CC BY
17УДК 539.216.2-022.539:620.18
DOI: 10.24151/1561-5405-2021-26-6-459-467
2Кабардино-Балкарский государственный университет и
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва,
Исследование химического состава пленок, полученных методом электродугового распыления графита и титана из двух источников
1 1 12 З.М. Хамдохов , З. Ч. Маргушев , З.Х. Калажоков ' ,
Х.Х. Калажоков2, Д.Д. Левин3
1 Кабардино-Балкарский научный центр Российской академии наук, г. Нальчик, Россия 2Кабардино-Балкар
им. Х.М. Бербекова, г. Нальчик, Россия
3
3Национ Россия
Перспективным материалом для создания холодных катодов являются углеродные пленки с приемлемыми эмиссионными свойствами и удовлетворительной адгезией к подложке. Включения металлических элементов в углеродную пленку, например хрома, титана и т.д., улучшают ее адгезию к подложке. В работе представлен один из способов получения покрытий на основе углерода и титана - электродуговое распыление композитного катода Т^С в атмосфере аргона. Отмечено, что наличие в общем плазменном потоке микрочастиц углерода является источником структурных дефектов в растущей пленке. Решить данную проблему позволяет магнитная сепарация углеродной плазмы. Методом одновременного электродугового распыления графита в магнитном поле и титана из двух испарителей получены композитные металл-углеродные пленки. С использованием методов спектроскопии комбинационного рассеяния света и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии изучен состав пленок. Установлено, что полученные образцы представляют собой композитные пленки, состоящие из наночастиц графита, нанокластеров Т^С^ или Т^С^, оксидов титана и соединений карбида титана ^С^!^.
Ключевые слова: углерод; электродуговой метод; титан; графит; наночастицы; карбид титана; КРС- и РФЭС-спектры
Для цитирования: Исследование химического состава пленок, полученных методом электродугового распыления графита и титана из двух источников / З.М. Хамдохов, З.Ч. Маргушев, З.Х. Калажоков и др. // Изв. вузов. Электроника. 2021. Т. 26. № 6. С. 459-467. Б01: https://doi.org/ 10.24151/1561-5405-2021-26-6459-467
© З.М. Хамдохов, З.Ч. Маргушев, З.Х. Калажоков, Х.Х. Калажоков, Д.Д. Левин, 2021
Investigation of the Chemical Composition of Films Obtained by Electric Arc Spraying of Graphite and Titanium from Two Sources
1 1 12 Z.M. Khamdokhov , Z.Ch. Margushev , Z.Kh. Kalazhokov ' ,
2 * 3
Kh.Kh. Kalazhokov , D.D. Levin
Kabardino-Balkarian Scientific Center of the Russian Academy of Sciences, Nalchik, Russia
Kabardino-Balkarian State University named after H.M. Berbekov, Nalchik, Russia
National Research University of Electronic Technology, Moscow, Russia [email protected]
Abstract. A promising material for cold cathodes creation are carbon films with both acceptable emission properties and satisfactory adhesion to the substrate. It is known that inclusions of metallic elements (chromium, titanium, etc.) improve the adhesion of the carbon film to the substrate. One of the methods for producing coatings based on carbon and titanium is electric arc spraying of a Ti/C composite cathode in an argon atmosphere. The disadvantage of this method is the presence in the total plasma flow of carbon microparticles, which are sources of structural defects in the growing film. Magnetic separation of carbon plasma solves the above problem. In this work, composite metal-carbon films were obtained by simultaneous electric arc spraying of graphite in a magnetic field and of titanium from two evaporators. The composition of the films was studied by Raman spectroscopy (RS) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). It has been established that the samples obtained are composite films consisting of graphite nanoparticles, Ti14Ci3 nanoclusters or Ti8Ci2, titanium oxides, and titanium carbide TiCxN1-x compounds.
