Научная статья на тему 'Методы волоконно-оптической низкокогерентной интерферометрии и их применение в разработках волоконно-оптических датчиков физических величин'

Методы волоконно-оптической низкокогерентной интерферометрии и их применение в разработках волоконно-оптических датчиков физических величин Текст научной статьи по специальности «Физика»

CC BY
464
135
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.
Область наук
Ключевые слова
ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ / НИЗКОКОГЕРЕНТНАЯ ИНТЕРФЕРОМЕТРИЯ / МИКРОИНТЕРФЕРОМЕТР ФАБРИ-ПЕРО / FIBER-OPTICSSENSORS / LOW-COHERENCE INTERFEROMETRY / MICROINTERFEROMETRFABRY-PEROT

Аннотация научной статьи по физике, автор научной работы — Бурков В. Д., Леонов Л. В., Потапов В. Т., Потапов Т. В., Удалов М. Е.

Бурков В.Д., Леонов Л.В., Потапов В.Т., Потапов Т.В., Удалов М.Е. МЕТОДЫ ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКОЙ НИЗКОКОГЕРЕНТНОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТРИИ И ИХ ПРИМЕНЕНИЕ В РАЗРАБОТКАХ ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ ФИЗИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН. Приведен сравнительный анализ методов волоконно-оптической низкокогерентной когерентной интерферометрии для измерения малых расстояний и перемещений объектов в пространстве. Проанализирована возможность применения этих методов в разработках миниатюрных ВОД физических величин на основе микроинтерферометров Фабри-Перо.

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Похожие темы научных работ по физике , автор научной работы — Бурков В. Д., Леонов Л. В., Потапов В. Т., Потапов Т. В., Удалов М. Е.

iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

BurkovV.D., Leonov L.V., Potapov V.T., Potapov T.V., Udalov M.E. THE TECHNIGUE OF FIBER OPTIC LOW-COHERENCE INTERFEROMETRY AND ITS APPLICATIONS FOR FIBER OPTIC SENSORS. The technigue of fiber optic low-coherence interferometry for of fiber optic sensors. Abstracts Thetechnigue of fiber optic low-coherence interferometry for applications in the field fiber optic sensors in presented. The possibilities of used this technigue for disingning miniature fiber optic sensors are discussed.

Текст научной работы на тему «Методы волоконно-оптической низкокогерентной интерферометрии и их применение в разработках волоконно-оптических датчиков физических величин»

МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ

Следующим действием определяются итоговые рейтинги каждой НИОКР W путем суммирования рассчитанных весовых коэффициентов Kr1, Kr2 с учетом установленных коэффициентов важности Kv1, Kv2

Wi = Kr1XKvi+Kr2XKv2 .

Оценка важности НИОКР проводится по результатам анализа показателей путем сравнения их итоговых рейтингов Wi с максимально возможным Wmax, определяемым из вышерассмотренного выражения при условии K=K=1, и принятым пороговым значением

W < W < W .

пор г max

В результате формируется перечень НИОКР по созданию ЭКБ с указанием их рейтинга.

С учетом выделенных ассигнований в рамках мероприятий ФЦП формируется пе-

речень НИОКР по созданию ЭКБ для РЭС стратегически важных государственных объектов и специальной техники.

Таким образом, предложенный алгоритм выбора приоритетных направлений и показателей развития ЭКБ может быть использован при корректировке мероприятий ФЦП по созданию ЭКБ в обеспечение разрабатываемых, модернизируемых и изготавливаемых РЭС стратегически важных государственных объектов и специальной техники с учетом действующих ограничений и полученных результатов выполнения НИОКР по разработке конкретных типов ЭКБ в предшествующий период.

Библиографический список

1. Саати, Т Метод анализа иерархий / Т Саати. - М.: «Радио и связь», 1993.

