Свойства синтезированных пленок Copt, полученных с помощью твердофазных реакций Текст научной статьи по специальности «Нанотехнологии»

Актуальные проблемы авиации и космонавтики. Технические науки

К. С. Мурашева, С. А. Воробьев и др. // Химия в интересах устойчивого развития. 2013. 21. С. 425-931.

2. Воробьев С. А Образование наночастиц меди в водных растворах при восстановлении меди (II) гидразином, борогидридом натрия и аскорбиновой ки-

слотой / Диссертация на соискание ученой степени кандидата химических наук. Красноярск, 2013. С. 127.

© Мурашева К. С., Кочмарев К. Ю., Воробьев С. А., Сайкова С. В., 2014

УДК 669.713.7

А. Н. Рыбакова Научный руководитель - В. С. Жигалов Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева, Красноярск

СВОЙСТВА СИНТЕЗИРОВАННЫХ ПЛЕНОК СоРг, ПОЛУЧЕННЫХ С ПОМОЩЬЮ ТВЕРДОФАЗНЫХ РЕАКЦИЙ

Проанализировано использование твердотельных реакций для синтеза плёночных структур. Рассмотрены типы твердотельных реакций.

В настоящее время в микро- и наноэлектронике используют структуры, состоящие из многих слоев, между которыми возможны протекания химических реакций при определённых условиях. Поэтому возникает необходимость их изучения с целью устранения в устройствах. В таких структурах при нагреве возникает последовательность фазовых превращений, поэтому многие исследователи предлагают использовать твердофазные реакции (ТФР) для синтеза материалов с новыми свойствами [1-2].

Целью данной работы является изучение процесса химических взаимодействий в двухслойных структурах Co/Pt, фазообразования в данной системе и свойств образованных фаз в зависимости от состава, температуры обработки и типа подложек. Пленки системы Co-Pt, имеющие высокоанизотропную кубическую структуру с тетрагональным искажением (L10) широко исследуются в связи с возможным использованием их в качестве сред для высокоплотной магнитооптической записи [3], а также для изготовления пленочных постоянных магнитов в системах MEMS. Для получения пленок с фазой L10 в системах Fe-Pd, Fe-Pt и Co-Pt используются много способов и технологий, однако мало публикаций, связанных с получением таких пленок с помощью твёрдофазных реакций

[4].

В работе были проведены рентгеноструктурные и магнитные исследования в пленочных двухслойных системах Co/Pt с концентрационным соотношением элементов 1/1 и 1/3 на монокристаллических подложках MgO в зависимости от температуры термообработки в пределах 400-850 °С. Исходные образцы получались методом вакуумного испарения, в которых в

качестве первых слоев наносились слои кобальта с разной кристаллографической ориентацией. В системах с кубическим кобальтом ф-Со) и атомным соотношением 1/3 при температурах отжига (Тотж) 550 0С и выше формировалась фаза СоР13 (Ь12) с величиной коэрцитивной силы (~10 Э), которая сохранялась при увеличении Тотж вплоть до 850 °С. Рентгеноструктур-ные исследования пленок с монокристаллическим кобальтом с гексагональной структурой и атомным соотношением Со/Р! 1/1 показали, что при Тотж 550° сформируется монокристаллическая фаза Ь10 с рефлексами (200) и (002), имеющей величину первой константы анизотропии -5-106 эрг/см3 и коэрцитивную силу ~8 кЭ. Увеличение температуры отжига этой структуры выше 700 0С способствовало образованию кубической фазы СоР!3 (Ь12) с коэрцитивной силой 10-30 Э.

В работе также изучен процесс ТФР в системах Со/Р! и измерены температурные параметры образования всей последовательности фаз.

Библиографические ссылки

1. Третьяков Ю. Д. // Соросовский образовательный журнал. М., 1999. Т. 4. С. 35-39.

2. Мержанов А. Г. // Успехи химии. М., 2001. № 12. С. 59-98.

3. Жигалов В. С. и др. // ЖЭТФ. 2009. Т. 88. № 6. С. 445-449.

4. Мягков В. Г. // Физика твердого тела. 2000. Т. 42. № 5. С. 937.

© Рыбакова А. Н., 2014