Научная статья на тему 'Механохимическая активация поверхности полупроводниковых материалов - первичных преобразователей сенсоров-датчиков на основе GaSb, ZnTe'

Механохимическая активация поверхности полупроводниковых материалов - первичных преобразователей сенсоров-датчиков на основе GaSb, ZnTe Текст научной статьи по специальности «Химические науки»

CC BY
171
31
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.
Область наук
Ключевые слова
ПОЛУПРОВОДНИКИ / ТВЕРДЫЕ РАСТВОРЫ / МЕХАНОХИМИЯ / ИК-СПЕКТРЫ / СВЕЖЕОБРАЗОВАННАЯ ПОВЕРХНОСТЬ / АКТИВНЫЕ ЦЕНТРЫ / SEMICONDUCTORS / SOLID SOLUTIONS / MECHANOCHEMISTRY / IR SPECTRA / THE FRESH A SURFACE / ACTIVE CENTERS

Аннотация научной статьи по химическим наукам, автор научной работы — Кировская Ираида Алексеевна, Новгородцева Любовь Владимировна, Погодин Сергей Николаевич, Еремин Евгений Николаевич, Корнеев Сергей Александрович

По разработанной методике выполнены механохимические исследования систем «реакционная среда (Н2О, изо-С3Н7ОН) диспергируемый полупроводник системы GaSb-ZnTe». Обнаружены повышенная активность свежеобразованной поверхности; ряд промежуточных соединений, возникающих на частично гидратированной реальной поверхности полупроводников и в условиях адсорбции воды, адсорбции и каталитического разложения изопропилового спирта. Установлены обогащение свежеобразованной поверхности координационно-ненасыщенными атомами и их определяющая роль как активных центров при адсорбции молекул типа Н2О, изо-С3Н7ОН. Даны практические рекомендации по использованию твердого раствора (GaSb)x(ZnTe)1-x с избыточным содержанием GaSb в полупроводниковом газовом анализе.

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Похожие темы научных работ по химическим наукам , автор научной работы — Кировская Ираида Алексеевна, Новгородцева Любовь Владимировна, Погодин Сергей Николаевич, Еремин Евгений Николаевич, Корнеев Сергей Александрович

iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Mechanical and chemical activation of the surface of semiconductor materials - transducers sensors based on GaSb, ZnTe

By the developed technique there is performed mechanochemical systems research «reaction medium (H2O, iso-С3Н7ОН) dispersible semiconductor system GaSb-ZnTe». There is found increased activity of the new made surface, a series of intermediate compounds that occur in partially hydrated real semiconductor surfaces and in conditions of water absorption, adsorption and catalytic decomposition of isopropyl alcohol. There is installed enrichment of the new surface coordination unsaturated atoms and their crucial role as active centers in adsorption molecules H2O, iso-С3Н7ОН. Practical recommendations for the use of solid solution (GaSb)x(ZnTe)1-x with excess content in GaSb semiconductor gas analysis are given.

Текст научной работы на тему «Механохимическая активация поверхности полупроводниковых материалов - первичных преобразователей сенсоров-датчиков на основе GaSb, ZnTe»

ПРИБОРОСТРОЕНИЕ, МЕТРОЛОГИЯ И ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРИБОРЫ И СИСТЕМЫ

УДК 541.183+541.123.2+546.681.19

И. А. КИРОВСКАЯ Л. В. НОВГОРОДЦЕВА С. Н. ПОГОДИН Е. Н. ЕРЕМИН С. А. КОРНЕЕВ Ю. А. МАТЯШ

Омский государственный технический университет Омский государственный университет путей сообщения

МЕХАНОХИМИЧЕСКАЯ АКТИВАЦИЯ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ — ПЕРВИЧНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ СЕНСОРОВ-ДАТЧИКОВ НА ОСНОВЕ GaSb, 2пТе

По разработанной методике выполнены механохимические исследования систем «реакционная среда (Н2О, изо-С3Н7ОН) — диспергируемый полупроводник системы GaSb-2пТе». Обнаружены повышенная активность свежеобразованной поверхности; ряд промежуточных соединений, возникающих на частично гидратированной реальной поверхности полупроводников и в условиях адсорбции воды, адсорбции и каталитического разложения изопропилового спирта. Установлены обогащение свежеобразованной поверхности координационно-ненасыщенными атомами и их определяющая роль как активных центров при адсорбции молекул типа Н2О, изо-С3Н7ОН. Даны практические рекомендации по использованию твердого раствора (GaSb)I(ZnTe)1_I с избыточным содержанием GaSb в полупроводниковом газовом анализе.

