Научная статья на тему 'Устройства для измерений составляющих нелинейного комплексного сопротивления гетерогенных объектов в рабочих режимах'

Устройства для измерений составляющих нелинейного комплексного сопротивления гетерогенных объектов в рабочих режимах Текст научной статьи по специальности «Электротехника, электронная техника, информационные технологии»

CC BY
10
3
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.
Ключевые слова
гетерогенный объект / импедансометрия / нелинейное комплексное сопротивление / параметр комплексного сопротивления / прозрачное проводящее покрытие / составляющая комплексного сопротивления / спрей-пиролиз / heterogeneous object / impedance measurement / nonlinear complex resistance / complex resistance parameter / transparent conductive coating / component of complex resistance / spray pyrolysis

Аннотация научной статьи по электротехнике, электронной технике, информационным технологиям, автор научной работы — Екатерина Анатольевна Печерская, Виктор Алексеевич Баранов, Марина Викторовна Бержинская, Борис Вульфович Цыпин, Александр Александрович Данилов

Актуальность и цели. Нелинейное изменение комплексного сопротивления гетерогенных объектов при воздействии влияющих параметров вызывает нарушение принципа суперпозиции, который соблюдается в гомогенных объектах. В связи с этим достоверное оценивание качества изделий с гетерогенной структурой возможно только путем измерений параметров комплексного сопротивления устройствами для измерений составляющих нелинейного комплексного сопротивления в рабочих режимах. Цель исследования – разработка структур устройств для измерений составляющих нелинейного комплексного сопротивления гетерогенных объектов на основе систематизации рабочих режимов. Материалы и методы. Совокупности рабочих режимов гетерогенных объектов и компонентов способов измерений составляющих комплексного сопротивления гетерогенных объектов структурируются методом системного анализа. Рассмотрен пример измерений поверхностного сопротивления прозрачного проводящего покрытия в зависимости от ряда влияющих факторов. Результаты. Проведены систематизация рабочих режимов гетерогенных объектов при измерениях составляющих комплексного сопротивления и систематизация способов измерений составляющих комплексного сопротивления гетерогенных объектов. Выводы. Систематизация рабочих режимов гетерогенных объектов позволяет полностью формализовать процесс проектирования измерительных приборов на основе совокупности структур устройств для измерений составляющих комплексного сопротивления и напряжения на объекте при использовании источника питания измерительной схемы с ненормированными метрологическими характеристиками, что используется при разработке цифрового двойника автоматизированного синтеза функциональных прозрачных проводящих покрытий с заданными свойствами методом спрей-пиролиза.

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Похожие темы научных работ по электротехнике, электронной технике, информационным технологиям , автор научной работы — Екатерина Анатольевна Печерская, Виктор Алексеевич Баранов, Марина Викторовна Бержинская, Борис Вульфович Цыпин, Александр Александрович Данилов

iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Devices for measuring components of nonlinear complex resistance heterogeneous objects in operating modes

Background. The nonlinearity of the parameters of the complex resistance of heterogeneous objects causes a violation of the principle of superposition, which is observed in homogeneous objects. In this regard, a reliable assessment of the quality of products with a heterogeneous structure is possible only by measuring the parameters of complex resistance with devices for measuring the components of nonlinear complex resistance in operating modes. The purpose of the study is to develop device structures for measuring components of nonlinear complex resistance of heterogeneous objects based on the systematization of operating modes. Materials and methods. Sets of operating modes of heterogeneous objects and components of methods for measuring the components of complex resistance of heterogeneous objects are structured by the method of system analysis. An example of measuring the surface resistance of a transparent conductive coating depending on a number of influencing factors is considered. Results. The systematization of the operating modes of heterogeneous objects when measuring the components of complex resistance and the systematization of methods for measuring the components of complex resistance of heterogeneous objects are carried out. Conclusions. The systematization of the operating modes of heterogeneous objects makes it possible to fully formalize the design process of measuring devices based on a set of device structures for measuring the components of complex resistance and voltage at an object using a power supply of a measuring circuit with abnormal metrological characteristics, which is used in the development of a digital twin for the automated synthesis of functional transparent conductive coatings with specified properties by spray pyrolysis.

