CC BY
25
УДК 539.61
Б01 10.21685/2072-3040-2019-2-9
К. Н. Нищев, М. И. Новопольцев, В. И. Беглов, А. В. Гришанин,
А. Ф. Сигачев, Е. Н. Лютова, Ю. В. Чернобровкин, Д. С. Горбунов
ВЛИЯНИЕ ТЕРМООБРАБОТКИ НА АДГЕЗИОННУЮ ПРОЧНОСТЬ МЕТАЛЛИЧЕСКОГО ПОКРЫТИЯ НА ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛОМАТРИЧНОГО КОМПОЗИТА А181С1
Аннотация.
Актуальность и цели. Важным элементом конструкции силовых полупроводниковых приборов (СПП) является термокомпенсатор. В современных технологиях для изготовления термокомпенсатора используется металломат-ричный композиционный материал на основе микропорошка карбида кремния и алюминиевого матричного сплава (ММКМ А18Ю), на поверхность которого наносится многослойное металлическое покрытие. Надежность СПП в значительной степени определяется адгезионной прочностью данного покрытия. Целью работы является исследование влияния термообработки на адгезионную прочность многослойного металлического покрытия A1-Ti-Ni-Ag, нанесенного на поверхность ММКМ А18Ю.
Материалы и методы. Исследуемые образцы ММКМ А18Ю изготавливались методом вакуумно-компрессионной пропитки. В качестве матрицы композита использовался алюминиевый сплав АК9, в качестве наполнителя -микропорошок карбида кремния с гранулометрическим составом Р100+10 % М10П. Металлическое покрытие со структурой слоев A1-Ti-Ni-Ag наносилось на поверхность исследуемых образцов ММКМ A1SiC методом магнетронного распыления. Адгезионная прочность соединения покрытия с поверхностью композита определялась методом отслаивания.
Результаты. Измерена адгезионная прочность металлического покрытия в зависимости от продолжительности и температуры изотермического отжига в вакууме и атмосфере водорода.
Выводы. Термообработка исследуемых образцов в вакууме или в атмосфере водорода продолжительностью более 30 мин при температуре 450 °С приводит к возрастанию адгезионной прочности металлического покрытия примерно в 3 раза.
Ключевые слова: силовые полупроводниковые приборы, металломатрич-ный композиционный материал A1SiC, многослойные металлические покрытия, термокомпенсатор, адгезия.
К. N. Nishchev, М. I. №оуоро1Ч$еу, V. I. Beglov, А. V. О^Иапт, А. Е. Sigachev, Е. N. Ьуп^а, Уп. V. ChernoЪrovkin, Б. 8 Оorbunov
1 Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ в рамках проекта №18-43-130010\18 р_а.
© Нищев К. Н., Новопольцев М. И., Беглов В. И., Гришанин А. В., Сигачев А. Ф., Лютова Е. Н., Чернобровкин Ю. В., Горбунов Д. С., 2019. Данная статья доступна по условиям всемирной лицензии Creative Commons Attribution 4.0 International License (http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/), которая дает разрешение на неограниченное использование, копирование на любые носители при условии указания авторства, источника и ссылки на лицензию Creative Commons, а также изменений, если таковые имеют место.
THE EFFECT OF HEAT TREATMENT ON ADHESIVE STRENGTH OF METAL COATING ON THE SURFACE OF AlSiC METAL-MATRIX COMPOSITE
Abstract.
Background. An important element in the design of power semiconductor devices (PSD) is a thermal compensator (TC). In modern technologies for the manufacture of TC, a metal matrix composite material based on silicon carbide micropowder and an aluminum matrix alloy (MMCM AlSiC) is used, on the surface of which a multilayer metallic coating is applied. The reliability of PSD is largely determined by the adhesion strength of this coating.
The aim of the work is to study the effect of heat treatment on the adhesion strength of a multilayer metallic coating deposited on the surface of MMKM AlSiC.
Materials and methods. The studied samples of MMKM AlSiC were manufactured by the method of vacuum-compression impregnation. Aluminum alloy AK9 was used as the matrix of the composite, and silicon carbide micropowder with particle size distribution F100+10%M10P was used as the filler. A metal coating with the structure of Al-Ti-Ni-Ag layers was deposited on the surface of the MMKM AlSiC samples under investigation by the method of magnetron sputtering. The adhesive strength of the coating compound with the surface of the composite was determined by the peeling method.
