CC BY
9УДК 546.57-022.532:620.181.4
DOI: 10.24151/1561-5405-2019-24-6-557-564
Термическая стабилизация геометрических параметров массива наночастиц серебра, полученного вакуум-термическим испарением на ненагретую подложку
Д.Г. Громов1, С.В. Дубков1, Г.С. Ерицян1'2, А.И. Савицкий1'2, В.А. Быков3'4, Ю.А. Бобров3
1 Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва,
Россия
2
2НПК «Технологический центр», г. Москва, Россия 3НТ-МДТ, г. Москва, Россия
4Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет), г. Москва, Россия
gosha22_07@mail .ru
Наноразмерное состояние для многих веществ существенным образом отличается от массивного состояния. При формировании массивов наночастиц серебра путем конденсации на холодную подложку исходный конденсат нестабилен. Для формирования стабильных массивов с формой, близкой к сферической, требуется последующая слабая термообработка. В работе показано поведение массива наночастиц серебра при низкотемпературном отжиге. С помощью атомно-силовой микроскопии исследована эволюция массива наночастиц серебра, сформированного на поверхности SiO2 методом вакуум-термического испарения на ненагретую подложку в процессе in-situ нагрева до температуры 200 °С. Получена качественная оценка влияния температуры на геометрию массивов наночастиц. Экспериментально показано, что резкое укрупнение наночастиц серебра и уменьшение их количества на поверхности имеют место в узком интервале температур 75-100 °С, а в интервале температур 100-200 °С заметных изменений в массиве наночастиц серебра не происходит. После проведения статистической обработки полученных данных определены средние размеры формируемых частиц и их плотность на единицу площади на каждом из этапов эксперимента. Получены соответствующие зависимости.
Ключевые слова: наночастицы; серебро; вакуум-термическое испарение; отжиг; сканирующая зондовая микроскопия
Для цитирования: Термическая стабилизация геометрических параметров массива наночастиц серебра, полученного вакуум-термическим испарением на ненагретую подложку / Д.Г. Громов, С.В. Дубков, Г.С. Ерицян и др. // Изв. вузов. Электроника. - 2019. - Т. 24. - № 6. - С. 557-564. DOI: 10.24151/1561-5405-2019-24-6557-564
Финансирование: работа выполнена при финансовой поддержке Российского научного фонда (проект №19-19-00595).
© Д.Г. Громов, С.В. Дубков, Г.С. Ерицян, А.И. Савицкий, В.А. Быков, Ю.А. Бобров, 2019
Thermal Stabilization of Geometric Parameters of a Silver Nanoparticles Array Obtained by Vacuum-Thermal Evaporation on Unheated Substrate
D.G. Gromov1, S.V. Dubkov1, G.S. Eritsyan1'2, A.I. Savitsky1'2, V.A. Bykov3'4, Yu.A. Bobrov3
1National Research University of Electronic Technology, Moscow, Russia 2NPK Technological Center, Moscow, Russia 3LLC «NT-MDT», Moscow, Russia
4Moscow Institute of Physics and Technology, Moscow, Russia gosha22_07@mail.ru
Abstract. During formation of silver nanoparticles arrays by condensation to the cold substrate the initial condensate is non-stable. For the formation of nonstable arrays with the form, close to a spherical one, subsequent weak thermal treatment is required. The nanosize state for many substances significantly differs from the mass state. In the work the behavior of the silver nanoparticle array during low-temperature annealing has been shown. Using the atomic-force microscopy the evolution of the silver nanoparticles array, formed on the SiO2 by the vacuum-thermal evaporation the unheated substrate during in-situ heating up to 200 °C, has been investigated. The qualitative estimate of the temperature influence on the geometry of the nanoparticles arrays has been obtained. It has been experimentally shown that a sharp enlargement of silver nanoparticles and decreasing of their quantity on the surface occurs in a small temperature of (75-100 °C). After statistical processing of the obtained data the average sizes of the formed particles and their density per unit area at each stage of the experiment have been determined and the corresponding dependences have been obtained.