Текст научной работы на тему «Устройства для измерений составляющих нелинейного комплексного сопротивления гетерогенных объектов в рабочих режимах»

УДК 621.317.791

doi: 10.21685/2072-3059-2024-1-9

Устройства для измерений составляющих нелинейного комплексного сопротивления гетерогенных объектов в рабочих режимах

Е. А. Печерская1, В. А. Баранов2, М. В. Бержинская3, Б. В. Цыпин4, А. А. Данилов5, К. А. Ильин6

1,2'3Д6Пензенский государственный университет, Пенза, Россия 5ФБУ «Пензенский ЦСМ», Пенза, Россия

1реа1@^.т, [email protected], 3тЬец@таП.т, [email protected], 5аа^ап@таЛ.т, [email protected]

Аннотация. Актуальность и цели. Нелинейное изменение комплексного сопротивления гетерогенных объектов при воздействии влияющих параметров вызывает нарушение принципа суперпозиции, который соблюдается в гомогенных объектах. В связи с этим достоверное оценивание качества изделий с гетерогенной структурой возможно только путем измерений параметров комплексного сопротивления устройствами для измерений составляющих нелинейного комплексного сопротивления в рабочих режимах. Цель исследования - разработка структур устройств для измерений составляющих нелинейного комплексного сопротивления гетерогенных объектов на основе систематизации рабочих режимов. Материалы и методы. Совокупности рабочих режимов гетерогенных объектов и компонентов способов измерений составляющих комплексного сопротивления гетерогенных объектов структурируются методом системного анализа. Рассмотрен пример измерений поверхностного сопротивления прозрачного проводящего покрытия в зависимости от ряда влияющих факторов. Результаты. Проведены систематизация рабочих режимов гетерогенных объектов при измерениях составляющих комплексного сопротивления и систематизация способов измерений составляющих комплексного сопротивления гетерогенных объектов. Выводы. Систематизация рабочих режимов гетерогенных объектов позволяет полностью формализовать процесс проектирования измерительных приборов на основе совокупности структур устройств для измерений составляющих комплексного сопротивления и напряжения на объекте при использовании источника питания измерительной схемы с ненормированными метрологическими характеристиками, что используется при разработке цифрового двойника автоматизированного синтеза функциональных прозрачных проводящих покрытий с заданными свойствами методом спрей-пиролиза.

Ключевые слова: гетерогенный объект, импедансометрия, нелинейное комплексное сопротивление, параметр комплексного сопротивления, прозрачное проводящее покрытие, составляющая комплексного сопротивления, спрей-пиролиз

Финансирование: работа выполнена при поддержке Российского научного фонда (грант РНФ 23-29-00343).

Для цитирования: Печерская Е. А., Баранов В. А., Бержинская М. В., Цыпин Б. В., Данилов А. А., Ильин К. А. Устройства для измерений составляющих нелинейного комплексного сопротивления гетерогенных объектов в рабочих режимах // Известия высших учебных заведений. Поволжский регион. Технические науки. 2024. № 1. С. 101-113. doi: 10.21685/2072-3059-2024-1-9

© Печерская Е. А., Баранов В. А., Бержинская М. В., Цыпин Б. В., Данилов А. А., Ильин К. А., 2024. Контент доступен по лицензии Creative Commons Attribution 4.0 License / This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.

Devices for measuring components of nonlinear complex resistance heterogeneous objects in operating modes

E.A. Pecherskaya1, V.A. Baranov2, M.V. Berzhinskaya3, B.V. Tsypin4, A.A. Danilov5, K.A. Ilyin6

u,3A6penza state University, Penza, Russia 5Penza Center for Standardization and Metrology, Penza, Russia

[email protected], [email protected], [email protected], [email protected], [email protected], [email protected]

Abstract. Background. The nonlinearity of the parameters of the complex resistance of heterogeneous objects causes a violation of the principle of superposition, which is observed in homogeneous objects. In this regard, a reliable assessment of the quality of products with a heterogeneous structure is possible only by measuring the parameters of complex resistance with devices for measuring the components of nonlinear complex resistance in operating modes. The purpose of the study is to develop device structures for measuring components of nonlinear complex resistance of heterogeneous objects based on the system-atization of operating modes. Materials and methods. Sets of operating modes of heterogeneous objects and components of methods for measuring the components of complex resistance of heterogeneous objects are structured by the method of system analysis. An example of measuring the surface resistance of a transparent conductive coating depending on a number of influencing factors is considered. Results. The systematization of the operating modes of heterogeneous objects when measuring the components of complex resistance and the systematization of methods for measuring the components of complex resistance of heterogeneous objects are carried out. Conclusions. The systematization of the operating modes of heterogeneous objects makes it possible to fully formalize the design process of measuring devices based on a set of device structures for measuring the components of complex resistance and voltage at an object using a power supply of a measuring circuit with abnormal metrological characteristics, which is used in the development of a digital twin for the automated synthesis of functional transparent conductive coatings with specified properties by spray pyrolysis.