Results. The adhesion strength of a metallic coating was measured as a function of the duration and temperature of isothermal annealing in vacuum and hydrogen atmosphere.
Conclusions. Heat treatment of the studied samples in vacuum or in the atmosphere of hydrogen for more than 30 minutes at a temperature of 450° C leads to an increase in the adhesion strength of the metal coating about 3 times.
Keywords: power semiconductor devices, AlSiC metal-matrix composite material, multilayer metal coatings, thermal compensator, adhesion.
Введение
Важным элементом конструкции силовых полупроводниковых приборов (СПИ) являются термокомпенсаторы (ТК), которые служат для защиты полупроводникового кристалла (ПК) от механических воздействий. Полупроводниковые кристаллы обычно представляют собой тонкие (0,15-2,0 мм) хрупкие кремниевые пластины большого диаметра (до 150 мм). Механические напряжения, возникающие в кремнии при монтаже или циклических нагрузках во время эксплуатации, могут привести к разрушению кристалла и выходу прибора из строя. Надежность и основные параметры СПП в значительной степени определяются качеством соединения ТК с ПК.
Материал для изготовления ТК должен обладать определенной совокупностью физических свойств. Прежде всего, его коэффициент термического расширения (КТР) должен быть близким к КТР кремния. Он должен обладать высокой теплопроводностью и низким удельным электрическим сопротивлением, иметь высокую температуру плавления и обладать большой механической прочностью. Этим требованиям удовлетворяет молибден, широко используемый в конструкциях СПП. Однако молибден относится к редким и дорогостоящим металлам, поэтому актуален поиск материала, который может заменить молибден в производстве СПП. Перспективным материалом для из-
готовления ТК является металломатричный композиционный материал (ММКМ) AlSiC, состоящий из частиц микропорошка карбида кремния определенного гранулометрического состава (наполнителя), помещенных в матрицу из алюминиевого сплава [1-3]. ММКМ AlSiC уже широко применяется для изготовления теплопроводящих оснований мощных IGBT-модулей [4, 5].
Ранее в исследованиях [6-10] установлено, что эффективным способом соединения термокомпенсатора из ММКМ AlSiC с полупроводниковым кристаллом является низкотемпературное спекание (синтеринг) структуры с использованием в качестве соединительного слоя специальной серебросодер-жащей пасты. С целью повышения прочности соединения на поверхность композитного термокомпенсатора дополнительно наносится тонкое многослойное металлическое (Al-Ti-Ni-Ag) покрытие. Требуемая высокая механическая прочность соединения ТК с ПК существенно зависит от адгезионной способности поверхности композитного ТК по отношению к наносимому металлическому покрытию.
Исследованию адгезионных свойств поверхности различных материалов посвящен ряд монографий (например, [11-14]). Однако общая теория адгезии к настоящему времени не разработана, поскольку происхождение адгезионных сил обусловлено многими физико-химическими факторами, а адгезионная прочность соединений зависит не только от свойств соединяемых материалов, но и от технологических параметров процесса их соединения.
В настоящее время известен ряд теорий адгезионного взаимодействия на границе подложки (субстрата) и покрытия (адгезива) [15-17]. Согласно адсорбционной теории [18, 19] связь субстрата и адгезива обусловлена адсорбцией молекул покрытия к поверхности подложки. Адсорбционное взаимодействие характерно при формировании слоев жидкости на поверхности твердого тела. В диффузионной теории [20, 21] адгезия определяется природой и числом связей, возникающих в области контакта субстрата и адгезива. Микрореологическая теория [22-25] связывает адгезию с наличием шероховатости трещин и пор подложки, которые заполняются при формировании покрытия. Увеличение площади контакта приводит к увеличению количества связей между покрытием и подложкой и, соответственно, к росту молекулярных сил и прочности химической связи между контактирующими поверхностями.
Адгезионные свойства поверхности металломатричных композиционных материалов практически не исследовались. В абсолютном большинстве публикаций, посвященных исследованию адгезионных свойств поверхностей подложек, изучается адгезионная способность подложек с гомогенной (по составу и морфологии) поверхностью. Поверхность же ММКМ AlSiC является гетерогенной, она включает области (материал-матрица и материал-наполнитель), адгезионные свойства которых существенно различаются. Данное обстоятельство значительно осложняет задачу нанесения на поверхность металломатричного композита металлического покрытия с высокой адгезионной прочностью.
