CC BY
21
8. Выводы
Рассмотрены схемы полярископов в применении к измерению структурных несовершенств в полупроводниковых пластинах кремния. Приведен сравнительный анализ существующих схем поляризаторов, показаны их достоинства и недостатки. Определены пути снижения порога чувствительности при измерении разности главных напряжений в полупроводниковых пластинах. Подробно исследованы различные факторы, влияющие на порог чувствительности предложенных схем полярископов. Описаны электронные узлы установки. По результатам экспериментальных исследований показано, что предложенный новый метод и разработанный на его основе автоматический инфракрасный полярископ “Мираж-3” обладает возможностями контролировать структурные дефекты в кремниевых пластинах и структурах, выраженные в виде распределенных внутренних напряжений, с точностью 0, 07 кГ/см2 .
Литература: 1.Екобори Т. Физика и механика разрушения и прочности твердых тел. М.: Металлургия, 1971. С. 264. 2. Дюрелли А., Райли У. Введение в фотомеханику. М.: Мир, 1970. 3. Экспериментальные методы исследования напряжений и деформаций. Справочное пособие. К.: Наук. думка, 1981. 4. Напряжения и дислокации в полупроводниках. Сборник статей под ред. Клас-сен-Неклюдовой. М.: Академия Наук СССР, 1962. 5. Оксанич А. П, Воронин В. П, Мовшин Б. И. Структурные дефекты кристаллической структуры в кремнии.
УДК 537.5+53.08
ДОСЛІДЖЕННЯ ВПЛИВУ ІОНІВ НА ЕФЕКТ ВЗАЄМОДІЇ ПОВЕРХНІ ТВЕРДОГО ТІЛА З ФОТОЕМУЛЬСІЄЮ
ТЕРЕШЕНКО В.Л.___________________________
Експериментально підтверджується припущення про генерацію під час іонізації газового середовища активних сполук, які призводять до втрати хемографічної реагентоздатності поверхні твердого тіла.
В результаті проведення ряду експериментів встановлено, що процес окислення деяких твердих тіл при їх контакті з фотоемульсією приводить за певних умов до створення в фотопластині прихованого зображення поверхні твердого тіла [1, 2].
Цей ефект покладено в основу нового методу дослідження поверхні напівпровідників, металів та композитних матеріалів, реєстрації гетерогенних реакцій на поверхні твердих тіл - методу хемографії (“хемо”- хімічно, “графо”- пишу) [2].
Зовні ефект нагадує дію на фоточутливий шар радіоактивних матеріалів, але, як з’ясувалося у ході проведених експериментів, ефект не пов’язаний з радіоактивністю зразків або емісією фотонів чи електронів [1-3].
М.: Эл. техника, серия 6, 1983. Вып. 3. С. 58. 6. Кирилюк В. К., Оксанич А. П. Аппаратура для контроля структурных дефектов и геометрических параметров КСДИ. М.: Эл. промышленность, 1986. Вып. 8. С. 36. 7. Чудаков В. С. Исследование наведенного двулучепреломления при вращающемся поляризационном элементе. М.: ПТЭ, 1977. №1. С. 210. 8. Оксанич АП, Вдовиченко Н.Д. Метод контроля искусственной оптической анизотропии в полупроводниковых материалах с различной кристаллографической ориентацией. М.: Эл. техника, серия 2. 1988. Вып. 3. С. 54. 9. Алексеенко А.Г. и др. Применение прецизионных аналоговых микросхем. 2-е издание, переработанное и дополненное. М.: Радио и связь, 1985.
Поступила в редколлегию 27.03.2000
Рецензент: д-р физ.-мат. наук, проф. Гордиенко Ю.Е.
Оксанич Анатолий Петрович, канд. техн. наук, профессор, зав. кафедрой КСА ИЭНТ, г. Кременчуг. Научные интересы: исследование физических процессов в полупроводниках, разработка измерительного оборудования. Увлечения и хобби: охота. Адрес: Украина, 317000, Светловодск, ул. Ленина, 11, кв. 19, тел. (05236) 2-56-37.
Вдовиченко Николай Демьянович, ст. преподаватель каф. КСА ИЭНТ, г. Кременчуг. Научные интересы: физика полупроводников, компьютеризация процессов выращивания полупроводников. Увлечения и хобби: художественное моделирование. Адрес: Украина, 317000, Светловодск, ул. Комсомольская, 23, тел. (05236) 2-36-94.