Keywords. nanoparticles; silver; vacuum-thermal evaporation; annealing; scanning probe microscopy
For citation. Gromov D.G., Dubkov S.V., Eritsyan G.S., Savitsky A.I., Bykov V.A., Bobrov Yu.A. Thermal stabilization of geometric parameters of a silver nanoparticles array obtained by vacuum-thermal evaporation on unheated substrate. Proc. Univ. Electronics, 2019, vol. 24, no. 6, pp. 557-564. DOI. 10.24151/1561-5405-2019-24-6557-564
Funding. the study has been supported by the Russian Science Foundation (project No. 19-19-00595).
Введение. Приемы управляемого формирования массивов наночастиц металлов на твердотельной поверхности находят все большее применение в связи с выявленными особенностями такого рода структур. Массивы наночастиц применяются в качестве вспомогательного материала для технологического процесса. Например, массивы металлических наночастиц нужны для каталитического роста массивов углеродных на-нотрубок [1-3] и нитевидных кристаллов [4, 5] в процессе химического осаждения из паровой фазы. Также существует прямое использование особенностей подобных массивов, например их антибактериальных свойств [6]. В настоящее время активно разви-
вается плазмоника [7], с которой связаны такие направления, как гигантское комбинационное рассеяние света [8, 9] и фотокатализ [10].
Физическое осаждение из паровой фазы на поверхности твердой подложки - один из методов формирования наночастиц [11]. Традиционно метод вакуум-термического испарения и последующей конденсации используется для формирования тонких пленок. Выращивание тонкой пленки этим методом хорошо изучено и подробно описано. Концепции зарождения и роста тонких пленок разработаны в ряде публикаций [12-16] и в настоящее время являются классическими. Тем не менее существуют явления, требующие изучения. В частности, при формировании массивов серебряных наноча-стиц путем конденсации на холодную подложку исходный конденсат нестабилен, и требуется последующая слабая термообработка (до 230 °С), чтобы сформировать более стабильный массив наночастиц с формой, близкой к сферической [17,18].
Цель настоящей работы - исследование эволюции формы наночастиц серебра в массиве, сконденсированном на холодной поверхности, при последующем нагреве, а также процесса быстрых и масштабных изменений структур при низкой температуре после конденсации наночастиц в вакууме.
Эксперимент. В серии экспериментов в качестве подложек использовались пластины монокристаллического кремния с кристаллографической ориентацией (100), покрытые термически выращенным диоксидом кремния. Перед проведением осаждения подложки прошли стандартную химическую обработку в растворе Каро и ПАР для удаления органических и неорганических загрязнений с последующей отмывкой в воде и сушкой в атмосфере азота.
Формирование массивов наночастиц серебра осуществлялось посредством вакуум-термического испарения навески из серебра массой 4,9 мг при остаточном давлении в камере не хуже 110-5 торр. Расстояние от испарителя до подложки составляло 20 см. Масса навески выбрана на основе данных калибровочных зависимостей, полученных в процессе исследований [19], для получения ожидаемого латерального размера наночастиц порядка 40 нм после проведения последующего отжига при температуре 230 °С.
АСМ-изображения рельефа пленки серебра на поверхности кремниевой подложки получали с помощью комплекса NT-MDT NTEGRA Prima, являющегося модульной лабораторией для реализации основных методик атомно-силовой и сканирующей туннельной микроскопии. Прибор находился в шумоизолирующем шкафу на антивибрационном столе. Образец устанавливался на столик с подогревом. В процессе измерений образцы нагревались, что позволяло получать данные об эволюции исходно осажденных массивов наночастиц. Сканирование проводилось в атмосфере воздуха в области размером 1,0 х 1,0 мкм. Температура столика изменялась от 28 до 200 °С. После каждого изменения температуры сканирование образца начиналось после релаксации дрейфа изображения, вызванного изменением температуры.