Адгезионная прочность соединения «субстрат-адгезив» может возрастать в результате протекания процессов диффузии при термообработке соединения [26]. В связи с этим в данной работе исследовалось влияние температуры и длительности термообработки в вакууме и атмосфере водорода на
адгезионную прочность многослойного металлического покрытия на поверхности ММКМ AlSiC.
1. Образцы и методика эксперимента
Исследуемые образцы ММКМ AlSiC изготавливались методом вакуум-но-компрессионной пропитки [27]. В качестве матрицы композита использовался алюминиевый сплав АК9, в качестве наполнителя - микропорошок карбида кремния зернистостью F100+10 % М10П.
Поверхность образцов ММКМ AlSiC шлифовалась на плоскошлифовальном станке диском с алмазным покрытием. На обработанную в ультразвуковой ванне поверхность композита методом магнетронного распыления наносилось тонкое металлическое покрытие, представляющее собой последовательность слоев Al-Ti-Ni-Ag.
Исследуемые образцы ММКМ AlSiC размером 65 * 45 * 3 мм с нанесенным на их поверхность многослойным металлическим покрытием Al-Ti-Ni-Ag подвергались изотермическому отжигу при температуре 350 и 450 °С в течение 0, 15, 30 и 60 мин в вакууме (~ 10-2 Па) или в атмосфере водорода.
Адгезионная прочность соединения металлического покрытия с поверхностью ММКМ AlSiC исследовалась методом отслаивания [28-30] на испытательной машине SHIMADZU AG 100 KNX с применением дополнительной оснастки. Адгезионная прочность соединения (f = F/l, где F - измеренное усилие отслаивания, l - ширина пленки) определялась из диаграммы отслаивания - зависимости усилия отслаивания от перемещения границы области разрыва соединения.
Для измерения адгезионной прочности соединения металлических покрытий с поверхностью композита использовались специальные тестовые полосы. Они вырезались из посеребренной медной фольги шириной 11 мм и толщиной 0,1 мм и подвергались отжигу в течение 30 мин в атмосфере водорода при температуре 450 °С. Соединение тестовой полосы с поверхностью металлического покрытия исследуемых образцов обеспечивалось путем пайки с использованием припойной пасты 7020 Оникс.
С целью проверки прочностных характеристик паяного соединения были проведены предварительные измерения прочности соединения тестовой полосы с поверхностью медной пластины. На рис. 1,а приведен внешний вид поверхности медной пластины (2 и 3) и соответствующих тестовых полос (1 и 4) после отслаивания. Анализ элементного состава поверхностей разрыва, выполненный с использованием растрового электронного микроскопа Quanta 200i 3D FEI, подтвердил когезионный характер разрушения припоя в соединениях тестовой полосы с поверхностью меди.
На рис. 2 приведена измеренная диаграмма отслаивания тестовой полосы от поверхности медной пластины. Среднее значение адгезионной прочности составило 4,9 ± 0,1 Н/мм.
2. Результаты и их обсуждение
На рис. 1,б приведен внешний вид поверхностей образца ММКМ AlSiC и тестовых полос после отслаивания металлического покрытия. Отслаивание покрытия от поверхности ММКМ AlSiC носило адгезионный характер, что
подтверждено результатами микроанализа элементного состава поверхностей разрыва, выполненного с использованием растрового электронного микроскопа Quanta 200i 3D FEI.
Рис. 1. Внешний вид образцов (2, 3) и тестовых полос (1, 4) после испытаний: а - когезионное разрушение паяного соединения тестовой полосы с поверхностью меди; б - адгезионный отрыв металлического покрытия от поверхности ММКМ АШЮ
о;
CÜ
х
X
о
S
го Q)
I—
<5
х 4
-О
&
о
X
о 2
О. С
v^ v
О 10 20 30 40 Положение линии отрыва, мм
Рис. 2. Адгезионная прочность паяного соединения. Припойная паста 7020 Оникс, когезионное разрушение
4
3
2
1
4
3
2
1
На рис. 3 и 4 приведены диаграммы отслаивания металлического покрытия от поверхности ММКМ А18Ю при различных температурах и длительностях термообработки в вакууме и атмосфере водорода.
к 5 /1
го 4
I -1° ё ¡1 ^ CL
-1-Г"
1-1-Г"
Чд/sAv,
-J_I_L_
к а
го i 4 т -t
1 £
о о
Q.
