Анализ методов получения микроотверстий. Часть 2 Текст научной статьи по специальности «Технологии материалов»

Оригинальная статья / Original article УДК: 621.9.048

DOI: http://dx.d0i.0rg/l0.21285/1814-3520-2018-11 -34-42

АНАЛИЗ МЕТОДОВ ПОЛУЧЕНИЯ МИКРООТВЕРСТИЙ. ЧАСТЬ 2

© А.Ф. Бойко1, М.Н. Воронкова2

Белгородский государственный технологический университет им В.Г. Шухова, 308012, Российская Федерация, г. Белгород, ул. Костюкова, 46.

РЕЗЮМЕ: Показано, что для получения прецизионных микроотверстий в наилучшей степени разработан и нашел применение электроэрозионный способ. Для высокопроизводительной прошивки микроотверстий с нежесткими требованиями к точности и качеству поверхности отверстий нецелесообразным является применение лазерного и электронно-лучевого методов. Для получения сверхглубоких микроотверстий глубиной 100 и более диаметров применяют методы литья и сборки. Методической основой исследований является сравнительный научно-технический анализ мировых промышленных технологий получения микроотверстий в историческом развитии. Описаны физико-техническая сущность десяти методов получения микроотверстий, применяемое оборудование и технологические возможности методов, дана количественная и качественная оценка технологических процессов. Определены рациональные области использования десяти методов получения микроотверстий. Разработаны перспективные направления совершенствования технологии прецизионных микроотверстий.

Ключевые слова: микроотверстия, проколочный пуансон, лазерная прошивка, электронно -лучевая обработка, ионный пучок

Информация о статье: Дата поступления 23 июля 2018 г.; дата принятия к печати 30 октября 2018 г.; дата онлайн-размещения 30 ноября 2018 г.

Для цитирования: Бойко А.Ф., Воронкова М.Н. Анализ методов получения микроотверстий. Часть 2. Вестник Иркутского государственного технического университета. 2018;22(11 ):34—42. 001: 10.21285/1814-3520-201811-34-42.

ANALYSIS OF MICRO HOLE DRILLING METHODS. PART 2

Anatoly F. Boyko, Marina N. Voronkova

Belgorod State Technological University named after V.G. Shukhov, 46 Kostyukov St., Belgorod 308012, Russian Federation

ABSTRACT: Electric discharge machining is shown to be the best method developed and used for drilling precision micro-holes. High-performance piercing of micro holes with non-rigid requirements to hole surface accuracy and quality requires to use laser and electron-beam methods. The methods of casting and assembly are used to obtain super deep micro holes with the depth of 100 or more diameters. A comparative scientific and technical analysis of the world industrial technologies of obtaining micro holes in the historical development forms the methodological basis of the research. The article gives a physico-technical characteristic of ten methods of micro hole drilling, describes the equipment used and process capabilities the methods under discussion. The quantitative and qualitative assessment of technological processes is given as well. The rational application fields of ten methods of micro hole drilling are determined. The promising directions of improving the precision micro hole technology are developed.

1

Бойко Анатолий Федорович, доктор технических наук, профессор кафедры технологии машиностроения, e-mail: boyko_1947@bk.ru

Anatoly F. Boyko, Dr. Sci. (Eng.), Professor of the Department of Mechanical Engineering Technology, e-mail: boyko_1947@bk.ru

2Воронкова Марина Николаевна, кандидат технических наук, доцент кафедры технологии машиностроения, e-mail: mkuzko@mail.ru

Marina N. Voronkova, Cand. Sci. (Eng.), Associate Professor of the Department of Mechanical Engineering Technology, e-mail: mkuzko@mail.ru

Keywords: micro holes, pin-hole punch, laser drilling, electron beam treatment, ion beam

Information about the article: Received 23 Jule, 2018; accepted for publication 30 October, 2018; available online 30 November, 2018.

For citation: Boyko A.F., Voronkova M.N. Analysis of micro hole drilling methods. Part 2. Vestnik Irkutskogo gosudar-stvennogo tehnicheskogo universiteta = Proceedings of Irkutsk State Technical University. 2018;22(11):pp. 34-42. (In Russ.) DOI: 10.21285/1814-3520-2018-11-34-42.

