CC BY
131
v.
Содик,ова Ш.М.,
Мирзо УлуFбек номидаги Узбекистон Миллий университети «Умумий физика» кафедраси катта илмий ходим-изланувчиси; Отажонов Ш.О.,
Мирзо УлуFбек номидаги Узбекистон Миллий университети «Фотониклар» кафедраси профессори, физика-математика фанлари доктори; Курбонов М.,
Мирзо УлуFбек номидаги Узбекистон Миллий университети «Умумий физика» кафедраси профессори, педагогика фанлари доктори
ЯРИМУТКАЗГИЧЛИ ЛАЗЕРЛАРНИНГ ИШЛАШ ТАМОЙИЛИ ВА УЛАРНИНГ КУЛЛАНИЛИШИ
СОДИЦОВА Ш.М., ОТАЖОНОВ Ш.О., ЦУРБОНОВ М. ЯРИМУТКАЗГИЧЛИ ЛАЗЕРЛАРНИНГ ИШЛАШ ТАМОЙИЛИ ВА УЛАРНИНГ ЦУЛЛАНИЛИШИ
Мак,олада аник, фанлар йуналишидаги физикани чукур урганадиган академик лицейларда яримутказгичли лазерлар, уларнинг хусусиятлари, физикавий асослари, шунингдек, яримутказгичли лазерлардан укув жараёнида фойдаланишга оид маълумотлар берилган.
Таянч суз ва тушунчалар: лазер, яримутказгич, ёруFлик диоди, n-тип яримутказгич, p-тип яримутказгич, донор, акцептор, валент сох,а, утказувчанлик сох,аси, так,ик,ланган сох,а, энергетик сатх,, р-п-утиш.
СОДИКОВА Ш.М., ОТАЖОНОВ Ш.О., КУРБАНОВ М. ПРИНЦИП РАБОТЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ЛАЗЕРОВ И ИХ ПРИМЕНЕНИЕ
В работе излагается методика преподавания в академических лицеях по специализации естественных наук с углублённым обучением физики раздела физики, посвящённого полупроводниковым лазерам, их свойствам, физическим основам, а также использованию полупроводниковых лазеров в учебном процессе.
Ключевые слова и понятия: лазер, полупроводник, светодиод, полупроводник n-тип, полупроводник р-тип, донор, акцептор, валентная зона, зона проводимости, запрещённая зона, энергетические уровни, р-п-переход.
SODIKOVA SH.M., OTAJONOV SH.O., KURBANOV M. PRINCIPLE OF SEMICONDUCTOR LASERS AND THEIR APPLICATIONS
The paper describes the method of presentation of semiconductor lasers and their applications, as well as the physical basis of semiconductor lasers, light properties of lasers, laser applications in the educational process of natural academic lyceums with profound learning of physics.
Keywords: laser, semiconductor, light-emitting diode, n-type semiconductor, p-type semiconductor, donor, acceptor, the valence band, conduction band, the forbid zone, the energy levels, p-n junction.
Кадрлар тайёрлаш Миллий дастурида белгиланган вази-фалардан келиб чициб, Узбекистон Республикасининг Бирин-чи Президенти Ислом Абдутаниевич Каримов ташаббуси би-лан республикамизда жацон андозаларига жавоб берувчи, за-монавий моддий-техник базага эга 1600 га яцин академик ли-цейлар ва касб-цунар коллежлари барпо этилди. Шундан, республикамиздаги мавжуд академик лицейларнинг аниц фанлар йуналиши буйича 143 дан 100 га яцини физикани чуцур урганадиган академик лицейларни ташкил этади.
Узлуксиз таълимнинг асосий максади жа-мият талаблари даражасидаги кадрлар тайёрлаш тизимининг бош субъекти ва объекти, таълим сох,асидаги хизматларнинг истеъмол-чиси ва уларни амалга оширувчиси булган шахсни шакллантиришдир1.
Шундай экан, х,ар йили минглаб укувчилар лицей ва касб-х,унар коллежларини битириб, халк хужалигиниинг турли тармокларида мус-такил фаолият бошлайдилар. Шубх,асиз, укув жараёнида юкори билим курсаткичларига эришгач, ижодий кобилият намоён килган ва билим олишни давом эттириш истагини бил-дирган ёшларнинг бир кисми олий таълим муассасаларига укишга кириб, талабалар са-фини тулдирадилар. Ёшларнинг колган кисми республикамизнинг саноат корхоналари, киш-лок хужалиги ва бошка сох,аларида мех,нат килиб, халк хужалиги тараккиётида бевосита иштирок этадилар. Бу борада физикада олган билим ва укувлар х,ар бир укувчининг танла-ган касби буйича етакчи мутахассис булишида катта урин эгаллайди.