со Ш
4 3
О 10 20 30 40 50 Положение линии отрыва, мм а)
0 10 20 30 40 50 Положение линии отрыва, мм б)
Рис. 3. Адгезионная прочность металлического покрытия поверхности ММКМ АМС после термообработки в атмосфере водорода при температуре 450 °С (а) и 350 °С (б). Длительность термообработки: 1 - 0 мин; 2 - 15 мин; 3 - 30 мин; 4 - 60 мин
На рис. 5 приведены графики зависимости адгезионной прочности металлического покрытия на ММКМ A1SiC от продолжительности изотермического отжига в вакууме и атмосфере водорода при различных температурах.
В результате измерений установлено, что термообработка образцов при температуре 450 °С длительностью не менее 30 мин или при температуре 350 °С длительностью не менее 60 мин приводит к возрастанию адгезионной прочности покрытия почти в 3 раза. Из результатов измерений следует также, что атмосфера, в которой проводилась термообработка исследуемых образцов, не влияет на адгезионную прочность соединения покрытия с композитом.
При изготовлении силовых полупроводниковых приборов соединение полупроводникового кристалла с металлизированной поверхностью композитного термокомпенсатора осуществляется методом синтеринга с использованием серебросодержащей пасты.
_i_._1_
О 10 20 30 40 50 Положение линии отрыва, мм
а)
гс ^ 4
s ё ¡1 И2
^ о.
2
о
50
10 20 30 40 Положение линии отрыва, мм
б)
Рис. 4. Адгезионная прочность металлического покрытия поверхности ММКМ А1Б1С после термообработки в вакууме при температуре 450 °С (а) и 350 °С (б). Длительность термообработки: 1 - 0 мин; 2 - 15 мин; 3 - 30 мин; 4 - 60 мин
о;
05 X X
о
S
со ф
I—
£
-О
ь
о
X
т
о
Q-
о
о
У
J/?
—•— 450°С, атмосфера Н2 —•— 450°С, вакуум —□— 350°С, атмосфера Н2 —□— 350°С, вакуум
20 40 60
Длительность отжига, мин
Рис. 5. Зависимость адгезионной прочности металлического покрытия от продолжительности изотермического отжига в вакууме и атмосфере водорода при температуре 450 и 350 °С
Надежность данного соединения повышается, если внешняя поверхность многослойного металлического покрытия не содержит окислов. Следовательно, при изготовлении СПП по данной технологии термообработку композитных термокомпенсаторов с нанесенным на их поверхность металлическим покрытием целесообразно проводить в восстанавливающей атмосфере водорода. При этом повышается адгезионная прочность соединения многослойного металлического покрытия с композитом и одновременно удаляется окисная пленка с внешней поверхности покрытия.
Заключение
Экспериментально установлено, что термообработка образцов ММКМ AlSiC с нанесенным на поверхность многослойным металлическим покрытием со структурой Al-Ti-Ni-Ag может приводить к существенному возрастанию адгезионной прочности соединения покрытия с композитом. Определены оптимальные значения длительности термообработки: 30 мин - при температуре 450 °С, 60 мин - при температуре 350 °С.
Рекомендовано при применении технологии низкотемпературного син-теринга в производстве силовых полупроводниковых приборов термообработку термокомпенсаторов, изготавливаемых из ММКМ AlSiC с последующим напылением покрытия Al-Ti-Ni-Ag, проводить в восстанавливающей атмосфере водорода.
Библиографический список
1. MMC AlSiC as alternative for molybdenum in power press-pack semiconductor design. Investigations of electric conductivity properties of AlSiC / A. Grishanin, K. Nishchev, V. Martynenko, V. Eliseev, M. Novopoltsev, A. Samoylov // PCIM Europe - 2017 (16-18 May 2017). - Nuremberg, Germany, 2017. - P. 1416-1419.
2. Occhionero, M. A. Cost-effective manufacturing of aluminium silicon carbide (AlSiC) electronic packages / M. A. Occhionero, R. A. Hay, R. W. Adams, K. P. Fen-nessy // Proceedings International Symposium on Advanced Packaging Materials. Processes, Properties and Interfaces (IEEE Cat. No.99TH8405) (14-17 March 1999). -1999. - P. 118-124.
3. The use of metal-matrix Al-SiC composites in heat-spreading bases of power electronic devices / K. N. Nishchev, V. V. Eliseev, L. A. Emikh, M. I. Novopoltsev, N. E. Fomin, V. A. Yudin, A. N. Afanas'ev-Khodykin // Polymer Science. Series D. - 2012. - Vol. 5, iss. 3. - P. 195-198.
