CC BY
31
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
1. Петров В.В., Копылова Н.Ф., Назарова Т.Н. Исследование электрофизических параметров тонких пленок состава Б^БпО) // Актуальные проблемы твердотельной электроники. 2002. Ч.1. С.161-163.
УДК 539.217.5:546.28
В.В. Петров, Н.Ф. Копылова, Т.Н. Назарова
ФОРМИРОВАНИЕ ПЛЕНОК СОСТАВА 8ЮХ(81ЧОУ)В1 ЗОЛЬ-ГЕЛЬНЫМ
МЕТОДОМ
Разработка новых газочувствительных материалов для химических сенсоров, используемых в системах экологического мониторинга, является одной из актуальных задач современной науки. Разновидностью таких материалов являются тонкие (до 0,1 мкм) пленки оксидов кремния, олова, висмута и т.д. Среди известных методов формирования таких материалов наиболее простыми и гибкими являются химические методы, в частности получение тонких пленок золь-гельным методом [1]. Данный метод позволяет получать пленки с заданными свойствами путем изменения состава и соотношения компонентов в исходном пленкообразующем растворе.
В данной работе пленки состава БЮх(8пОу)В1 формировались из растворов на основе тетраэтоксисилана и изобутилового спирта с добавлением в качестве катализатора соли висмута в количестве 0,01 % по объему. Концентрация пленкообразующего вещества составила почти 12%. Созревание растворов протекало в течение 12 ч. Созревшие растворы наносились на кремниевые подложки, предварительно обезжиренные в изопропиловом спирте, методом центрифугирования. Окончательное формирование пленки производилось при ее термообработке. Все полученные образцы проходили термическую обработку в диапазоне 120-860 °С. С повышением температуры происходит заметное уплотнение структуры пленки.
Толщина полученных пленок, определяемая концентрацией пленкообразующего раствора, измеренная с помощью МИИ-4, составила 0,07 мкм. Дальнейшее изучение свойств полученных пленок позволит их применять в качестве газочувствительных элементов при изготовлении химических сенсоров газа.
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
1. Маслов Л.П., Румянцева В.Д., Ермуратский П.В. Пленочные химические сенсоры токсичных газов и паров // Приборы, системы управления. 1997. №1. С.29-31
УДК 628.516:612.014.46
Н.В. Гусакова, Т.Б. Мурай, А.В. Соболев ВЛИЯНИЕ ЛАНДШАФТНЫХ ОСОБЕННОСТЕЙ НА ЗАГРЯЗНЕНИЕ ПОЧВ ТАГАНРОГА ТЯЖЕЛЫМИ МЕТАЛЛАМИ
1. В настоящее время Таганрог как промышленный город является источником локальных влияний на природную среду, что определяет необходимость специальных исследований по геохимической оценке его урбанизированных территорий, в том числе по загрязнению тяжелыми металлами (РЬ, Мп, 2п, Си).
2. Таганрог можно условно разделить на три зоны, в которых сосредоточены наиболее крупные промышленные предприятия. Почвы двух из них (Восточной и Юго-Западной) исследованы нами.
3. В задачи исследования входило оконтуривание некоторых локальных техногенных геохимических аномалий и оценка ландшафтных факторов, влияющих на их распространение.
4. На направление движения дождевых и талых потоков оказывает основное влияние рельеф местности. Потоки обеспечивают перераспределение осевших из атмосферы частиц и их накопление в низинах или смыв в Таганрогский залив. Для предсказания ландшафтного распределения тяжелых металлов мы использовали карты, построенные на основе рельефа с использованием ГИС-технологий, предоставленные Бюро кадастра Таганрога.
5. С учетом высоты источника выбросов загрязнения, ветровой картины, геохимических особенностей почвы, характера жилой застройки и рельефа местности нами была рассчитана область геохимической аномалии (Си, 2п, Fe, Мп) на территории Юго-Западной промзоны, что подтверждено лабораторными исследованиями.
УДК 541.13:621.315.592
Л.П. Милешко
АНОДНОЕ ОКИСЛЕНИЕ КРЕМНИЯ И ЕГО СОЕДИНЕНИЙ В ЛЕГИРУЮЩИХ ЭЛЕКТРОЛИТАХ
Исследована кинетика и разработаны механизмы анодирования Si, SiС, пленок Si3N4 (77 нм), термического (80...85 нм) и анодного SiO2 (59...102) в боратных и фосфатных электролитах на основе этиленгликоля и тетрагидрофурфурилового спирта.
Уточнены и дополнены термодинамические модели процессов анодного окисления данных материалов. Из этих моделей следует, что процессы формирования анодных окисных пленок (АОП) протекают стадийно. Причем на первой стадии взаимодействия кислородосодержащих анионов с кремнием, карбидом и нитридом кремния образуется БЮ, который затем доокисляется до БЮ2. Кроме того, в состав АОП может входить Н2БЮ3, получающаяся в результате реакции БЮ с двумя гидроксид-ионами. Это обстоятельство косвенно свидетельствует в пользу коллоидно-электрохимической теории строения и образования АОП по А.Ф. Богоявленскому.
При этом не исключено, что все реакции проходят одновременно, т.е. являются парциальными, а со временем места их протекания пространственно разделяются из-за разности их скоростей. Возможность осуществления такого полиповерхност-ного процесса вероятнее, чем для одностадийного оксидирования сразу до SiO2.
Показано, что для полной плотности тока гальваностатического анодирования Si, SiС, и Si3N4 справедлив экспоненциальный закон Гюнтершульце и Бетца. Это указывает на активационный контроль процесса анодирования на линейных участках вольт-временных зависимостей.
Таким образом, разработаны физико-химические основы получения анодных пленок легированного диоксида кремния.