Маълумки, жамият тараккиётининг суръат-лари, кулами ва йуналишини белгилаб берувчи табиий фанлар ичида физика энг етакчи уринни эгаллайди. Хозирги пайтда турли йуналишлар буйича физика фани улкан ютук-ларга эришиб, ишлаб чикаришнинг жуда куп тармокларида, ишлаб чикарувчи кучга ва де-мак, халкнинг моддий бойлиги ва фаровонли-гини оширувчи манбага айланди. Чунки физика фанининг тараккиёти бугунга келиб мик-рокомпьютерлар яратишга, радио ва телевидение х,амда ахборот технологияларининг янада ривожланишига олиб келди.
1 Баркамол авлод - Узбекистон тараккиётининг пойде-вори. - Т.: «Шарк», 1997. -41-42-б.
Физиканинг турли йуналишларини ишлаб чикаришга таъсирини х,ар томонлама ёритиш мумкин эмас. Лекин мамлакатимиз иктисо-диётининг тараккиётига, фан ва техниканинг усишига физиканинг баъзи сох,алари буйича олиб борилаётган илмий-тадкикот ишлари-нинг амалий х,иссаси х,акида баъзи маълумот-ларни келтирамиз.
Физикани чукур урганадиган академик ли-цейлар таълим йуналишидаги намунавий укув режада «Махсус фанлар» учун 238 соат ажра-тилган булиб, бу соатларни бажариш академик лицейларнинг ички имкониятларидан келиб чикиб амалга оширилган. Ушбу курса-тилган соатдан самарали фойдаланиш оркали фан ва техниканинг замонавий ютукларини укувчи-талабалар онгида тулик акс эттириш учун илк бор х,озирги замон физикасининг долзарб йуналишлари булган «Лазерлар ва уларнинг амалиётдаги урни», «Нуртолалар оптикаси» ва уларнинг алока х,амда тиббиётда кулланилиши, «Яримутказгичлар ва уларнинг кулланилиши» ва «Ута утказувчанлик физика-си ва унинг амалий ах,амияти» мавзусидаги махсус курсларнинг укув режалари х,амда ишчи укув дастурлари ишлаб чикилди х,амда Олий ва урта махсус таълим вазирлиги томо-нидан тасдикланишга тавсия этилди.
Бу махсус курслар умумий физика курси-нинг «Электр ва магнетизм», «Оптика», «Квант физикаси» булимларини утиш жараёнида 3-боскич талаба-укувчилари учун 5-6-се-местрларда жорий килиниши максадга муво-фикдир. Ушбу махсус курслар оркали фан ва техника ютукларини инобатга олган х,олда та-лабаларни касбга йуналтириш, тадкикотчилик
ЗАМОНАВИЙ ТАЪЛИМ / СОВРЕМЕННОЕ ОБРАЗОВАНИЕ 2016, 11
1-расм. Диэлектрик, яримутказгич ва металнинг энергетик сат^лари: EF - Ферми сат^и, Ев - валент со^а билан утказувчанлик со^аси орасидаги энергия.
ДИЭЛЕКТРИК
ЯРИМУТКАЗГИЧ
Утказувчан • лик соцаси Валент соцаси
МЕТАЛЛ
к,обилиятларини юзага келтириш ва ривож-лантириш мумкин1.
Мак,олада биз яримутказгичли лазерлар-нинг ишлаш тамойили ва уларнинг к,уллани-лишига тухталиб утамиз.
Лазер нурлари фан, техника ва оптоэлек-троникада кенг к,улланилмок,да. Нурларнинг куввати ва тулк,ин узунлигига боFлик равишда тиббий даволашдан то металларни кесишгача булган турли-туман жараёнларда кулланил-мокда. Айник,са яримутказгичли лазерларнинг жажжи булиши, кам кувват олиши, тез ишга тайёргарлиги уни лойих,алаш, тизимларни на-зорат килиш, ёритиш ва бошк,а мажмуаларни марказлаштиришда кулланилишига кенг йул очиб берди.