4. Occhionero, M. A. AlSiC Baseplates for Power IGBT Modules: Design, Performance and Reliability / M. A. Occhionero, K. P. Fennessy, R. W. Adams, G. J. Sundberg // Ceramics Process Systems. - 2003. - 6 p.
5. Повышение надежности IGBT модулей с применением металлического композиционного материала AlSiC / Е. Н. Каблов, Б. В. Щетанов, А. А. Шавнев, А. Н. Няфкин, В. В. Чибиркин, В. В. Елисеев, В. А. Мартыненко, В. Г. Мускати-ньев, Л. А. Эмих, С. М. Вдовин, К. Н. Нищев // Авиационные материалы и технологии. - 2010. - № 4 (17). - С. 3-6.
6. Patentschrift DE 3414065 C2. Deutsches Patentamt / Fellenger J., Baumgartner W. -1989.
7. Europäische Patentschrift EP 0 242 626 B1. Europäisches Patentamt / Schwarzbauer H. -1991.
8. Schwarzbauer, H. Novel Large Area Joining Technique for Improved Power Device Performance / H. Schwarzbauer, R. Kuhnert // IEEE Trans. Ind. Appl. - 1991. -Vol. 27, № 1. - P. 93.
9. Scheuermann, U. Low Temperature Joining Technology - a High Reliability Alternative to Solder Contacts / U. Scheuermann, P. Wiedl // Workshop on Metal Ceramic Composites for Functional Applications. - Wien, 1997. - P. 181-192.
10. Исследование процесса низкотемпературного спекания серебросодержащих паст методом растровой электронной микроскопии / К. Н. Нищев, М. И. Новопольцев, К. В. Саврасов, В. П. Мишкин, В. В. Елисеев, В. А. Мартыненко, А. В. Гришанин // Прикладная физика. - 2015. - № 3. - С. 10-14.
11. Зимон, А. Д. Адгезия пленок и покрытий / А. Д. Зимон. - Москва : Химия, 1977. - 352 с.
12. Кинлок, Э. Адгезия и адгезивы: Наука и технология / Э. Кинлок ; пер. с англ.
A. Б. Зильбермана ; под ред. Л. М. Притыкина. - Москва : Мир, 1991. - 484 с.
13. Дерягин, Б. В. Адгезия твердых тел / Б. В. Дерягин, Н. А. Кротова,
B. П. Смилга. - Москва : Наука, 1973. - 279 с.
14. Углов, А. А. Адгезионная способность пленок / А. А. Углов, Л. М. Анищенко,
C. Е. Кузнецов. - Москва : Радио и связь, 1987. - 104 с.
15. Партенский, М. Б. Самосогласованная электронная теория металлической поверхности / М. Б. Партенский // Успехи физических наук. - 1979. - Т. 128, № 5. -С. 69-100.
16. Вакилов, А. Н. Адгезия металлов и полупроводников в рамках диэлектрического формализма / А. Н. Вакилов, М. В. Мамонова, В. В. Прудников // Физика твердого тела. - 1997. - Т. 39, № 6. - С. 964-967.
17. Губанов, А. И. Теория адгезии двух любых металлов / А. И. Губанов // Физика металлов и металловедение. - 1977. - Т. 43, № 1. - С. 15-21.
18. Щербина, А. А. Переходные зоны в полимерных адгезионных соединениях. Фазовые равновесия, диффузия, адгезия : автореф. дис. ... д-ра хим. наук / Щербина А. А. - Москва, 2016. - С. 48.
19. Берлин, А. А. Основы адгезии полимеров / А. А. Берлин, В. Е. Басин. -Москва : Химия, 1974. - 391 с.
20. Щербина, А. А. Влияние процессов взаимодиффузии на формирование и разрушение адгезионных соединений / А. А. Щербина, А. Д. Горбунов, М. В. Вокаль // Структура и динамика молекулярных систем : сб. ст. - Вып. XI, ч. 2. - Казань : КГУ, 2004. - С. 248-255.
21. Воюцкий, С. С. Аутогезия и адгезия высокополимеров / С. С. Воюцкий -Москва : Ростехиздат, 1960. - 244 с.
22. Тополянский, П. А. Исследование адгезионных свойств и механизма образования покрытия, наносимого методом финишного плазменного упрочнения. Ч. 2 / П. А. Тополянский // Технологии ремонта, восстановления и упрочнения деталей машин, механизмов, оборудования, инструмента и технологической оснастки : материалы VII Междунар. практ. конф.-выставки (г. Санкт-Петербург 12-15 апреля 2005 г.). - Санкт-Петербург : Изд-во СПбГПУ, 2005. - С. 316-333.
