Научная статья на тему 'Механизм образования силицидов на поверхности кремния при облучении ионами металлов'

Механизм образования силицидов на поверхности кремния при облучении ионами металлов Текст научной статьи по специальности «Нанотехнологии»

CC BY
740
59
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Похожие темы научных работ по нанотехнологиям , автор научной работы — Мисюра Н. А.

iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Текст научной работы на тему «Механизм образования силицидов на поверхности кремния при облучении ионами металлов»

Секция физики

где r, l, К - некоторые постоянные, которые выражаются через параметры системы поле - частица.

Последнее уравнение представляет собой уравнение овалов Декарта [3]. Семейство овалов (4) содержит улитку Паскаля, которая является сепаратрисной петлей, содержащей седло (особая точка улитки). Фазовый портрет частицы, таким образом, содержит три особые точки: два центра и седло.

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

1. Давыдовский В.Я., Погорелое ЕМ., Филиппов Ю.С. // Изв.вузов. Физика. 1990. №1. С.13-17.

2. Красюк И.И.,Погорелов ЕМ. // Изв.вузов. Физика. 1997. №2. С.29-34.

3. Савелов А.А. Плоские кривые систематика, свойства, применения // Под ред. АЛ. Нор-дена. М.: Физматгиз. 1960. 296с.

УДК 621.382

Н.А. Мисюра

МЕХАНИЗМ ОБРАЗОВАНИЯ СИЛИЦИДОВ НА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ ПРИ ОБЛУЧЕНИИ ИОНАМИ МЕТАЛЛОВ

Основным процессом начальной стадии образования химического соединения на поверхности кремния, который определяет состав образующегося силицида в данных условиях, является разрыв связей между атомами кремния и формирова--Si. , -цесс протекает более интенсивно, и содержание кремния в конечном продукте уве.

Центром зарождения силицидных фаз являются каскады атомных столкновений (тепловые пики). При этом уже на первом этапе начинается ионно-стимулированная диффузия атомов кремния из подложки по границам зерен плен. , кристаллической решетки кремния и обеспечивающие транспорт реагентов. Оцен-, 109 -никновению солитоноподобных волн с высокой запасенной плотностью энергии, что является основным фактором, инициирующим химические и структурные превращения в объеме кристалла . При этом затухание уединенных волн приводит к расширению зоны фазовых превращений, индуцированных ионной бомбардиров, 103 превышает проекционный пробег. Таким образом, образование силицидных фаз при ионном облучении является результатом процессов разрыва химических связей Si-Si в областях каскадов атомных столкновений и ударных волн под воздействием ионной бомбардировки результатом которых является образование связей -Si.

, :

1.

между атомами металлов и кремниевой подложкой с образованием слоев силицидных фаз при интегральной температуре подложки существенно более низкой, чем

, .

Известия ТРТУ

Специальный выпуск

2. Фазовый состав, структура и электрофизические свойства образующихся слоев силицидов металлов определяются энергией ионов и дозой облучения.

3. На начальной стадии процесса центрами зарождения силицидных фаз являются каскады атомных столкновений - тепловые пики, возникающие в системе. На втором этапе происходит ионно-стимулированная диффузия, вызванная удар, -

ния. Третий этап характеризуется слоевым ростом силицидной фазы.

УДК 534.222.2

СЛ. Голосов

ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ СИГНАЛОВ ПАРАМЕТРИЧЕСКОЙ АНТЕННЫ

В методику проведения экспериментов входят следующие задачи: подготовка аппаратуры; подготовка измерительной машины; выбор объекта, помещаемого в зону взаимодействия исходных волн, и выяснение его основных физических ; ; -чение интересующих зависимостей; обработка полученных результатов и сопоставление их с теоретическими выкладками; выводы.

, , -ловия эксплуатации аппаратуры и решаемых ею задач. Для получения наиболее достоверных экспериментальных данных исследования должны проводиться не только с лабораторными макетами антенн, но и с антеннами существующих гидро-, .

, , -пазоне 0,01-3 МГц. Частотный диапазон - основной параметр, исходя из которого, можно осмыслить требования ко всей применяемой аппаратуре.

Из вышесказанного ясно, почему для проведения комплексных исследований часть аппаратуры пришлось использовать нескольких видов, т.е. понадобился набор гидрофонов и излучателей, два измерительных бассейна и соответственно две системы юстировки к ним. Остальная аппаратура была универсальной. Особое внимание необходимо уделить выбору задающих генераторов и созданию усилителя мощности и формирователя.

Проанализируем требования, предъявляемые к усилителю мощности. Для выяснения вопроса зависимости влияния объекта, помещенного в область нелинейного взаимодействия исходных волн, на характеристики параметрического излучателя от его волновых соотношений необходимо провести эксперимент с несколькими волновыми соотношениями, что можно осуществить двумя способами: иметь на, , , иметь набор пластин нужных толщин из одинакового материала, что практически трудноосуществимо; иметь набор излучателей, и желательно, чтобы некоторые из них были достаточно широкополосные по диапазону частот.

Второй способ более доступен, но осуществим только в том случае, если рабочий диапазон частот усилителя мощности будет перекрывать диапазон частот, используемых при акустических лабораторных и натурных измерениях.

При проведении экспериментальных исследований подтвердилось, что разработанный лабораторный экспериментальный измерительный стенд обеспечивал: а) не-

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.