CC BY
37
СУБВОЛНОВАЯ ФОКУСИРОВКА С ПОМОЩЬЮ ЗОННОЙ ПЛАСТИНКИ ФРЕНЕЛЯ С ФОКУСНЫМ РАССТОЯНИЕМ 532 НМ
Стафеев С.С.1'2, О'Фаолейн Л.3, Шанина М.И.1, Котляр В.В.1, Сойфер В.А.1 'Институт систем обработки изображений РАН, 2Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королёва (национальный исследовательский университет), 3Школа физики и астрономии университета Сент-Эндрюса, Шотландия
Аннотация
Изготовлена и исследована фазовая бинарная зонная пластинка с фокусным расстоянием 532 нм, радиусом 7,7 мкм и глубиной рельефа 510 нм. С помощью ближнепольного микроскопа показано, что при освещении пластинки линейно поляризованным Гауссовым пучком с длиной волны 532 нм формируется фокусное пятно с диаметром интенсивности по полуспаду, равным 0,44 от длины волны.
Ключевые слова: сканирующий ближнепольный оптический микроскоп, субволновая фокусировка лазерного света, фазовая зонная пластинка.
Введение
В настоящий момент существует большое количество работ, посвященных исследованию фокусировки света с помощью зонных пластинок (ЗП) с фокусным расстоянием, сопоставимым с длиной волны. Так, например, в статье [1] численно и экспериментально исследуется фокусировка линейно-поляризованного света с длиной волны 633 нм с помощью френелевской ЗП с фокусным расстоянием 0,5 мкм, экспериментально наблюдалось эллиптическое фокусное пятно с наименьшим диаметром FWHM = 0,63X (FWHM = full width at half maximum). В [2] было получено значение диаметра фокусного пятна равное FWHM = 0,39X при моделировании методом FDTD (FDTD = finite difference time domain), а также с помощью формул Ричардса - Вольфа фокусировка плоской линейно-поляризованной волны ЗП с фокусным расстоянием 0,5 мкм. В работе [3] рассматривается фокусировка амплитудной ЗП, изготовленной на кварцевой подложке из серебра; моделирование на основе метода FDTD показывает, что диаметр фокусного пятна такой ЗП равен 0,33X. В статье [4] исследуется ЗП, в которой чётные зоны закрыты периодическими слоями металла (серебро) и диэлектрика (стекло), показано, что использование подобной структуры позволяет увеличить дифракционную эффективность зонной пластинки до 40%, а рассчитанный диаметр фокусного пятна равен в данном случае FWHM = 0,48X.
В данной работе исследовалась фазовая ЗП Френеля с фокусным расстоянием f= 0,532 мкм (т.е. равным длине волны освещающего света), радиусом 7,7 мкм и глубиной рельефа 510 нм. С помощью сканирующего ближнепольного оптического микроскопа исследовалось прохождение линейно-поляризованного Гауссова пучка с длиной волны X = 532 нм через такую ЗП. Экспериментально зарегистрировано фокусное пятно с диаметром по полуспаду интенсивности равным FWHM = 0,44X. Также было проведено численное моделирование (методом FDTD) фокусировки света данной ЗП, которое показало, что диаметр фокусного пятна равен FWHM = 0,42X, при этом среднеквадратичное отклонение экспериментальной кривой от расчётной было равно 5%. Это лучший результат для ЗП на сегодняшний день.
1. Эксперимент
Зонная пластинка высокого качества была изготовлена по технологии электронной литографии из резиста ZEP (показатель преломления резиста n = 1,52). На рис. 1а показано изображение ЗП в электронном микроскопе.
Радиусы ЗП рассчитывались по известной формуле rm = (mXf+ m2X2/4)'/2, где f- фокусное расстояние, m - номер радиуса. Эксперимент осуществлялся с помощью сканирующего ближнепольного оптического микроскопа NTEGRA Spectra (NT-MDT).