Keywords. carbon; electric arc spraying; titanium; graphite; nanoparticles; titanium carbide; Raman spectrum; XPS spectrum
For citation. Khamdokhov Z.M., Margushev Z.Ch., Kalazhokov Z.Kh., Kalazhokov Kh.Kh., Levin D.D. Investigation of the chemical composition of films obtained by electric arc spraying of graphite and titanium from two sources. Proc. Univ. Electronics, 2021, vol. 26, no. 6, pp. 459-467. DOI. https://doi.org/ 10.24151/1561-5405-2021-26-6-459-467
Введение. Перспективным материалом для создания холодных катодов являются углеродные пленки, содержащие эмиссионные центры - нанокластерные структуры (графен, углеродные нанотрубки, нанографиты) с низкой работой выхода электронов. Особый интерес представляют углеродные покрытия, имеющие как приемлемые эмиссионные свойства, так и удовлетворительную адгезию к подложке. Включения металлических элементов, например хрома, титана и т.д., как правило, улучшают адгезию [1]. Один из способов получения покрытий на основе углерода и титана - электродуговое распыление композитного катода Ti/C в атмосфере аргона. В работе [2] данным способом получены покрытия TiC-C, которые помимо аморфного углерода содержат кластеры карбида титана и наночастицы углерода в графитоподобном состоянии. Недостаток электродугового распыления катода Ti/C заключается в том, что в общем
плазменном потоке присутствуют микрочастицы углерода, бомбардирующие растущую пленку и являющиеся источниками структурных дефектов. Это делает практически невозможным применение литографии и создание многослойных структур. Применение магнитного поля для сепарации продуктов распыления графита (выделения микрочастиц углерода из плазменного потока) [3, 4] решает данную проблему. Для этого используют испаритель с графитовым катодом, оснащенный системой магнитной сепарации плазменного потока, и испаритель с титановым катодом.
Цель настоящей работы - изучение фазового состава покрытий на основе TiC-C, полученных методом одновременного электродугового распыления графита и титана из двух испарителей, для создания высокоэффективных катодов.
Эксперимент. Для эксперимента использовали кремниевые подложки, покрытые субмикронными пленками нитрида титана. Исследуемые пленки осаждали методом электродугового распыления графитового и углеродного катодов в аргоновой среде на установке вакуумного нанесения износостойких покрытий УВНИПА. Вакуум обеспечивали форвакуумным механическим насосом НВР-16Д и диффузионным насосом H-400/7000. Ток дуги при горении катода из графита или титана составлял ~ 90 А, температура осаждения не превышала 80 °С. Отрицательный потенциал смещения, подаваемый на образец, равнялся 150 В. Толщина осажденной пленки ~ 0,5 мкм. Перед осаждением поверхность подложки подвергали обработке ионами аргона в течение 15 мин. Непрерывное горение дугового разряда поддерживали напуском в откаченную камеру аргона до парциального давления 210 1 Па. Схема плазменных пучков углерода и титана приведена на рис.1.
Спектры комбинационного рассеяния света (КРС) исследуемых образцов получены с помощью спектрометра Centaur U HR (ООО «Нано Скан Технология», г. Долгопрудный, Россия). Длина волны лазера равна 532,8 нм при мощности лазера 25 мВт. Исследования методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС) выполнены с использованием спектрометра K-Alpha (Termo Scientific) с источником рентгеновского излучения Al-Xa (1486,6 эВ) при вакууме не хуже 4,5 х 10-9 мбар. Вычитание фона вторичных электронов проводили методом Ширли. Калибровку спектрометра осуществляли по пикам Au 4f7/2; Cu 2p3/2; Ag 3d5/2, отвечающим энергиям связи 83,96; 932,62; 368,21 эВ.
