Научная статья на тему 'Устройство для определения температуры полупроводниковой структуры при измерении параметров глубоких энергетических уровней'

Устройство для определения температуры полупроводниковой структуры при измерении параметров глубоких энергетических уровней Текст научной статьи по специальности «Электротехника, электронная техника, информационные технологии»

CC BY
70
24
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Похожие темы научных работ по электротехнике, электронной технике, информационным технологиям , автор научной работы — Богданов С. А., Варзарёв Ю. Н., Захаров А. Г., Набоков Г. М.

iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Текст научной работы на тему «Устройство для определения температуры полупроводниковой структуры при измерении параметров глубоких энергетических уровней»

Известия ТРТУ

Специальный выпуск

огибающей серии эхо-импульсов от частоты f приводит к определенным трудностям измерительного процесса, поскольку существуют частоты f, на которых огибающая серии эхо-импульсов является экспоненциальной и не изменяется при вра-- , -вия внутренних остаточных МН в монокристаллах.

Для преодоления трудностей предлагается использовать УЗ-импульсы с линейной частотной модуляцией и УЗ широкополосные преобразователи.

Получено выражение для определения зависимости амплитуды эхо-им^льса A(n, f от порядкового номера в серии отражений n и частоты УЗ-колебаний f

A(n, f) = Ae~2a | cos | ,

J i+1 J i

где (X - коэффициент поглощения УЗ-волн; L - длина монокристалла в направлении распространения УЗ-колебаний; f и fi+1 - соседние частоты УЗ-колебаний, на которых огибающие серий эхоимпульсов являются экспоненциальными.

Если в пределах УЗ-импульса f изменяется от f до f+1, то на огибающей каж-- , - -- - , -ся спады амплитуды до нуля. Число спадов равно номеру эхо-им^льса.

- -широкополосных преобразователей позволяет устранить указанный недостаток - - , монокристаллов с малым числом эхо-импульсов в серии отражений по характерной форме огибающей первого эхоимпульса с закономерным изменением ее в за-

n.

БИБЛИОГРДФИЧЕСКИЙ СПИСОК

1. Сластен МЯ.Ультр^вуковой эхоимпульсный метод измерения механических напряжений. // Известия ТРТУ. - ДонГТУ. - Донецк, ДонГТУ.. 2001. №1. -С. 192-201.

УДК 621.315.519

С.А. Богданов, ЮЛ. Варзарёв, АX. Захаров, ГМ. Набоков

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ СТРУКТУРЫ ПРИ ИЗМЕРЕНИИ ПАРАМЕТРОВ ГЛУБОКИХ ЭНЕРГЕТИЧЕСКИХ УРОВНЕЙ

Целью работы является разработка устройства измерения температуры ( ), , -высить достоверность определения параметров ГУ в полупроводниковых структурах методом ДСГУ [1]. Структурная схема разработанного УИТ приведена на рис.1.

Секция физики

Рис.І.Схема структурного устройства измерения температуры

УИТ предназначено для измерения и передачи в ЭВМ типа 1ВМ РС цифровых кодов сигнала, пропорционального температуре исследуемой полупроводниковой структуры.

Программное обеспечение функционирования УИТ позволяет производить установку начальных режимов работ АЦП и БУС, контроль наличия ошибок приема и передачи информации, обработку полученных данных, а также дает возможность автоматически устанавливать оптимальный коэффициент усиления входного сигнала АЦП и использовать усреднение измеряемых данных. Для увеличения скорости вычисления температуры зависимость сопротивления ДТ от температуры Щ(Т) сведена в таблицу с шагом АЯп = Яп+1 — Яп, соответствующим изменению температуры на 1 0С. Температура исследуемого образца определяется путем поиска интервала АЯп, которому соответствует текущее значение сопротивления

ДТ, и дальнейшей линейной аппроксимации на этом интервале.

Разработанное УИТ обладает разрешающей способностью порядка 0,01 0С, которая определяется параметрами ДТ и АЦП. Время преобразования составляет

0.1 с, что вполне приемлемо для решения поставленной задачи.

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

1. Захаров А.Г. Диагностика глубоких энергетических уровней в полупроводниковых структурах. //Известия высших учебных заведений. Северо-Кавказский регион. Естественные науки № 4 (92). 1995. - С. 29-32.

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.