Каттик, жисмларда электронлар энергетик х,олатлар буйлаб так,симланган булиб, энергетик сох,аларни х,осил к,илади. Энергетик сох,а-ларни бир-биридан ажратган оралик, масофа мавжуд. Электронлар жойлашган сох,алар оралиFида энергетик сатх,лар булмайди. Элек-тронларга тулган ва энергия так,симотига кура
1 Курбонов М. Физикадан намойиш экспериментлари-нинг услубий функцияларини кенгайтиришнинг назарий асослари. Монография. - Т.: «Фан», 2008. -128-б.
энг юк,оридаги энергетик х,олатлар тупламига валент сох,а дейилади. Электронлар к,исман урин олган ёки бутунлай урин олмаган х,олат-ларга утказувчанлик сох,аси дейилади.
1-расмда диэлектриклар, металлар ва яримутказгичларнинг энергетик сох,алари диа-граммаси келтирилган. Валент сох,а билан утказувчанлик сох,аси оралитида так,ик,ланган, рухсат этилмаган сох,а жойлашган. Уша рухсат этилмаган сох,анинг кенглигига кура моддалар изоляторлар, утказгичлар ва яримутказгич-ларга булинади. Изоляторларда рухсат этилмаган сох,а жуда кенг булади. Металларда валент сох,а билан утказувчанлик сох,аси бир-бирига утиб, к,ушилиб кетган ва к,атъий чега-рага эга эмас. Рух,сат этилмаган сох,анинг уртасида Ферми сатх,и жойлашган. Агар рухсат этилмаган сох,анинг кенглиги кичик булса, электронлар иссик,лик х,аракати туфайли валент сох,адан утказувчанлик сох,асига (Ед = кТ) ошиб утиши мумкин. Бу хил моддалар яримутказгичлардир. Электронлар валент сох,асидан утказувчанлик сох,асига иссик,лик энергияси туфайли утса, валент сох,асида электрон урнига ковак х,осил булади. Ковак х,ам энергетик сатх,га ва зарядга (ишора жих,атдан заряд мусбат) эгадир. Электрон к,андай хусу-сиятга эга булса, ковак х,ам ушандай хусусият-га эгадир. Улар бир-биридан фак,ат ишораси жих,атдан фарк, килади, холос. Агар яримутказгичларнинг таркибига металларни диффузия йули билан киритсак, у х,олда легирланган яримутказгичлар х,осил булади. Бу хил ярим-утказгичларда электрон ва ковакларнинг сони узгаради. Агар яримутказгичнинг таркибига беш атомли металл атомлари киритилса, ма-салан, кремний таркибига фосфор киритилса, бундай легирланган яримутказгичга п-типли яримутказгич, яримутказгич кристали панжа-расига киритилган металл атоми эса донор деб аталади. Агар яримутказгич таркибига диффузия йули билан уч валентли индий киритилса, моддада Si кремнийда ковалент ботланишида учта электрон иштирок этиб, битта электронининг урни буш к,олади, уша буш колган жой ковак ва мусбат зарядли булади. Бундай яримутказгичларга р-типли яримутказгичлар дейилади. Диффузия йули билан яримутказгичнинг кристалл панжараси-га киритилган металл атоми акцептор деб аталади.
2-расм. Кучли легирланган р-п утишли яримутказгичларнинг энергетик со^алари ва квант нурланиш схемаси.
а) Электр майдони таъсири булмаганда сох,аларнинг силжиши кузатилмайди.
б) Электр майдони таъсирида со^аларнинг р-тип томонга силжиши.
в) Рекомбинация ва^тида ёпиладиган к,атламдан квант нурланиши.
И-ТИП р-тнп
ёпиладиган \
-----
тт7".77.Т77.7*777ЛУ\А/* ЛV Ее I 1 ооооооооооооо
£»........ .....:•:•:•:•:•:•:•:•:•:•:•:•:•:•:•:•:•:•:•
п-тгат р-тнп
Яримутказгичли кристаллардан тайёрлана-диган диодлар, транзисторлар худди шу усул-да ясалади. Бу жих,атдан Караганда энг оддий яримутказгич лазери р ва л-типли яримутказ-гичлардан ясалган диоддир.