Абсолютно точно встановити елементний склад продуктів, спроможних до реакції з бромистим сріблом, поки що не вдалося. В оточуючій тверде тіло атмосфері вони перебувають в наднизьких концентраціях, що, до речі, і заважає проведенню ідентифікації. За проведеними оцінками їх концентрація знаходиться в інтервалі 10-16 — 10-12 м.ч. [ 1 -3 ] і відповідає тому граничному випадку розбавлення, коли ймовірність зустрічі молекули, емітованої поверхнею твердого тіла, з собі подібною за час спостереження близька до нуля. Молекули опиняються в стані молекул-одиначок, їх поведінка у хімічних реакціях зводиться до окремих актів взаємодії і, можливо саме завдяки зміні в такій ситуації енергетичних параметрів, може суттєво відрізнятися від поведінки в аналогічних реакціях, коли молекули знаходяться в оточенні подібних до себе. Реагентоздатність проявляють навіть взагалі інертні молекули, наприклад, оксиди [4].
Слід зазначити, що трансформація властивостей, яка відбувається при переході до ультранизьких концентрацій, відокремлює широке коло різних явищ, об’єднанних зараз новим напрямком у науці - фізхімією наднизьких концентрацій. Аналіз результатів провед енних досліджень хемографічного ефекту схиляє до висновку, що саме трактовка природи цього явища з позицій фізхімії наднизьких концентрацій є найбільш ймовірною, бо ще не було експериментальних фактів, які б їй суперечили.
48
РИ, 2000, № 3
Приховане зображення, що з’являється на фотоемульсії, є наслідком специфічної взаємодії молекул-одиначок, емітованих поверхнею твердого тіла, з молекулами бромистого срібла фотоемульсії без участі в цій реакції квантів світла.
Метод спостереження гетерогенних реакцій за допомогою фотоемульсіонних шарів, як вже зазначалося, був названий методом хемографії, а спроможність поверхні твердого тіла емітувати в оточуюче середовище молекули, здатної реагувати з бромистим сріблом, — хемографічною активністю поверхні [2]. Час створення прихованого зображення, відповідно, названо часом хемографічної експозиції, а потік активних молекул, що створюють приховане зображення в фотоемульсії подібно до квантів світла — фотомолекулярним потоком (ФМП).
Основні експерименти по дослідженню хемографічного ефекту і впливу зовнішніх чинників на цей ефект виконані із зразками кремнію. Але пошук речовин, які мають хемографічний ефект, тобто здатні утворювати на фотоемульсії приховане зображення, дозволив встановити, що крім напівпровідників (Sp Ge, GaP) [1] хемографічну активність виявляють деякі метали, зокрема, In, Ті, Cu, Fe, Al. Тому досліди з зразками кремнію підтверджені результатами експериментів з Ge, Ті, Cu, Fe і т. д.
Техніка проведення експерименту на стадії якісних досліджень не вимагає складного обладнання. Зразок на певний час (час хемографічної експозиції) кладеться в темряві на емульсію фотопластинки хемографічно активною поверхнею, тобто поверхнею, яка очищена від оксидної плівки. Після наступного процесу проявлення та закріплення на фотопластинці можна спостерігати область, контури якої відтворюють форму зразка.
Методика дослідження ефекту взаємодії твердого тіла з фотоемульсією грунтується на стандартній методиці сенситометрії, яку рекомендував у 1925 р. Міжнародний конгрес з фотографії [5]. Вона складається з таких стадій:
— хемографічне експонування фотоматеріалу;
— проявлення і закріплення;
— вимірювання на фотоматеріалі почорнінь, які утворились внаслідок експонування і хімічної обробки;
— побудова характеристичної кривої;
— обробка результатів.
Підготовка зразків для спостереження хемографічного ефекту полягала в очищенні від оксидів їх поверхні шляхом сколу, шліфовки абразивним порошком або травлення в HF.
Для отримання хемографічних відбитків використовувались негативні фотопластини та листова фотоплівка Ф Н-64. Оптична густина вимірювалась за допомогою мікрофотометра МФ-4.
При вивченні впливу зовнішніх фізико-хімічних факторів на стан поверхні зразка він експонувався одночасно з контрольним зразком, який залишався вільним від дії цього фактора. Після проявлення фотопластини оптична густина відповідала кількості фотоактивних частинок, що потрапили на фотоемульсію. Щоб забезпечити пропорційність, для контрольних зразків попередньо була отримана так звана характеристична крива: залежність оптичної густини D від логарифму часу хемографічної експозиції.
