Научная статья на тему 'Учёт столкновений заряженных частиц при обработке зондовых кривых '

Учёт столкновений заряженных частиц при обработке зондовых кривых Текст научной статьи по специальности «Физика»

CC BY
101
39
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.
Ключевые слова
ПЛАЗМА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ / ПОСЛЕСВЕЧЕНИЕ КИСЛОРОДА / РАСПАДАЮЩАЯСЯ ПЛАЗМА ГЕЛИЯ / ЗОНДЫ ЛЕНГМЮРА / ОРБИТАЛЬНОЕ ДВИЖЕНИЕ / ВОЛЬТ-АМПЕРНАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА / ФУНКЦИЯ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОНОВ ПО ЭНЕРГИЯМ / ТЕМПЕРАТУРА ЭЛЕКТРОНОВ / ТЕМПЕРАТУРА ИОНОВ / ПЛОТНОСТЬ ЧАСТИЦ / СЛОЙ ОБЪЁМНОГО ЗАРЯДА / HELIUM / OXYGEN / PLASMA AFTERGLOW / ION TEMPERATURE / ION DENSITY / PROBE SHEATH

Аннотация научной статьи по физике, автор научной работы — Гуцев Сергей Анатольевич, Косых Николай Борисович, Кудрявцев Анатолий Анатольевич

Работа посвящена совершенствованию зондовых методик в условиях промежуточных давлений. Приводится объяснение экспериментальных фактов завышения значенийтемпературы заряженных частиц и их плотностейпри их обработке традиционными методами. Показано, что пренебрежение учётом столкновенийзаряженных частиц в слое зонда приводит к завышению плотности ионов более чем в три раза, а температуры частиц — в девять раз. Для коррекции величины температуры предложена методика графического вычитания. Для уточнения плотности частиц в столкновительном режиме предлагается проводить расчёты в области малых потенциалов 0

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Похожие темы научных работ по физике , автор научной работы — Гуцев Сергей Анатольевич, Косых Николай Борисович, Кудрявцев Анатолий Анатольевич

iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Accounting for the collision of charged particles in the processing of probe curves

The paper focuses on the experimental study of decaying plasma in helium and oxygen using Langmuir probes. The main goal of the work is improvement of probe measurement techniques at intermediate pressures. It is shown that neglecting charged particle collisions in the probe sheath leads to overestimation of ion concentration in more than 3 times, and ion temperature — in 9 times. In order to obtain correct temperature values a technique of graphic substraction is suggested. More accurate particle density values are obtained by carrying out calculations in the low-potential (0

Текст научной работы на тему «Учёт столкновений заряженных частиц при обработке зондовых кривых »

УДК 537(533.9.082.5)

Вестник СПбГУ. Сер. 4. 2013. Вып. 4

С. А. Гуцев, Н. Б. Косых, А. А. Кудрявцев

УЧЁТ СТОЛКНОВЕНИЙ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ ПРИ ОБРАБОТКЕ ЗОНДОВЫХ КРИВЫХ*

Введение. Зондовые методы диагностики плазмы позволяют получать локальные значения таких важных параметров, как потенциал плазмы, концентрации заряженных частиц, их температуры, а также функцию распределения частиц по энергиям (ФРЭ). Наиболее разработанными являются бесстолкновительная и диффузионная теории движения заряженных частиц на зонд [1]. В то же время до сих пор не решена в полной мере проблема зондовой диагностики в промежуточных условиях, когда длина пробега заряженных частиц сравнима с величиной слоя объёмного заряда.

Целями представленной работы являются совершенствование зондовых методик в условиях промежуточных давлений и объяснение экспериментальных фактов завышения значений температуры заряженных частиц и их плотностей при обработке традиционными методами.

Экспериментальные результаты. Импульс длительностью 50 мкс и амплитудой тока от 10 до 200 мА создавал в стеклянной трубке R = 1,6 см плазму, которая распадалась в течение 350-550 мкс. Плотность заряженных частиц в плазме, температура, величина призондового слоя определялись по теории орбитального движения (OML) [1]

Ik(U) = ^£(kTk+eU)^; (1)

у/ПШк

т = U2 - Ui (0)

е ЫЩ/Ц'У Ы

h \ — {тг) 1

На рис. 1 изображена вторая производная зондового тока I"(U), измеренная на оси трубки в распадающейся плазме кислорода при давлении P = 0,07 торр, задержке 300 мкс, токе разряда 10 мА. Дифференцирующий сигнал составил 0,2 В. В этих условиях электроны исчезали из объёма через 220 мкс и в трубке возникала ион-ионная плазма [2].

Температура отрицательных ионов T- определялась по (2). Её значение увеличивалось от 1100 на оси до 2100 К у стенки трубки, для положительных (T+) — от 1400 до 2400 К. Температура стенок составляла 290 К. Для коррекции температуры вычтем из экспериментальной кривой I"(U) притягивающихся частиц. В этом случае при

Сергей Анатольевич Гуцев — кандидат физико-математических наук, Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики; e-mail: [email protected]

Николай Борисович Косых — кандидат физико-математических наук, Санкт-Петербургский государственный университет; e-mail: [email protected]

Анатолий Анатольевич Кудрявцев — кандидат физико-математических наук, Санкт-Петербургский государственный университет; e-mail: [email protected]

* По материалам международного семинара «Collisional processes in plasmas and gas laser media», 22—24 апреля 2013 г., физический факультет СПбГУ.

Семинар был проведён при софинансировании фондом «Династия».