Keywords: heterogeneous object, impedance measurement, nonlinear complex resistance, complex resistance parameter, transparent conductive coating, component of complex resistance, spray pyrolysis

Financing: the research was financed by the RSF (grant 23-29-00343).

For citation: Pecherskaya E.A., Baranov V.A., Berzhinskaya M.V., Tsypin B.V., Danilov A.A., Ilyin K.A. Devices for measuring components of nonlinear complex resistance heterogeneous objects in operating modes. Izvestiya vysshikh uchebnykh zavedeniy. Povolzhskiy region. Tekhnicheskie nauki = University proceedings. Volga region. Engineering sciences. 2024;(1):101-113. (In Russ.). doi: 10.21685/2072-3059-2024-1-9

Введение

Подавляющее большинство изделий нано- и микроэлектроники, радиотехники, электротехники, электро- и биохимических производств имеют гетерогенную структуру. Причиной этого является наличие большого числа разнородных и, в некоторых случаях, противоречивых функциональных требований к изделию, которым никакая гомогенная структура не удовлетворяет. Качественным отличием электрических свойств гетерогенных объектов от свойств гомогенных объектов является возникновение ионного и молионного токов при приложении к гетерогенному объекту электрического напряжения,

что обусловливает нелинейность комплексного сопротивления, т.е. зависимость параметров комплексного сопротивления (ПКС) от параметров приложенного напряжения. Нелинейность зависимостей ПКС от ряда влияющих параметров вызывает нарушение принципа суперпозиции, который соблюдается в гомогенных объектах. В связи с этим достоверное оценивание качества изделий с гетерогенной структурой возможно только, если испытательное оборудование воспроизводит электрический рабочий режим изделия в процессе эксплуатации.

С учетом вышеизложенного актуальной задачей метрологического обеспечения производства и эксплуатации гетерогенных объектов является выбор методов и разработка средств измерений параметров нелинейного комплексного сопротивления для определения функциональных параметров и характеристик гетерогенных объектов в рабочих режимах эксплуатации.

1. Систематизация рабочих режимов гетерогенных объектов

Объединение измерительных и вычислительных устройств в информационно-измерительных системах способствовало быстрому развитию и расширению области применения импедансометрии [1]. Стала возможной разработка универсального аналого-цифрового преобразователя составляющих комплексного сопротивления [2] вместо узкоспециализированных измерительных преобразователей параметров многоэлементных электрических цепей.

Это позволило осуществить унификацию каналов измерений ПКС информационно-измерительных систем в различных отраслях промышленности [3-5]. Например, в работах [6-8] представлена структура измерительных каналов информационно-измерительной системы управления процессом получения прозрачных проводящих оксидов (НПО) методом спрей-пиролиза, которая позволяет автоматизировать как процесс получения ППО, так и процедуры косвенных измерений их параметров, в том числе импеданса покрытий.

Структуры устройства для измерений составляющих комплексных сопротивлений (СКС) высокоомных гомогенных объектов методом прямого преобразования систематизированы по методу решения обобщенного уравнения мостовой цепи Карандеева - Штамбергера [9]. Этот подход к синтезу и систематизации структур измерительных устройств не может быть распространен на структуры устройств для измерений СКС гетерогенных объектов, поскольку исходная математическая модель адекватно описывает только линейные пассивные электрические цепи.

При измерениях СКС гетерогенных объектов в рабочих режимах следует учитывать совокупность особенностей объекта измерений и параметров технических систем, имеющих гетерогенные объекты в своем составе, которые не позволяют использовать существующие приборы для измерений пассивных электрических величин и других ПКС. К основным задачам измерений ПКС гетерогенных объектов в рабочих режимах относятся:

- измерения ПКС объекта при амплитуде напряжения на нем, превышающей предел допустимой амплитуды напряжения на имеющихся мерах пассивных электрических величин, что не позволяет проводить измерение

методом уравновешивания или методом прямого преобразования на основе неуравновешенного моста;

- измерения ПКС при питании измерительной схемы прибора от внешнего по отношению к нему источника переменного напряжения с ненормированными метрологическими характеристиками. Систематизация рабочих режимов гетерогенных объектов при измерениях СКС представлена на рис. 1 в виде древовидного графа.

