих подложках.

Проведенные исследования до- и послеполетных свойств и характеристик образцов карбидок-ремниевых структур (Элементов Карбон) в виде тонких пленок (от 500 нм до 2 мкм) карбида кремния на изолирующих подложках (А1203, 5Ю2, р-Б1) показали, что указанные структуры, полученные методом магнетронного распыления, об-

Рис. 7. Монтаж Сборок КАРБОН на плату полезной нагрузки

Рис. 8. Монтаж Сборок КАРБОН завершен.

Слева направо: А.И. Пахомов (ИМБП РАН), Л.В. Курганская и Ю.Н. Горелов (ИПУСС РАН)

Рис. 9. Установка платы полезной нагрузки с научной аппаратурой КАРБОН в контейнер научной аппаратуры КА «БИОН-М» № 1

Рис. 10. Научная аппаратура КАРБОН

Рис. 11. Контрольный осмотр научной аппаратуры КАРБОН на КА «БИОН-М» № 1

ладают высокой стойкостью к воздействию факторов космического пространства. Изменений в морфологии поверхностей пленок, в химическом составе и электрофизических характеристиках не выявлено, а также не обнаружено изменений в количестве и характере имевшихся дефектов поверхностей. Таким образом, основной результат КЭ КАРБОН состоит в том, что свойства такого уникального полупроводникового материала как карбид кремния БЮ в виде пленок на изолирующих подложках при воздействии факторов космического пространства сохраняются практически без заметных изменений. В результате подготовки и проведения КЭ КАРБОН были решены в полном объеме следующие научно-технические задачи:

1) разработаны технологические основы создания карбидокремниевых структур на изолирующих подложках с заданными параметрами;

2) изготовлены летные образцы Элементов Карбон и проведены до- и послеполетные исследования их основных параметров и электрофизических характеристик;

3) разработана научная аппаратура для проведения космического эксперимента КАРБОН на КА «БИОН-М» № 1.

Кроме того, с использованием контрольных и летных образцов Элементов Карбон были разработаны опытные образцы датчиков СВЧ-мощно-сти [9] и для них затем были проведены исследования, которых подтвердили высокие метрологические характеристики (точность, линейность и стабильность в широком диапазоне температур) как для контрольных, так и для летных образцов Элементов Карбон.

Безусловно, результаты проведенного космического эксперимента КАРБОН являются только самым первым шагом по изучению новых полупроводниковых материалов для создания элементной базы экстремальной микро- и наноэлектроники и

Рис. 12. После успешного запуска КА «БИОН-М» № 1: Разработчик КЭ и НА КАРБОН Л.В. Курганская; Генеральный директор ГНПРКЦ «ЦСКБ-Прогресс» А.Н. Кирилин

аэрокосмического приборо-строения. Дальнейшее и более полное изучение влияния факторов космического пространства на свойства карбидокремни-евых и аналогичных им структур из других перспективных полупроводниковых материалов возможно при продолжении экспериментов с экспонированием соответствующих образцов в условиях космического полёта, но с гораздо большей длительностью и на более высоких орбитах. При этом представляет практический интерес изучение не только образцов таких структур, но и различных датчиков и приборов на их основе.

Следует ещё отметить, что успешное проведение космического эксперимента КАРБОН во многом обусловлено творческой коллаборацией ученых и специалистов ГНПРКЦ «ЦСКБ-Про-гресс», ИПУСС РАН, ИМБП РАН и СамГУ. Это также позволило опыт, полученный при подготовке и проведении этого эксперимента, использовать в постановках новых «задач на вырост» в дальнейшее развитие эксперимента КАРБОН, в новых разработках научной аппаратуры для КА «ФОТОН-М» № 4 и «БИОН-М» № 2.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Результаты разработки научной аппаратуры и проведения космического эксперимента «КАРБОН» позволяют сформулировать следующие направления дальнейших исследований.

Во-первых, для более полного изучения влияния факторов космического пространства на кар-бидокремниевые структуры и на аналогичные им структуры из других перспективных полупроводниковых материалов необходимо продолжить эксперименты с экспонированием соответствующих образцов в условиях космического полёта, но с большей длительностью и на более высоких орбитах.