МЕТОДЫ ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКОЙ НИЗКОКОГЕРЕНТНОЙ

интерферометрии и их применение в разработках волоконно-оптических датчиков физических величин

В.Д. БУРКОВ, проф. каф. ИИС и ТПМГУЛ, д-р техн. наук,

Л.В. ЛЕОНОВ, проф. каф управления автоматизированными пр-вами ЛПКМГУЛ, д-р техн. наук, В.Т. ПОТАПОВ, проф. МГУЛ, д-р техн. наук,

ТВ. ПОТАПОВ, канд. физ.-мат. наук.,

М.Е. УДАЛОВ, доц., канд. техн. наук

Значительная часть современных оптических датчиков физических величин основана на измерении оптического пути световых лучей и его изменений под влиянием внешних воздействий в заданном пространстве или объеме, т.е. на измерениях расстояний и перемещений, в которые конвертируются различные физические величины, такие как давление, температура, магнитное поле [1, 3, 5, 6], деформации [4] и т.д. К настоящему времени известно большое число оптических методов и схем измерения расстояний и перемещений различных объектов в пространстве. В последние годы благодаря освоению волоконнооптических технологий получили развитие волоконно-оптические методы и устройства измерения расстояний и перемещений и, в

burkov@mgul.ac.ru

частности, метод волоконно-оптической низкокогерентной интерферометрии (ВОНКИ) [4,2]. Основным отличием низкокогерентной интерферометрии от классической когерентной является применение низкокогернтных источников излучения, длина когерентности которых может быть меньше длины измеряемого оптического пути, например суперлюминесцентных светодиодов. В когерентной или лазерной интерферометрии наоборот применяются высококогерентные источники - лазеры, имеющие длину когерентности, намного превышающую длину измеряемого оптического пути. В случае когерентного источника излучения (лазера) зависимость интенсивности излучения от разности фаз ф = 4nd / X интерферирующих лучей на выходе

174

ЛЕСНОЙ ВЕСТНИК 3/2012

МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ

интерферометра Фабри-Перо низкого контраста (прошедших или отраженных), когда значения коэффициентов отражения ИФП много меньше 1, носит строго периодический характер и описывается выражением

I = I0(1 - Vcos(4nnd / X)), (1)

где I0 - интенсивность на входе ИФП;

V - константа, описывающая видность интерференционной кривой и зависящая от характеристики отражателей ИФП и расходимости лучей; n - коэффициент преломления среды; d - расстояние между отражателями;

X - длина волны света.

Оптический путь (расстояния между зеркалами ИФП) можно определить путем подсчета интерференционных максимумов (или минимумов) на кривой, описываемой формулой (1), и расположенных на расстояниях, равных X / 2. Кроме этого для измерения перемещений необходимо определять направление изменения оптического пути, что является непростой задачей и приводит к усложнению схемы. Точность измерений абсолютных расстояний таким методом составляет величину, равную «X / 4, а динамический диапазон может достигать значений 105 - 107. Однако при этом требуется применение дорогостоящего оборудования.

С лазерным интерферометром можно получить и значительно более высокую точность измерений, вплоть до нескольких нанометров при измерениях малых расстояний, соответствующих измерениям фаз в пределах ±п / 2, т.е. при расстояниях d £ X/2, где X - длина волны света (X ^ 1мкм; d < 500нм). Однако и при этом также приходится сильно усложнять схемы измерения, в частности, с высокой степенью стабилизировать рабочую точку интерферометра. Таким образом, когерентная лазерная интерферометрия позволяет получать более высокие точности измерений, но требует разработки сложного и дорогостоящего оборудования [4].

Одним из перспективных и практичных решений измерений абсолютных расстояний и перемещений, на наш взгляд, являются методы низкокогерентной волоконно-оптической интерферометрии (ВОНКИ),

в которых применяются низкокогерентные источники, такие как лампы белого света и светодиоды [6, 7]. Главными достоинствами ВОНКИ является достаточно высокая точность измерений, которая практически не зависит от флуктуаций оптической мощности в линии, дистанционность измерений и возможность создания миниатюрных чувствительных элементов ВОД. Методы ВОНКИ основаны на измерении автокорреляционной функции зондирующего излучения после его взаимодействия с образцом (чувствительным элементом, выполненным в виде ИФП). Эта автокорреляционная функция может быть измерена с помощью интерферометра с модулируемой разностью плеч - оптического коррелометра [5] или методом спектральной интерферометрии, который заключается в измерении спектра мощности излучения на выходе системы с последующей математической обработкой результатов.