Яримутказгичли лазерлар учун р-п утиш сохасида электрон ва тешиклар бир вак,тда иштирок этиши катта ахамиятга эга. Бу шарт кучли легирланган яримутказгич донор ва ак-цепторни хосил киладиган элементларни яримутказгичнинг кристалл панжарасига ки-ритиб, концентрациясини бир сантиметр куб хажмда 1017-1018 та атомга етказишда бажари-лади. Кучли легирланган яримутказгичларда Ферми сатхи EF утказувчанлик зонасининг ичида жойлашади. п-типдаги яримутказгичда донор сатхи электронга тулади ва к,исман утказувчанлик зонасига хам утади. р-типли ярим утазгичда эса акцептор сатхи тулмайди ва тиркиш валент зонасида пайдо булади.
Ферми сатхи эса валент зонасида жойлашади. Шу икки хил кучли легирланган яримутказ-гичлар туташтириб кушилса, энергетик сатхлар силжийди ва Ферми сатхи иккала тип учун бир хил кийматга эга булади.
2-расмда кучли легирланган р-п типли яримутказгичнинг энергетик схемаси келти-рилган. Агар электр манбанинг мусбат к,утбини р-типига ва манфийсини л-типига уласак, электронлар мусбат электродга, тешиклар эса манфий электродга к,араб йуналади. Ана шу икки хил зарядли заррачалар икки типли яримутказгичинг к,ушилган чегарасида, яъни р-п утиш чегарасида учрашади. Электронлар тешиклар билан учрашиб, рекомбинацияла-шади ва квант нурланишини х,осил к,илади. Квант нурланишининг энергияси Иу = Ед га тенг.
Электр майдони таъсирида энергетик сох,а-ларнинг силжиши кузатилади. Уша силжиш 2б-расмда схематик келтирилган. Силжиш к,иймати электр майдон потенциали билан ботланган: ДЕ = еУ, е - электрон заряди, V -электр майдон потенциали.
Яримутказгичнинг икки типи томонга бери-ладиган токнинг электр майдони таъсирида р-п утиш чегарасида «ёпиладиган к,атлам» Х.ОСИЛ булади. Бу ёпиладиган к,атламда инвер-сион кучганлик х,осил булади. Яримутказгичга электр манбаи уланганда ташк,и электр майдони таъсирида ёпиладиган к,атламда элек-тронларни л-типли яримутказгичнинг утказиш сох,асидан ва тешикларни эса р-типнинг валент сох,асидан тортиб чик,ариб туплайди. Шу пайтда ёпиладиган катламда электрон билан тешик учрашиб рекомбинациялашиш натижа-сида ёрутлик нурини чик,аради (2в-расмга каранг). Шуни айтиш лозимки, р-п утишли яримутказгич яхлит монокристаллдан тайёр-ланади ва р-п утиш шу монокристаллнинг ичида хосил килинади. Электр майдон таъсирида ёпиладиган катламда р-п утиш чегарасида заряд ташувчилар электрон ва тешиклар-нинг одатдагидан ортик,ча концентрациясини хосил килиш шу яримутказгич чегарасида ин-версион кучланганлик хосил килишнинг ай-нан узидир. Ёпиладиган катлам фаол катлам дейилади. Электр зарядни ташувчи электрон ва тешиклар биргаликда фаол марказларни
ЗАМОНАВИЙ ТАЪЛИМ / СОВРЕМЕННОЕ ОБРАЗОВАНИЕ 2016, 11
3-расм. а) Яримутказгич лазерининг тузилиши:
1 - электр токи бериладиган симнинг контакти;
2 - яримутказгич кристали; б) Дамлаш
(+)
юза (-)
К Утказувчанлик ) сохаси
'я 3 Л 3 « X Б V I | ■Тз '\д/> Л V
и 5Валент сохаси
хрсил к,илади. Яримутказгич лазерларнинг фаол моддалари: Ga^sl 1пАб, 1пБЬ, РЬБе1.
Бу фаол моддалар резонаторга жойланса, лазер нурларини чик,аради. Яримутказгич ла-зерида оптик резонатор вазифасини яримутказгичли кристаллнинг ён томонлари бажа-ради. Кристаллнинг к,арама-к,арши силлик,лан-ган томони кузгу вазифасини бажаради, чунки яримутказгичли кристалларнинг синдириш курсаткичи (п = 3,5) жуда катта кийматга эга, яримутказгич ва х,аво чегарасидан 30-35 фоиз ёруFлик кайтади.
Арсенид-галлий лазерининг тулк,ин узунли-ги А=0,84 мкм. 77°К температурада фойдали иш коэффициенти 70-80 фоизни ташкил к,и-лади. 3-расмда яримутказгич лазерини дамлаш, нурланиш энергетик сатх,лари ва лазер-нинг тузилиши схематик равишда келтирил-ган.
