CC BY
122
МАШИНЫ, АГРЕГАТЫ И ПРОЦЕССЫ
УДК 621.5-7
Проблемы создания нанопродуктов с использованием нанотехнологий
Владимир Анатольевич Васин, к.т.н., доцент, e-mail: [email protected]
Наталья Георгиевна Фатьянова, аспирант
Богдан Алексеевич Трошин, аспирант
Борис Никитович Васичев, д. физ.-мат. н., проф.
Сергей Валентинович Степанчиков, к.т.н., доцент
ФГБОУ ВПО «Московский институт электроники и математики НИУ «Высшая школа экономики», Москва
Предложен комплексный подход к организации научного поиска, разработке технологий и методов производства, который требуется при создании и внедрении нанопродуктов, нанотехнологий и микросистемной техники; показано, что перспективы использования наноструктур связаны с возможностью существенной модернизации свойств известных веществ, материалов и изделий из структурных элементов нанометрового диапазона; рассмотрены проблемы, возникающие при производстве нанопродуктов, а также технологические, метрологические и эксплуатационные особенности их внедрения.
Organization of the creation and implementation of nano, nanotechnology and microsystems technology requires a comprehensive approach to the formation of scientific research, technology development and production methods, including the creation of the technical basis for implementation of these processes. Prospects for the use of nanostructures associated with a significant opportunity to upgrade the properties of known substances, materials and products of the structural elements of the nanometer range. A number of problems of creating and implementing nano, nanotechnology and related equipment.
Ключевые слова: нанотехнология, фуллерены, нанотрубки, свойства нанообъектов.
Keywords: nanotechnology, fullerenes, nanotubes, properties of nanoobjects.
В современном понимании нанотехнологический процесс - это рукотворное создание нанообъектов из атомов с заданными физико-химическими свойствами, которые лягут в основу формирования новых материалов, а также современных объектов электроники и информатики, энергетики и транспорта, пищевых и медико-биологических продуктов и многого другого, что свидетельствует о начале разработки принципиально новых технологических процессов, не имеющих аналогов в прошлом.
В настоящее время имеются обнадеживающие результаты исследований свойств некоторых нанообъектов. Так, например, знания, полученные фундаментальной и прикладной науками и накопленный в ходе экспериментов материал, позволяют создавать методические рекомендации, обеспечивающие разработку новых материалов и объектов исследования, совершенствовать технологии
производства, а также изготавливать современное научное и производственное оборудование.
Многие из перспективных направлений в материаловедении, наноэлектронике и прикладной химии связывают в последнее время с фуллеренами, нанотрубками и другими похожими структурами, которые можно назвать общим термином «каркасные» структуры [1 - 4]. Углеродные каркасные структуры - это большие (иногда гигантского размера) молекулы, состоящие исключительно из атомов одного элемента - углерода. Главная особенность таких молекул - их каркасная форма, которая выглядит как замкнутая, пустая оболочка. Каркасные структуры являются новой аллотропной формой материи. В 1985 г. была открыта новая форма углерода: сферическая структура из 60 атомов углерода. Такие углеродные кластеры стали называть фулле-ренами. В 1991 г. были обнаружены другие формы
углерода: продолговатые трубчатые образования, названные нанотрубками. Данные структуры состоят из сетки атомов углерода в форме гексагонов и могут рассматриваться как цилиндры, скрученные из планарной графеновой плоскости.
Каркасные структуры имеют очень малую массу и в то же время рекордно высокий модуль упругости (до 1 ТПа). Нанотрубки на данный момент являются тончайшими из когда-либо полученных волокон. Их прочность примерно в 20 раз больше, чем у самой прочной стали, а теплопроводность примерно в 2 раза выше, чем у алмаза. Кроме углеродных структур, научились получать бор-азотные и другие нанотрубки.