Результаты и их обсуждение. Проведенное исследование позволило проследить эволюцию массива наночастиц серебра от исходного состояния после нанесения до состояния, которое возникает при нагреве до 200 °С. Выяснено, что статистически меняются геометрия частиц серебра (высота и ширина) и количество частиц на единице площади поверхности.
На рис.1,а представлено АСМ-изображение исходного массива наночастиц серебра, который образовался в результате конденсации в вакууме на подложку при комнатной температуре. Измерение проводилось при температуре 28 °С. Сформированные пленки представляют собой массивы плотноупакованных частиц серебра. Статистичес-
кая обработка этого изображения показала, что средний латеральный размер частиц (16,9 ± 5,1) нм, средняя высота (2,4 ± 0,6) нм. Плотность частиц 2 200 мкм-2, и они имеют однородное распределение как по диаметру, так и по высоте и не содержат частиц размером больше 30 нм. Среднестатистическая частица в массиве по форме похожа на диск или блин.
а б в
Рис. 1. АСМ-изображения массивов наночастиц при температуре 28 °С (а); 50 °С (б) и 125 °С (в) Fig.1. AFM-image of nanoparticles array at temperature 28 °С (a); 50 °С (b) and 125 °С (с)
При нагреве изменения в массиве начинаются сразу. На рис.1,б приведено АСМ-изображение морфологии поверхности образца при температуре 50 °С. Видно, что изображение незначительно изменилось относительно изображения на рис.1,а. Однако его статистическая обработка показывает, что средний латеральный размер частиц увеличился до (22,6 ± 9,2) нм, средняя высота увеличилась до (4,2 ± 0,9) нм, а плотность частиц снизилась до 1 300 мкм . Средний объема частиц, согласно расчету, вырос примерно в три раза. Таким образом, уже при температуре 50 °С имеет место процесс коалесценции частиц серебра.
На рис.1,б показаны результаты исследования поверхности при температуре 125 °С. Плотность частиц на поверхности резко снизилась и составила порядка 350 мкм-2. При этом частицы стали заметно крупнее: латеральный размер частиц вырос до (44,0 ± 15,6) нм, а средняя высота увеличилась до (19,0 ± 8,6) нм. Их форма стала ближе к сферической, но приплюснутой.
Общий вид зависимостей изменения параметров массива наночастиц серебра от температуры нагрева в диапазоне 28-200 °С представлен на рис.2. Видно, что эволюция массива за счет коалесценции, приводящей к укрупнению частиц и уменьшению их количества на единице площади поверхности, начинается сразу после нагрева. Однако ключевые изменения массив претерпевает в интервале температур 75-100 °С. Именно в этом узком диапазоне температур латеральный размер почти удваивается, высота частиц увеличивается практически в четыре раза, а количество частиц на поверхности сокращается более чем в три раза. Отметим, что дальнейшее повышение температуры до 200 °С не приводит к заметным изменениям в параметрах массива наночастиц. Практически не меняются ни латеральный размер, ни высота частиц, ни их количество на единице площади поверхности. Это указывает на то, что система пришла в метастабильное состояние.
Однозначного объяснения наблюдаемого феномена нет. Можно отметить некоторые моменты и сделать предположения. Очевидно, что только с позиции явления коа-лесценции этот феномен объяснить невозможно. Коалесценция, как известно, активируется температурой: чем выше температура, тем активней происходит этот процесс [20]. Соответственно, с этой позиции процессы укрупнения частиц серебра и уменьшения их количества на поверхности должны продолжаться при повышении температуры нагрева. Однако коалесценция заканчивается при температуре 100 °С. Можно сделать вывод, что после завершения процесса вакуум-термического осаждения на ненагретую подложку конденсат серебра не находится в равновесии с поверхностью подложки. Причина этого может заключаться в адсорбированной на поверхности воде, которая де-сорбируется с поверхности в интервале температур 75-100 °С. В этом случае массив наночастиц серебра приходит в квазиравновесное состояние с поверхностью.