23. Шауцуков, А. Г. Современное представление о возможных механизмах адгезии металлических пленок к различным подложкам / А. Г. Шауцуков // Прикладная физика. - 2006. - № 5. - C. 16-21.
24. Makhovskaya, Yu. Yu. The combined effect of capillarity and elasticity in contact interaction / Yu.Yu. Makhovskaya, I. G. Goryacheva // Tribology Intern. - 1999. -№ 32. - P. 507-515.
25. Горячева, И. Г. Адгезионное взаимодействие упругих тел / И. Г. Горячева, Ю. Ю. Маховская // Прикладная математика и механика. - 2001. -Т. 65, № 2. - С. 279-289.
26. Тонкие пленки: Взаимная диффузия и реакции / под ред. Дж. Поут, К. Ту, Дж. Мейер. - Москва : Мир, 1982. - 576 с.
27. Пат. 110310 Российская Федерация. Устройство для получения изделия из метал-ломатричного композиционного материала / Каблов Е. Н., Чибиркин В. В., Вдо-вин С. М., Гращенков Д. В., Щетанов Б. В., Прокофьев С. А., Мускатиньев В. Г., Нищев К. Н. - 31.05.2011.
28. ГОСТ 28574-90 (СТ СЭВ 6319-88). Защита от коррозии в строительстве. Конструкции бетонные и железобетонные. Методы испытаний адгезии защитных покрытий. - Москва, 1990.
29. ГОСТ 15140-78. Материалы лакокрасочные. Метод определения адгезии. -Москва, 1978.
30. ГОСТ 32299-2013. Материалы лакокрасочные. Определение адгезии методом отрыва. - Москва, 2013.
References
1. Grishanin A., Nishchev K., Martynenko V., Eliseev V., Novopoltsev M., Samoylov A. PCIMEurope - 2017 (16-18May 2017). Nuremberg, Germany, 2017, pp. 1416-1419.
2. Occhionero M. A., Hay R. A., Adams R. W., Fennessy K. P. Proceedings International Symposium on Advanced Packaging Materials. Processes, Properties and Interfaces (IEEE Cat. No.99TH8405) (14-17March 1999). 1999, pp. 118-124.
3. Nishchev K. N., Eliseev V. V., Emikh L. A., Novopoltsev M. I., Fomin N. E., Yudin V. A., Afanas'ev-Khodykin A. N. Polymer Science. Series D. 2012, vol. 5, iss. 3, pp. 195-198.
4. Occhionero M. A., Fennessy K. P., Adams R. W., Sundberg G. J. Ceramics Process Systems. 2003, 6 p.
5. Kablov E. N., Shchetanov B. V., Shavnev A. A., Nyafkin A. N., Chibirkin V. V., Eliseev V. V., Martynenko V. A., Muskatin'ev V. G., Emikh L. A., Vdovin S. M., Nishchev K. N. Aviatsionnye materialy i tekhnologii [Aircraft materials and technologies]. 2010, no. 4 (17), pp. 3-6. [In Russian]
6. Patentschrift DE 3414065 C2. Deutsches Patentamt [German patent DE 3414065 C2]. Fellenger J., Baumgartner W. 1989.
7. Europäische Patentschrift EP 0 242 626 B1. Europäisches Patentamt [European patent EP 0 242 626 B1]. Schwarzbauer H. 1991.
