CC BY25
3Разработана теория Лауэ-дифракции рентгеновских микропучков в мультислоях (МС). Получено решение для вычисления рентгеновских карт в обратном пространстве. Показан маятниковый эффект (Pendellösung effect) для совершенного и несовершенного МС. Выполнено численное моделирование Лауэ-дифракции в мультислое Mo/Si с граничными условиями в случае геометрической оптики и приближения Френеля. Показано, что при работе с рентгеновскими микропучками необходимо учитывать эффекты дифракции рентгеновских волн на краях щелей и коллиматоров исследовательской установки.
The Laue diffraction theory of X-ray microbeams in multilayers (MLs) has been developed. The solution for calculating Xray reciprocal space maps has been obtained. The pendulum (Pendellösung) effect for perfect and imperfect MLs has been demonstrated. The numerical simulation of Laue diffraction in Mo/Si multilayers with boundary conditions in the case of geometrical optics and the Fresnel approximation has been carried out. For X-ray microbeams, the scattering at the edges of collimators and slits of the diffractometer should be taken into account.
фКзащЕМПнкв
Ашаця
la^(I!llliîtI0QOfX-iayteansiha пшатам
[VKfeto^^ FtTïgfv
UáEfcnW
Abtrat
Ннюштв IkÉywoit^
фщ^ Fe^^ilölLrt^llferi; nuitiliyer
Eo(qx,qz ) = ехр^^ж) Fo(qx,qz )
¿П
Ei(qx,qz ) = i-^-Fi(qx,qz ),
юртжкс
= — к cos О в е.
к sin О в (2^- е) И EWrHl
Fo = / cos( ) - i
шойкта^^ eg