До определенного момента наночастицы не подвергались тщательному анализу, но в результате научного прогресса были открыты их свойства. Например, наблюдается широкий диапазон различных форм: конусообразные, дисковые и другие структуры. Частицы многогранных форм иногда имеют пентагональные и гексагональные профили. Исследования с помощью электронных микроскопов с высокой разрешающей способностью (около 0,1 нм) свидетельствуют о том, что наночастицы могут выглядеть или как замкнутые концентрические, или как незамкнутые ракушкообразные структуры. Также встречаются разрывы в виде линейной дислокации. Наиболее вероятно, что их первоначальные структуры родственны, а зарождение подобно.
Структуры наночастиц пока не исследованы детально, поэтому большое значение приобретает дальнейшая работа как в области фундаментальных исследований, так и со стороны потенциальных приложений этих структур. Изучение таких наноструктур, как бактерии и вирусы, фаги и другие микроорганизмы, нанообручи и наноконусы, фуллерены, нанотрубки и вискерсы все еще находится на начальном этапе (в зародыше). Вполне возможно, что дальнейшие исследования данных структур могут привести к открытию еще более замечательных свойств микромира. Свидетельством этому является, например то, что одни и те же атомы при определенных условиях могут формировать вещество, обладающее как свойствами проводников электрического тока, так и изолирующими свойствами.
Свойства нанообъектов
Наиболее удивительные из всех физических свойств - электронно-транспортные свойства графита, неупорядоченных углеродов и углеродных волокон. Исследования этой группы объектов по-
казало, что электрические свойства графитов и графитизированного углерода могут сильно меняться в зависимости от степени кристаллического упорядочения атомов.
Только из атомов одного элемента, например углерода (состоящих из 6 электронов, 6 протонов и 6 нейтронов), могут быть образованы различные формы кристаллической структуры углерода и, как следствие, конфигурации нанообъектов. Доказательством существования сложных структурных процессов, происходящих при формировании нанообъектов того или иного вида, могут служить экспериментальные результаты, полученные в ряде лабораторий. Следует напомнить, что углерод является основой жизни на Земле. Поэтому исследование углеродных нанообъектов представляет особый интерес. Эти объекты можно назвать точками кристаллизации, поскольку в них начинается кристаллизация (а значит, развитие и образование) вещества. До сих пор существовала некоторая неопределенность относительно начального этапа образования тех или иных форм нанообъектов. Это важный этап исследования, так как без понимания этого процесса невозможно управлять формированием требуемых нанообъектов.
Модели наносборки или роста нанообъктов
До сих пор нет ясности относительно начального этапа образования кристаллической решетки, например сажи. Исследователи Г. Крото и Р. Смоли [5] заинтересовались, могут ли фуллереноподоб-ные структуры участвовать в процессе образования структур типа сажи. Углеродные частицы в саже, как и фуллерены, образуются при конденсации углеродных фрагментов из газовой фазы, но в отличие от сажи имеют сферическую форму. Крото и Смоли предложили механизм образования сажи, основанный на модели «пентагонального пути». Эта модель аналогична образованию фул-леренов. Позже Крото и МакКей усовершенствовали эту модель. Новая модель, вокруг которой разгорелись споры ученых, рассматривает рост углеродного объекта за счет внедрения пентагональ-ных колец в растущую углеродную сетку. Если эти пятиугольники занимают соответствующие позиции, то образуется система С60 (система из 60 атомов) или другие фуллерены. Однако в общем случае замкнутая структура с ростом закручивается по спирали по типу морской раковины. При увеличении размеров эта спиральная структура становится похожей на многогранник.
Изучение и наблюдение столь малых объектов вызывает большие трудности, которые заклю-
чаются в основном в отсутствии электронных микроскопов с разрешающей способностью менее 0,1 нм. Для достижения требуемой разрешающей силы электронных микроскопов было решено увеличить ускоряющее напряжение, и тогда появились сверхвысоковольтные электронные микроскопы: в Англии, Японии, США - до 1,2 МВ, во Франции - до 3 МВ.
Свойства наноустройств
Углеродные нанотрубки, часто имеющие диаметры меньше 10 нм, находятся в таком диапазоне размеров, где в сильной мере проявляются квантовые эффекты отдельных атомов, определяющие не только необычную симметрию форм, но и такие физические свойства, как электропроводность, магнитные свойства и др. Данные объекты могут демонстрировать то свойства металла, то - полупроводников.