Ключевые слова: полупроводники, твердые растворы, механохимия, ИК-спектры, свежеобразованная поверхность, активные центры.

Работа выполнена в рамках проектной части государственного задания Минобрнауки России № 4.2543.2014/К.

Как известно, в механохимии измельчение рассматривают не только как процесс увеличения поверхности, но и как процесс возникновения дефектов в кристаллах, увеличения поверхностной энергии и, соответственно, значительного повышения химической активности поверхностных амор-физированных слоев. В этом смысле об измельчении следует говорить и как о химическом процессе. Логично ожидать, что и молекулы жидких сред, адсорбированных на твердых частицах, будут диссоциировать в процессе измельчения. Продукты диссоциации в момент своего возникновения, обладая высокой активностью, могут образовывать прочные соединения с частицами твердых тел, находящимися в поверхностных слоях. Не исключено также их проникновение в объем по дефектам структуры.

Отмечая наметившиеся на основе многочисленных исследований [1, 2] возможности использования бинарных и многокомпонентных алмазопо-добных полупроводников в нанотехнике, следует обратить внимание на такой аспект, как приготовление и исследование свежеобразованной поверхности алмазоподобных полупроводников в различных реакционных средах. Здесь привлекают возможности более четкого выявления природы активных центров, промежуточных соединений, механохими-ческой активации поверхности.

Такие работы выполняли по специально разработанной методике: поликристаллы полупроводников диспергировали в выбранной среде (воде, изопропиловом спирте) до установления постоянного значения рН. Параллельно проводили ИК-спектроскопические исследования суспензий систем «среда — диспергируемый полупроводник» [3, 4]: снимали ИК-спектры многократного нарушенного полного внутреннего отражения (ИКС МНПВО) на Фурье-спектрометре Инфралюм ФТ-02, в области волновых чисел 800 — 8000 см-1, при комнатной температуре.

По полученным результатам строили кинетические изотермы изменения рН среды в процессе диспергирования полупроводников системы GaSb-ZnTe, по которым можно предварительно оценить поведение свежеобразованной поверхности, и ИК-спектры МНПВО, позволяющие более детально описать поведение свежеобразованной поверхности (по сравнению с экспонированной на воздухе), раскрыть его механизм.

На основе количественного сопоставления ин-тенсивностей ИК-полос 1705 и 1650 см-1, отвечающих соответственно деформационным колебаниям ОН-групп изопропилового спирта и деформационным колебаниям ОН-групп воды, образующейся при разложении изопропилового спирта, судили также о каталитическом превращении изо-С3Н7ОН и относительной каталитической активности исследуемых полупроводников. Такая возможность вытекает из механизма каталитического разложения изопро-пилового спирта на алмазоподобных полупроводниках при комнатной температуре, включающего стадии дегидрирования и дегидратации (с отщеплением воды) [3, 5]. Соответственно, в ИК-спектрах систем «изо-С3Н7ОН — диспергируемый полупроводник» в сравнении с ИК-спектром изопропилового спирта должно наблюдаться уменьшение интенсивности полосы 1705 см-1, отвечающей деформационным колебаниям ОН-групп изо-С3Н7ОН, и появление с нарастающей интенсивностью полосы 1650 см-1, отвечающей деформационным колебаниям ОН-групп образующейся воды.

Рис. 1. Кинетические изотермы диспергирования в воде поликристаллов GaSb (1), (GaSb)0í0 (ZnTe)010 (2), (GaSb)0iä (ZnTe)№ (3) (GaSb)o,iä tfnTe^ (4 (GaSb)MI tfnTe^, (5)

Объекты исследований представляли собой поликристаллы СаБЬ, 2пТе и их твердых растворов (Са8Ь)х(2пТе)1-х (х = 5, 10, 15, 90, 95 мол. %), экспонированные на воздухе и подвергаемые затем диспергированию в реакционных средах (воде, изопропиловом спирте). Твердые растворы получали методом изотермической диффузии бинарных соединений в вакуумированных запаянных кварцевых ампулах при температуре 1337 К [4]. Они были аттестованы по результатам рентгенографического анализа [6, 7], осуществляемого на дифрактоме-тре ДРОН-3 (Си Кар — излучение; X = 1,54056 А, Т = 295 К) и косвенно — по результатам исследований электропроводности и кислотно-основных свойств [4, 8].