Рис. 1. Систематизация рабочих режимов гетерогенных объектов при измерениях СКС в виде древовидного графа

Исходным признаком ветвления графа является уровень напряжения на объекте, который подразделяется на низкий (0) и высокий (1). Граница дихотомии не нормируется конкретным значением, а определяется предельным рабочим напряжением доступного разработчику измерительного прибора для решения конкретной измерительной задачи мер пассивных электрических величин. В практической инженерной деятельности граничное амплитудное значение напряжения обычно составляет 1 кВ. Значение уровня является критерием выбора типа измерительной схемы устройства для измерений параметров гетерогенного объекта.

Напряжение на гетерогенном объекте в рабочем режиме в общем случае рассматривается как квазипериодическое с метрологически ненормированными спектром, амплитудой и частотой. Наиболее часто встречающимся на практике рабочим режимом является напряжение промышленной электрической сети. При измерениях СКС гетерогенных объектов единственной корректной моделью квазипериодического напряжения следует считать полигармоническое представление (01), (11). Измерения СКС осуществляются путем выделения основной гармоники аналоговыми и цифровыми фильтрами. Кроме того, возникает возможность измерения СКС методом двух частот [10]. Дальнейшее ветвление графа вариантов рабочего режима определяется тем, нормированы частота и амплитуда напряжения питания измерительной схемы (0000), (0100), (1000), (1100) или нет (0011), (0111), (1011), (1111) или

только один из параметров напряжения. Рабочие режимы гетерогенного объекта с нормированием только частоты или только амплитуды напряжения отражаются соответственно ветвями графа (0001), (0101), (1001), (1101) и (0010), (0110), (1010), (1110).

2. Систематизация способов измерений составляющих нелинейного комплексного сопротивления гетерогенных объектов

Систематизация рабочих режимов измерения СКС гетерогенных объектов позволяет формализовать процесс проектирования устройства для измерений составляющих нелинейного комплексного сопротивления гетерогенных объектов в рабочих режимах. Систематизация способов измерений СКС гетерогенных объектов представлена на рис. 2.

Рис. 2. Систематизация способов измерений СКС гетерогенных объектов

Определение значения уровня напряжения на объекте (высокий или низкий) позволяет обоснованно выбрать структуру измерительной схемы: при высоком уровне напряжения используется структура в виде делителя напряжения (0), а при низком - в виде неуравновешенного моста (1). Второй признак ветвления графа - вид прямых измерений параметров синусоидальных напряжений на элементах измерительной схемы: совместные или совокупные измерения. Способы измерения СКС гетерогенного объекта на основе совместных измерений (01), (11) состоят в одновременных измерениях обоих параметров синусоидального напряжения на объекте (действующее значение напряжения, фазовый сдвиг относительно напряжения питания измерительной схемы) и решении системы трех уравнений относительно СКС и напряжения на объекте измерения. При ненормированных параметрах напряжения питания измерительной схемы в измерительное устройство на основе неуравновешенного моста необходимо дополнительно ввести аналого-цифровой преобразователь (АЦП) напряжения на нижнем плече опорного делителя,

а в устройство на основе делителя напряжения - опорный делитель напряжения питания для организации второй точки подключения преобразователя фазового сдвига в код измерения действующего значения напряжения питания.

Способы измерений СКС гетерогенного объекта на основе совокупных измерений (00) и (10) состоят в измерениях одного из параметров информативного сигнала: действующего значения напряжения (000), (100) или фазового сдвига (001), (101) между напряжением питания измерительной схемы и напряжением в средней точке измерительного делителя. Для измерений напряжения на гетерогенном объекте измерительное устройство с измерением фазового сдвига должно быть дополнено АЦП напряжения, а измерительное устройство с измерением действующего значения напряжения должно иметь дополнительное состояние измерительной схемы. Каждый из шести полученных в результате систематизации способов измерения СКС реализуется соответствующей структурой измерительного устройства [11].