Это свидетельствует о том, что из данных объектов можно конструировать, например, наноприборы для наноэлектроники. Из одного и того же вещества (углеродных нанотрубок) можно собрать нанодиоды по МОП-нанотехнологии, так как нанотрубки могут обладать свойством полупроводника, для контактов использовать нанотрубки, обладающие хорошей проводимостью, и все это разместить на так называемой наноподложке из трубок-изоляторов.
Среди разнообразных исследований последних лет наибольший интерес представляют результаты исследований электронной структуры и транспортных свойств нанообъектов.
Модель Слончзевки-Вейса-МакКлюре [5] позволяет определить электронно-транспортные
свойства графита. Эти вычисления сложны и не всегда дают полное согласие с экспериментом. Однако они показывают, что графит имеет плотность носителей заряда порядка 1018 см-3, т.е. около одного носителя на 104 атомов. Следовательно, его проводимость очень низкая по сравнению с медью, имеющей один свободный носитель на атом. Одновременно носители заряда обладают относительно высокими подвижностями, что сказывается на температурной зависимости электрического сопротивления образцов. Электрические свойства графитовых структур сильно меняются в зависимости от степени кристаллического строения.
На рис. 1 показана зависимость сопротивления различных форм углеродных структур от температуры. Эти графики свидетельствует о том, что внутренняя структура атомов углерода перестраивается при изменении температуры, а возможно, происходят и более глубинные процессы, под
влиянием которых изменяются физические свойства нанообъектов. Если бы атомы состояли из однотипных заряженных шариков (электронов и протонов), ничего бы подобного не происходило при изменении теплового потока между ними, и вряд ли они могли бы так демонстрировать разнообразие формообразования и свойств.
0 100 200 300 т, к
Рис. 1. Зависимость электрического сопротивления от температуры разных форм углерода: 1 - пленка, полученная методом вакуумного испарения; 2 - стеклообразный углерод; 3 -сажа; 4 - коксовый уголь; 5 - пиролитический углерод; 6 -углеродные вискерсы; 7 - высокоориентированный пирографит; 8 - монокристалл графита
Углеродные волокна различаются по своим электронным свойствам. Так, у высокосовершенных волокон зависимость сопротивления от температуры близка к зависимости для монокристал-лического графита, а у менее совершенных - ближе к разупорядоченному углероду. Так называемая химическая обработка, т. е. образование химического соединения, оказывает воздействие на состояние структуры нанообъектов из углерода. При такой обработке, например кислотами, их проводимость возрастает и может превосходить проводимость даже меди.
Исследователи из Католического университета Лувена в Бельгии были среди первых, кто представил электрические измерения на индивидуальных многослойных нанотрубках. На трубке диаметром около 20 нм и длиной приблизительно 800 нм исследовалась зависимость электрического сопротивления от температуры (вплоть до температуры ~ 30 мК) и магнитного поля. Было обнаружено, что сопротивление повышается при уменьшении температуры по закону 1пТ для температур выше 1 К. Ниже температуры ~ 0,001 мК сопротивление не менялось.
Такие нанообъекты можно использовать для конструирования наноразмерных датчиков изменения температуры, устанавливаемых в ответственных узлах различных технических средств, а также микробиологии.
В этих датчиках чувствительным элементом (элементами) могут быть нанообъекты с определенной зависимостью электрического сопротивления от температуры, а в качестве электродов - нанообъекты с хорошей проводимостью и отсутствием зависимости электрического сопротивления от температуры. Размещаться такие датчики могли бы в многослойных капсулах из нанотрубок.