8. Schwarzbauer H., Kuhnert R. IEEE Trans. Ind. Appl. 1991, vol. 27, no. 1, p. 93.
9. Scheuermann U., Wiedl P. Workshop on Metal Ceramic Composites for Functional Applications. Wien, 1997, pp. 181-192.
10. Nishchev K. N., Novopol'tsev M. I., Savrasov K. V., Mishkin V. P., Eliseev V. V., Martynenko V. A., Grishanin A. V. Prikladnaya fizika [Applied physics]. 2015, no. 3, pp. 10-14. [In Russian]
11. Zimon A. D. Adgeziyaplenok i pokrytiy [Film and coating adhesion]. Moscow: Khimi-ya, 1977, 352 p. [In Russian]
12. Kinlok E. Adgeziya i adgezivy: Nauka i tekhnologiya [Adhesion and adhesives: Science and technology]. Transl. from Engl. A. B. Zil'berman. Moscow: Mir, 1991, 484 p. [In Russian]
13. Deryagin B. V., Krotova N. A., Smilga V. P. Adgeziya tverdykh tel [Solid state adhesion]. Moscow: Nauka, 1973, 279 p. [In Russian]
14. Uglov A. A., Anishchenko L. M., Kuznetsov S. E. Adgezionnaya sposobnost' plenok [Adhesive capacity of films]. Moscow: Radio i svyaz', 1987, 104 p. [In Russian]
15. Partenskiy M. B. Uspekhi fizicheskikh nauk [Progress of physical science]. 1979, vol. 128, no. 5, pp. 69-100. [In Russian]
16. Vakilov A. N., Mamonova M. V., Prudnikov V. V. Fizika tverdogo tela [Solid state physics]. 1997, vol. 39, no. 6, pp. 964-967. [In Russian]
17. Gubanov A. I. Fizika metallov i metallovedenie [Physics of metals and physical metallurgy]. 1977, vol. 43, iss. 1, pp. 15-21. [In Russian]
18. Shcherbina A. A. Perekhodnye zony v polimernykh adgezionnykh soedineniyakh. Fazovye ravnovesiya, diffuziya, adgeziya: avtoref. dis. d-ra khim. nauk [Transition zones in polymeric adhesive compounds. Phase balance, diffusion, adhesion: author's abstract of dissertation to apply for the degree of the doctor of chemical sciences]. Moscow, 2016, p. 48. [In Russian]
19. Berlin A. A., Basin V. E. Osnovy adgezii polimerov [Basic adhesion of polymers]. Moscow: Khimiya, 1974, 391 p. [In Russian]
20. Shcherbina A. A., Gorbunov A. D., Vokal' M. V. Struktura i dinamika molekulyarnykh sistem: sb. st. [Structure and dynamics of molecular systems: collected articles]. Kazan: KGU, 2004, vol. 2, iss. XI, pp. 248-255. [In Russian]
21. Voyutskiy S. S. Autogeziya i adgeziya vysokopolimerov [Autohesion and adhesion of eupolymers]. Moscow: Rostekhizdat, 1960, 244 p. [In Russian]
22. Topolyanskiy P. A. Tekhnologii remonta, vosstanovleniya i uprochneniya detaley mashin, mekhanizmov, oborudovaniya, instrumenta i tekhnologicheskoy osnastki: mate-rialy VIIMezhdunar. prakt. konf.-vystavki (g. Sankt-Peterburg 12-15 aprelya 2005 g.) [Repair, restoration and strengthening technologies for parts of machinery, mechanisms, equipment, tools and production accessories: proceedings of VII International practical conference-exposition (Saint-Petersburg, April 12th-15th, 2005)]. Saint-Petersburg: Izd-vo SPbGPU, 2005, pp. 316-333. [In Russian]
