Метрологический анализ лазерных приборов активного контроля размеров изделий с использованием корундовых наконечников Текст научной статьи по специальности «Нанотехнологии»

УДК 681.2.084 е. В. ЛЕУН

РО!: 10.25206/1813-8225-2018-158-98-104

В. И. ЛЕУН Л. Е. ШАХАНОВ

АО «НПО Лавочкина», Московская область, г. Химки

Омский государственный технический университет, г. Омск

метрологический анализ лазерных приборов активного

КОНТРОЛЯ РАЗМЕРОВ ИЗДЕЛИЙ с ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ КОРУНДОВЫХ НАКОНЕЧНИКОВ

Статья посвящена расчету погрешности измерений контактных приборов активного контроля (ПАК) размеров изделий с использованием искусственно созданных корундовых наконечников. Показано, что ее большая часть определяется температурной погрешностью, возникающей за счет теплового расширения наконечника при нагреве в результате механического контакта с изделием. Проведенные расчеты основаны на формировании в наконечнике маршрута следования входного и отраженного оптических потоков под углом к его передней поверхности, обеспечивающим полное внутреннее отражение в зоне контакта с изделием.

Произведен расчет погрешности измерений при создании в лазерном интерферометре опорного канала, фиксирующего смещения тыльной стороны наконечника от его теплового расширения. Показано существенное уменьшение погрешности измерений для данного случая.

Ключевые слова: прибор активного контроля, корундовый наконечник, тепловое расширение наконечника, износ наконечника, погрешность измерений, лазерный интерферометр.

Введение. Использование приборов активного зец контактного широкодиапазонного ПАК (рис. 1) контроля (ПАК), повышающих производительность с использованием инкрементного линейного фототруда на металлорежущих станках до 2 — 5 раз осо- электрического преобразователя перемещений бенно при измерении размеров изделий с преры- ЛИР-3 [19], произведенного в СКБ ИС (г. Санкт-вистой поверхностью, таких как сверла, фрезы, Петербург). Этот ПАК имеет следующие пара-развертки и т.д., до сих пор актуально в приборо-, метры: дискретность измерения — 0,1 мкм, диапа-станко- и машиностроении и ракетно-космической зон измерения — не менее 100 мм, максимальная отрасли России. скорость подведения/отведения наконечника к об-Начиная с зарождения этого направления, рабатываемому изделию перед измерениями не ме-в СССР и за рубежом в 60-х годах ХХ века ведущи- нее 10 мм/с, минимальная скорость двунаправлен-ми в этой области являются научные коллективы ных перемещений в процессе измерений и 2 мкм/с, МГТУ «СТАНКИН», Омского государственного тех- дискретность перемещений 1 мкм. нического университета, МГТУ им. Н.Э. Баумана, Современная элементная база позволяет суще-АО «НИИизмерения», г. Москва, АО «НПО Лавоч- ственно упростить управление движением наконеч-кина», г. Москва [1 — 10]. ника, повысить точность измерений его смещений Также за последнее время в России появилось и снизить массогабаритные параметры ПАК. Так, достаточное число публикаций, развивающих это к настоящему времени четко обозначился выход направление [11 — 14]. на новый технологический уровень развития ПАК, Судя по публикациям, вопросы разработки и эф- заключающийся в переходе от использования не-фективного использования ПАК являются актуаль- прозрачных наконечников и фотоэлектрических ными и в наиболее технологически развитых стра- преобразователей перемещений к более перспек-нах [15—17]. Но всеми признанным лидером в этой тивному сочетанию, состоящему, например, из про-области за рубежом является итальянская фирма зрачных наконечников на основе корундов (сап-Марпос (Магро88) [18]. фиры или рубины) и лазерных интерферометров К 2016 году в ОмГТУ д.т.н., проф. Леуном В.И. перемещений с погрешностью измерений переме-был создан и успешно отработан опытный обра- щений на уровне 0,05 — 0,5 мкм.