Результаты и их обсуждение. Типичный КРС-спектр поверхности исследуемых пленок показан на рис.2. На спектре наблюдаются три пика:
- пик D (1361 см1) - «дышащая» мода, связанная с рассеянием фононов на дефектах решетки, соответствующая ОН-деформации группы C-OH, имеет сдвиг относительно пика D (1350 см-1) графена [5];
3 4
9 1
W 1 \ о о ° о 8
7 7
Рис.1. Схема плазменных пучков углерода и титана: 1 - графитовый катод; 2 - титановый катод; 3 - испаритель № 1; 4 - испаритель № 2; 5 - микрочастицы графита; 6 - углеродная плазма; 7 - смотровые окна; 8 - ионная пушка;
9 - титановая плазма; 10 - подложка Fig.1. Scheme of plasma beams of carbon and titanium: 1 - graphite cathode; 2 - titanium cathode; 3 - evaporator No. 1; 4 - evaporator No. 2; 5 -graphite microparticles; 6 - carbon plasma; 7 -viewing windows; 8 - ion gun; 9 - titanium plasma;
10 - substrate
Рис.2. КРС-спектр поверхности пленки TiC-C Fig.2. Raman spectra of the TiC-C film surface
- пик G (1593 см-1) - относится к внутриплоскостным колебаниям соседних атомов углерода (рассеянию на фононах вблизи центра зоны Бриллюэна), имеет сдвиг относительно пика D (1382 см-1) графена [5];
- пик D' (1621 см-1) - можно отнести к колебаниям в плоскости (C=C) от неокис-ленных CC-связей sp2.
В зависимости от дефектов в образце положение пиков меняется. Пики D и D' также могут быть связаны с окислением пленки. Отношение интенсивности пиков D к G
3 «-» 2
прямо пропорционально отношению вклада sp -областей к sp -областям в пленке. Положение пика G смещается в сторону меньших волновых чисел по мере увеличения длины волны возбуждения. В рассматриваемом случае пик G составляет 1593 см-1. Это позволяет говорить о том, что исследуемый материал находится между высокоориентированным пиролитическим графитом (HOPG) и нанокристаллическим графитом (C-ng).
При исследовании состава пленки методом РФЭС проводили послойное травление пленки пучком ионов аргона с энергией 1 кэВ с одновременным контролем состава по глубине. На рис.3 представлена зависимость относительных атомных концентраций компонентов пленки от глубины травления, рассчитанной относительно скорости травления TaO2. РФЭС-спектры высокого разрешения для уровней C 1s, O 1s, N 1s и Ti 2p получены с поверхности исходной пленки (до процесса ионного травления) и при травлении пленки в течение 50 с (режим А), 900 с (режим В) и 2000 с (режим C).
На рис.4 представлены РФЭС-спектры для уровня Ti 2p, снятые до и после травления пленки (режимы A и B). Видно, что по мере травления происходит разрушение оксидного слоя титана на поверхности пленки. После ухода оксидного слоя проявляется пик Ti 2p3/2 с энергией связи 454,8 эВ и энергией расщепления пика дублета 6 эВ, характерного для соединения TiCxN1-x [6]. Для сравнения приведен пик дублета Ti 2p, снятый с контрольного образца металлического титана после его очистки травлением ионами аргона с энергией 3 кэВ в течение 30 мин. Энергия связи пика Ti 2p3/2 металлического титана составляет 454,1 эВ, энергия расщепления равна 6,1 эВ [2].
Рис.3. Профиль распределения компонентов пленки по глубине Fig.3. Profile of the distribution of film components in depth
Рис.4. РФЭС-спектры для уровня Ti 2p: 1 - поверхности осажденной пленки; 2 - режим A; 3 - режим B;
4 - поверхности пленки Ti Fig.4. XPS spectra for Ti 2p: 1 - surfaces of the deposited film; 2 - mode A; 3 - mode B; 4 - surfaces of the Ti film
Рис.5. РФЭС-спектры для уровня C 1s, снятые на поверхности образца до (1) и после
травления в режимах B (2) и C (3) Fig.5. XPS spectra for C 1s recorded on the sample surface (1), etching modes B (2) and C (3)
На рис.5 представлены РФЭС-спектры поверхности образца для уровня С снятые до и после травления в режимах B и C. Характер спектров показывает, что травление приводит к очистке поверхностных загрязнений. Пик с энергией связи 281,7 эВ соответствует соединению ТьС. Смещение интенсивного пика с энергией 284,8 эВ на 0,4 эВ в сторону более низких энергий связи объясняют наличием углерода в кристаллическом состоянии [7, 8].