Интересен для практического использования и тот факт, что кристаллические нанопроводники, помещенные в магнитное поле, увеличивают свое электрическое сопротивление. Данный эффект объясняется сопротивлением движению носителей тока (электронам), из-за сильной поляризации их магнитных диполей (магнитных моментов), в атомах кристаллической решетки. В разупорядочен-ных углеродных объектах, помещенных в магнитное поле, электрическое сопротивление уменьшается, так как ориентация магнитных моментов (магнитных диполей электронов) становится неопределенной, т.е. возникает деполяризованность. У углеродных волокон наблюдается как повышенная, так и пониженная проводимость, что свидетельствует о разупорядоченности осей магнитных моментов.
Не менее увлекательные сюрпризы преподносят нанотрубки в магнитном поле. При направлении магнитного поля вдоль оси нанотрубки с ростом напряженности магнитного поля трубка с металлическими свойствами сначала становится по-лупроводящей, а затем снова металлической с периодической зависимостью при увеличении напряженности магнитного поля (рис. 2). Такое поведение нанотрубок в магнитном поле обычно объясняют с позиций так называемого эффекта Аронова-Бома, согласно которому магнитное поле изменяет граничные условия, определяющие нарезание графеновых энергетических ветвей. Регистрируемая величина напряженности магнитного поля уменьшается с ростом диаметра нанотрубок. Для трубок диаметром ~ 0,7 нм требуется максимальная напряженность поля до 10 500 Тл, а для трубок с диаметром ~ 30 нм - всего 5,9 Тл.
Такие нанообъекты могут использоваться при создании нанодатчиков для измерения и контроля магнитной напряженности полей в микросистемой технике. Например, чувствительным элементом (элементами) могут быть нанообъекты с опреде-
ч
Р=
8
Я
ч
,,ил* члц/**1 ^г
/ г /
/ /
/ / _У
/
/
5,0 К 0,5 К 0,05 К
Т еоретическая зависимость
0 2 4 6 8 10 12 14
Н,Тл
Рис. 2. Зависимость магнитопроводимости углеродных наноструктур от вектора напряженности магнитного поля Н при низких температурах и теоретическая зависимость квантования энергии поляризации
ленной зависимостью проводимости от напряженности магнитного поля. Проводниками могут служить нанообъекты с хорошей проводимостью. Возможно капсулирование этих наноустройств. В качестве капсул могут быть использованы как фул-лерены, так и нанотрубки с замкнутыми концами.
При определении зонной структуры графита предполагается, что графеновые плоскости бесконечны в двух направлениях, а граничные условия определяются на макроскопическом масштабе. В случае с нанотрубками имеется структура, вытянутая вдоль волоконной оси, но с микроскопической окружностью атомных размеров. Поэтому число разрешенных электронных состояний по окружности весьма ограничено, тогда как в направлении оси оно больше. Так, все однослойные нанотрубки кресельного типа обладают металлическими свойствами, что подтверждено экспериментально. «Кресельное» строение подобно структуре (рисунку) креслоплетения из прутьев. Нанот-рубоки с зигзагообразной структурой оболочки могут обладать свойствами не только металла, но и полупроводника. Часть хиральных нанотрубок также обладает свойствами металла, а часть - полупроводника, что связывают с диаметром трубки и хиральным углом. На самом деле это объясняется глубинным возбуждением частиц атомов, что и влияет на атомную решетку.
Наконец, когда речь заходит об электронных свойствах одномерных проводников, важно
вспомнить возможность пайерлсовского перехода, которая впоследствии рассматривалась рядом исследовательских групп. Эффект, предсказанный много лет тому назад Р. Пайерлсом, связан с искажением решетки при низких температурах, ко-
торое приводит к расщеплению самой верхней ветви одномерной структуры металла, что способствует дальнейшему росту, но уже в виде полупроводниковой структуры.
Отсюда можно сделать вывод, что из одних и тех же атомов, при деформации их внутренней структуры (перестройке под влиянием внешних факторов), можно формировать нанотрубки с изменяющимися свойствами вдоль оси трубки, т.е. осуществлять изготовление целого наноузла электронной схемы.