Рис. 1. Общий вид опытного образца ПАК с использованием инкрементного линейного фотоэлектрического преобразователя перемещений ЛИР-3

а)

б)

Рис. 2. Лазерные ПАК с корундовыми наконечниками: обобщенная оптическая схема (а), опытный образец с рубиновым наконечником на стадии отработки (б)

Исследования [20, 21] показывают, что прочностные параметры корундов могут быть увеличены при различных физических воздействиях в виде электрического и/или магнитного полей, света, ультразвука, поэтому перспективность использования рубина из-за более высокого поглощения света становится выше бесцветного лейкосапфира. Поэтому, несмотря на прежние авторские исследования, связанные в основном с более доступным сапфиром, и использование его параметров общих с рубинами в качестве основы для расчетов в данной статье и далее расчеты и выводы будут распространяться на корунд(ы), объединяющие более широкий набор родственных монокристаллов на основе А1203.

Несмотря на перспективность предложенного направления, подробный метрологический анализ подобных ПАК ранее нигде не был представлен и данная статья предназначена для восполнения этого пробела.

1. Принцип действия и основные технические параметры лазерных ПАК с корундовыми наконечниками. Обобщенную схему лазерных ПАК с корундовыми наконечниками (в дальнейшем —

наконечник) можно представить в виде схемы, изображенной на рис. 2а. Опытный образец такого ПАК с наконечником из рубина во время отработки в ОмГТУ представлен на рис. 2б. Как следует из схемы, в процессе обработки шлифовальным кругом 1 к обрабатываемому изделию 2 в потоке смазоч-но-охлаждающей жидкости (СОЖ) 3 подводится состоящий из корундового светопровода 4 и защитного покрытия 5 наконечник 6, используемый в качестве отражателя подобно отражающей призмы лазерного интерферометра перемещений (в дальнейшем — лазерный интерферометр) 7. С помощью него измеряются все перемещения 1х наконечника 6 относительно точки отсчета 10 в выбранной системе координат. Измерительная схема 8 позволяет осуществить контроль различных параметров элементов изделия 2 за счет обработки следующих от прозрачного наконечника 6 оптических потоков, в т.ч. и тепловых, в ближнем инфракрасном диапазоне длин волн в пределах спектра пропускания корунда 0,17<^<5 мкм. Подобные измерения оптических потоков позволяют в итоге контролировать шероховатость Я , наклон поверхности

выступа изделия, температуру изделия и наконечника с формированием соответствующего выходного сигнала N1.

Выходной сигнал N(1^ лазерного интерферометра содержит информацию о перемещениях наконечника 1х в соответствии с выражением (с учетом двойного хода лазерного луча):

N (4 ) = ^^

(1)

где к — коэффициент интерполяции, 1х — измеряемое перемещение наконечника ПАК в процессе активного контроля размеров изделий, X — длина волны лазера, для гелий-неонового (Не-Ые) лазера составляет 0,6328 мкм.

Рассмотрим источнил погрешлостей в этой ол-тической схеме (ри с. 2а), о пределяя их значение и влияние на суммарную погрешность ПАК Д1пак.

2. Метрологический анариз лазерных ПАК с корундовыми нако нечниками. Для схемы ПАК с корундовым наконечником, представленной на рис. 2а, основными составляющими погрешности Д1 можно считать погрешность лазерного

пак 1 1

интерферометра Д1и и погрешность, вызванную тепловым расширением наконечника Д1нак, учитывая, что они являются независимыми друг от друга и имеют нормальное распречеление. В соответствии с этим выражение для счммарной погрешности принимает вид:

2 +Л12 лаз

(2)

почти всегда является главным источником дополнительной погрешности преобразования. И для рассматриваемых ПАК расчеты основаны на температурной зависимости толщины наконечника Д1нак от температуры.

2.2.1. Расчет температурной погрешности, вносимой наконечником. Нагрев наконечника приводит к его тепловому расширению и изменению показателя преломления его материала, влияет на фазовый сдвиг, проходящие оптические потоки и поперечные смещения точки полного внутреннего отражения и отраженного оптического потока.

Для определения паразитного фазового набега ДТ измерительного оптического потока, возника-

изм 1 '

ющего от теплового расширения наконечника Д1пак , можно произвести эквивалентную замену слоя воздуха толщиной Д1 стоел мател12ала наконечника, выполненного, например, из сапфира Д1спф, равным по толщине — л1ни т А1г т л1спф. Тогда вносимый фазовый набег ДТ , во зникающий между измерительным иопорным оптическимипотоками лазерного интерН еромлтрт, можно рассчитать по формуле:

л^о =( лЧ^лао о лЫ, т

Члаил1лао Чв^ р (члао ° Чв ^лао .