1 I . I | i I I I I I I г
292 288 284 280
Энергия связи, эВ
Рис.6. РФЭС-спектр для уровня C 1s (режим А): 1 - C-Ti; 2 - Ti14C13 или Ti8C12; 3 - C-ng; 4 - C-C;
5 - C-O-C/C-OH; 6 - C=O; 7 - C(O)O; 8 - n-n* Fig.6. XPS spectrum of C 1s level (mode A): 1 - C-Ti; 2 - Ti14C13 or Ti8C12; 3 - C-ng; 4 - C-C; 5 - C-O-C / C-OH; 6 - C = O; 7 - C (O) O; 8 - n-n*
292 288 284 280
Энергия связи, эВ
Рис. 7. РФЭС-спектр для уровня C 1s (режим В): 1 - C-Ti; 2 - Ti14C13 или Ti8C12; 3 - C-ng; 4 - C-C Fig. 7. XPS spectrum of C 1s level (mode B): 1 - C-Ti;
2 - Ti14C13 or Ti8C12; 3 - C-ng; 4 - C-C
Рис.8. РФЭС-спектр для уровня N 1s (режим А): 1 - TiCxN1-x; 2 и 3 - N-C Fig.8. XPS spectrum of level N 1s (mode A): 1 - TiCxN1-x; 2 and 3 - N-C
РФЭС-спектр для уровня С (рис.6) указывает на наличие пика с энергией ~281,8 эВ, который можно отнести к энергии связи атомов углерода в соединении ТьС. Другая часть спектра проявляется в виде асимметричного пика с максимумом ~284,2 эВ, характерного для графита и пика плазмонных потерь с энергией связи 291 эВ [5]. Остатки органических соединений из атмосферы на поверхности пленки представлены пиками С-С (284,8 эВ), С-О-С/С-ОН (286,4 эВ), С=0 (287,9) и С(0)0 (288,3 эВ). Корректное описание данного спектра возможно при условии учета еще одной составляющей - пика с энергией ~ 283 эВ. Авторы работы [7] считают, что этот пик относится к молекулам монооксида углерода СО, адсорбированным на поверхности Т1, а авторы работы [2] - к соединениям Т^4С13 или Т^С12.
На рис.7 показан РФЭС-спектр для уровня С 1^, полученный в режиме В. Видно, что дальнейшее травление приводит к уходу органической составляющей соединений углерода. На спектре присутствуют в основном пики, характерные для соединений С-Т1, нанокластеров Т^4С13 и нанографита C-ng. На рис.8 представлен РФЭС-спектр для уровня N 1^, полученный в режиме А. Большая часть азота содержится в фазе Т1СХК1-Х, что подтверждается доминированием пика с энергией связи 396,8 эВ. Остальные два пика с энергиями 398,7 и 400,4 эВ связаны с соединениями №С [9-12].
Заключение. Исследования КРС- и РФЭС-спектров образца покрытия Т1С-С, выращенного одновременным электродуговым распылением графита и титана из двух испарителей при сепарации продуктов испарения графита в магнитном поле, показали следующее. Полученный образец представляет собой композитную пленку, состоящую из наночастиц графита, нанокластеров Т^4С13 или Т^С12, оксидов титана и соединений карбида титана Т1С^1-Х.
Представленный в работе метод электродугового распыления графита и титана из двух источников является дальнейшим развитием метода плазменного напыления пленок. По сравнению с электродуговым распылением композитного катода Ti/C рассмотренный метод позволяет, варьируя в процессе напыления содержанием углерода и титана в плазменном потоке, получать гладкие пленки Ti/C разного химического и фазового составов.
Материалы статьи доложены на 5-й Научно-практической конференции «Интеллектуальные системы и микросистемная техника - 2021», (3-9 февраля 2021 г., Кабардино-Балкарская Республика, пос. Эльбрус).