При теоретическом изучении электронных свойств многослойных нанотрубок (например, Р. Саито с коллегами и др. [5]) было обнаружено, что эти свойства изменяются при изменении расположения одной трубки по отношению к другой. Сдвиг одной трубки относительно другой приводит к межслойным взаимодействиям, т. е. к взаимодействию между атомам, которые и превращают металлические нанотрубки в полупроводниковые. На это превращение опять оказывает взаимное влияние внутреннее возбуждение атомов при смещении атомов относительно друг друга, или на языке математики - определяющим являются граничные условия.
Устройства, в которых используется сдвиг одной трубки относительно другой, могут найти применение при регистрации наносдвиговых деформаций, а также растяжении деталей в наноузлах микросистемной техники и др.
Довольно часто наблюдаются так называемые «локтевые» соединения между нанотрубками различных структур. Было показано, что соединение между металлической и полупроводниковой трубками должно представлять собою наномасштабный гетеропереход. Такие переходы могут служить основой для многих типов электронных приборов, например диодов. Однако в настоящее время отсутствует контроль, необходимый при производстве подобных переходов. Его надо разрабатывать, и это еще одна из проблем нанотехнологий.
Все это свидетельствует в пользу того, что из одних и тех же атомов, несколько изменяя их внутреннюю организацию, можно формировать наноустройства с отличающимися эксплуатационными свойствами.
Удивительные свойства демонстрируют однослойные, многослойные нанотрубки и квантовые проволочки, например, эффект баллистического транспорта (или каналлирования) электронного тока. Он происходит без какого-либо рассеяния электронов на примесях и фононах. Фактически электроны не испытывают никакого сопро-
тивления своему движению, и в нанопроводнике не происходит никакой диссипации энергии. Это говорит не только о перспективах создания на данной основе сверхбыстродействующих электронных приборов нового поколения, а также электронных инжекторов и катодов для вакуумной наноэлектроники.
На рис. 3 представлен проект конструкции нанодиода из пучка нанотрубок. Предлагается его изготовление осуществлять по МОП-технологии микроэлектроники, но при этом возникает проблема в технологии перемещения, закрепления и точного расположения пучка в месте, где будут наноситься контактные площадки. То есть нужен высокоточный манипулятор и система электронного микроскопа, обеспечивающая наблюдение за технологическим процессом. Все это должно быть размещено в технологической камере осаждения через маску. Такая работа требует специалистов по разработке подобного оборудования, технологии разработки и изготовления этого оборудования, а также соответствующего финансирования.
Рис. 3. Нанодиод в планарной схеме МОП-нанотехнологии. Активный элемент из нанотрубок (проект)
Кроме того, возникают технические проблемы не только создания нанопродуктов и нанотехнологий, но и создания микросистемной техники, поскольку для исследования, моделирования и изготовления нанообъектов, а также для реализации предлагаемых проектов необходимо соответствующее технологическое оборудование, для разработки и внедрения которого, в свою очередь, требуются принципиально новые наукоемкие высокотехнологичные приборы и устройства [6 - 10].
Также разработчики нанопродуктов и нанотехнологий столкнулись с двумя очень сложными проблемами: наблюдать объекты с разрешающей способностью не менее 0,1 - 0,01 нм и манипулировать ими. Эти проблемы объясняются тем, что наноструктуры представляют собой особый вид объектов - это не видимые не только невооруженным глазом, но даже и с помощью самых сильных оптических приборов объекты технологического процесса. Следовательно, если объект нельзя увидеть, то, естественно, невозможно с ним работать. Однако самые совершенные электронные микроскопы не приспособлены к участию в технологических процессах, так как они являются лабораторными приборами.
Если первая проблема в настоящее время частично решается - имеется возможность рассмотреть объект, то к решению второй проблемы еще не приступали. В качестве примера, допустим, что уже можно получить наношестерни и нановал, но как их объединить в конструктивную пару? Данный вопрос пока остается без ответа.
Технологические проблемы
Технологические проблемы создания и внедрения нанопродуктов, нанотехнологий и микросистем-ной техники неразрывно связаны с рассмотренными выше проблемами. Переход к нанотехнологии это переход от объектов, имеющих размеры единиц миллиметров, к оперированию с объектами, имеющими размеры единиц нанометров. На рис. 4 показаны диапазоны размеров, используемых в разных отраслях промышленности.