(3)

Для далтнейших ртсчетов соедует определить значения расширения наколечника. Про иеготовле-нии наклчечника чз салСира имеем ао =п , = 1,76,

^ 1 нак спф ' '

а для воздуха пв =1, ч азылaжекчc (3) прчоОреччел вид

Как видно на ог^тичлек^!! елеме (рис. 2а), из измерительной схемы устранены все промежуточные передаточные механические звееьи, о(5ычнт применяемые в механиччсклх ПАК, л лачертый лчч лол-ностью достигает передоей поверттосли наконечника, освещая ее и отражаетст от нее, формирут маршрут движения, харалтерный для призмы.

2.1. Точностьизмерений чазерных инчерферо-метров перемещений. Оценка точности езморений лазерных интерЫвpдмeтpчв пе^мещений произведена на примере акустооптических (АО) лазерных интерферометров. да последние 20 —а0 лет достигнут существенный пеоаресс в ит соверштнстрова-нии, особенно в направллнии повышения разрешающей способности. Так при реализации в них акустооптоэлектролной обратной свялью разрешающая способность достигает знач ения Х/1000«0,6 нм [22]. При реализации в АО лазерных интерферометрах фазо-цифротоа(п преобразования на основе деления частоты с дестретрым у^овл^иес фазовым сдвигом позволило достичь повышения разрешающей способлслти до «Х/3000«0,2 нм [23]. Это значение разрешающиП епосоНностч было получено в результате илследаваний (золее 15 лтт назад и с учетом прогресса в лазерных интерферометрах перемещений, вапдепия а рет компеасоцте азгеенет ния параметров окружающей среды, а именно, температуры Т, давления т, влажности Н, возможносаи установки за пиедепами метачлортжущеоо станкч с существенным уменьшечоадм влиянич дибраций и паразитных механических колебаний его можно использовать для дальнейших орсчетов в качестве Д1. Последующее ростмот°ение таюке ^ентвеюв на использовании этого допущения.

2.2. Анализ последств ий теплового расширения наконечника П.лК. Как и дло (золшинства измерительных устройств, температурная огрешность

лы т

а/рал/,, н

(4)

Изменеоие погасате;«! прмлсмления сапфира оо ремпературы тамже приводиа к прааемтна]ма'(0^а-зовому лабтгувнлеящлму слставляющую погрешности. Для расчета лтото значенм можно использовать то, чтлт кат следует ле [2т], еля облыновенного луча темтературныр лоэфИиниент показателя преломления сапфир>а е инoаpвaлв Л/ — 6(0 °С составляет у=1,28-10-5. Тогдн чля максимального нагрева наконечнита прл иcоoчьАOPaнии СОЖ в пределах ДТ=20Д°С, пoнстaвияя в овIpaжoннe

^саД т К

• чоад -лС,

(5)

и получаем

ЫКсад т тТ® • 1С

• трп • 2а = а,аааов.

Как вилнео, ирзмл1;[е^]те еоказателя преломления сапфира от температуаы Лтсиф cyщрcтвeкко мчч)^-ше, лем разнотть (о —а0, лавная С,76 т выражении (4), и поэтому oлАянием плраого нм погрешнонть из-мер ений можно прлееИпo]2]п,

Погрешнooта намерент1, охтормая ттолорым расширением наконепонита, клжнo определить как А/Т= ДТизм-Х, и с учетом: пхдстандвки выражения (4) получим

лТо = ^,2М5сМо^О.