При диспергировании в воде поликристаллов СаБЬ, 2пТе и твердых растворов (СаБЬ)х(2пТе)1х наблюдается преимущественное подкисление среды — уменьшение рН (рис. 1 и [4]).

Такое явление можно объяснить, опираясь на ИК-спектры (рис. 2) и высказанные ранее [3, 9] соображения. А именно, при диспергировании СаБЬ, (СаБЬ)х(2пТе)1х, 2пТе возможно образование ионов 8Ь043-, Те042-, имеющих, согласно [3, 9], поверхностное происхождение: химически адсорбированные молекулы воды (на их присутствие указывают ИК-спектры, (рис. 2)) десорбируются по схеме:

Н2О (адс) ^ ОН- (адс) + Н+ (адс) ОН- (адс) + ОН- (адс) ^ Н2О (г) + О- (адс) + е.

Частицы Н+ и О- взаимодействуют с координационно-ненасыщенными атомами БЬ и Те, находящимися на вновь созданной поверхности, с образованием кислот Н3БЬ04, Н2Те04, которые в процессе механохимического воздействия переходят в раствор. Незнчительное увеличение рН среды в конце механохимического воздействия на диспергируемые образцы можно связать с гидролизом ионов БЬ043-, Те042-, являющихся остатками слабых кислот.

Диспергирование полупроводников системы GaSb-ZnTe в изопропиловом спирте сопровождается, как и в [1, 3, 9], образованием молекулярных связей изопропилового спирта с координационно-ненасыщенными атомами, роль которых наиболее заметно проявилась на свежеобразованной поверхности: в обнаруживаемых в ИК-спектрах фрагментах поверхностных соединений (БЬ043-, Те042-) (рис. 3).

(GaSb)005 (ZnTe)095 (6), ZnTe (7)

Рис. 2. ИК-спектры исходных поверхностей бинарных компонентов и твердых растворов

Рис. 3. ИК-спектры МНПВО суспензий «изо-С3Н7ОН — диспергируемый полупроводник системы СаБЪ — 7пТе» при содержании 7пТе, равном 0,05 (1); 0,1 (2); 0 (3); 0,85 (4); 0,90 (5); 0,95 (6); 1,0 (7) моль

При этом координационный механизм химической адсорбции изо-С3Н7ОН предшествует многостадийной реакции его разложения, при которой активация и последующий разрыв определенных связей в исходных молекулах будут определять селективность [5, 9].

Высказанные соображения подтверждают результаты сравнительного анализа ИК-спектров чистого изопропилового спирта, после 30-минутного его контакта с поликристаллами полупроводников и после диспергирования в нем этих поликристаллов с учетом их состава и времени диспергирования (рис. 3).

Рис. 4. Зависимость изменения интенсивности полосы ИК-пропускания V = 1650 см-1 от состава диспергируемых в изо-С3Н7ОН полупроводников системы СаБЪ-7пТе

Отсутствие во втором случае полос поглощения 8Ъ043-, Те042-, МеОН, Са3+, 2п2+ свидетельствует о ничтожно малой растворимости образцов исследуемых полупроводников в изопропиловом спирте. При диспергировании же их в этой же среде (изо-С3Н7ОН) в ИК-спектрах систем «изопропило-вый спирт — диспергируемый полупроводник» появляется новая полоса поглощения с максимумом при 1650 см-1, отвечающая деформационным колебаниям ОН-групп образующейся в результате дегидратации изо-С3Н7ОН воды (8ОН) [9], и одновременно уменьшается интенсивность поглощения в области 3200 — 3500 см-1, отвечающей валентным колебаниям ОН-групп изопропилового спирта. Протекание реакции дегидратации подтверждает также наличие в ИК-спектрах названных систем полос поглощения 1638 и 1830 см-1, соответствующих колебаниям групп Я-СН-СН3 молекул пропилена (продукта дегидратции).

