CC BY
32
Секция химии и экологии
УДК 53.087.92:543.27
Н.К. Плуготаренко, А.Н. Королев
О МЕХАНИЗМЕ ПИРОЛИЗА ТЭОС НА ПОВЕРХНОСТИ ОКСИДА ОЛОВА, ЛЕГИРОВАННОГО СЕРЕБРОМ
В рамках направления исследований, связанного с созданием химических сенсоров, с целью улучшения сенсорных свойств представляет интерес изготовление тонких газочувствительных пленок из оксидов полупроводников смешанного состава, например 8п02 - 8102, легированных различными металлами.
В настоящей работе проведена оценка возможных вариантов механизма пиролиза молекул тетраэтоксисилана (ТЭОС) на поверхности 8п02, легированного Ag в процессе формирования пленок 8102. В качестве критерия вероятного механизма диссоциации была выбрана величина энергии активации диссоциации молекулы ТЭОС в условиях каталитического действия активированной поверхности на .
По методике расчета, предложенной в [1], был проведен расчет энергий активации диссоциации ТЭОС при различных вариантах диссоциации и температуре 900 . .
Кол-во разрыв. связей СЮ 4 0 1 2 3
Кол-во разрыв. связей БьО 0 4 3 2 1
Энергия активации дис-ции на атоме Бп, кДж/моль 1651,29 1176,92 1246,17 1419,39 1350,39
Энергия активации дис-ции на атоме Ag, кДж/моль 1509,18 1042,83 1112,08 1277,28 1208,28
Как следует из сравнения полученных данных, наиболее вероятен механизм диссоциации с разрывом четырех связей 81-0. Также очевидно снижение энергии активации диссоциации на атоме серебра по сравнению с атомом олова. Эти данные могут быть в дальнейшем использованы для моделирования процессов формирования оксидных пленок.
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК 1. Королев А.Н., Сеченов ДА., Поляков В.В. Получение пленок БЮ2 при гетерогенной диссоциации тетраэтоксисилана при УФ-облучении // Физика и химия обработки материалов. 1995. № 2. С.93-100.