Заключение. Исследования показали, что исходный массив наночастиц серебра, свежеосажденный на ненагретую подложку методом вакуум-термического испарения, нестабилен. Быстрые изменения в массиве имеют место при невысокой температуре 75-100 °С. В результате этих изменений массив приходит в метастабильное состояние, которое сохраняется по меньшей мере до 200 °С. Данное обстоятельство необходимо учитывать при формировании массивов наночастиц серебра, в частности, для обеспечения заданного среднего размера частиц.
Литература
1. Growth of carbon nanotube arrays on various CtxMey alloy films by chemical vapour deposition method / P. Mierczynski, S.V. Dubkov, S.V. Bulyarskii et al. // Journal of Materials Science & Technology. - 2018. -Vol. 34. - No. 3. - P. 472-480. DOI: 10.1016/j.jmst.2017.01.030
2. Use of thin film of a Coi5Ti40N35 alloy for CVD catalytic growth of carbon nanotubes / D.G. Gromov, S.V. Dubkov, A.A. Pavlov et al. // Russian Microelectronics. - 2016. - Vol. 45. - No. 2. - P. 98-104.
3. Carbon nanotubes: properties, synthesis, and application / T. Maniecki, O. Shtyka, P. Mierczynski et al. // Fibre Chemistry. - 2018. - Vol. 50. - No. 4. - P. 297-300. DOI: 10.1007/s10692-019-09979-2; DOI:10.1007/s10527-015-9476-z
4. Effect of electrolyte temperature on the cathodic deposition of Ge nanowires on in and Sn particles in aqueous solutions / I.M. Gavrilin, D.G. Gromov, A. Dronov et al. // Semiconductors. - 2017. - Vol. 51. -P. 1067-1071. DOI: 10.1134/S1063782617080115
5. MalakootiM.H., Patterson B.A., Hwang H.S. Sodano, HZnO nanowire interfaces for high strength multifunctional composites with embedded energy harvesting // Energy & Environmental Science. - 2016. -Vol. 9. - No 2. - P. 634-643. DOI: 10.1039/c5ee03181h
6. BN/Ag hybrid nanomaterials with petal-like surfaces as catalysts and antibacterial agents / K.L. Firestein, D.V. Leybo, A.E. Steinman et al. // Beilstein journal of nanotechnology. - 2018. - Vol. 9. - No 1. -P. 250-261. DOI: 10.3762/bjnano.9.27
7. Grishina Y., Kukushkin V., Solovyev V., Kukushkin I. Slow plasmon-polaritons in a bilayer metallic structure revealed by the lower-energy resonances of surface-enhanced Raman scattering // Optics Express. -2018 - Vol. 26. - Iss. 17. - P. 22519-22527. DOI:10.1364/OE.26.022519
8. Optimization of nanostructures based on Au, Ag, AuAg nanoparticles formed by thermal evaporation in vacuum for SERS applications / D. Gromov, S. Dubkov, A. Savitskiy et al. // Applied Surface Science. - 2019. -No. 489. - P. 701-707. DOI: 10.1016/j.apsusc.2019.05.286
9. Highly sensitive detection of influenza virus with SERS aptasensor / V. Kukushkin, N. Ivanov, A. Novoseltseva et al. // PLoS ONE. - 2019. - Vol. 14. - No. 4. - P. e0216247. - DOI: 10.1371/journal.pone.0216247
10. Plasmonic control of solar-driven CO2 conversion at the metal/ZnO interfaces / J. Zhao, B. Liu, L. Meng et al. // Applied Catalysis B: Environmental. - 2019. - No. 256. - P. 117823. DOI: 10.1016/j.apcatb.2019.117823
11. Kozhemyakin G.N., Kiiko S.A., Bryl O.E. Formation of indium nanoparticles by thermal evaporation // Crystallography Reports. - 2019. - Vol. 64. - Iss. 3. - P. 457-460. DOI: 10.1134/S1063774519030167
12. Goldby I.M., Kuipers L., von Issendorff B., Palmer R.E. Diffusion and aggregation of size-selected silver clusters on a graphite surface // Appl. Phys. Lett. - 1996. - Vol. 69. - No. 19. - P. 2819-2821. DOI: 10.1063/1.116854
13. Sigsbee R., Pound G. Heterogeneous nucleation from the vapor. Advances in Colloid and Interface Science. - 1967. - Vol. 1. - Iss. 3. - P. 335. DOI: 10.1016/0001-8686(67)80007-1