Неодинаковая интенсивность в ИК-спектрах полосы поглощения деформационных колебаний воды (1650 см-1), образующейся в результате дегидратации изо-С3Н7ОН, позволяет говорить о неодинаковой относительной каталитической активности

системы СаБЪ - 7пТе: СаБЪ (1); 7пТе (2); (7пТе)0 (СаБЪ)015 (3); (7пТе)005(СаБЪ)095 ( 4)

Таблица 1

Зависимости изменения интенсивности полос ИК-пропускания от времени диспергирования твердого раствора (СаБЪ) (7пТе) в изо-С3Н7ОН

т, с А1, % ^=1650 см-1) А1, % ^=1705 см-1) А1, %

v=1638 см-1 V = 1830 см-1

1 мин 55 30 8 4

2 мин 60 20 12 10

3 мин 63 10 24 14

Таблица 2

Зависимости изменения интенсивности полос ИК-пропускания от состава диспергируемых в изо-С3Н7ОН компонентов системы СаБЪ-7пТе при времени диспергирования 3 мин

Компонент системы А1, % ^=1650 см-1) А1, % ^=1705 см-1) А1, %

V=1638 см-1 V=1830 см-1

гпТе 20 30 8 4

(^4,05(2^)0,95 37 22 12 8

(Са5Ч,10(2пТе)0,90 40 20 12 10

( СаБЬ)0,15(2пТе)0,85 46 16 14 12

(С^ч^гше^ю 60 12 22 12

(СайЬ)0,95(2пТе)0,05 63 10 24 14

СаБЬ 40 12 20 12

полупроводников системы СаБЬ-гпТе и, соответственно, о неодинаковых силе и концентрации кислотных центров [8], ответственных за каталитическую реакцию, протекающую в рассматриваемом случае по кислотно-основному механизму [5]. По интенсивности полосы 1650 см-1 и, соответственно, по относительной каталитической активности полупроводники системы располагаются в последовательности (рис. 4): гпТе < (СаБЬ)005(2пТе)095<

< (Са^ю^Те^ < (Са8Ь)015(2пТе)085 < СаБЬ <

< (Са8Ь)090(2пТе) 0,10 < (СаБЬ)0,95(^пТе)0,05. То есть относительная каталитическая активность возрастает

при переходе от гпТе к твердым растворам с наибольшим содержанием СаБЬ (табл. 1, 2).

Твердый раствор с избыточным содержанием антимонида галлия предложен в качестве материала для сенсоров-датчиков на микропримеси паров изопропилового спирта и активного, селективного катализатора его дегидратации.

Заключение. В результате выполненных механо-химических исследований полупроводников системы СаБЬ-гпТе

— обнаружена повышенная активность свежеобразованной поверхности;

— зафиксирован ряд промежуточных соединений, возникающих на частично гидратированной реальной поверхности полупроводников и в условиях адсорбции воды, адсорбции и каталитического разложения изопропилового спирта;

— установлены явное присутствие на свежеобразованной поверхности вакансий металлоидов, обогащение ее координационно-ненасыщенными атомами, предпочтительно выступающими в роли

активных центров при адсорбции молекул типа Н2О, изо-С3Н7ОН (рис. 2, 3).

Даны практические рекомендации по использованию твердого раствора системы СаБЬ-гпТе с избытком СаБЬ в полупроводниковом газовом анализе и полупроводниковом катализе.

Библиографический список

1. Кировская, И. А. Поверхностные свойства бинарных ал-мазоподобных полупроводников / И. А. Кировская. - Омск : Изд-во ОмГТУ, 2012. - 416 с.

2. Кировская, И. А. Физико-химические свойства бинарных и многокомпонентных алмазоподобных полупроводников / И. А. Кировская. - Новосибирск : Изд-во СО РАН, 2015. -367 с.

3. Кировская, И. А. Поверхностные явления / И. А. Кировская. - Омск : Изд-во ОмГТУ, 2001. - 175 с.

4. Кировская, И. А. Твердые растворы бинарных и многокомпонентных полупроводниковых систем / И. А. Кировская. -Омск : Изд-во ОмГТУ, 2010. - 400 с.

5. Кировская, И. А. Катализ. Полупроводниковые катализаторы / И. А. Кировская. - Омск : Изд-во ОмГТУ, 2004. -272 с.

6. Горелик, С. С. Рентгеногрфический и электронно-оптический анализ / С. С. Горелик, Л. Н. Расторгуев, Ю. А. Скаков. -М. : Металлургия, 1970. - 107 с.

7. Смыслов, Е. Ф. Экспрессный рентгеновский метод определения периода решетки нанокристаллических материалов / Е. Ф. Смыслов // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2006. - Т. 72. - № 5. - С. 33-35.

8. Кировская, И. А. Химический состав и кислотно-основные свойства поверхности системы СаБЬ-гпТе / И. А. Киров-

ская, Л. В. Новгородцева // Доклады АН ВШ РФ. - 2006. -№ 2 (7). - С. 14-21.