Диапазоны размеров, используемых в разных отраслях промышленности.
Машиностроение
Микроэлектроника
Нанотехнологии
1 1СГ3 КГ6 10'9
метры миллиметры микрометры нанометры
Рис. 4. Шкала линейных размеров в практической деятельности человека
В связи с этим можно сформулировать основные цели, стоящие перед разработчиками нанотехнологий:
• целенаправленный синтез наноструктур «снизу - вверх» на уровне атомов;
• разработка различных материалов на атомномолекулярном уровне;
• создание методологии атомно-молекулярного конструирования наноструктур с заданными свойствами;
• создание манипуляторов с атомным разрешением;
• создание методов диагностики нанообъектов с атомным разрешением и относительной чувствительностью не менее 10-9 %.
Многие из перспективных направлений в материаловедении, наноэлектронике и прикладной химии связывают в последнее время с фуллерена-ми, нанотрубками и другими похожими структурами, которые можно назвать общим термином «каркасные» структуры.
Использование каркасных наноструктур открывает возможности для получения материалов и
устройств с новыми и пока еще экспериментально не изученными свойствами [11, 12].
В качестве примера успешного завершения разработки нанотехнологических процессов изготовления можно назвать выпуск нанотрубок для взятия капли крови у пациента при определении количества глюкозы в крови больных диабетом. Нанотрубка имеет диаметр 5 - 10 нм и длину 1 мм. Ее проникновение в кожу человека безболезненно. Разработан прибор автоматического определения глюкозы в крови. Больные смогут использовать это устройство в любое удобное для них время.
Созданы нанокапсулы с инсулином для борьбы с диабетом. В настоящее время они проходят испытание пока на грызунах, в дальнейшем испытания проведут на обезьянах и уж затем на человеке.
Множественность аллотропных форм углерода и их электрофизических свойств (от диэлектрических до полупроводниковых) определила целесообразность использования углеродных, кластерных систем. Однако следует привести пример неудачный попытки усовершенствования технологии транзисторов (см. рис. 3) с использованием нанотрубок, которое велось в течение долгого времени как теоретически, так и экспериментально. К сожалению, до производства так дело и не дошло. Данная проблема была связана с трудностями, возникшими на пути внедрения нанотехнологии из-за отсутствия соответствующего оборудования.
Для реализации достигнутых результатов необходима разработка принципиально нового технологического оборудования.
По прогнозам аналитиков, в числе перспективных можно перечислить следующие проекты: создание наноматериалов (на базе нанотрубок), выпуск топливных элементов нового типа и солнечных генераторов, а также биологических наносистем и наноустройств на основе наноматериалов, производство наноизмерительной техники, организация нанообработки и многое другое. В медицине прогнозируется лечение не вообще болезней, а индивидуально человека, используя его генетическую информацию, причем с адресной доставкой медикаментов.
Тем не менее, перечисленные проблемные вопросы, связанные с внедрением нанообъектов или принципиально новых материалов в изделия нанотехники, не мешают приступить к их реализации, т.е. к разработке нанотехнологий.
Следует отметить, что приведенные технологии отличаются от рекламируемых сейчас якобы нано-
технологий тем, что они должны в своей основе содержать результаты исследований, которые были рассмотрены выше. Все без исключения рекламируемые технологии являются либо давно известными, либо несколько усовершенствованными, но к новым нанотехнологиям они имеют косвенное отношение, хотя авторы этих реклам утверждают обратное, исходя из того, что все на Земле состоит из атомов, т.е. из наночастиц, а значит, по их мнению, это относится и к технологиям. Данная терминологическая проблема становится и экономической, поскольку происходит подмена понятий и увод средств от истинных нанотехнологий.