14. Walton D. The orientation of vapour deposits // Philosophical Magazine. - 1962. - Vol. 7. - Iss. 82. -P. 1671-1679. DOI: 10.1080/14786436208213702
15. Oxtoby D.W., Evans R. Nonclassical nucleation theory for the gas-liquid transition // The Journal of Chemical Physics. - 1988. - No. 89. - P. 7521. DOI: 10.1063/1.455285
16. Громов Д.Г., Гаврилов С.А. Проявление гетерогенного механизма при плавлении малоразмерных систем // Физика твердого тела. - 2009. - Т. 51. - Вып. 10. - С. 2012-2021.
17. Study of silver cluster formation from thin films on inert surface / A.N. Belov, S.V. Bulyarsky, D.G. Gromov et al. // Calphad. - 2014. - Vol. 44. - P. 138-141. DOI: 10.1016/j.calphad.2013.07.017
18. Investigation of condensation of small portions of Ag at thermal evaporation in vacuum / D. Gromov, E. Lebedev, A. Savitskiy et al. // Journal of Physics: Conference Series. - 2015. - No 643(1). - P. 6. DOI: 10.1088/1742-6596/643/1/012014
19. Gromov D.G., Pavlova L.M., Savitsky A.I., Trifonov A.Yu. Nucleation and growth of Ag nanoparticles on amorphous carbon surface from vapor phase formed by vacuum evaporation // Appl. Phys. A. - 2015. -Vol. 118. - P. 1297-1303.
20. КомникЮ.Ф. Физика металлических пленок. Размерные иструктурные эффекты. - М.: Атомиз-дат, 1979. - 264 с.
Поступила в редакцию 13.08.2019 г.; после доработки 13.08.2019 г.; принята к публикации 24.09.2019 г.
Громов Дмитрий Геннадьевич - доктор технических наук, профессор, главный научный сотрудник Института перспективных материалов и технологий Национального исследовательского университета «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1), gromadima@gmail.com
Дубков Сергей Владимирович - кандидат технических наук, научный сотрудник Института перспективных материалов и технологий Национального исследователь-
ского университета «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шоки-на, 1), sv.dubkov@gmail.com
Ерицян Георгий Спартакович - младший научный сотрудник Института перспективных материалов и технологий Национального исследовательского университета «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1), gosha22_07@mail.ru
Савицкий Андрей Иванович - кандидат технических наук, инженер НПК «Технологический центр» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1), andr. savitskiy@gmail .com
Быков Виктор Александрович - доктор технических наук, профессор Московского физико-технического института (национального исследовательского университета) (Россия, 141701, Московская область, г. Долгопрудный, Институтский пер., 9), научный руководитель ООО «НТ-МДТ» (Россия, 124460, г. Москва, г. Зеленоград, 4922-й проезд, 4/3), vbykov@ntmdt-si.com
Бобров Юрий Александрович - кандидат физико-математических наук, ведущий инженер ООО «НТ-МДТ» (Россия, 124460, г. Москва, г. Зеленоград, 4922-й проезд, 4/3), yubobrov@ntmdt-si.com
References
1. Mierczynski P., Dubkov S.V., Bulyarskii S.V., Pavlov A.A., Skorik S.N., TrifonovA.Yu., Mierczynska A., Kitsyuk E.P., Gavrilov S.A., Maniecki T.P., Gromov D.G. Growth of carbon nanotube arrays on various CtxMey alloy films by chemical vapour deposition method. Journal of Materials Science & Technology, 2018, vol. 34, no 3, pp. 472-480. DOI: 10.1016/j.jmst.2017.01.030
2. Gromov D.G., Dubkov S.V., Pavlov A.A., Skorik S.N., Trifonov A.Y.,Shulyatev A.S., Rygalin B.N. Use of thin film of a Co15Ti40N35 alloy for CVD catalytic growth of carbon nanotubes. Russian Microelectronics, 2016, vol. 45, no. 2, pp. 98-104.