Измерения на основе схемы в виде делителя напряжения требуют на одно состояние схемы больше, чем соответствующие структуры на основе мостовой схемы. В связи с этим средства измерений СКС на основе мостовой измерительной схемы являются более быстродействующими по сравнению со средствами измерений на основе делителя напряжения. Минимальное время измерений достигается одновременным измерением обоих параметров выходного сигнала мостовой измерительной схемы с одним состоянием (11).

3. Структуры устройства для измерения составляющих нелинейного комплексного сопротивления гетерогенного объекта в рабочих режимах

Устройство для измерений активной Ях и реактивной Хх составляющих комплексного сопротивления Хх и напряжения их на гетерогенном объекте на основе неуравновешенного моста, составленного опорными элементами с сопротивлениями Х0, Х\, Хг при низковольтном источнике питания и измерительной схемы с ненормированными амплитудой и частотой (111), рабочий режим (0111), представлено на рис. 3. Аналого-цифровые преобразователи действующего значения напряжения АЦПН1 и АЦПН2 преобразуют напряжения на опорных элементах Х0 и Хг. Фазовый сдвиг между напряжениями в средних точках измерительного и опорного делителей преобразуется в код аналого-цифровым преобразователем фазового сдвига напряжений (АЦПФ) в средних точках делителей напряжения. Частотомер (Ч) измеряет частоту /х напряжения питания измерительной схемы. С использованием результатов аналого-цифровых преобразований блок вычисления (БВ) решает систему трех уравнений [ШЧ] относительно значений составляющих Ях и Хх комплексного сопротивления и действующего значения напряжения на гетерогенном объекте.

При высоковольтных измерениях СКС гетерогенного объекта в рабочих режимах на основе мостовой схемы максимальное напряжение на объекте измерений ограничивается предельно допустимым напряжением на опорном элементе, противолежащем объекту. При использовании измерительной схемы в виде делителя напряжения напряжение на объекте может значительно превышать предельно допустимые напряжения на опорных элементах. Например, в работе [12] представлена структура канала измерений электри-

ческих параметров активных диэлектриков на основе схемы Сойера - Тауэра, представляющей собой емкостной делитель.

Рис. 3. Устройство для измерения активной Ях и реактивной Хх составляющих комплексного сопротивления 2х и напряжения их на гетерогенном объекте на основе неуравновешенного моста

Устройство для измерений СКС Zx и напряжения Ux на гетерогенном объекте на основе делителя напряжения с двумя возможными коэффициентами деления, составленного опорными элементами с сопротивлениями Zo и Zi и коммутирующим элементом SA при высоковольтном источнике питания Us измерительной схемы с ненормированными амплитудой и частотой (011), рабочий режим (1011), представлено на рис. 4. Коммутирующий элемент SA управляется блоком управления и вычислений (БУВ).

Аналого-цифровые преобразователи действующего значения напряжения АЦП1 и АЦП2 преобразуют напряжения на опорных элементах Z0 и Z2. Фазовый сдвиг между напряжениями в средних точках измерительного и опорного делителей преобразуется в код аналого-цифровым преобразователем фазового сдвига напряжений в средних точках делителей напряжения. Частотомер (Ч) измеряет частоту f напряжения питания измерительной схемы. С использованием результатов аналого-цифровых преобразований блок вычисления (БВ) решает систему трех уравнений [10] относительно значений составляющих Rx и XX комплексного сопротивления и действующего значения напряжения Ux на гетерогенном объекте. Для организации второй точки подключения структура устройства содержит понижающий трансформатор напряжения (ТН). Важной особенностью структуры является независимость результата измерений от фазового сдвига выходного напряжения ТН относительно напряжения питания измерительной, так как выходное напряжение трансформатора выступает начальной фазой при измерениях фазового сдвига и при первом, и при втором состоянии измерительной схемы, информативной величиной является разность этих фазовых сдвигов. Вместо трансформатора ТН возможно применение делителей напряжения, разработанных для изме-

рений коэффициентов преобразования измерительных трансформаторов: емкостные делители напряжения ЕДН-1 (рабочее напряжение до 15 кВ), ЕДН-35 (рабочее напряжение до 35 кВ), ЕДН-2 (рабочее напряжение до 220 кВ) [13]. Представленное устройство применено для измерений в зависимости от ряда влияющих факторов сопротивления прозрачных проводящих оксидов, полученных на автоматизированной установке, реализующей метод пиролиза аэрозоли. На рис. 5, 6 представлены эмпирические графики, необходимые для анализа закономерностей изменения поверхностного сопротивления под влиянием концентрации примеси и толщины покрытия.