(6)

Для обеспочетир пoстoяEнаrooеpажoннoго ос-тического потока Аезатисимо от касанио изделия с сапфировым наконечникчм в нем оечспечивает-ся режим толнаго зФ0P,p2шсero чтражения (ПВО)

света от внешней поверхности наконечника. Тогда значение предельно го угла апр, для вып олнения условия ПВО определяетсяпоказателями преломле-ния сапфира п . и СОЖ о , я1^;рявощ«эо1ся д/ш нено

^ ^ спф сож' 1 ^

внешней средой

(7)

Общий хор света о сапфировом наколечлнле от лепловоло оосп^]орхЕ[И5;[ с отетомдвойнкго про-лождония чер^^него рввни I +12 = И1 и порою тои-гонометричедкоо слотношенро с ^аотием угла лпр и с етом (6) и оого, нло [величение

о го толщины ¿Л Провоста ос СолТ]3)л,((слвуЕО щему увеличению длины ноде, запиоео

М' =

О^еа, м

Позставзззя (7)в (рт получаем

оо-

МП' т-_(_оо^£™к-

(8)

(9)

спф

Тепловое расшлрение фппфирового наконечника приводит к фазовому тдоиоу, оартделпоще -му температуртую погрпшносте, и к поперочным смещпниям точки полного внуфеннгпо отражеаия и отраженного оптического поток..

При этом лзвеотно, что eps(Hresina) т т ^Д о sin0(aresipa) ге )/l - ао .

Поэтому можно закиоась воа

11-

= 1,40

п ]о

Ч „„.

соф

;Чсоф

и при потстанооке п , = 1,76 и n =

L ^ спф сож

получаем

347 1,76

: -Pl - 3,7 т 0г55 . Тогра вырпжение (9/ приеимает

вид:

оа' т 0]Мгn(. т :з,б(1 • оз,

Т 0,55

(е 0)

но; л е,ес • з,сп(р,р8 • 1еоС + з,зр • шТ) о0 • нт о

= (ар,пт -с 9,3 • 1е 3т')/„ • 1еоС (13)

Согласно полуденной формуле, ороизведон смечет оналений при ногрпее наковечника 20 °С для трех знаоений толщины накопен—икон 1мму Т мм и 3 мм, а результаты расчетов в виде трех графиков представлены на рис. 4.

Как тле°ует из расчетов еначения температурных погрешностей составляют н0т соответственно 0,3мкмн 0,6 мкм и Он мкм для наконечников толщиной 1 мм, 2 мм и 3 мм.

2.2.2. Талчет ооперааных смещений отраженного оптического потока. При угловом освещении лазерным лучом точки контакта изделия с наконечником его продольное тепловое расширение приводит тнкжо 1С лоперернымемещениям отраженного оптического потока, которые можно рассчитать по формуле од

оап т ооае • tgaoP т ооае • tg

(14)

С гласно тригонометрическим соотношениям

а

и поэтому вы-

известно, что

arcsin а

) =

л/Г

а

ражение (14) следует изменить к следующему:

/СОЖ

сапфировый наконечник

Значение ушсйнoаo рсьширтмис сапфиревсго наконечника У , о^ражс-оемого СОЖ п

ДТ на 20 °С он а!0 °С дс ^40 °С, межнв рассчитато по формуле

Рис. 3. Ход оптического потока измерительного канала лазерногоинтерферометра внутри сапфирового наконечника при его тепловом расширении

о7„

|4 • lo • ооп ,

Л))

где в — коэффицивот аиноСнооо росшоренит сапфира, ^ — исходная толщина сепфирового оанонеч-ника.

Коэффициент линлйногь рарширения сапфира в, в свою очередь, сям соляесся япременной оеличи-ной, зависящей ол темпертауры РЕ-], формулу для которого, согласно [25], следует зтпи9ать о утетокм небольшого упрощония в следующем ни-е

|(Т)т 5,5)8 ,10-е + 33,35 • 10-9 • Т .

(12)

С учетом полутенти выражений (1Т) — (12) можно записать итоговую формулу для температур-

ной погрешности

оа;

[О.пиши наконечника 1 ми\ 2 мм \ 3мм '

9 10 11 12 13 11 15 16 17 18 1» 20 21

Нагрев наконечника ЛТ, ° С

Рис. 4. Графики температурной погрешности сапфирового наконечника

П

соф

Ал = 2А1'Т ■ гдап

2А 1'т ■ гд

= 2А1'т -

спф

(15)

При под=тановке значений п , = 1,76 и п =1,47

1 ^ сч сож '

и рассчитывая, что Прож = Т-7 = (,)гн30ВВ , получаем

1,76

п

П.