1 0,8
0,6
Интенсивность, отн.ед. 1,0
0,8
0,6 0,4 0,4 0,2 0,2
0
0
1. FDTD 2. NSOM
2
1
0 1 х, Л -2 -1 0 1 х, X
Рис. 1. Изображение зонной пластинки в электронном микроскопе (а), распределение интенсивности в фокусе зонной пластинки (б), распределение интенсивности вдоль оси х в фокусе (в): моделирование (кривая 1) и эксперимент (кривая 2)
ЗП освещалась линейно-поляризованным Гауссовым пучком с длиной волны 532 нм, затем измерялось распределение интенсивности на различных расстояниях от поверхности зонной пластинки. На рис. 16 показано распределение интенсивности в фокусе зонной пластинки. Фокусное пятно обладает эллиптичностью - диаметр пятна вдоль оси x меньше диаметра вдоль оси y (поляризация направлена вдоль оси y). Наименьший диаметр фокусного пятна по полуспаду интенсивности равен FWHM= 0,44X. На рис. 1в (кривая 2, NSOM = near-field scanning optical microscope) показано экспериментальное распределение интенсивности в фокусе вдоль оси x (рис. 16).
2. Моделирование
С целью проверки полученных результатов было проведено численное моделирование методом FDTD. Была использована модификация метода FDTD для цилиндрической системы координат, реализованная в среде Matlab 2011b. В моделировании рассматривалась фокусировка линейно-поляризованного Гауссова пучка с шириной œ = 7X и длиной волны X = 532 нм. Размер вычисляемой области вдоль оси z был равен 17X, вдоль оси r - 24X, длина сетки по пространству - X/50, по времени - X/100c, где c - скорость света в вакууме. На краях вычисляемой области использовались слои Беренгера толщиной X. На рис. 1в (кривая 1) показано распределение интенсивности в фокусе, полученное при численном моделировании. Диаметр фокусного пятна равен 0,42X. Из рисунка видно, что обе кривые хорошо накладываются друг на друга.
Заключение
В данной работе экспериментально с помощью сканирующего ближнепольного оптического микроскопа наблюдалось эллиптическое фокусное пятно с меньшим диаметром по полуспаду интенсивности равным 0,44X при фокусировке линейно-поляризованного Гауссова пучка с длиной волны X = 532 нм ЗП с фокусным расстоянием f= X. Диаметр фокусного пятна при моделировании составил 0,42X. Среднеквадратичное отклонение экспериментальной кривой от расчётной равно 5%.
Благодарности Работа выполнена при поддержке ФЦП «Научные и научно-педагогические кадры инновационной России» (госконтракт № 14.740.11.0016), грантов Президента РФ поддержки ведущих научных школ (НШ-7414.2010.9).
Литература (References)
1. Mote, R.G. Experimental demonstration of near-field focusing of a phase micro-Fresnel zone plate (FZP) under linearly polarized illumination / R.G. Mote, S.F. Yu, A. Kumar, W. Zhou, X.F. Li // Appl. Phys. B. - 2011. -V. 102. - P. 95-100.
2. Mote, R.G. Subwavelength focusing behavior of high numerical-aperture phase Fresnel zone plates under various polarization states / R.G. Mote, S.F. Yu, W. Zhou, X.F. Li // Appl. Phys. Lett. - 2009. - V. 95. - P. 191113.
3. Fu, Y. Plasmonic microzone plate: Superfocusing at visible regime / Y. Fu, W. Zhou, L.E.N. Lim, C.L. Du, X.G. Luo // Appl. Phys. Lett. - 2007. - V. 91. - P. 061124
4. Kim, H.C. High efficient optical focusing of a zone plate composed of metal/dielectric multilayer / H.C. Kim, H. Ko, M. Cheng // Opt. Exp. - 2009. - V. 17. - P. 3078-3083.
SUBWAVELENGTH FOCUSING USING FRESNEL ZONE PLATE WITH FOCAL LENGTH OF 532NM
S.S. Stafeev1,2, L. O'Faolain 3, M.I. Shanina1, V.V. Kotlyar1, V.A. Soifer1 1 Image Processing Systems Institute of the RAS, 2 S.P. Korolyov Samara State Aerospace University (National Research University), 3 School of Physics and Astronomy, University of St. Andrews, Scotland
Abstract
Using a near-field scanning optical microscope we measure a focal spot resulting from the illumination the phase zone plate with focal length 532 nm, radius 7,7 um and etch depth 510 nm by linearly polarized Gaussian beam with wavelength 532 nm. The diameter of focal spot equals to 0,44 of wavelength. The root-mean-square deviation of the focal spot intensity from the calculated value is 5%.
Key words: scanning nearfield optical microscope, subwavelength focusing of laser light, phase zone plate.
Сведения об авторах
Сведения об авторах — см. стр. 9, 10 тома 35 №1 журнала Компьютерная оптика.
Поступила в редакцию 25 сентября 2011 г.