Рис. 4. Устройство для измерения СКС 2х и напряжения их на гетерогенном объекте на основе делителя напряжения

^ю5

ЫЗ^Ю5

1

О

\

д

V \ 1

3

--—

0.04 0.06

Концентрация примеси, %

Рис. 5. Изменение поверхностного сопротивления от концентрации примеси и объема раствора V; кривые: 1 - V = 7 мл; 2 - V = 12 мл; 3 - V = 17 мл

lie l2Sliai7i20D 125 241 275300325350J75 "

d, iiiu

Рис. 6. Изменение поверхностного сопротивления от толщины прозрачного проводящего оксида; кривые: 1 - концентрация примеси 0,035 %; V = 15 мл;

2 - концентрация примеси 0,025 %; V = 8 мл

Анализ экспериментальных результатов позволил заключить, что при возрастании объема раствора, а также концентрации примеси сурьмы имеет место снижение поверхностного сопротивления. Данная закономерность в свою очередь, использована при разработке методики выбора технологических режимов с целью синтеза покрытий с заданными свойствами, которая реализована в цифровом двойнике автоматизированного синтеза прозрачных проводящих покрытий методом пиролиза аэрозолей.

Заключение

Систематизация рабочих режимов гетерогенных объектов позволяет полностью формализовать проектирование измерительных приборов на основе базовой совокупности структур устройств для измерения составляющих комплексного сопротивления и напряжения на объекте [14] при использовании источника питания измерительной схемы с ненормированными метрологическими характеристиками. Использование измерительных приборов, способных измерять параметры комплексного сопротивления гетерогенных объектов в электроэнергетике, будет способствовать переходу от системы технического обслуживания по наработке к системе технического обслуживания по состоянию. В электронике, электротехнике, электрохимии и других высокотехнологичных отраслях промышленности открываются новые возможности организации достоверного многопараметрического измерительного контроля параметров качества гетерогенных технологических сред и полуфабрикатов изделий по результатам измерений параметров комплексного сопротивления в рабочих режимах, что подтверждено авторами на примере разработки цифрового двойника автоматизированного синтеза функциональных прозрачных проводящих покрытий с заданными свойствами.

Список литературы

1. Цыпин Б. В. Измерение импедансов системами с ЭВМ. Пенза : ПГУ, 2001. 100 с.

2. Баранов В. А., Светлов А. В., Ломтев Е. А., Цыпин Б. В. Универсальный вторичный преобразователь для систем с параметрическими первичными преобразователями информации // Известия высших учебных заведений. Поволжский регион. Технические науки. 2015. № 3. С. 86-94.

3. Ашанин В. Н., Баранов В. А., Ломтев Е. А., Цыпин Б. В. Аналого-цифровой преобразователь иммитанса для унифицированного канала информационно-измерительных и управляющих систем // Известия высших учебных заведений. Поволжский регион. Технические науки. 2015. № 4. С. 96-108.

4. Печерская Е. А., Метальников А. М., Бобошко А. В. Структура интеллектуальной системы поддержки исследований параметров сегнетоэлектрических материалов // Нано- и микросистемная техника. 2011. № 6 (131). С. 21-24.

5. Печерская Е. А., Голубков П. Е., Карпанин О. В., Козлов Г. В., Печерский А. В. Интеллектуальная система управляемого синтеза оксидных покрытий // Измерение. Мониторинг. Управление. Контроль. 2019. № 2. С. 99-107.

6. Зинченко Т. О., Печерская Е. А. Аппаратное обеспечение информационно-измерительной и управляющей системы синтеза прозрачных проводящих оксидов // Известия высших учебных заведений. Поволжский регион. Технические науки. 2023. № 2. С. 83-89.

7. Печерская Е. А., Зинченко Т. О., Голубков П. Е., Карпанин О. В., Гурин С. А., Новичков М. Д. Анализ влияния технологических параметров на свойства прозрачных проводящих оксидов // Нано- и микросистемная техника. 2023. Т. 25, № 4. С. 151-158.

8. Zinchenko T. O., Pecherskaya E. A., Golubkov P. E., Listyukhin V. A., Zhurina A. E., Gurin S. A. Investigation of the Properties of Transparent Conductive Oxides Produced by Aerosol Pyrolysis // Journal of Surface Investigation. 2022. Vol. 16 (6). P. 1315-1321.