спф

1 -

0,835 0,55

1,5 , а значит,

.СОЖ ¡сапфировый наконечник

измерительный поток

Рис. 5. Ход луче й лазер7бго интерВерометра с формировафием опорного та нала

а1„

: 3а1т .

(16)

Используя полученнеоо форммлу с учетом рассчитанных значений лна дл-я трех значений толщины наконеоников, получим с оответственно 0,9 мкм, 1,8мкм и 2,7 мкм. Как видно, этиполученныере-зультаты существенно =еныпе диаметра лазерного лучка, рлвного 1 —2 мм, обоIllоо используемого в лазерных интерферометрах. Поэтому влиянием негатив ныл пoслeмдтвий п опе реч2)ыо смещений отраженного оптическогопотока можно пренебречь.

2.2.3. Посео^очка озлеча передней поверхности наконечника ПАс нткмнташтых измерений разтеров изделий. Изыос А1изн 0ередней поверхности сапфирового наконечника в результате его механического контактирования с поверхностью издлыия по характеру полностью аналогичен тепловому расширению тела наконечника, но имеет обратным зтаК3

Значение Д1изн, определенное для сапфирового наклимчника эксперимбатально [10] и не превышающее 2 — 4 мкм, может быть скомпенсировано перисдической калибровкой ПАК. Возникающие от износа наконечника поперечные смещения Д1п отрзженнoто аптического потока, следующего в лазерный интерфефометр, определенные с помощью выраженир ^ 6), составят не более 12 мкм и также ^^[цествено^о меньше диаметра лазерного пучка, равного 1—2 мм, обычно используемых в лазерных интерферометсах. Поэтому негативными послед-ств нями влияния Д1 также можно пренебречь.

изн 1 1

2.3. Ртпчеь еемчературной погрешности наконечника ПАК с мвмдением опорного канала в лазерный интерферометр. Для уменьшения погрешности изреет ениё .вносимой ее теморратурной составляющей, обусловленной тепловым расширением наконечника, предложено создать опорный кантп еь:тpногoинoеpфepoмечра за счет установки на заднюю поверхность нмконечника светоде-лительной призмы (рис. 5). Эта призма изготавливается из кварцевого стекла, обладающего одним из саирп малыо ТКЛ]1: от 3,5 до 6,0•lвв гр-1. Она используется для формирования из потока света, освещающего внешнюю грань наконечника, света для опортого каталт оазе ]зног^о интерферометра.

Для данного технического решения результат измлрентй можле записать в виде системы уравнений для результатов измерений 10 в измерительном Кзм а сптрном 0оп кaнйоaиинтeрферометра с учетом температурной погрешности от нагрева наконечника лта:

1 = Со ы А1Т

иео 0 Т

(17)

= е„

Решая эту систему уравнений с учетон выражения (10), можно опееделиты иткомое значение положения внешней поверхности наконелникт л виие следующей формулно

I -I

С = |о ы еиео—0

х 0 3,6)4

(18)

Как следует из полученмого омраженоя, о данном техническом решении температуртая погреш-но2Аь исдлючается нракгичтски полностью, как минимум , до погрешрюпниокругления, производимых при расчетах в лазерном инпе]эферометре, не пра-вышая в итоге Д1 =0,2 нм.

ли

3. Итоговый расчет погрешностей ПАС. Как

следует из новдставленного мыше материаов и п соответствии с выражением (2), погрешность ПАК Д1пак при использовании наконечники лта, обу-словернная его тепловым расширением, сучествен-но п]зефышает погрешность лазертого кнверферо-метра Д1 , и поэтому последней можно пренмдр ечь. При этом погрешность ПАК Д1 ррала 0,3 мкм,

1 1 изм 1 ' '

0,6 мкм и 0,9 мкм для наконечников толщиной 1 мм, 2 мм и 3 мм соответств енно. Как видно, при всех исходнасх данных максимальное значение погрешности ПАК Мпак, определенное по формуле (2), для толщины намонечника 3 мм превышает Ь мка, чоо является реально желаемым ориентиром при созфд -нии современных ПАК.