Час хемографічної експозиції вибирався таким, щоб оптична густина відповідала ділянці правильних експозицій.
При зміні умов експозиції (температури, тиску пари води і т.п.) відповідно треба зменшувати або збільшувати час хемографічної експозиції. Чутливість методу в необхідних межах можна регулювати, якщо змінювати фотоматеріали і умови фотографічної обробки. Це змінює уклін характеристичної кривої (контрастність відбитків).
Більшість фотометричних методів аналізу грунтується на основному законі світопоглинання (законі Бугера-Ламберта-Бера), згідно з яким оптична густина прямо пропорційна концентрації поглинаючої речовини. В хемографічному ефекті дія фотоактивних частинок подібна до дії квантів світла і оптична густина пропорційна логарифму концентрації. Для світла відношення кількості створених атомів срібла до кількості фотонів (ефективний квантовий вихід) може досягати 3 • 109. Саме цим пояснюється висока чутливість методу.
Високу чутливість хемографічного ефекту до стану поверхні твердого тіла і впливу зовнішніх факторів на цей стан, а значить і на швидкість перебігу гетерогенних реакцій, можна було очікувати з огляду на те, що ефект спостерігається в області наднизьких концентрацій ФМП. Природно, що густина фотомол екулярних потоків в таких умовах під дією різних чинників може змінюватися в широких межах. Тому, щоб зрозуміти природу хемографічного ефекту, цікавим є спостереження впливу зовнішніх фізико-хімічних факторів на хемографічну реагентоздатність поверхні досліджуваного зразка.
В результаті проведених експериментів з’ясовано, що хемографічна активність зразка, тобто спроможність утворювати приховане зображення в фотоемульсії, залежить від попередньої обробки його поверхні, температури, тиску оточуючої кристал атмосфери, її складу (зокрема, від присутності кисню і пари води) і згасає з часом [2, 3]. Встановлено, що у звичайних кімнатних умовах хемографічна активність, наприклад, зразків кремнію зберігається на рівні 50% від початкової більше однієї доби, у сухій атмосфері ексікатора цей час збільшується приблизно в чотири рази, а у вакуумі (р ~ 10-2 мм рт.ст.) — в 20 разів.
В звя’зку з тим, що при горінні тліючого розряду має місце процес катодного розпилення, не виклю-
РИ, 2000, № 3
49
чалася можливість отримання хемографічного знімку кремнієвого катода.
Експерименти проводилися з тліючим розрядом у аргоні і у водні. Зразки оброблялися майже моно-енергетичним пучком іонів з енергіями 50 — 100 еВ при напрузі на аноді 100 — 500 B, іонний струм на зразок становив 10 — 50 мкА, що відповідає потоку іонів (1 — 5)-1018 с-1м-2.
Однак зображення в фотоемульсії не виникло навіть тоді, коли кремнієвий катод перед горінням тліючого розряду було очищено від окислів шляхом шліфовки. Обробка зразка в тліючому розряді приводила до втрати його поверхнею хемографіч-ної активності. Реагентоздатність зразка кремнію після обробки його тліючим розрядом на протязі декількох десятків секунд була такою ж, як після витримки на повітрі на протязі декількох десятків годин. Вірогідно, що в процесі горіння розряду має місце генерація якихось продуктів (активних сполук), які є каталізаторами окислювальних гетерогенних реакцій на поверхні катода.
З метою дослідження впливу на хемографічний ефект активних сполук, які генеруються тліючим розрядом, на універсальній вакуумній установці ВУП - 5 проведено експерименти з тліючим розрядом у аргоні, повітрі і водні з катодами, виготовленими з кремнію, міді і алюмінію. Тліючий розряд утворювався в скляній камері, яка знаходилася в робочому об’ємі вакуумної установкии.
Основні експерименти по дослідженню впливу тліючого розряду на хемографічний ефект проведено зі зразками кремнію. Хемографічно активні (неокислені) зразки Si розташовувались на поверхні катоду, на предметному столику під отвором в центрі катоду та на предметному столику в вакуумному робочому об’ємі зовні розрядної камери в умовах відносно високого вакууму (Р~10-3 мм.рт.ст.). Для контролю частина поверхні зразків захищалась від впливу іонів екраном - пластинкою кремнію.
