CC BY
26
УДК 621.385.833
Л.Е.Гатько
ВЛИЯНИЕ ПРИРОДЫ РАСТВОРИТЕЛЯ НА РОСТ И СВОЙСТВА ОКСИДНЫХ ПЛЕНОК АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ.
Одним из путей улучшения качества оксидных пленок полупроводников является подбор оптимального состава формирующего электролита. В данной работе исследованы рост и свойства оксидов арсенида галлия, сформированных в электролите, содержащем 0,05 моль л-1 раствор органической кислоты в тетрагидрофуриглицерина. Рассчитаны кинетические параметры анодного процесса: плотность тока обмена, напряженность формирующего поля и энергия активации. Изучена зависимость минимальной плотности тока ]шт вольтстатической выдержки при формировании оксида от содержания ацетилацетона (глицерина) в электролите. Величина ] шт определяется электронным током утечки через оксид и характеризует его электропроводность. Установлено, что ]шт меньше при использовании двухкомпонентных растворителей (ТГФС + ацетилацетон, ТГФС + глицерин), но повышается при формировании оксида в электролите на основе однокомпонентного растворителя (ТГФС, ацетилацетона или глицерина).
Полученные результаты позволили сделать следующие выводы:
• кинетические параметры анодного процесса и электропроводность оксидов зависят от природы растворителя, входящего в состав электролита;
• весьма эффективным является применение двухкомпонентных растворителей, которые позволяют достичь оптимального соотношения между электропроводностью электролита и травящей способностью его по отношению к оксиду.