Введение

В первой части статьи были проанализированы механический, ионно-оптичес-кий, электронно-лучевой, лазерный и электрический методы получения микроотверстий. Изложена физико-техническая сущность методов, их технологические воз-

можности. Во второй части дается анализ пяти методов: струйного электрохимического, метода литья, метода сборки, группового способа вакуумного напыления, электроэрозионного. Сделаны обобщающие выводы по результатам работы.

Цель исследования

Целью настоящих исследований является определение рациональных областей использования мировых технологий получения микроотверстий, разработка

перспективных направлений совершенствования технологии прецизионных микроотверстий.

Материалы и методы исследования

Струйная электрохимическая прошивка малых отверстий была разработана в середине 70-х годов прошлого столетия на одном из предприятий г. Москвы [1]. Этим способом прошивали отверстия диаметром 0,2-0,5 мм в различных труднообрабатываемых сплавах. Принцип способа заключается в следующем (рис. 1).

В кварцевой или стеклянной трубке 1, являющейся инструментом, установлена токопроводящая металлическая втулка 2 - катод. Через суживающееся сопло 3 в направлении к заготовке-аноду 4 прокачивается под давлением до 0,5 мПа раствор электролита 5. Инструмент-катод подается в направлении прошивки со скоростью ик.

В качестве электролита целесообразно использовать 10-15%-й водный раствор соляной кислоты, обладающий высокой электропроводностью и образующий хорошо растворимые соединения с металлами, входящими в состав практически любого сплава.

Общий характер процесса анодного

растворения в струйной электрохимической прошивке аналогичен процессам размерной электрохимической обработки, но гидродинамический режим процесса специфичен, что объясняется значительным разнесением в пространстве анода и катода своеобразной схемой движения раствора и, главное, нестационарной геометрией гидравлического тракта.

Капиллярность инструмента и значительное межэлектродное расстояние, являясь причинами большого омического сопротивления между анодом и катодом (несколько тысяч Ом), делают необходимым применение высоких рабочих напряжений (до 1 кВ), что, в свою очередь, вызывает интенсивное нагревание раствора.

Достоинствами струйного электрохимического способа прошивки малых отверстий являются:

- простота технологии и оборудования;

- достаточно высокая скорость прошивки (0,5-4 мм/мин);

Рис. 1. Инструмент и схема струйной электрохимической прошивки малых отверстий: 1 - кварцевая или стеклянная трубка; 2 - втулка-катод; 3 - сопло; 4 - заготовка-анод;

5 - раствор электролита Fig. 1. Tool and a diagram of jet electrochemical piercing of small holes: 1 - quartz or glass tube; 2 - cathode-bushing; 3 - nozzle; 4 - anode billet;

5 - electrolyte solution

- хорошее качество обработанной поверхности (Ra = 0,4-1 мкм).

Недостатки метода:

- невысокая точность обработки (конусность, овальность отверстий);

- экологическая опасность, связанная с применением химически опасных электролитов;

- повышенная электроопасность, связанная с применением высоких рабочих напряжений.

Изготовление микроотверстий методом литья. Наиболее массовым инструментом для микросварки полупроводниковых приборов является твердосплавной микроинструмент. Первая опытно-промышленная технология его производства, разработанная в конце 60-х годов прошлого столетия, базировалась на методе литья. По этому методу твердосплавные заготовки микроинструмента получали литьем твердого сплава в металлическую форму [2].

Сущность способа заключается в следующем. Металлическая форма с за-

крепленной в ней проволокой или стержнем нужного диаметра (30-100 мкм) заполняется под давлением нагретой до пластического либо жидкого состояния смесью порошка твердого сплава с пластификатором, например парафином. После заполнения форма разбирается, стержень удаляется и заготовка спекается. Полученные таким образом заготовки имеют отверстия, равные диаметру стержня или проволоки с учетом коэффициента усадки при спекании.

Достоинствами этого метода получения микроотверстий являются:

- простота процесса, не требующего больших затрат;

- возможность получать микроотверстия глубиной до 100 и более диаметров.