Во-вторых, определенным развитием эксперимента «КАРБОН» являются космические эксперименты не только с элементами-«мишенями» типа Элементов Карбон для изучаемых полупроводниковых структур, но и с изделиями на их основе.

В конечном счете, проведение космических экспериментов с полупроводниковыми структурами, которые аналогичны эксперименту «КАРБОН» и являются его дальнейшим развитием, -необходимый этап в создании новых типов датчиков физических величин, полупроводниковых приборов и устройств в классе "SPACE", предназначенных для ракетно-космической техники и аэрокосмического приборостроения.

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1. Кирилин А.Н., Аншаков Г.П., Ахметов Р.Н., Сторож А.Д. Космическое аппаратостроение: научно-техни-

ческие исследования и практические разработки ГНПРКЦ «ЦСКБ-Прогресс» [под ред. д.т.н. А.Н. Кирилина]. Самара: АГНИ, 2011. 280 с.

2. Панасюк М.И. Модель космоса: Научно-информационное издание в 2-х т. Т.2: Воздействие космической среды на материалы и оборудование космических аппаратов. М.: КДУ, 2007. 1144 с.

3. Курганская Л.В. Свойства гетероструктур карбида кремния на кремнии и изоляторе в области сверхвысоких частот. Автореферат дис. ... канд. физ.-мат. наук. Самара, 2009. 19 с.

4. Лебедев А., Сбруев С. SiC-электроника: прошлое, настоящее, будущее // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2006. №5. С.28-41.

5. Карбид кремния: технология, свойства, применение [ под ред. А.Е. Беляева, Р.В. Конаковой]. Харьков: ИСМА. 2010. 532 с.

6. Бакланов А.И. Системы наблюдения и мониторинга. М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009. 234 с.

7. Абрашкин В.И., Горелов Ю.Н., Курганская Л.В, Щербак А.В. Об экспериментальных исследованиях влияния факторов космического пространства на тонкопленочные структуры карбида кремния // Обозрение приклад. и промышл. математики (Тезисы доклада на XII Всеросс. Симпозиуме по прикладной и промышленной математике; г.Казань,1 - 8 мая 2011 г.). 2011. Т.18. В.2. С.241-242.

8. Воронов В.К., Подоплелов А.В., Сагдеев Р.З. Физика на переломе тысячелетий: Физические основы на-нотехнологий. М.: Книжный дом «ЛИБРОКОМ», 2011. 432 с.

9. Курганская Л.В., Щербак А.В. Разработка измерителей высоких уровней СВЧ-мощности на основе структур карбид кремния на изоляторе для аэрокосмических систем // Известия Самарского научного центра РАН. 2011. Т. 13. № 6. С.30-36.

THE EXPERIMENT "CARBON" ON THE SPACECRAFT "BION-M" № 1

© 2013 V.I. Abrashkin1, Y.N. Gorelov2, L.V. Kurganskaya2, A.V. Shcherbak3

1 State Research and Production Space-Rocket Center "TsSKB-Progress", Samara 2 Institute for the Control of Complex Systems of RAS, Samara 3 Samara State University

iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.

The article discusses the purposes and research problems, main results for the space experiment "CARBON" made on the spacecraft "BION-M" # 1. It describes the main development stages of the experiment and the scientific equipment "CARBON". With regard to the possible field of application in extreme micro -and nanoelectronics and aerospace instrument-making provides a summary of information about properties of silicon carbide as a unique semiconductor material.

Key words: space experiment, space factors, semiconductor materials, silicon carbide, structures, the thin films, isolating substrates

Valeriy Abrashkin, Candidate of Technics, Head of Department. E-mail: [email protected]

Yury Gorelov, Doctor of Technics, Professor, Deputy Director for Science. E-mail: [email protected] Lubov Kurganskaya, Candidate of Physics and Mathematics, Senior Research Fellow. E-mail: [email protected] Andrey Shcherbak, Candidate of Physics and Mathematics, Senior Lecturer. E-mail: [email protected]

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.