23. Shautsukov A. G. Prikladnaya fizika [Applied physics]. 2006, no. 5, pp. 16-21. [In Russian]
24. Makhovskaya Yu.Yu., Goryacheva I. G. Tribology Intern. 1999, no. 32, pp. 507-515.
25. Goryacheva I. G., Makhovskaya Yu. Yu. Prikladnaya matematika i mekhanika [Applied mathematics and mechanics]. 2001, vol. 65, iss. 2, pp. 279-289. [In Russian]
26. Tonkie plenki: Vzaimnaya diffuziya i reaktsii [Thin films: Interdiffusion and reactions]. Ed. by Dzh. Pout, K. Tu, Dzh. Meyer. Moscow: Mir, 1982, 576 p. [In Russian]
27. Pat. 110310 Russian Federation. Ustroystvo dlya polucheniya izdeliya iz me-tallomatrichnogo kompozitsionnogo materiala [A device for producing items made of a metal-matrix composite material]. Kablov E. N., Chibirkin V. V., Vdovin S. M., Grash-chenkov D. V., Shchetanov B. V., Prokofev S. A., Muskatin'ev V. G., Nishchev K. N. 31.05.2011. [In Russian]
28. GOST 28574-90 (ST SEV 6319-88). Zashchita ot korrozii v stroitel'stve. Konstruktsii betonnye i zhelezobetonnye. Metody ispytaniy adgezii zashchitnykh pokrytiy [Corrosion protection in construction. Ferroconcrete and concrete structures]. Moscow, 1990. [In Russian]
29. GOST 15140-78. Materialy lakokrasochnye. Metod opredeleniya adgezii [Paintwork materials. A method for determining adhesion]. Moscow, 1978. [In Russian]
30. GOST 32299-2013. Materialy lakokrasochnye. Opredelenie adgezii metodom otryva [Paintwork materials. Determination of adhesion by the detachment method]. Moscow, 2013. [In Russian]
Нищев Константин Николаевич
кандидат физико-математических наук, доцент, директор Института физики и химии, Национальный исследовательский Мордовский государственный университет имени Н. П. Огарева (Россия, г. Саранск, ул. Большевистская, 68)
Б-таП: nishchev@inbox.ru
Nishchev Konstantin Nikolaevich Candidate of physical and mathematical sciences, associate professor, director of the Institute of Physics and Chemistry, National Research Mordovia State University (68 Bolshevistskaya street, Saransk, Russia)
Новопольцев Михаил Ильич
кандидат физико-математических наук, доцент, кафедра общей физики, Национальный исследовательский Мордовский государственный университет имени Н. П. Огарева (Россия, г. Саранск, ул. Большевистская, 68)
E-mail: novopol@inbox.ru
Novopol'tsev Mikhail Il'ich
Candidate of physical and mathematical sciences, associate professor, subdepartment of general physics, National Research Mordovia State University (68 Bolshevistskaya street, Saransk, Russia)
Беглов Владимир Иванович
кандидат физико-математических наук, доцент, кафедра радиотехники, Национальный исследовательский Мордовский государственный университет имени Н. П. Огарева (Россия, г. Саранск, ул. Большевистская, 68)
E-mail: beglowlad@yandex.ru
Beglov Vladimir Ivanovich Candidate of physical and mathematical sciences, associate professor, subdepartment of radio engineering, National Research Mordovia State University (68 Bolshevistskaya street, Saransk, Russia)
Гришанин Алексей Владимирович Директор Научно-инженерного центра силовых полупроводниковых приборов, ПАО «Электровыпрямитель» (Россия, г. Саранск, ул. Пролетарская, 126)
E-mail: grav82@list.ru
Grishanin Aleksey Vladimirovich Director of research center, "Elektrovypryamitel" PJSC (126 Proletarskay street, Saransk, Russia)
Сигачев Александр Федорович ведущий инженер, кафедра физики твердого тела, Национальный исследовательский Мордовский государственный университет имени Н. П. Огарева (Россия, г. Саранск, ул. Большевистская, 68)
E-mail: siaf@mail.ru
Sigachev Aleksandr Fedorovich Leading engineer, sub-department of solid state physics, National Research Mordovia State University (68 Bolshevistskaya street, Saransk, Russia)
Лютова Екатерина Николаевна
инженер, кафедра общей физики, Национальный исследовательский Мордовский государственный университет имени Н. П. Огарева (Россия, г. Саранск, ул. Большевистская, 68)
E-mail: ekat.lyutova@yandex.ru
Lyutova Ekaterina Nikolaevna Engineer, sub-department of general physics, National Research Mordovia State University (68 Bolshevistskaya street, Saransk, Russia)
Чернобровкин Юрий Васильевич
инженер, кафедра общей физики, Национальный исследовательский Мордовский государственный университет имени Н. П. Огарева (Россия, г. Саранск, ул. Большевистская, 68)
E-mail: novopol@inbox.ru
Chernobrovkin Yuriy Vasil'evich Engineer, sub-department of general physics, National Research Mordovia State University(68 Bolshevistskaya street, Saransk, Russia)
Горбунов Дмитрий Сергеевич аспирант, Национальный исследовательский Мордовский государственный университет имени Н. П. Огарева (Россия, г. Саранск, ул. Большевистская, 68)
Б-таП: gorbunovdiman94@mai1.ru
Образец цитирования:
Влияние термообработки на адгезионную прочность металлического покрытия на поверхности металломатричного композита А18Ю / К. Н. Ни-щев, М. И. Новопольцев, В. И. Беглов, А. В. Гришанин, А. Ф. Сигачев, Е. Н. Лютова, Ю. В. Чернобровкин, Д. С. Горбунов // Известия высших учебных заведений. Поволжский регион. Физико-математические науки. - 2019. -№ 2 (50). - С. 98-110. - БОТ 10.21685/2072-3040-2019-2-9.
Gorbunov Dmitny Sergeevich Postgraduate student, National Research Mordovia State University (68 Bolshevistskaya street, Saransk, Russia)