Недостатки метода:

- нестабильность диаметров получаемых отверстий из-за разброса коэффициента усадки;

- значительная трудоемкость последующей обработки отлитой заготовки, связанная с необходимостью точной при-

вязки обрабатываемых поверхностей к уже имеющемуся микроотверстию;

- значительный брак по причине забивки микроотверстий при спекании заготовки в процессе последующей ее шлифовки.

Получение микроотверстий методом сборки. Организация массового производства интегральных микросхем потребовала разработки новых различных способов серийного изготовления инструмента для микросварки. В 60-х годах прошлого столетия в США и Европе широко использовался метод изготовления капиллярных микроинструментов путем сборки.

Фирма Diatron Pacific (США) разработала метод изготовления капилляров из карбида вольфрама, позволяющий с большой точностью получать отверстия диаметром от 20 мкм и выше значительной глубины [3]. Технологический процесс изготовления капиллярных инструментов фирмы Diatron Pacific состоит в следующем. Из карбида вольфрама изготавливается заготовка с рабочим клинообразным торцом.

Заготовка вставляется в прецизион-

ную оправку и при помощи тонкого алмазного отрезного круга требуемой толщины вдоль нижней и конусной поверхности клина прорезается радиусная канавка (рис. 2).

Диаметр канавки зависит от диаметра сварочной проволоки, направляемой по канавке при микросварке, и находится в пределах 20-100 мкм.

В канавку вводят кусочек твердой алюминиевой проволоки. Проволока прижимается пластинкой из нержавеющей стали толщиной 125 мкм. На пластинку и вокруг кончика клина накладывают серебряный припой и флюс. Затем все устройство помещают в сварочную печь и нагревают до температуры 540°С. При этом пластина припаивается к корпусу клина. Алюминиевая проволочка расплавляться не должна. Наконечник, пластинка из нержавеющей стали и припой шлифуют до определенных размеров. Весь клин погружают в 20 %-й раствор щелочи и очищают при одновременном воздействии ультразвука в течение 5 мин, во время чего алюминиевая проволока растворяется, оставляя отверстие чистым.

Рис. 2. Схема операции прорезания радиусной канавки в заготовке из карбида вольфрама: 1 - заготовка из карбида вольфрама; 2 - верхняя конусная секция заготовки; 3 - нижняя конусная секция заготовки; 4 - прорезанная радиусная канавка; 5 - алюминиевая проволока Fig. 2. Diagram of radius grooving operation in a tungsten carbide workpiece: 1 -tungsten carbide workpiece; 2 - upper conical section of the workpiece; 3 - lower conical section of the workpiece; 4 - cut radius groove; 5 - aluminum wire

Фирма Diatron Pacific изготавливала также инструмент для микросварки с центральным капиллярным отверстием. Требуемый профиль получали путем соединения двух половин. Обе половины шлифуют и очищают. Затем в них прорезают аксиальные канавки. После этого обе половины снова очищают и в одну из канавок помещают алюминиевую проволоку. Обе половины соединяют вместе и скрепляют при помощи серебряного припоя или спекания. Затем алюминиевая проволочка растворяется и весь монтаж очищается. При этом образовавшееся микроотверстие остается открытым.

Достоинствами методов сборки для получения микроотверстий являются:

- относительная простота технологии и оборудования;

- возможность получать микроотверстия глубиной до 100 и более диаметров.

Недостатки методов:

- низкая производительность технологии;

- значительная трудоемкость шлифования поверхности рабочего профиля микроинструмента, связанная с необходимостью точной привязки обрабатываемых

поверхностей к уже имеющемуся микроотверстию с размещенной в нем алюминиевой проволочкой.

Групповой способ изготовления сварочных капилляров с помощью вакуумного напыления. Американская фирма Fan steel Inc (США) разработала [3] простой способ механизированного изготовления сварочных капилляров из вольфрама. Вольфрамовые покрытия осаждают в вакууме на специальные шаблоны продолговатой формы из нержавеющей стали (рис. 3).

После нанесения твердое покрытие отделяют от шаблона, а кончик обрезают. При этом вскрывается микроотверстие, которое и служит для направления проволоки при микросварке. Качество поверхности микроотверстия достаточно хорошее Ra = 0,3-0,6 мкм. Диаметр получаемых микроотверстий от 20 мкм и выше.

