Влияние растворителя на процесс анодного окисления полупроводников аiiibv Текст научной статьи по специальности «Химические науки»

УДК 546.185

АЛ. Королева, М.А. Савенкова, И.В. Мардиросова ДИАГРАММЫ ПЛАВКОСТИ СИСТЕМ ИЗ ПОЛИФОСФАТОВ ЩЕЛОЧНЫХ МЕТАЛЛОВ И ОКСИДОВ ВИСМУТА (III)

В данном сообщении рассматриваются результаты систематического исследования фазовых равновесий в ряду систем М:Р03-В1203 (М-П, №, К, ЯЪ, 08). Изучение систем М1Р03-В12О3 проведено методом термического и рентгенофазо-. -ватографе системы “Паулик”. Рентгеновские дифрактограммы получали на установке ДРОН-3 в камере с медным анодом и фильтром.

Взаимодействия компонентов систем М:Р03-В1203 на границе расплав-твердая фаза отличается сложностью и характеризуется образованием новых соединений. В системе ЫР03-В1203 установлено образование соединений П2Р2В1209 и П2Р2В16015. Компоненты системы МаР03-В1203 при кристаллизации из сплавов образуют пять соединений состава: №4Р4В12015, №4Р4В1209, №3Р3В14015, №2Р2В16015 и ШВ1409. Системы (К, ЯЪ, 08)Р03-В1203 близки по химическому воздействию. В системах КР03-В1203 и 08Р03-В1203 взаимодействие компонентов также носит сложный характер. В указанных системах образуются по два химиче-

2:1 1:1. 2:1 (К2Р2В1209 и 082Р2В1209) плавятся конгруэнтно при 8600 С (КРВ1206 и при 9180С -0^В1206). Кривые нагревания составов систем, обогащенных полифосфатом калия и цезия, фиксируют полиморфные превращения компонентов при 450 и 4670С. Во всех системах отмечен полиморфизм оксида висмута. Рентгенографический метод подтвердил образование новых фаз в исследованных системах.

УДК 621.385.833

. . , . .

ВЛИЯНИЕ РАСТВОРИТЕЛЯ НА ПРОЦЕСС АНОДНОГО ОКИСЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ ашв¥

Качество анодных окисных плёнок (АОП) на полупроводниках, а также кинетические параметры процесса окисления зависят от природы растворителя, используемого в электролите. Органические растворители в отличие от воды позволяют приблизить соотношения между электропроводностью электролита и его травящей способностью к оптимальному.

В настоящей работе изучались особенности анодного окисления арсенида галлия ваАБ а уёаёод1ёитах, содержащих как однокомпонентный органический ( , , ( )),

так и двухкомпонентный растворитель на основе ТГФС, в качестве второго компонента использовался ацетилацетон или глицерин.

Пластины монокристаллического ваАБ п-типа окисляли в электролитах, содержащих 0,05 М раствор органической кислоты в ТГФС в присутствии 60 об.%

ацетилацетона или глицерина, в гальваностатическом режиме при плотностях тока 0,5-3 . -2. -

(4-6).106 . -1.

Кинетические параметры процесса окисления определяли на основе уравнения Г юнтершульце-Бетца исходя из полученных зависимостей и от -1.

Установлено, что замена однокомпонентных растворителей (ТГФС, ацетил-ацетон, глицерин) на двухкомпонентные (ТГФС+ацетилацетон, ТГФС+глицерин) позволяет повысить чистоту и изолирующие свойства пленок (увеличение диэлектрической прочности и уменьшение плотности поверхностных состояний на гра- ).

УДК 574

..

ОСОБЕННОСТИ ПРЕПОДАВАНИЯ ДИСЦИПЛИНЫ «ЭКОЛОГИЧЕСКОЕ ПРАВО»

Обсуждается понятийный аппарат, разработана программа и подготовлен конспект лекций по данному курсу, целью которого является изучение особенностей права экологопользования, экологических правоотношений, правового регулирования охраны окружающей среды, специфики эколого-правового режима различных природных объектов (земли, ее недр, вод, лесов, животного мира и др.), - . -дуется для магистрантов специальности «Инженерная защита окружающей среды».

Общая часть включает следующие темы: предмет и система экологического права (ЭП); источники ЭП; экологические правоотношения; экологические права и обязанности граждан; право частной, государственной, муниципальной и других видов собственности на природные объекты; право экологопользования; эколого; .

В особенную часть входят темы:

♦ эколого-правовой режим (ЭПР) использования земли, недропользова-

, , , ;

♦ эк олого-правовая защита атмосферного воздуха;

♦ эколого-правовая защита природных объектов и комплексов;

♦ эколого-правовой режим и охрана экологических систем, находящихся в сфере производственной деятельности и антропогенного воздействия;

♦ эколого-правовое обеспечение санитарно-эпидемиологического благо-

;

♦ правовой режим зон чрезвы чайной экологической ситуации.