Час горіння тліючого розряду змінювався від 5 до 60 секунд (інколи до 20 хвилин), напруга на аноді 150 — 200 В. Експерименти показали, що хемогра-фічна активність як поверхні зразків, що знаходилися в розрядній камері, так і розміщених зовні неї, зменшувалась.
З метою оцінки часу життя активних молекул, які приводять до швидкої втрати хемографічної активності поверхні кремнію, був проведений такий дослід: частина поверхні зразка кремнію, що знаходився на предметному столику в робочому об’ємі вакуумної установки зовні розрядної камери, була постійно екранована і не піддавалася впливу активних молекул, а інша частина поверні накривалася пересувним кремнійовим екраном, що давало змогу отримувати області поверхні Si, по-різному оброблені активними молекулами (рис. 1).
Отримана залежність зміни хемографічної активності поверхні пластини кремнію від часу дії на неї продуктів тліючого розряду вказує на те, що
хемографічна реагентоз -датність зразків втрачається як в процесі горіння розряду під час інтенсивної генерації активних молекул, так і за час їхнього життя після загасання розряду.
Були проведені також досліди з високочастотним розрядом (f = 3 МГц) в розрядних камерах, виготовлених із скла, тефлону, ебоніту. Досліджуваний зразок кремнію розташовувався або безпосередньо в області розряду, або зовні неї. Усі ці експерименти показали, що хемографічна активність зразків кристалу кремнію втрачається незалежно від вибору робочого газу (аргон, водень, повітря), матеріалу катоду (кремній, алюміній), матеріалу розрядної камери та типу розряду.
Зміни хімічного складу поверхні зразка кремнію після дії на неї продуктів горіння тліючого розряду контролювалися за допомогою Оже-спектро-грам активної поверхні зразка кремнію і поверхні, яка втратила свою хемографічну активність після обробки її продуктами горіння тліючого розряду. В першому випадку домінує лінія кремнію, а в другому - лінії, що відповідають присутності на поверхні зразка оксидів і субоксидів кремнію. Ці Оже-спектрограми подібні до тих, які отримані для зразків кремнію, що втратили свою хемографічну активність внаслідок окислення на повітрі в нормальних умовах. Результати цих експериментів прямо вказують на те, що хемографічна активність зразка кремнію втрачається внаслідок швидкого окислення його поверхні в присутності активних молекул, породжених горінням тліючого розряду.
Рис. 1. Хемографічний знімок, що ілюструє залежність відносної хемографічної активності поверхні зразка кремнію, розташованого зовні розрядної камери, від часу обробки її активними молекулами тліючого розряду:
1 — постійно екранована зона; 2 — не екранована зона; 3 — зона, що екранована під час горіння розряду; 4 — зона, що постійно екранована пересувним екраном; 5 — зона, що не була екранована тільки під час горіння розряду
Оскільки окислення в умовах даного експерименту відбувається за дуже короткий проміжок часу (час горіння розряду 5—30 секунд) в порівнянні з окисленнням на повітрі в звичайних умовах (20 — 50 годин), можна зробити висновок, що швидке окислення поверхні зразка кремнію обумовлюють, скоріш за все, молекули кисню та води, адсорбовані на ній, під впливом активних сполук, що генеруються тліючим розрядом (наприклад, О2, О3, Н2О [2]) і які можуть виступати тут як каталізатори гетерогенних реакцій. Цей висновок підтверджується також тим фактом, що втрата хемографі-
50
РИ, 2000, № 3
чної активності поверхні кремнію не залежить від робочого газу в розрядній камері.
Таким чином, вплив тліючого розряду на хемогра-фічний ефект обумовлюється не тільки прямою дією іонів на поверхню твердого тіла, а й породжених в середовищі тліючого розряду молекул, або їх асоціатів, які виступають каталізаторами окислювальних процесів.
Продовженням описаних вище експериментів є дослідження впливу ультрафіолетового випромінювання на хемографіну реагентоздатність поверхні твердого тіла, зокрема кремнію.
Експерименти проводилися в спеціально виготовленій камері. Час дії ультрафіолетового випромінювання змінювався від 5 до 60 хвилин.
При дослідженні впливу на хемографічний ефект ультрафіолетового випромінювання помічено, що хемографічна активність поверхні зразка, яка не захищена екраном від впливу випромінювання, зменшується, а екранованої—не втрачає реагентоз-датності. Також встановлено, що коли екран не щільно прилягає до поверхні досліджуваного зразка, то екранована поверхня частково втрачає хемог-рафічну активність.