GaAs лазери генерациясининг куйи чегара-си 77°К температурада (2-3)х102 А/см2 ни ташкил этади. Импульсли режимда электр токи 0,5-1 микросекунд давомида инверс бандлик х,осил килади, унинг куввати 100 Вт га як,ин. Узлуксиз режимда эса куввати бир неча ват-тни ташкил этади. Аслида яримутказгич лазер-лари энг самарали лазер булиши билан бирга
1 Тарасов Л.В. Лазеры: действительность и надежды. -
М.: «Наука», 1985. -С. 75.
генерацияси кенг спектрал оралик,ни (А=0,3 мкм дан то 30 мкм) эгаллайди. Дамлаш токи-нинг GaAs лазери генерациясининг куйи чегарасидан анча юкори кийматида нурланиш спектри 3,5 см-1 кенгликка эга. Иккита буйлама моддаларнинг спектрал оралиFи куйидаги формула ёрдамида аник,ланади:
п - синдириш курсаткичи, А - тулк,ин узун-
лиги, ^ ^к^) ~ синдириш курсаткичининг
дисперцияси, L - резонатор кузгулари ораси-даги масофа (яримутказгич кристаллининг калинлиги). Ga(As1_хPx) лазери бошк,а яримутказгич лазерларига нисбатан анча кенг спектрал ораликда генерация (0,84 мкм дан то 0,64 мкм гача) х,осил к,илади. Тоза GaAs (х=0) да генерация А=0,84 мкм, агар модданинг тарки-би узгартирилса (х=0,4), генерация частотаси х,ам узгаради ва нурланиш спектрининг тулк,ин узунлиги 0,64 мкм ни ташкил этади. Ярим-утказгичнинг температурасини узгартириш йули билан х,ам, ташки босим остида (механик куч таъсирида) х,ам генерация частотасини узгартириш имконияти мавжуддир. Шундай килиб, яримутказгичларнинг таркиби, температурасини узгартириб ва босим таъсирида генерация частотасини (тулк,ин узунлигини) узлуксиз узгартириш мумкин. Шу сабабли яримутказгич лазери оптоэлектроникада, лазер принтерида ва спектроскопияда кенг куламда к,улланилмок,да2.
Яримутказгичли лазерларни цуллаган х,олда бажариладиган лаборатория ишлари.
Физикани чукур урганадиган академик ли-цейларга махсус курсларнинг жорий кили-ниши муносабати билан х,ар бир махсус курс-нинг узига тегишли лаборатория машFулотлари мавжуд. Жумладан, «Лазерлар ва уларнинг амалиётдаги урни» махсус курсига оид лаборатория ишлари намуна сифатида келтирил-ган3.
2 Елисеев П.Г. Введение в физику инжекционных лазеров. - М.: «Наука»,1983. -С. 6-25.
3 Мансуров А.Н. Лазеры и их применение в преподавании физики. - М.: «Просвещение»,1984. -С. 59-82.
ЗАМОНАВИЙ ТАЪЛИМ / СОВРЕМЕННОЕ ОБРАЗОВАНИЕ 2016, 11
I лаборатория иши. Яримутказгичли лазер нурланиши цувватининг электр таъминот
кучланишига боглицлигини урганиш
1. Яримутказгичли лазер нурланиши фото-кабулкилгичга тушадиган килиб жойлаштири-лади.
2. Фотокабулкилгич симлари электр токини улчовчи асбобга уланади.
3. Яримутказгичли лазер электр таъминот манбаига уланади.
4. Яримутказгичли лазер нурланиш кувва-тининг (^ (иТ)) электр таъминот манбаининг кучланишига боFликлиги олинади. Бу ерда I -микроамперметр билан улчанган фототок, у яримутказгичли лазер нурланиши кувватига мутаносиб катталик.
5. Олинган натижаларни жадвал курини-шида ёзиб, улар асосида 1=^иТ) боFланиш графиги чизилади.
II лаборатория иши. Бир улчамли дифрак-цион панжара ёрдамда яримутказгичли
лазер нурланишининг тулцин узунлигини аницлаш
1. Дифракцион панжара ва экран лазер нури буйлаб жойлаштирилади.