При введении опорного иаеала а пазерньш интерферометр погрешность ПАК Д1пак, также определенная по формуле (2), составит значение

е

0,2л/П хм р 0,28 хм ;

Полученное значенче яв-

2000

ляется достаточно высоким достижением в повышении точности измерений лазерных ПАК с торун -довыми наконечниками и демонстрирует реальнчю возможность существенного повышения точности измерений при введении опорного канала.

Заключение.

1. Погрешность измерений ла аорн ых ПАК с корундовыми наконечникамл Д1 опрзлеляется двумя основными составляющими: погрешность измерений лазерного интер^^рюм^то-с^ Ы и том-пературной погрешностью наконечника, связанной с его тепловым расширением лна. При этом значе-

п

2

2

п

п

ние температурной погрешности наконечника при нагреве наконечника на 20 °С не превысит 0,3 мкм, 0,6 мкм и 0,9 мкм для толщины наконечника, равной 1 мм, 2 мм и 3 мм, и имеет существенное преобладание в общем значении Д/ .

2. Введение опорного канала лазерный интерферометр, измеряющего смещения тыльной поверхности наконечника, возникающего от его теплового расширения Д/на[, существенно уменьшает температурную составляющую погрешности, доведя за счет пересчета ее значения, сопоставимого с Д/ .

L ли

3. Тепловое расширение наконечника Д/нак приводит к поперечным смещениям Д/ отражен-

^ 1 1 попер 1

ного оптического потока, следующего в лазерный интерферометр. Однако при максимальном нагреве на 20 °С наконечника, выполне иного толщиной 1 — 3 мм, значения Д/ составляют не боле 10 мкм, что

п

существенно меньше диаметра оазерного пучка, равного 1—2 мм, обычно используемых в лазерных интерферометрах. Поэтому негативными последствиями влияния Д/ можно пренебр ечь.

попзр n L

4. Износ передней поверхности наконечника Д/ , возникающий в результате механического контактирования с поверхностью изделия и приводящий к утоньшению наконечника, аналогичен по характеру теплового рпсширпниянаконечника Д/нш[, но имеет обратный знак. 3начение Д/п, определенное для сапфирового наконечника ксперименталь-но и не превышающее 02 — 4 мкм, может быть скомпенсировано периодической калнбровкой ПАК. Возникающие от износа наконечника поперечные смещения Д1п отраженно го оптического потока, следующего в лазерный интерферометр, составят не более 12 мкм и также существенно меньше диаметра лазерного пуока, °авного 1—2 мм, обычно используемых в лазерных интерферометрах. Поэтому негативными последствиями влияния Д/ также

^ изн

можно пренебречь.

5. Общая погрешность измерений лазерных ПАК с корундовыми наконечниками может составлять:

— без опорного канала лазер ного интерферометра: 0,3 мкм, 0,6 мкм и 0,9 мкм для наконечников толщиной 1 мм, 2 мм и 3 мм соответоееенно;

— с опорным каналом лазерного интерфероме-

н

тра — не более 0,08 нм «-.

оеее

Библиографический список

1. Волосов С. С., Педь Е. И. Приборы для автоматического контроля в машиностроении. М.: Машиностроение, 1970. 310 с.

2. Кондашевский В. В., Лотце В. Активный контроль размеров деталей на металлорежущих станках. Омск: Зап.-Сиб. кн. изд-во, Омское отд-ние, 1976. 431 с.

3. Высоцкий А. В., Соболев М. П., Этингоф М. И. Активный контроль в металлообработке. М.: Изд-во стандартов, 1979. 175 с.

4. Сайт АО «НИИизмерения». URL: http://www.micron.ru/ production/active_instruments/bv-4304/ (дата обращения: 10.02.2018).

5. Пат. 2557381 Российская Федерация, МПК В 24 B 49/00, G 01 B 7/12. Способ активного контроля линейных размеров в процессе обработки изделия и устройство для его реализации / Леун Е. В., Леун А. В.; заявл. 28.11.2013; опубл. 20.07.2015, Бюл. № 20.

6. Леун Е. В. Разработка приборов активного контроля размерных параметров изделий с использованием сапфировых измерительных наконечников // Омский научный вестник. 2016. № 4 (148). С. 123-127.