3. Maniecki T., Shtyka O., Mierczynski P., Ciesielski R., Czylkowska A., Leyko J., Mitukiewicz G., Dubkov S., Gromov, D. Carbon Nanotubes: Properties, Synthesis, and Application. Fibre Chemistry, 2018, vol. 50, no. 4, pp. 297-300. DOI: 10.1007/s10692-019-09979-2. D0I:10.1007/s10527-015-9476-z
4. Gavrilin I.M., Gromov D.G., Dronov A., Dubkov S.V., Volkov R.L., Trifonov A.Y., Borgardt N.I., Solnyshkin A.V. Effect of electrolyte temperature on the cathodic deposition of Ge nanowires on in and Sn particles in aqueous solutions. Semiconductors, 2017, vol. 51, pp. 1067-1071. DOI: 10.1134/S1063782617080115
5. Malakooti M.H., Patterson B.A., Hwang H.S., Sodano H. ZnO nanowire interfaces for high strength multifunctional composites with embedded energy harvesting. Energy & Environmental Science, 2016, vol. 9, no. 2, pp. 634-643. DOI: 10.1039/c5ee03181h
6. Firestein K.L., Leybo D.V., Steinman A.E., KovalskiiA.M., Matveev A.T., Manakhov A.M., Sukhorukova I.V., Slukin P.V., Fursova N.K., Ignatov S.G., Golberg D.V., ShtanskyD.V. BN/Ag hybrid nanomaterials with petal-like surfaces as catalysts and antibacterial agents. Beilstein journal of nanotechnology, 2018, vol. 9, no. 1, pp. 250-261. DOI: 10.3762/bjnano.9.27
7. Grishina Y., Kukushkin V., Solovyev V., Kukushkin I. Slow plasmon-polaritons in a bilayer metallic structure revealed by the lower-energy resonances of surface-enhanced Raman scattering. Optics Express, 2018, vol. 26, iss.17, pp. 22519-22527. DOI:10.1364/OE.26.022519
8. Gromov D., Dubkov S., Savitskiy A., Shaman Y., Polokhin A., Belogorokhov I., Trifonov A. Optimization of nanostructures based on Au, Ag, AuAg nanoparticles formed by thermal evaporation in vacuum for SERS applications. Applied Surface Science, 2019, no. 489, pp. 701-707. DOI: 10.1016/j.apsusc.2019.05.286
9. Kukushkin V., Ivanov N., Novoseltseva A., Gambaryan A., Yaminsky I., Kopylov A., Zavyalova E. Highly sensitive detection of influenza virus with SERS aptasensor. PLoS ONE, 2019, vol. 14, no. 4, p. e0216247. DOI: 10.1371/journal.pone.0216247
10. Zhao J., Liu B., Meng L., He S., Yuan R., Hou Y., Ding Z., Lin H., Zhang Z., Wang X., Long J. Plasmonic control of solar-driven CO2 conversion at the metal/ZnO interfaces. Applied Catalysis B: Environmental,, 2019, no. 256, p. 117823. DOI: 10.1016/j.apcatb.2019.117823
11. Kozhemyakin G.N., Kiiko S A., Bryl O.E. Formation of Indium Nanoparticles by Thermal Evaporation. Crystallography Reports, 2019, vol. 64, iss. 3, pp. 457-460. DOI: 10.1134/S1063774519030167
12. Goldby I. M., Kuipers, L., von Issendorff B., Palmer R. E. Diffusion and aggregation of size-selected silver clusters on a graphite surface. Applied Physics Letters, 1996, vol. 69, no. 19, pp. 2819-2821. DOI: 10.1063/1.116854
13. Sigsbee R., Pound G. Heterogeneous nucleation from the vapor. Advances in Colloid and Interface Science, 1967, vol. 1, iss. 3, p. 335. DOI: 10.1016/0001-8686(67)80007-1
14. Walton D. The orientation of vapour deposits. Philosophical Magazine, 1962, vol. 7, iss. 82, pp. 16711679. DOI: 10.1080/14786436208213702
15. Oxtoby D.W., Evans R. Nonclassical nucleation theory for the gas-liquid transition. The Journal of Chemical Physics, 1988, no. 89, p. 7521. DOI: 10.1063/1.455285
16. Gromov D.G., Gavrilov S.A. Demonstration of a heterogeneous mechanism during the melting of small-sized systems. Fizika tverdogo tela = Solid State Physics, 2009, vol. 51, iss. 10, pp. 2012-2021. (in Russian).