Напыление покрытия осуществляют в вакуумной камере, в которую подают дозировано в строгой пропорции шестифто-ристый вольфрам (WF6) и водород (Н2), восстанавливающий газ. В камере расположен держатель с множеством точных отверстий, в которые вставляют шаблоны из нержавеющей стали (рис. 3).

Рис. 3. Вертикальный разрез в увеличенном масштабе шаблона после нанесения на него покрытия из твердого материала: 1 - шаблон; 2 - рабочий стол; 3 - твердое покрытие Fig. 2. Vertical section on the enlarged scale template after coating with hard material: 1 - template; 2 - working table; 3 - hard coating

Достоинства группового способа получения сварочных капилляров с помощью вакуумного напыления:

- достаточно высокая производительность вследствие группового характера технологии;

- высокая стабильность получаемых размеров микроотверстия;

- хорошее качество поверхности микроотверстий.

Недостатки способа:

- способ пригоден только для капилляров с центральным отверстием и непригоден для микросварочного инструмента с боковым отверстием;

- в ряде случаев получаемая нежесткая оболочковая конструкция ограничивает область применения микроинструмента;

- после операции вскрытия микроотверстия и шлифования рабочего профиля довольно часто происходит засорение микроотверстия, что требует проведения дополнительной операции по его очистке, которая не всегда бывает успешной;

- необходимость применения дорогостоящего вакуумного оборудования.

Электроэрозионная прошивка микроотверстий. Электроэрозионный способ обработки токопроводящих материалов, впервые предложенный в 1943 г. советскими учеными Б.Р. Лазаренко и Н.И. Лазарен-ко, значительно расширил возможности современной машиностроительной технологии, позволив успешно обрабатывать любые токопроводящие материалы вне зависимости от их ме- ханических свойств: твердости, вязкости и пр.

Именно при электроэрозионной прошивке микроотверстий в полной мере выявляются такие преимущества этого способа, как незначительные механические усилия при обработке, отсутствие необходимости в обрабатывающих электродах-инструментах более твердых, чем обрабатываемый материал, высокая повторяемость размеров обрабатываемых отверстий, использование простого недорогого инструмента в виде электрода-проволоки, который имеет высокую точность и ста-

бильность размера по диаметру, так как изготавливается методом волочения через прецизионную фильеру [4].

Следует отметить, что промышленное применение метода электроэрозионной прошивки микроотверстий началось в 60-х годах прошлого столетия благодаря исследованиям и разработкам, проведенным Е.М. Левинсоном, В.С. Львом, В.А. Петровым (автомобилестроение), Б.И. Ставиц-ким, Е.В. Холодновым (электронная промышленность). Развитие этих отраслей промышленности, а также оборонной, приборостроительной, авиационной, аэрокосмической, электротехнической, текстильной, часовой и др., сделало необходимым дальнейшее совершенствование этого эффективного способа получения микроотверстий.

Достоинствами электроэрозионного метода, реализованного в этом оборудовании и положительно отличающего его от других методов получения микроотверстий, являются:

- высокая точность обработки, в том числе: по диаметру и форме сквозных отверстий - 1-3 мкм, глухих - 5-10 мкм; по расположению отверстий относительно базовых поверхностей изделия - до нескольких микрон;

- достаточно высокое качество обработанной поверхности: Ra Ш1П до 0,2-0,3 мкм;

- высокая повторяемость размеров получаемых отверстий и, как следствие, высокий процент выхода годных изделий;

- относительная простота процесса и оборудования по сравнению с лучевыми методами (лазерным, электронно-лучевым, ионно-оптическим), вакуумным напылением и др.;

- относительная простота и дешевизна применяемого электрода-инструмента: для получения цилиндрических отверстий это проволока, в отличие от инструментов для механического, электромеханического методов, а также методов литья, сборки и др.;

- в отличие от механических методов, электроэрозионным методом можно

прошивать микроотверстия в любых токо-проводящих материалах независимо от их физико-механических свойств: твердости, прочности, вязкости и др.