9. Баранов В. А. Систематизация способов измерения составляющих комплексного сопротивления по методу решения обобщенного уравнения мостовой цепи // Известия высших учебных заведений. Поволжский регион. Технические науки. 2008. № 3. С. 110-120.

10. Баранов В. А. Способы измерения нормированных параметров высоковольтных изоляторов под рабочим напряжением // Электрооборудование: эксплуатация и ремонт. 2012. № 7. С. 46-50.

11. Баранов В. А. Базовые структуры устройства для измерения составляющих нелинейного комплексного сопротивления гетерогенных объектов // Методы, средства и технологии получения и обработки измерительной информации («Шляндинские чтения - 2022») : материалы XIV Междунар. науч.-техн. конф. с элементами науч. школы и конкурсом науч.-иссл. работ для обучающихся и молодых ученых (Пенза, 24-26 октября 2022 г). Пенза : Изд-во ПГУ, 2022. С. 31-35.

12. Pecherskaya E. A., Artamonov D. V., Kondrashin V. I., Golubkov P. E., Karpanin O. V., Zinchenko T. O. Software - hardware complex for measurement and control of ferroe-lectrics parameters // IOP Conference Series Materials Science and Engineering. 2017. Vol. 225 (1). P. 012254.

13. Нефедьев Д. И., Баранов В. А. Измерения активных и пассивных электрических величин в высоковольтных электрических сетях // Метрология. 2013. № 11. С. 39-44.

14. Сви П. М. Методы и средства диагностики оборудования высокого напряжения. М. : Энергоатомиздат, 1992. 240 с.

References

1. Tsypin B.V. Izmerenie impedansov sistemami s EVM = Impedance measurement with computer systems. Penza: PGU, 2001:100. (In Russ.)

2. Baranov V.A., Svetlov A.V., Lomtev E.A., Tsypin B.V. Universal secondary converter for systems with parametric primary information converters. Izvestiya vysshikh uchebnykh zavedeniy. Povolzhskiy region. Tekhnicheskie nauki = University proceedings. Volga region. Engineering sciences. 2015;(3):86-94. (In Russ.)

3. Ashanin V.N., Baranov V.A., Lomtev E.A., Tsypin B.V. Analog-to-digital immittance converter for a unified channel of information-measuring and control systems. Izvestiya vysshikh uchebnykh zavedeniy. Povolzhskiy region. Tekhnicheskie nauki = University proceedings. Volga region. Engineering sciences. 2015;(4):96-108. (In Russ.)

4. Pechepskaya E.A., Metal'nikov A.M., Boboshko A.V. Structure of an intelligent system for supporting research into the parameters of ferroelectric materials. Nano- i mikro-sistemnaya tekhnika = Nano- and microsystem technology. 2011;(6):21-24. (In Russ.)

5. Pecherskaya E.A., Golubkov P.E., Karpanin O.V., Kozlov G.V., Pecherskiy A.V. Intelligent system for controlled synthesis of oxide coatings. Izmerenie. Monitoring. Uprav-lenie. Kontrol' = Measurement. Monitoring. Management. Control. 2019;(2):99-107. (In Russ.)

6. Zinchenko T.O., Pecherskaya E.A. Hardware for information-measuring and control system for the synthesis of transparent conducting oxides. Izvestiya vysshikh uchebnykh zavedeniy. Povolzhskiy region. Tekhnicheskie nauki = University proceedings. Volga region. Engineering sciences. 2023;(2):83-89. (In Russ.)

7. Pecherskaya E.A., Zinchenko T.O., Golubkov P.E., Karpanin O.V., Gurin S.A., No-vichkov M.D. Analysis of the influence of technological parameters on the properties of transparent conductive oxides. Nano- i mikrosistemnaya tekhnika = Nano- and microsystem technology. 2023;25(4):151-158. (In Russ.)

8. Zinchenko T.O., Pecherskaya E.A., Golubkov P.E., Listyukhin V.A., Zhurina A.E., Gurin S.A. Investigation of the Properties of Transparent Conductive Oxides Produced by Aerosol Pyrolysis. Journal of Surface Investigation. 2022;16(6):1315-1321.