7. Leun E. V., Leun V. I., Sysoev V. K., Zanin K. A., Shule-pov A. V., Vyatlev P. A. The active control devices of the size of products based on sapphire measuring tips with three degrees of freedom // IOP Conf. Series: Journal of Physics: Conf. Series 944. 2017. Vol. 1. DOI: 10.1088/1742-6596/944/1/012073. URL: http:// iopscience.iop.org/article/10.1088/1742-6596/944/1/012073 (дата обращения: 04.02.2018).

8. Леун Е. В., Леун В. И. Вопросы построения многофункциональных приборов активного контроля линейных и угловых размеров изделий и их формы поверхности // Омский научный вестник. 2018. № 1 (157). С. 89-95.

9. Пат. 2603516 Российская Федерация, МПК B 24 B 49/04, B 24 B 49/12, B 23 Q 17/20. Способ измерения линейных размеров изделия, выполненного с впадинами и выступами на поверхности / Леун Е. В.; опубл. 27.11.2016, Бюл. № 33.

10. Леун Е. В., Шулепов А. В. Исследование и разработка сапфировых измерительных наконечников для приборов активного контроля размерных параметров изделий / Омский научный вестник. 2017. № 3 (153). С. 91-95.

11. Соболев М. П., Этингоф М. И. Автоматический размерный контроль на металлорежущих станках. Смоленск: Ойкумена, 2005. 300 с. ISBN 5-93520-047-3.

12. Леун В. И. Повышение эффективности технологии изготовления и точности измерения линейных размеров изделий инструментального производства, прецизионных деталей приборов и машин средствами автоматического контроля: моногр. Омск: Изд-во ОмГТУ, 2006. С. 41.

13. Карпеева Е. В., Яковлев А. А., Горбунов В. В. Предпосылки создания прибора активного контроля нового поколения для шлифовального станка // Автоматизация и управление в машино- и приборостроении: межвуз. науч. сб. Саратов, 2003. С. 122-125.

14. Белолапотков Д. А., Добровинский И. Р., Медведик Ю. Т. Повышение точности активного контроля размеров деталей в процессе изготовления // Мир измерений. 2007. № 7. С. 43-46.

15. Industrial metrology: modern measuring systems for monitoring quality in production processes. URL: https:// www.jenoptik.com/products/metrology (дата обращения: 08.02.2018).

16. Keferstein C. P., Honegger D., Thurnherr H. [et al.]. Process monitoring in non-circular grinding with optical sensor // CIRP Annals - Manufacturing Technology. 2008. Vol. 57. P. 533-536. URL: https://www.kellenberger.com/newswriter_ files/CIRP_Tagungsband_S_533-536_Keferstein.pdf (дата обращения: 18.02.2018).

17. Gao Y., Huang X., Zhang Y. Development of an in-process form error measurement system for surface grinding. URL: http:// ets.ifmo.ru/tomasov/konferenc/AutoPlay/Docs/Volume%20 2/4_22.pdf (дата обращения: 18.02.2018).

18. Marposs. URL: http://www.marposs.com (дата обращения: 18.02.2018).

19. Преобразователь линейных перемещений ЛИР-3. Каталог продукции СКБ ИС. Инкрементные линейные фотоэлектрические преобразователи. URL: http://www.skbis.ru/ index.php?p = 3&c = 1&d = 118 (дата обращения: 18.02.2018).

20. Акопян С. А. Исследование воздействия электростатического поля на режущую пластину из синтетического корунда // Вестник ГИУА. Сер. Механика, машиноведение, машиностроение. 2012. Вып. 15, № 1. C. 63-70.

21. Пат. 2418669 РФ, МПК B24B 1/00, B24B 51/00. Способ шлифования изделий из сверхтвердых и хрупких материалов / Гридин О. М., Теплова Т. Б.; заявл. 07.12.09; опубл. 20.05.11, Бюл. № 14.

22. Игнатов С. А. Повышение разрешающей способности лазерных измерительных систем для контроля оборудования ГПС методом акустооптоэлектронной обработки информации: автореф. дис. ... канд. техн. наук. М., 1987. 18 с.

23. Леун Е. В. Особенности схемотехники акустооптиче-ских лазерных систем для измерения перемещений с фазо-