17. BelovA.N., BulyarskyS.V., GromovD.G., PavlovaL.M., PyatilovaO.V. Study of silver cluster formation from thin films on inert surface. Calphad, 2014, vol. 44, pp. 138-141. DOI: 10.1016/j.calphad.2013.07.017
18. Gromov D., Lebedev E., Savitskiy A., Trifonov A., Rubcov V., Borgardt N., Grishina Y. Investigation of condensation of small portions of Ag at thermal evaporation in vacuum. Journal of Physics: Conference Series, 2015, no. 643(1), p. 6. DOI: 10.1088/1742-6596/643/1/012014
19. Gromov D.G., Pavlova L.M., Savitsky A.I., TrifonovA.Yu. Nucleation and growth of Ag nanoparticles on amorphous carbon surface from vapor phase formed by vacuum evaporation. Appl. Phys. A, 2015, vol. 118, pp. 1297-1303.
20. Komnik Yu.F. Physics of metal films. Dimensional and structural effects. Moscow, Atomizdat Publ., 1979. 264 p. (in Russian).
Received 13.08.2019; Revised 13.08.2019; Accepted 24.09.2019. Information about the authors:
Dmitriy G. Gromov - Dr. Sci. (Eng.), Prof., Chief Researcher of the Institute of Advanced Materials and Technologies, National Research University of Electronic Technology (Russia, 124498, Moscow, Zelenograd, Shokin sq., 1), gromadima@gmail.com
Sergey V. Dubkov - Cand. Sci. (Eng.), Researcher of the Institute of Advanced Materials and Technologies, National Research University of Electronic Technology (Rus-sia,124498, Moscow, Zelenograd, Shokin sq., 1), sv.dubkov@gmail.com
Georgiy S. Eritsyan - Junior Scientific Researcher of the Institute of Advanced Materials and Technologies, National Research University of Electronic Technology (Russia, 124498, Moscow, Zelenograd, Shokin sq., 1), gosha22_07@mail.ru
Andrey I. Savitskiy - Cand. Sci. (Eng.), Engineer, SPC «Technological Center» (Russia, 124498, Moscow, Zelenograd, Shokin sq., 1), andr.savitskiy@gmail.com
Viktor A. Bykov - Dr. Sci. (Eng.), Prof., Moscow Institute of Physics and Technology (Russia, 141701, Moscow Region, Dolgoprudny, Institutskiy ln., 9), Academic Advisor, LLC «NT-MDT» (Russia, 124460, Moscow, Zelenograd, Proezd 4922, 4/3), vbykov@ntmdt-si .com
Yuri A. Bobrov - Cand. Sci. (Phys.-Math.), Leading Engineer, LLC «NT-MDT» (Russia, 124460, Moscow, Zelenograd, Proezd 4922, 4/3), yubobrov@ntmdt-si.com