Виникло припущення, що втрата реагентоздатності поверхнею зразка обумовлена не тільки прямою дією на неї ультрафіолетового випромінювання, а й появою під впливом ультрафіолету в складі газового середовища активних сполук, які і призводять до втрати хемографічної активності реаген-тоздатною поверхнею зразка.
З метою перевірки даної гіпотези було проведено наступний експеримент. Хемографічно-активна поверхня зразка кремнію, що опромінювалася ультрафіолетовим світлом, була частково екранована, але екран знаходився на відстані 10 см. Слід зазначити, що екраном були пластинки кремнію, які мали дві реагентноздатні поверхні, причому, однією вони були повернуті до джерела випромінювання, а іншою до досліджуваного зразка. В результаті експерименту встановлено, що хемогра-фічну активність втратила навіть поверхня екрану, на яку не потрапляло ультрафіолетове випромінювання.
а б
Рис. 2. Дослідженння впливу ультрафіолетового випромінювання на хемографічну реагентоздатність поверхні твердого тіла: а - схема експерименту: 1 - не щільний екран, 2 - щільний екран, 3 - досліджуваний зразок; б — хемографічне зображення реагентоздатної поверхні пластинки кремнію після обробки ультрафіолетовим випромінюванням (час обробки t = 600 c)
РИ, 2000, № 3
На рис. 2 зображено зразок кремнію, поверхня якого знаходилася під впливом ультрафіолетового випромінювання, причому частина її була захищена від ультрафіолетових променів екранами. На фотознімку вцдно, що поверхня зразка, яка була захищена від ультрафіолетових променів не щільним екраном (h=0,9 мм), частково втратила хемографічну реагентоздатність, тобто знаходилася під впливом активних сполук, що утворюються завдяки ультрафіолетовому випромінюванню.
Дані експерименти підтверджують припущення про генерацію в газовому середовищі активних молекул, зроблені при дослідженні впливу тліючого розряду на хемографічний ефект.
В результаті експериментів встановлено, що активність зразків втрачається і після припинення дії ультрафіолетових променів, але час життя активних сполук, які були породжені ультрафіолетовим випромінюванням, менший за час життя активних молекул, що утворюються при горінні тліючого розряду. Це, ймовірно, визвано різними умовами проведення досліджень (зокрема, тиском та концентрацією активних сполук).
При дослідженні впливу на хемографічний ефект тліючого розряду та ультрафіолетового випромінювання виникло припущення, що втрата реагентоздатності поверхнею зразка передусім обумовлена іонізацією.
З метою перевірки даної гіпотези поставлено такий експеримент. В спеціальній розрядній камері проводилась іонізація повітря. Хемографічно-активні зразки кремнію було розміщено в розрядній камері і зовні неї, в об’ємі, що був з’єднаний з розрядною камерою за допомогою скляної трубки. Після іонізації повітря у розрядній камері спостерігалося зменшення реагентоздатності зразків як в самій камері, так і зовні неї, в об’ємі, що був з’єднаний з розрядною камерою. Тобто, при взаємодії з іонізованим повітрям хемографічна-активність зразків зменшується. Не зменшилась тільки реагентоздатність поверхні, що захищена екраном (світлі плями). В місцях пробою розряду спостерігається стрімка деградація хемографічної активності зразків. Вплив на реагентоздатність пластинки кремнію електричного пробою спостерігався і тоді, коли на одному з електродів електрофорної машини було закріплено зразок кремнію.
Як продовження попередніх дослідів, поставлено такий експеримент: іонізоване в розрядній камері повітря продувалося крізь капіляр вздовж хе-мографічно-активної поверхні зразка кремнію. При обробці результатів експериментів на фотоплівці спостерігається своєрідний шлейф (рис. 3), тобто
Рис. 3. Хемогра-фічне зображення, що ілюструє вплив потоку іонізованого повітря на хемографічну реагентоздатність поверхні зразка кремнію
51
1 2 З
Рис. 4. Хемографічне зображення поверхні пластин кремнію після обробки пучком іонів в мас-спектрометрі. Світлий кружок на фотографіях відповідає області, куди потрапляв іонний пучок. Внизу — хемо-графічно активні зразки Бі (S = 100%), вгорі — окислені зразки SL Пучок іонів аргону, анодна напруга U = 6 кВ. Час обробки:
1—1=600 c; 2—1= 180 c; 3—t=30c
видно слід від потоку іонізованого повітря (коли продувалося не іонізоване повітря, реагентоздатність зразка істотно не змінювалася).