© С. А. Гуцев, Н. Б. Косых, А.А.Кудрявцев, 2013

Рис. 1. I"(и) на оси трубки в распадающейся плазме кислорода:

штриховые линии зависимости — вторая производная тока притягивающихся частиц

еи ^ кТ ток на зонд I(V) ~ и1/2 [1], а его

8-| 642024-^ -6-8-10-

03

<

fa

-0,4 -0,3 -0,2 -0,1 0,0 0,1 0,2 0,3 0,4 U, В

I"(U) = const U—3/2.

(3)

При U > ±0,4 В функция распределения ионов по энергиям полностью спадает и влияние I"(U) притягивающихся частиц становится доминирующим. Вычитая значение (3) из экспериментальной кривой, определяем температуру по теории OML [1]. В наших условиях такая методика приводит к уравниванию и существенному уменьшению значений T+ = T— = 370 К.

Подобный метод был применён и для исследования послесвечения гелия [3]. При давлении 0,7 торр, токе разряда 40 мА, задержке 200 мкс была измерена I"(U). Величина Te по формуле (2) составила 930 К. Вычитание I"(U) притягивающихся ионов позволяет скоректировать ФРЭЭ и найти Te = 500 К. При повышении импульса тока до 80 мА в этих же разрядных условиях Te падает до 520 К [3, 4].

Таким образом, погрешность методики графического вычитания составляет всего 4 % для Te и около 10 % для Ti. Оценки показывают [4], что с ростом массы положительных ионов в электрон-ионной плазме эффект уменьшается.

С плотностью заряженных частиц дело обстоит сходным образом. На рис. 2 приведены радиальные зависимости I— (U) при задержке 400 мкс, а также I^(U) при 400 и 500 мкс, измеренные на оси трубки. Давление кислорода составляло 0,07 торр, импульс тока — 80 мА. В плазме основными носителями являются атомарный O-- и молекулярный 0+-ионы. Положительную ветвь нормируем на соотношение масс, тогда коэффициент наклона 12(U) одинаков для обеих частей ВАХ, т. е. nn = np, плотность частиц, определяемая по формуле (1), n = 4,2-109 см-3. Радиальные зависимости I^(U) сходятся в одной точке, следовательно, kTi = const по сечению трубки. Это соответствует результатам, полученным при применении методики графического вычитания (см. рис. 1).

По оценкам, = 0,014 и = 0,01 см, величина слоя на оси трубки 6d = 0,0078 см, т. е. пролёт частиц происходит без столкновений в соответствии с OML-теорией. Когда же измеряем на 500 мкс и Xp < 6d, I^(U) перестаёт быть линейной. В результате асимптотика I+2 (U) сдвигается влево, а сам коэффициент наклона увеличивается, что приводит к значительному (в 3-4 раза) завышению плотности.

Подобный механизм завышения плотности ионов наблюдается и в распадающейся плазме гелия [3, 4]. Так, при давлении 0,4 торр и разрядном токе 130 мА определяемые по наклону I2(U) значения ne = n + = 2,06 • 109 см-3. Увеличение давления до

50

40

30

20

10

2 0

-10

£

-20

-30

-40

-50

-60

-70

2

3

4

- 5

-2,5 -2,0 -1,5 -1,0 -0,5

0,0

и, В

0,5 1,0 1,5 2,0 2,5

Рис. 2. Радиальное распределение I— (V) в распадающейся плазме кислорода: 1 — г = 0; 2 — г = 0,5; 3 — г = 1; 4 — г = 1,5 см; 5 — I+ (V) на оси трубки; уменьшение плотности ионов за счёт их диффузии к стенкам, приводит к увеличению слоя и деформации зависимости 1+ (V) — 6

6

2,4 торр и уменьшение импульса тока до 30 мА приводят к значениям пе = 2,19 • 108 и п=6,1 • 108 см~3 соответственно. В последнем эксперименте асимптотика /2(и) также удаляется от начала координат, образуя «обратное» пересечение. Газокинетические оценки подтверждают дрейфовое движение ионов на зонд в этих условиях.

Таким образом, обратный порядок пересечения асимптот 12 (и) с осью абсцисс связан со столкновениями, которые необходимо учитывать при обработке ВАХ. В этом случае определять концентрацию заряженных частиц надо при малых еи « кТ (в отличие от методики определения плотности по теории орбитального движения при еи ^ кТ).

Заключение. Для корректного определения параметров плазмы необходимо проверять степень влияния столкновений заряженных частиц в призондовом слое. В работе приведены методики, позволяющие с помощью простых процедур успешно применять орбитальную теорию для столкновительного движения заряженных частиц на зонд.

Литература

1. Чен Ф. Электрические зонды // Диагностика плазмы / под ред. Р. Хаддлстоуна, С. Леонарда. М., 1967. С. 94-164.

2. Гуцев С. А., Кудрявцев А. А., Романенко В. А. Образование ион-ионной плазмы в результате убегания электронов в паузах импульсного разряда в кислороде // ЖТФ. 1995. Т. 65, № 11. С. 71-78.

3. Гуцев С. А., КосыхН. Б., Чирцов А. С. Особенности зондовых измерений в распадающейся плазме гелия // ПЖТФ. 2012. Вып. 3. С. 64-67.

4. БельскийД. Б., Гуцев С. А., Косых Н. Б. Некоторые особенности зондовых измерений в распадающейся плазме гелия // Вестн. С.-Петерб. ун-та. Сер. 4: Физика, химия. 2013. Вып. 1. С. 254-261.

Статья поступила в редакцию 22 апреля 2013 г.

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.