9. Baranov V.A. Systematization of methods for measuring the components of complex resistance using the method of solving the generalized bridge circuit equation. Iz-vestiya vysshikh uchebnykh zavedeniy. Povolzhskiy region. Tekhnicheskie nauki = University proceedings. Volga region. Engineering sciences. 2008;(3):110-120. (In Russ.)

10. Baranov V.A. Methods for measuring standardized parameters of high-voltage insulators under operating voltage. Elektrooborudovanie: ekspluatatsiya i remont = Electrical equipment: operation and repair. 2012;(7):46-50. (In Russ.)

11. Baranov V.A. Basic structures of a device for measuring the components of nonlinear complex resistance of heterogeneous objects. Metody, sredstva i tekhnologii polucheni-ya i obrabotki izmeritel'noy informatsii («Shlyandinskie chteniya - 2022»): materialy XIV Mezhdunar. nauch.-tekhn. konf. s elementami nauch. shkoly i konkursom nauch.-issl. rabot dlya obuchayushchikhsya i molodykh uchenykh (Penza, 24-26 oktyabrya 2022 g) = Methods, means and technologies for obtaining and processing measurement information ("Shlyandin Readings - 2022"): proceedings of the 14th International scientific and engineering conference with scientific elements school and scientific research competition works for students and young scientists (Penza, October 24-26, 2022). Penza: Izd-vo PGU, 2022:31-35. (In Russ.)

12. Pecherskaya E.A., Artamonov D.V., Kondrashin V.I., Golubkov P.E., Karpanin O.V., Zinchenko T.O. Software - hardware complex for measurement and control of ferroe-lectrics parameters. IOP Conference Series Materials Science and Engineering. 2017;225(1):012254.

13. Nefed'ev D.I., Baranov V.A. Measurements of active and passive electrical quantities in high-voltage electrical networks. Metrologiya = Metrology. 2013;(11):39-44. (In Russ.)

14. Svi P.M. Metody i sredstva diagnostiki oborudovaniya vysokogo napryazheniya = Methods and tools for diagnosing high voltage equipment. Moscow: Energoatomizdat, 1992:240. (In Russ.)

iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.

Информация об авторах / Information about the authors

Екатерина Анатольевна Печерская доктор технических наук, профессор, заведующий кафедрой информационно-измерительной техники и метрологии, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40)

E-mail: [email protected]

Ekaterina A. Pecherskaya Doctor of engineering sciences, professor, head of the sub-department of information-measuring technology and metrology, Penza State University (40 Kransya street, Penza, Russia)

Виктор Алексеевич Баранов кандидат технических наук, доцент, доцент кафедры информационно-измерительной техники и метрологии, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40)

E-mail: [email protected]

Марина Викторовна Бержинская

кандидат технических наук, доцент кафедры информационно-измерительной техники и метрологии, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40)

E-mail: [email protected]

Борис Вульфович Цыпин

доктор технических наук, профессор, профессор кафедры ракетно-космического и авиационного приборостроения, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40)

E-mail: cypin@ yandex.ru

Александр Александрович Данилов доктор технических наук, профессор, директор ФБУ «Пензенский ЦСМ» (Россия, г. Пенза, г. Пенза, ул. Комсомольская, 20)

E-mail: [email protected]

Кирилл Алексеевич Ильин магистрант, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40)

E-mail: [email protected]

Viktor A. Baranov

Candidate of engineering sciences, associate professor, associate professor of the sub-department of information-measuring technology and metrology, Penza State University (40 Kransya street, Penza, Russia)

Marina V. Berzhinskaya

Candidate of engineering sciences, associate

professor of the sub-department

of information-measuring technology

and metrology, Penza State University

(40 Kransya street, Penza, Russia)

Boris V. Tsypin

Doctor of engineering sciences, professor, professor of the sub-department of rocket, space and aviation instrument engineering, Penza State University (40 Krasnaya street, Penza, Russia)

Aleksandr A. Danilov

Doctor of engineering sciences, professor,

director of the Penza Center

for Standardization and Metrology

(20 Komsomolskaya street, Penza, Russia)

Kirill A. Il'in Master's degree student, Penza State University (40 Krasnaya street, Penza, Russia)

Авторы заявляют об отсутствии конфликта интересов / The authors declare no conflicts of interests.

Поступила в редакцию / Received 10.01.2024

Поступила после рецензирования и доработки / Revised 01.02.2024 Принята к публикации / Accepted 11.03.2024

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.