Метрологические проблемы
Решение метрологических проблем связано с необходимостью создания новой измерительной техники и методик, стандартизацией, сертификацией, эталонированием и многим другим. Для решения этих задач прежде всего необходимо разработать методики приготовления эталонов в нано-метровом диапазоне. Использование аппаратных методов в данном случае невозможно из-за малости размеров и не соответствующей требованиям нанотехнологии погрешности существующих измерительных приборов.
В качестве эталонов на ранней стадии их разработки были использованы латексы, многослойные объекты (пакеты пленок), кристаллические решетки твердых тел. Минимальное расстояние между атомными слоями кристаллической решетки было обнаружено в кристалле никеля. Оно составляет 6,2 нм. В настоящее время это минимальный доступный линейный размер, который может служить эталоном. Для распространения этого размера на другие нанообъекты необходимо, чтобы стабильность измерительных устройств была не менее 10-6. Необходима разработка современных методик измерения, их стандартизация и унификация.
Таким образом, показано, что инновационный механизм создания и применения нанопродуктов, нанотехнологий и микросистемной техники требует комплексного подхода к структуре научного поиска, разработке технологий и методов производства, в том числе и к созданию конструктивной элементной базы для их осуществления. Установлено, что перспективы использования наноструктур связаны с возможностью существенной модернизации свойств
известных веществ, материалов, специального технологического оборудования и изделий из структурных элементов нанометрового размера. Кроме того, рассмотрены проблемы создания и производства нанопродуктов и наноустройств, их свойства, модели сборки и роста нанообъектов, а также технологические, метрологические и эксплуатационные особенности их внедрения.
Статья выполнена членами Российского научно-технического вакуумного общества.
ЛИТЕРАТУРА
1. Васичев Б.Н., Некрасов М.И. Российские нанотехнологии и их влияние на экономику // Науч. тр. Российского государственного торгово-экономического университета. Т. 2. М. 2010. С. 253 - 272.
2. Nanotechweb.org: Carbon nanotube cwitch compatible with mass production // Нано- и микросистемная техника. 2007. № 3. С. 76.
3. Шпилевский М.Э., Стельмах В.Ф. Фуллерены и фуллере-ноподобные структуры - основа перспективных материалов. М.: ЮНИТИ. 2004.
4. Рыбалко В.В. Наноразмерные углеродосодержащие материалы. М.: МИЭМ. 2003.
5. Харрис П. Мир материалов и технологий. Углеродные нанотрубы и родственные структуры: Пер. с англ. М.: Техносфера. 2003.
6. Васичев. Б.Н., Фатьянова Г.И. Конструирование электронно-оптических систем микросистемной электроннолучевой техники // Поверхность. РАН. 2006. № 3.
7. Васин В.А., Ивашов Е.Н., Степанчиков С.В. Нанотехнологические процессы и оборудование электронной техники. М.: МИЭМ. 2009.
8. Васичев Б.Н. Электронно-зондовый микроанализ.М.: Металлургия. 1977.
9. Васичев Б.Н. Электронно-лучевая обработка. Назначение и область применения. Основные явления в зоне действия электронного пучка. Методы. Выбор и расчет параметров основных элементов оборудования // Технология, оборудование и системы управления в электронном машиностроении. T.III - 8. / Ред. совет: К.В. Фролов (пред.) и др. М.: Машиностроение. 2000. С. 57 - 79.
10. Васичев Б.Н., Фатьянова Г.И. Формирование потоков ионов при реактивном ионно-плазменном травлении в технологии микроэлектромеханических систем // Тр. инженерноэкономического факультета РЭА им. Г.В. Плеханова. М.: Изд-во Россельхозакадемии. 2006. Вып 5. С. 603 - 613.
11. Гаворин А.А., Лебедев С.А. Проблемы развития инновационной инфраструктуры экономики России. М.: РЭА им. Г.В. Плеханова. 2010.
12. Антипов В.А., Колмаков И.Б., Пащенко Ф.Ф. Состояние инновационной и научной системы России и предложения по ее развитию // Вестник РЭА им. Г.В. Плеханова. 2010. №2 (32). С. 24 - 33.
Поступила 09.07.2012 г.