Висновки, що хемографічний ефект грунтується на хімічній взаємодії молекул бромистого срібла з продуктами гетерогенних реакцій окислювального характеру, протікаючих на поверхні деяких твердих тіл, були підтверджені експериментами по іонному травленню зразків кремнію пучком високоенергетичних іонів, які проведено на мас-спектрометрі МС7201.
Були підготовлені окислені та активні (неокислені) зразки кремнію і попарно оброблені пучком іонів аргону з енергіями до 6кеВ на протязі 30 с, 180 с, 600с та 60 хв.
На рис. 4 наведені хемографічні зображення зразків кремнію після їх обробки пучком іонів аргону з
енергіями до 6 кеВ. Як видно, на хемографічно-активну поверхню контрольного зразка іонний пучок не впливає. На окислених зразках Бі (1, 2, 3) іонний пучок, знімаючи поверхневий шар оксидів, відновлює хемографічну активність тієї частини поверхні, куди він потрапляє, тобто пучок високоенергетичних іонів, на відміну від взаємодії хемографічно-активних зразків з іонізованим повітрям, коли реагентоздатність їх зменшується, впливає на хемографічну активність зразків кремнію таким же чином, як і очищення їх поверхні від оксидів шляхом сколу, шліфовки абразивним порошком або травленням в HF, роблячи поверхню зразка хемографічно -активною.
На рис. 5, а, який зображує фотографію поверхні зразка кремнію після обробки її пучком іонів, отриману за допомогою електронного мікроскопа, добре видно чітку межу між окисленою поверхнею зразка та поверхнею, що знаходилася під дією іонного пучка. Рельєф поверхні зразка після його обробки пучком іонів відображено на рис. 5,б.
В ході експерименту проведено мас-спектромет-ричні виміри складу вторинних іонів, які вибиваються з поверхні зразків кремнію.
Мас-спектрограми ліній оксидів і субоксидів Бі на поверхні окислених зразків вказують на те, що зменшення їх інтенсивності відбувається за час t 30 — 60 с, що корелює із зростанням хемографічної активності зразків 1, 2, 3 після дії на них пучка іонів. Цей дослід безпосередньо демонструє можливість використання хемографічного ефекту для реєстрації іонних потоків.
Результати експериментів дозволяють сподіватись на застосування нового методу хемографії для реєстрації іонних потоків, продуктів деяких плазмохімічних реакцій, а також в процесах пла-нарної технології.
Література: 1. Єлізаров O.I., Богобоящий В.В. Новий метод реєстрації наднизьких концентрацій деяких речовин у газових сумішах // Доповіді АН УРСР, Сер. Природознавство, 1991. № 3. C. 57-59. 2. Терещенко В.Л. Метод дослідження поверхні твердого тіла за допомогою фотоемульсії — метод хемографії // Механіка та машинобудування, 1999. № 1, C. 241-247. 3. Елизаров А.И., Терещенко В.Л. Исследование эффекта взаимодействия поверхности твердых тел с фотоэмульсией в системе кристалл-жидкость-фо-топленка // Конденсированные среды и межфазные границы, 1999. № 1. C. 129-131. 4. Коган Я. і. Молекулярні ядра конденсації // Доповіді АН СРСР, 1965. № 2. C. 388-391. 5. Шахрова М.М., Грезіна Н.Г. Фотографія. Київ: Вища шк., 1993. 367с.
Надійшла до редколегії 08.06.2000
Рецензент: д-р фіз. -мат. наук, проф. Прохоров Е.Д.
Терещенко Володимир Леонідович, викладач кафедри обліку та аудиту КДПі. Наукові інтереси: методи неруйнівного контролю. Адреса: Україна, 39614, Полтавська обл., м. Кременчук, вул. Першотравнева, 20, тел. (05366) 3-6000 (канцелярія), 3-10-15 (кафедра).
а
б
Рис. 5. Фотографічне зображення поверхні пластини кремнію після обробки пучком іонів в мас-спектрометрі: а —збільшення 61; б — збільшення 4000. Пучок іонів аргону, анодна напруга U = 6 кВ. Час обробки t = 600 с
52
РИ, 2000, № 3