Литература
1. Andrievskii R.A. The synthesis and properties of interstitial phase films // Russ. Chem. Rev. 1997. Vol. 66 (1). P. 53-72. DOI: https://doi.org/10.1070/RC1997v066n01ABEH000290
2. Investigation of TiC-C coatings by X-ray photoelectron spectroscopy / M.V. Kuznetsov, S.V. Borisov, O.P. Shepatkovskii et al. // J. Synch. Investig. 2009. Vol. 3. Iss. 3. P. 331-337. DOI: https://doi.org/ 10.1134/S102745100903001X
3. Effect of thermal annealing on the properties of a C/Ni heterostructure / E.Z. Khamdohov, Z.M. Khamdohov, V.S. Kulikauskas et al. // J. Synch. Investig. 2014. Vol. 8. Iss. 6. P. 1297-1301. DOI: https://doi.org/10.1134/S1027451014060305
4. Свойства хром-никелевых пленок после воздействия пучка ионов углерода / Э.З. Хамдохов, З.М. Хамдохов, А.З. Хамдохов и др. // Изв. Кабардино-Балкарского научного центра РАН. 2015. № 5 (67). С. 18-23.
5. Ferrari A.C., Robertson J. Interpretation of Raman spectra of disordered and amorphous carbon // Phys. Rev. B. 2000. Vol. 61. Iss. 20. P. 14095-14107. DOI: https://doi.org/10.1103/PhysRevB.61.14095
6. NIST Standard Reference Database 20, Version 4.1 // National Institute of Standards and Technology: [Web] / U.S. Department of Commerce. URL: https://srdata.nist.gov/xps/ (дата обращения: 29.09.2021).
7. Lu M., Cheng Н., Yang Y. A comparison of solid electrolyte interphase (SEI) on the artificial graphite anode of the aged and cycled commercial lithium ion cells // Electrochimica Acta. 2008. Vol. 53. Iss. 9. P. 3539-3546. DOI: https://doi.org/10.1016/j.electacta.2007.09.062
8. Microwave assisted exfoliation and reduction of graphite oxide for ultracapacitors / Y. Zhu, Sh. Murali, M.D. Stoller et al. // Carbon. 2010. Vol. 48. Iss. 7. P. 2118-2122. DOI: https://doi.org/10.1016/ j.carbon.2010.02.001
9. Ocal C., Ferrer S. The strong metal-support interaction (SMSI) in Pt-TiO2 model catalysts. A new CO adsorption state on Pt-Ti atoms // J. Chem. Phys. 1986. Vol. 84. Iss. 11. P. 6474-6478. DOI: https://doi.org/ 10.1063/1.450743
10. Thin TiCN films prepared by hybrid magnetron-laser deposition / T. Kocourek, M. Jelinek, J. Kadlec et al. // Plasma Process. Polym. 2007. Vol. 4. Iss. S1. P. S651-S654. DOI: https://doi.org/10.1002/ ppap.200731603
11. Mi P., He J., Qin Y., Chen K. Nanostructure reactive plasma sprayed TiCN coating // Surface and Coatings Technology. 2016. Vol. 309. P. 1-5. DOI: https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2016.11.033
12. Bertoti I. Characterization of nitride coatings by XPS // Surface and Coatings Technology. 2002. Vol. 151-152. P. 194-203. DOI: https://doi.org/10.1016/S0257-8972(01)01619-X
Поступила в редакцию 26.07.2021 г.; после доработки 26.07.2021 г.; принята к публикации 11.10.2021 г.