2. Экрандаги дифракцион манзарадаги асо-сий ва ёрдамчи максимумларининг холати аникланади. Максимумлар орасидаги XI масо-фа ва дифракцион панжарадан асосий макси-мумгача булган Z масофани билган холда, ушбу
шк = агс1д (Хк /Z) формула асосида дифракция бурчаги аник-ланади.
3. Нурланиш тулкин узунлигини 2-банддаги натижалар асосида куйидаги формула асосида аникланади:
1=^ • sinф)/k,
бу ерда к - дифракция тартиби, d - дифракцион панжара доимийси.
III лаборатория иши. Яримутказгичли лазер нурлашининг цутбланиш даражасини улчаш
1. Кутблантиргич ва фотокабулкилгич лазер нури буйлаб жойлаштирилади.
2. Кутблантиргичнинг штрихларидан бири туткичдаги белги билан мослаштирилади.
3. Фотокабулкилгичнинг симлари электр токини улчаш асбобига уланади.
4. Яримутказгичли лазер электр ток манбаига уланиб, таъминот манбаи кучланиши 4 В га куйилади.
5. Кутблантиргичнинг холатини айланиш уки атрофида узгартириб, I = ^9) боFланиш олинади. Бу ерда I - фотокабулкилгичда хосил булган ток, 9 - кутблантиргичнинг бурилиш бурчаги.
6. Олинган натижаларни жадвал курини-шида ёзиб, I = f (9) боFланиш графиги чизила-ди. Натижани Малюс конуни асосида хисоб-лаб, назарий график билан солиштирилади.
7. Куйидаги
Р = (I - I )/а + I )
4 мак мин" 4 мак мин'
формула асосида кутбланиш даражаси Р аникланади. Бу ерда !мак ва !мин мос равишда кутб-лантиргични лазер нури атрофида 360° га бу-ришдаги I фотокабулкилгичда хосил булган электр токининг максимал ва минимал кий-матларидир.
Назорат учун саволлар:
1. «Лазер» сузининг маъносини тушунти-ринг.
2. Яримутказгич моддаларда инверс банд-лик хосил килишнинг кандай усуллари бор?
3. Яримутказгич диодда кандай усул билан инверс бандлик хосил килинади?
4. Яримутказгичли лазернинг тузилиши кандай ва унда когерент нурланиш олиш ме-ханизмини тушунтиринг.
5. Яримутказгич лазер нурланишининг па-раметрлари нималарга боFлик?
Юкоридаги фикр ва мулохазаларга асосан физикани чукур урганадиган академик лицей-ларга махсус курсларни жорий этиш маъруза, семинар, амалий ва лаборатория тарзида машFулотлар олиб бориш талабаларни муай-ян даражада таълимнинг олий таълим муасса-сасига хос усуллари билан таништиради, шу-нингдек, укитишнинг замонавий педагогик ва ахборот технологияларидан фойдаланиб, юкори самарадорликка эришишни уз ичига олади. Шунинг билан бирга академик лицей-лар ва олий укув юртлари орасида узвийли-
ЗАМОНАВИЙ ТАЪЛИМ / СОВРЕМЕННОЕ ОБРАЗОВАНИЕ 2016, 11
лик ва узлуксизлигини таъминлайди х,амда фан сох,асида кенг билим олиш имкониятига эга булиб, келгусида талабаларнинг универси-тетларда физика-математика ихтисослиги бу-йича таълим олишига замин яратилади. Юк,о-рида санаб утилган хусусиятлар таълимнинг ушбу тури ва боск,ичида олий таълимга хос
укитиш тарзини жорий этиб бориш имконини беради.
Шунингдек, ушбу махсус курсларни академик лицей ва касб-х,унар коллежлари, жумла-дан, тиббиёт коллежлари, техник йуналишдаги барча касб-х,унар коллежларида жорий к,илиш мак,садга мувофикдир.
Адабиётлар:
1. Баркамол авлод - Узбекистон тарак,к,иётининг пойдевори. - Т.: «Шарк,», 1997.
2. Курбонов М. Физикадан намойиш экспериментларининг услубий функцияларини кенгайтиришнинг назарий асослари. Монография. - Т.: «Фан», 2008. -128-б.
3. Тарасов Л.В. Лазеры: действительность и надежды. - М.: «Наука», 1985. -С. 75.
4. Елисеев П.Г. Введение в физику инжекционных лазеров. - М: «Наука», 1983. -С. 296.
5. Мансуров А.Н. Лазеры и их применение в преподавании физики. - М.: «Просвещение», 1984. -С. 59-82.