9. Кировская, И. А. Поверхностные свойства алмазоподоб-ных полупроводников. Химический состав поверхности. Катализ / И. А. Кировская. - Иркутск : Изд-во ИГУ, 1988. - 220 с.

КИРОВСКАЯ Ираида Алексеевна, доктор химических наук, профессор (Россия), руководитель научно-образовательного центра «Химические исследования» Омского государственного технического университета (ОмГТУ), заслуженный деятель науки и техники Российской Федерации. НОВГОРОДЦЕВА Любовь Владимировна, кандидат химических наук, доцент (Россия), доцент кафедры химии, научный сотрудник научно-образовательного центра «Химические исследования» ОмГТУ. ПОГОДИН Сергей Николаевич, аспирант кафедры «Химическая технология и биотехнология» ОмГТУ.

ЕРЕМИН Евгений Николаевич, доктор технических наук, профессор (Россия), заведующий кафедрой «Машиностроение и материаловедение», декан машиностроительного института ОмГТУ. КОРНЕЕВ Сергей Александрович, доктор технических наук, профессор (Россия), заведующий кафедрой «Сопротивление материалов» ОмГТУ. МАТЯШ Юрий Иванович, доктор технических наук, профессор (Россия), профессор кафедры «Вагоны и вагонное хозяйство» Омского государственного университета путей сообщения. Адрес для переписки: phiscem@omgtu.ru

Статья поступила в редакцию 24.02.2016 г. © И. А. Кировская, Л. В. Новгородцева, С. Н. Погодин, Е. Н. Еремин, С. А. Корнеев, Ю. А. Матяш

Книжная полка

Гуриков, В. А. Возникновение и развитие оптико-электронного приборостроения / В. А. Гуриков. -2-е изд. - М. : Ленанд, 2016. - 192 с. - ISBN 192 978-5-9710-2863-5.

Книга является первым историко-научным исследованием развития оптико-электронного приборостроения от его истоков до создания современных оптико-электронных систем на лазерах. Анализируются взаимосвязи различных естественных и технических наук, разрабатывающих проблемы оптико-электронного приборостроения, а также отдельные понятия и явления, лежащие в его основе.

Книга рассчитана на научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов старших курсов, занимающихся проблемами оптико-электронного приборостроения, а также на всех интересующихся вопросами истории науки и техники.

Хрусталева, З. А. Метрология, стандартизация и сертификация. Практикум. : учеб. пособие / З. А. Хрусталева. - 3-е изд., стер. - М. : КноРус, 2016. - 176 с. - ISBN 978-5-406-03751-5.

Для каждой практической работы приведена краткая теоретическая часть, акцентирующая внимание пользователя на ключевых моментах темы и создающая основу для осознанного и правильного выполнения собственно работы. Кроме того, в пособии показаны методика выполнения работы, содержание отчета, а также даны контрольные вопросы для защиты. По некоторым работам имеются варианты индивидуальных заданий, что ориентирует пособие не только на студентов, но и на преподавателей. Соответствует Федеральному государственному образовательному стандарту среднего профессионального образования третьего поколения.

Для студентов и преподавателей приборостроительных специальностей электронного профиля техникумов и колледжей.

Латыев, С. Конструирование точных (оптических) приборов : учеб. пособие / С. Латыев. - 2-е изд., испр. и доп. - СПб. : Лань, 2015. - 560 с. - ISBN 9785-8114-1734-6.

Учебное пособие посвящено основам конструирования современных точных приборов, типичными представителями которых являются оптические приборы, содержащие в своем составе механические, электронные и оптические функциональные устройства и элементы. Специфика конструирования таких приборов заключается в том, что их показатели качества и в первую очередь показатели точности, технологичности и надежности в существенной степени зависят от выполнения определенных методов, правил и принципов конструирования, способов и методов параметрического и точностного синтеза конструкций, знаний путей и приемов повышения целевых показателей качества при проектировании. Книга состоит из четырех частей. В первой части рассматриваются методы, общие правила и принципы конструирования точных приборов и их элементов. Во второй излагаются основы теории точности и понятия надежности приборов. Третья часть посвящена современным методам повышения качества приборов при проектировании, включая алгоритмическую (цифровую) коррекцию погрешностей. В четвертой части приводятся типовые конструкции сборочных единиц и элементов точных приборов, рассматриваются способы их юстировки и контроля.

Учебное пособие предназначено для студентов, магистрантов, аспирантов и преподавателей высших учебных заведений приборостроительного профиля, а также инженерно-технических работников промышленности.

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.