Дальнейшее развитие технологии и оборудования для электроэрозионной прошивки микроотверстий получили в разработках ОКБТИ при заводе «Ритм» и БГТУ им. В.Г.Шухова (г. Белгород). Это станки моделей 04ЭП-10М, 04ЭП-10МФ2, СЭП-85-001, СЭП.МЭП-1-005 [5]. Наибольшее применение нашел станок мод.04ЭП-10М, которых было изготовлено свыше 500 единиц. Станок оснащен транзисторным генератором сверхкоротких биполярных импульсов наносекундного диапазона [6], быстродействующим двухканальным регулятором подачи [7, 8], высокочастотным

адаптивно управляемым вибратором электрода-инструмента [9-20], двумя оптическими головками.

К числу последних удачных отечественных разработок следует отнести электроэрозионные станки с ЧПУ для прошивки малых отверстий моделей ЭП-310П (НПО «Техномаш»), ДГП-ЭП-03 (ООО «Элгес»). Из зарубежных фирм, выпускающих современные прецизионные станки для высокопроизводительной электроэрозионной прошивки малых отверстий, следует отметить: Sarix SA и GF Agie Charmilles (Швейцария); Neuen, Zimmer+Kreim, MB Maschinen (Германия); Makino, Mitsubishi, Sodick (Япония); Current EDM, Beaumont Machine (США).

Выводы

Обобщая обзор и сравнительный анализ десяти методов получения микроотверстий, можно сделать следующие выводы:

1. Для обработки прецизионных микроотверстий в высокоточных изделиях (инструмент для микросварки, изделия электронной техники и приборостроения, медтехника и др.) целесообразным является применение электроэрозионного метода, который обеспечивает выполнение требований, предъявляемых к качеству микроотверстий, в том числе:

- по точности диаметра получаемых отверстий;

- по точности формы отверстий (конусности, скруглению кромок);

- по точности положения оси микроотверстия относительно базовых поверхностей изделия;

- по шероховатости обработанной

поверхности;

- по отсутствию дефектного поверхностного слоя в отверстии.

2. Для высокопроизводительной прошивки микроотверстий, в том числе для перфорации тонколистовых материалов, с нежесткими требованиями к точности и качеству поверхности отверстий, целесообразным является применение лазерного и электронно-лучевого методов.

3. Для получения сверхглубоких микроотверстий с соотношением глубины к диаметру 100 и более и нежесткими требованиями к точности отверстий целесообразным является применение методов литья и сборки.

4. Для получения неглубоких микроотверстий (до пяти диаметров) в незакаленных сталях и при отсутствии соответствующего оборудования может применен метод давления.

Библиографический список

1. Волков Ю.С., Щедрин О.П., Межерицкий А.В. Особенности гидродинамического режима при струйном электрохимическом формообразовании // Электронная обработка материалов. 1976. № 1. С. 14-18.

2. Воинова К.Н., Проскуряков Г.А., Хватов В.М. Особенности изготовления капилляров в рубиновых

и твердосплавных инструментах для микросварки // Электронная техника. Серия 6 «Микроэлектроника». 1971. № 5. С. 23-25.

3. Бойко А.Ф. Эффективная технология и оборудование для электроэррозионной прошивки прецизионных микроотверстий. Белгород: Изд-во БГТУ, 2010. 314 с.

4. Бойко А.Ф., Лойко А.М. Особенности процесса естественной эвакуации продуктов обработки при электроэрозионной прошивке микроотверстий // Вестник Белгородского государственного технологического университета им. В.Г. Шухова. 2016. № 11. С. 128-131.

5. Бойко А.Ф. Станок для электроэрозионной обработки отверстий малого диаметра // Станки и инструмент. 1987. № 12. С. 24-25.

6. А.с. 884923, СССР. М. Кл3. В 23 Р 1/02. Транзисторный генератор импуль-сов для электроэрозионной обработки / А.Ф. Бойко, С.А. Шаповалов. № 2876113/25-08; заявл. 30.01.80, опубл. 30.11.81. Бюл. № 44.

7. А. с. 952503, СССР. М. Кл3. В 23 Р/14. Регулятор подачи электроэрозионного станка / А.Ф. Бойко, С.А. Шаповалов, В.М. Коробцов; заявитель и патентообладатель «Особое конструкторское бюро технологии инструмента». № 3228978/25-08; заявл. 31.12.80, опубл. 23.08.81. Бюл. № 31.