В схемах с оптическим коррелометром возможны две конфигурации: тандемная и томографическая. В томографической конфигурации объект помещается внутрь оптического коррелометра и является его частью, такая схема, как следует из названия, реализуется в оптической когерентной томографии (ОКТ). Эта схема реализуется на основе

Образец

Рис. 1. Оптическая схема томографического варианта низкокогерентного интерферометра

Рис. 2. Изображение интерференционной картины интерферометра

ЛЕСНОИ ВЕСТНИК 3/2012

175

МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ

интерферометра Майкельсона, одно из плеч которого образовано интерферометром Майкельсона с подвижным зеркалом, а в другом размещен исследуемый образец (рис. 1).

Когда разность оптических путей для двух разных плеч интерферометра становится близкой к длине когерентности источника излучения, на выходе схемы наблюдается интерференционная картина, которая изображена на рис. 2.

Для источника с гауссовым распределением интенсивности излучения по длинам волн (например, для суперлюминисцентного диода СЛД) интенсивность оптического сигнала на выходе оптического коррелометра (на входе фотодиода) имеет вид

I = /0{1 + 1/2ехр[-(ф / л1с)2]соэ(ф)}, (2) где, ф - это разность фаз двух лучей;

Lc - длина когерентности источника.

Когда разность фаз равна нулю, эта функция имеет максимум. Таким образом, изменяя разность фаз с помощью подвижного зеркала интерферометра, можно установить момент, когда функция I максимальна, и таким образом определить фазовую задержку в образце [2,5] и по его значению вычислить длину оптического пути света в образце.

Если за время измерения длины одного из плеч интерферометра успевает измениться на некоторую величину, то изменяется и разность фаз, поэтому исследуемая величина измеряется с ошибкой, то же происходит при изменении температуры или вибрации. Таким образом, томографическая конфигурация не устойчива по отношению к изменениям внешних условий, что ограничивает область ее применений.

Более помехоустойчивой является схема на рис. 3, в которой чувствительный и сканирующий интерферометры разделены и располагаются последовательно - тандемный вариант.

В этой схеме излучение широкополосного источника через одно из плеч волоконного разветвителя подается в чувствительный элемент (например, ИФП), а затем отраженный сигнал через другое плечо разветвителя поступает в сканирующий интерферометр с изменяющейся по линейному закону длиной

оптического пути одного из плеч, характеристики которого должны быть жестко застаби-лизированы от внешних воздействий и возмущений. Разность хода лучей в двух плечах сканирующего интерферометра значительно превышает длину когерентности источника, поэтому интерференция от каждого интерферометра (измерительного и опорного) по отдельности не может наблюдаться. Если же оптическую разность хода сканирующего интерферометра сделать достаточно близкой (в пределах длины когерентности источника) к разности хода в чувствительном интерферометре, то возникает интерференция лучей, поступающих на фотоприемник от двух интерферометров. Фаза и видность пичков интерференционной картины является функцией отличия разностей оптических путей (разностей фаз) двух интерферометров.

Функция пропускания такой системы имеет вид

1 = Io{1 + 1/2ехР[-((Я(Ф - Ф,)) /

/ ^С)2]с^(ф - ф,)} (3)

где ф -разность фаз в чувствительном интерферометре;

фк - разность фаз в сканирующем интерферометре.

По мере изменения разности фаз в сканирующем интерферометре, интенсивность на выходе такой тандемной системы изменяется согласно рис. 4.

Функция пропускания максимальна в том случае, если ф = ф,, таким образом, определяя максимум этой функции, мы определяем разность фаз в сканирующем интерферометре, а следовательно, и разность фаз в чувствительном интерферометре. Важно обратить внимание, что картина интерференции может наблюдаться, только если разность фаз чувствительного и сканирующего интерферометров не превышают длину когерентности источника излучения. При изменении разности фаз в чувствительном интерферометре, т.е. при изменении величины измеряемого внешнего параметра, максимум функции пропускания смещается; настраивая сканирующий интерферометр на этот максимум, можно вновь определить величину измеряемого параметра по изменению фаз. Следует

176

ЛЕСНОЙ ВЕСТНИК 3/2012

МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ

Чувствительный

Широкополосный интеРфеРометР фабРи-ПеРо

Р - внешнее воздействие

Рис. 3. Схема тандемного низкокогерентного интерферометра

Рис. 4. Схематическое изображение функции пропускания тандемного низкокогерентного интерферометра

отметить, что варианты метода ВОНКИ с оптическим коррелометром довольно сложны и дороги для практической реализации ВОД на их основе вследствие сложности их схем, требующих жесткой стабилизации параметров коррелометра.

Спектральный метод ВОНКИ

На наш взгляд, для практической реализации в настоящее время наиболее подходящим является метод спектральной ВОНКИ, т.к. он наиболее прост и дешев в реализации. Однако до сих пор остается неясным вопрос о точности измерений, которая может быть достигнута этим методом. Спектральный метод ВОНКИ заключается в измерении спектра

мощности излучения образца (автокорреляционной функции зондирующего излучения после его взаимодействия с образцом) с последующей математической обработкой этого спектра. На рис. 5 приведена схема установки, реализующей спектральный метод ВОН-КИ[1]. Здесь в качестве чувствительного элемента (образца) применяется интерферометр Фабри-Перо слабого контраста, образуемый, с одной стороны, торцом оптического волокна, а с другой - какой-либо отражающей поверхностью, например, мембраной или торцом другого оптического волокна. Установка состоит из источника излучения, волоконнооптической линии с разветвителем и спектрометра, включающего отражательную дифрак-

ЛЕСНОИ ВЕСТНИК 3/2012

177

МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ

Широкополосный

оптический источник Разветвитель 2х2 ИФП

Рис. 5. Схема установки для измерения базы ИФП и перемещений

ционную решетку (эшеллет), объектив и ПЗС матрицу. Излучение широкополосного источника суперлюминесцентного светодиода SLD471, излучающего в диапазоне ~920-960 нм с центром на длине X ~ 940нм, по оптическому волокну попадает на ИФП, образованный на торце волокна. Отраженный от ИФП сигнал через разветвитель подается на вход

спектрометра. Спектрометр выполнен по автоколлимационной схеме, свет проходит через объектив дважды - туда и обратно, при этом отраженный от решетки спектр излучения 1го порядка регистрируется ПЗС матрицей с числом пикселей 640^512. Фокусное расстояние объектива составляет 50 мм, светосила 2,8, диаметр аберрационного пятна =20 мкм.

178

ЛЕСНОЙ ВЕСТНИК 3/2012

МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ

Дифракционная решетка представляет собой реплику на стекле, покрытую металлом. Размеры решетки 40*40 мм, число штрихов 600 шт./мм. Эффективность решетки в 1 порядке дифракции составляет =70 %.

Известно [3,4], что спектр SLD имеет гауссово распределение, в данном случае с центром на X = 940 нм. Поэтому интенсивность отраженного сигнала будет представлять собой произведение функций отражения интерферометра Фабри-Перо слабого контраста (коэффициент отражения на границе кварц-воздух равен 0,04) и гауссовой функции источника, т.е. имеет вид

I(X) = I0^ VR2exp[-(X - X0)2 / 2AX2]*

*(1 - cos(4nnd / X)), (4)

где I0 - мощность излучения на входе волоконного тракта;

V - константа, зависящая от величины потерь излучения и эффективности связи между ИФП и оптическим волокном, которые в условиях эксперимента можно считать постоянным;

R - коэффициент отражения от отражателей ИФП;

n - коэффициент преломления среды (для воздуха n = 1).