8. Пат. № 63274, Российская Федерация, МПК В23Н1/00. Адаптивный электромеханический регулятор подачи электрода-инструмента электроэрозионного станка / А.А. Погонин, А.Ф. Бойко, Б.В. Домашенко; заявитель и патентообладатель Белгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шухова № 2006146420/22; заявл. 25.12.2006, опубл. 27.05.2007. Бюл. № 15.

9. Кудеников Е.Ю., Бойко А.Ф. Исследование профиля прецизионных отверстий, получаемых методом электроэрозионной обработки // Вестник Белгородского государственного технологического университета им. В.Г. Шухова. 2017. № 3. С. 103-106.

10. Биленко С.В., Сарилов М.Ю., Бурдасов Е.Н., Маслацова А.Э. Исследование процесса электроэрозионного прошивания отверстий // Фундаментальные исследования. 2012. № 9 (ч. 4). С. 882-888.

11. Оглезнев Н.Д., Абляз Т.Р. Влияние режимов электроэрозионной обработки на точность получения отверстий // Известия Самарского научного центра Российской академии наук. 2013. Т. 15. № 4 (2). С. 393-398.

12. Оглезнев Н.Д. Современное состояние и перспективы развития электроэрозионной обработки // Известия Самарского научного центра Российской академии наук. 2014. Т. 16. № 1 (2). С. 490-493.

13. Елисеев Ю.С., Саушкин Б.П. Электроэрозионная обработка авиационно-космической техники. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. 437 с.

14. Ставицкий И.Б., Битюцкая Ю.Л. Назначение рациональных режимов электро-эрозионной обработки платины с использованием решений тепловой задачи Стефана // Наука и образование: научное издание МГТУ им. Н.Э. Баумана. 2015. № 11. С. 60-71. DOI: 10.7463/1115.0826317

15. Саушкин Б.П. Электроэрозионная обработка: состояние и перспективы развития. Часть 2. Прошивка отверстий // РИТМ: ремонт, инновации, технологии, модернизации. 2012. № 9 (77). С. 20-24.

16. Красников В.Ф. Микротехнология // Машиностроитель. 1972. № 11. С. 41-43.

17. Левинсон Е.М. Отверстия малых размеров (методы получения). Л.: Машиностроение. 1977. 152 с.

18. Крылов К.И., Прокопенко В.Т., Митрофанов А.С. Применение лазеров в машиностроении и приборостроении. Л.: Машиностроение. 1998. 276 с.

19. Reiner S. Laserais herkzeng in der Fertingung // Phys und Didakt. 1976. 4. No. 3. P. 205-223.

20. Зенин В.В., Кондратьев В.П., Водянов Ю.М., Рыжков Ф.Н. Электрохимическая прошивка отверстий малых диаметров в твердосплавном инструменте для микросварки // Электронная обработка материалов. 1975. № 5. С. 85-87.

References

1. Volkov YU.S., Shchedrin O.P., Mezheritskiy A.V. Features of hydrodynamic mode in jet electrochemical shaping. Elektronnaya obrabotka materialov [Surface Engineering and Applied Electrochemistry], 1976, no. 1, pp. 14-18. (In Russian)

2. Voinova K.N., Proskuryakov G.A., Khvatov V.M. Features of capillary making in ruby and hard-alloy tools for micro-welding. Elektronnaya tekhnika [Electronic Equipment]. Seria 6 «Mikroelektronika» [Series 6 "Microelectronics"], 1971, no. 5, pp. 23-25. (In Russian)

3. Bojko A.F. Effektivnaya tekhnologiya i oborudovanie dlya elektroerozionnoi proshivki pretsizionnykh mikroot-verstii [Effective technology and equipment for electro-erosive piercing of precision micro-holes]. Belgorod, BSTU Publ., 2010, 314 p. (In Russian)

4. Bojko A.F., Loyko A.M. Features of process of natural evacuation of products of erosion in case of electrical discharge machining microopenings. Vestnik Belgo-rodskogo gosudarstvennogo tekhnologicheskogo uni-versiteta im. V.G. Shukhova [Bulletin of BSTU named

after V.G. Shukhov], 2016, no. 11, pp. 128-131. (In Russian)

5. Bojko A.F. Machine-tool for electroerosive machining of small diameter holes. Stanki i instrument [Machines and Tools], 1987, no. 12, pp. 24-25. (In Russian)

6. Bojko A.F. Tranzistornyy generator impul'sov dlya elektroerozionnoy obrabotki [Transistor pulse generator for EDM processing]. Patent USSR, no. 884923, 1981.