На рис. 6 в качестве иллюстрации приведен спектр отраженного сигнала от ИФП, образованного торцами двух оптических волокон, расположенных на расстоянии d, равном ~ 100 мкм.

Из формулы (4) следует, что максимумы в спектре отражения при фиксированном значении d, находятся один от другого на расстояниях, определяемых из условий разности фаз, равной

Ф - ф ^ = 4nnd / X . (5)

Откуда выражение для базы ИФП d имеет вид

d _—X mX m+1—=—— при n = 1. (6)

2(Xm+t-Xm )n 2AX P w

Таким образом, для вычисления d необходимо определить длины волн, на которых располагаются максимумы (или минимумы) спектра отражения ИФП

Точность измерения d в этом случае будет определяться точностью измерения Xm, т.е. спектральными характеристиками прибора, в

том числе характеристиками ПЗС матрицы и отношением сигнал/шум [8]. В настоящее время существующие спектральные приборы на основе дифракционных решеток позволяют измерять спектры излучения в ближней ИК области с разрешением в сотые доли нанометров. В этом случае, как показывают оценки, точность измерения расстояний методом ВОНКИ может достигать 10 нм в диапазоне расстояний от 50 до 250 мкм. Тогда на базе описанного выше метода ВОНКИ возможно создание высокоточных датчиков для измерения абсолютных расстояний с динамическим диапазоном ~ 104. В данном макете устройства точность измерений ограничивалась шумами ПЗС-матрицы и составляла примерно ±100 нм при измерении расстояния между торцами оптических волокон в пределах 100 мкм.

Библиографический список

1. Бурков, В.Д. Волоконно-оптические датчики физических величин на основе низкокогерентной интерферометрии / В.Д. Бурков, В.Т. Потапов, Т.В. Потапов и др. // Вестник МГУЛ - Лесной вестник. - 2010. - № 5(74). - С. 157-161.

2. Bing Yu, DaeWoong Kim, Jiang Deng, Hai Xiao and Anbo Wang, “Fiber Fabry-Perot senses for detection of partial discharges in power transformers”, Appl. optics, vol.42, №16, 2003.

3. Y.J.Rao and D.Jackson, “Recent progress in fiber optic low-coherence interferometry”, Meas.Sci.Technol., 1996, pp. 981-989.

iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.

4. PatriciaM. Hieva, “NewtrendsonMEMSsensortechno logyforharshenvironmentalapplications”, SensorsAn dTransducersJournal, Speciallssue, Oct. 2007, pp.1030 (имеется русский перевод в журнале «Датчики и системы», №5, 2008 г., стр. 38-46, «Новые тенденции в технологии MEMS-датчиков для применения в жестких условиях»).

5. Ki D. Oh, J. Ranade, V. Arya, A. Wang, R.O. Claus “Miniaturized fiber optic magnetic field sensors”, SPIE, v.3538, pp.136-142, 1998.

6. Иванов, В.В. Дифференциальная низкокогерентная интерферометрия для insitu диагностики прозрачных микроструктур / В.В. Иванов, В.А. Маркелов, М.А. Новиков и др. // Письма в ЖТФ. - 2004. - Т. 30. - Вып. 9. - С. 82-87.

7. S.Taplin,A.Gh.Podoleanu, D.J.Webb and D.A.Jackson, “Displacement Sensor Using Channeled Spectrum Dispersed on a Linear CCD Array”, Electron.Lett., v.29, pp.893, 1993.

8. A.Gh.Podoleanu,S.Taplin, D.J.WebbandD.A.Jackson, “Channelled Spectrum Liquid Refractometer”, Rev. Sci. Instr., vol. 64, No.10, pp. 3028-9, 1993.

ЛЕСНОЙ ВЕСТНИК 3/2012

179

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.