7. Bojko A.F. Regulyator podachi elektro erozionnogo stanka [Erosion machine feed regulator]. Patent USSR, no. 952503, 1981.

8. Pogonin A.A. Adaptivnyy elektromekhanicheskiy regulyator podachi elektroda-instrumenta elektro-erozionnogo stanka [Adaptive electromechanical regulator of EDM machine-tool electrode feed]. Patent RF, no. 63274, 2007.

9. Kudenikov E.Yu., Boiko A.F. Research profile precision holes obtained by electrical discharge machining. Vestnik Belgorodskogo gosudarstvennogo tekhnolog-icheskogo universiteta im. V.G. Shukhova [Bulletin of

BSTU named after V.G. Shukhov], 2017, no. 3, pp. 103-106. (In Russian)

10. Bilenko S.V., Sarilov M.Yu., Burdasov E.N., Maslatsova A.E. Study of the process of hole-making by electrical discharge machining. Fundamental'nye issle-dovaniya [Fundamental Research] 2012, no. 9 (part 4), pp. 882-888. (In Russian)

11. Ogleznev N.D., Ablyaz T.R. Study of the process of hole-making by electrical discharge machining. Fundamental'nye issledovaniya [Fundamental Research], 2013, vol. 15, no. 4 (2), рр. 393-398.

12. Ogleznev N.D. Study of the process of hole-making by electrical discharge machining. Fundamental'nye issledovaniya [Fundamental Research]. 2014, vol. 16, no. 1 (2), pp. 490-493. (In Russian)

13. Eliseev Yu.S., Saushkin B.P. Elektroerozionnaya obrabotka aviatsionno-kosmicheskoi tekhniki [Electro-erosive processing of aerospace equipment]. Moscow: Bauman Moscow State Technical University Publ., 2010, 437 p. (In Russian)

14. Stavitskii I.B., Bityutskaya Yu.L. Electrical discharge platinum machining optimization using Stefan problem solutions. // Nauka i obrazovanie: nauchnoe izdanie MGTU im. N.E. Baumana [Science and Education. Bauman Moscow State Technical University], 2015,

Критерии авторства

Бойко А.Ф., Воронкова М.Н. имеют на статью равные авторские права и несут равную ответственность за плагиат.

Конфликт интересов

Авторы заявляют об отсутствии конфликта интересов.

no. 11, pp. 60-71. DOI: 10.7463/1115.0826317. (In Russian)

15. Saushkin B.P. Electrical discharge machining: condition and development prospects. Part 2. Hole Punching. RITM: remont, innovatsii, tekhnologii, modernizatsii [RHYTHM: Repair, Innovation, Technology, Modernization], 2012, no. 9 (77), pp. 20-24. (In Russian)

16. Krasnikov V.F. Microtechnology. Mashinostroitel' [Machine Builder], 1972, no. 11, pp. 41-43. (In Russian)

17. Levinson E.M. Otverstiya malykh razmerov (metody polucheniya) [Small size holes (production methods]. Leningrad: Mashinostroenie Publ., 1977, 152 p. (In Russian)

18. Krylov K.I., Prokopenko V.T., Mitrofanov A.S. Primenenie lazerov v mashinostroenii i priborostroenii [Application of lasers in mechanical engineering and instrument making]. Leningrad: Mashinostroenie Publ., 1998, 276 p. (In Russian)

19. Reiner S. Laserais herkzeng in der Fertingung. Phys und Didakt. 1976, 4, no. 3, pp. 205-223.

20. Zenin V.V., Kondrat'ev V.P., Vodyanov Yu.M., Ryzhkov F.N. Electrochemical piercing of small diameter holes in a carbide tool for microwelding. Elektron-naya obrabotka materialov [Electronic Processing of Materials], 1975, no. 5, pp. 85-87. (In Russian)

Authorship criteria

Boyko A.F., Voronkova M.N. have equal author's rights and bear equal responsibility for plagiarism.

Conflict of interests

The authors declare that there is no conflict of interests regarding the publication of this article.