Хамдохов Залим Мухамедович - кандидат физико-математических наук, ведущий научный сотрудник Института информатики и проблем регионального управления Кабардино-Балкарского научного центра Российской академии наук (Россия, Кабардино-Балкарская Республика, 360000, г. Нальчик, ул. И. Арманд, 37а), hamdohov@mail .ru
Маргушев Заур Чамилович - кандидат физико-математических наук, ведущий научный сотрудник Института информатики и проблем регионального управления Кабардино-Балкарского научного центра Российской академии наук (Россия, Кабардино-Балкарская Республика, 360000, г. Нальчик, ул. И. Арманд, 37а), [email protected]
Калажоков Замир Хамидбиевич - кандидат физико-математических наук, доцент кафедры физики наносистем Института физики и математики Кабардино-Балкарского государственного университета им. Х.М. Бербекова (Россия, Кабардино-Балкарская Республика, 360000, г. Нальчик, ул. Чернышевского, 173), старший научный сотрудник отдела компьютерных рентгенооптических систем Кабардино-Балкарского научного центра Российской академии наук (Россия, Кабардино-Балкарская Республика, 360000, г. Нальчик, ул. И. Арманд, 37а), [email protected]
Калажоков Хамидби Хажисмелович - доктор физико-математических наук, профессор кафедры теоретической и экспериментальной физики Института физики и математики Кабардино-Балкарского государственного университета им. Х.М. Бербекова (Россия, Кабардино-Балкарская Республика, 360004, г. Нальчик, ул. Чернышевского, 173), [email protected]
Левин Денис Дмитриевич - кандидат технических наук, научный сотрудник научно-образовательного центра «Зондовая микроскопия и нанотехнология» Национального исследовательского университета «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1), [email protected]
References
1. Andrievskii R.A. The synthesis and properties of interstitial phase films. Russ. Chem. Rev., 1997, vol. 66 (1), pp. 53-72, DOI: https://doi.org/10.1070/RC1997v066n01ABEH000290
2. Kuznetsov M.V., Borisov S.V., Shepatkovskii O.P., Veksler Yu.G., Kozhevnikov V.L. Investigation of TiC-C coatings by X-ray photoelectron spectroscopy. J. Synch. Investig., 2009, vol. 3, iss. 3, pp. 331-337. DOI: https://doi.org/10.1134/S102745100903001X
3. Khamdohov E.Z., Khamdohov Z.M., Kulikauskas V.S., Chernikh P.N., Serushkin S.V., Migunova E.S. Effect of thermal annealing on the properties of a C/Ni heterostructure. J. Synch. Investig., 2014, vol. 8, iss. 6, pp. 1297-1301. DOI: https://doi.org/10.1134/S1027451014060305
4. Khamdokhov E.Z., Khamdokhov Z.M., Khamdokhov A.Z., Teshev R.Sh., Kalazhokov Z.H., Kalazhokov H.H., Kulikauskas V.S., Eriskin A.A. Properties of chromium-nickel alloy films after exposure to carbon ion beam. Izvestiya Kabardino-Balkarskogo nauchnogo tsentra RAN = News of the Kabardin-Balkar Scientific Center of RAS, 2015, no. 5 (67), pp. 18-23. (In Russian).
5. Ferrari A.C., Robertson J. Interpretation of Raman spectra of disordered and amorphous carbon. Phys. Rev. B, 2000, vol. 61, iss. 20, pp. 14095-14107. DOI: https://doi.org/10.1103/PhysRevB.61.14095
6. NIST Standard Reference Database 20, Version 4.1. National Institute of Standards and Technology, U.S. Department of Commerce. Available at: https://srdata.nist.gov/xps/ (accessed: 29.09.2021).
7. Lu M., Cheng Н., Yang Y. A comparison of solid electrolyte interphase (SEI) on the artificial graphite anode of the aged and cycled commercial lithium ion cells. Electrochimica Acta, 2008, vol. 53, iss. 9, pp. 3539-3546. DOI: https://doi.org/10.1016/j.electacta.2007.09.062
8. Zhu Y., Murali Sh., Stoller M.D., Velamakanni A., Piner R.D., Ruoff R.S. Microwave assisted exfoliation and reduction of graphite oxide for ultracapacitors. Carbon, 2010, vol. 48, iss. 7, pp. 2118-2122. DOI: https://doi.org/10.1016/j.carbon.2010.02.001
9. Ocal C., Ferrer S. The strong metal-support interaction (SMSI) in Pt-TiO2 model catalysts. A new CO adsorption state on Pt-Ti atoms. J. Chem. Phys., 1986, vol. 84, iss. 11, pp. 6474-6478. DOI: https://doi.org/ 10.1063/1.450743
10. Kocourek T., Jelinek M., Kadlec J., Popov C., Santoni A. Thin TiCN films prepared by hybrid magnetron-laser deposition. Plasma Process. Polym., 2007, vol. 4, iss. S1, pp. S651-S654. DOI: https://doi.org/ 10.1002/ppap.200731603
11. Mi P., He J., Qin Y., Chen K. Nanostructure reactive plasma sprayed TiCN coating. Surface and Coatings Technology, 2016, vol. 309, pp. 1-5. DOI: https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2016.11.033
12. Bertoti I. Characterization of nitride coatings by XPS. Surface and Coatings Technology, 2002, vol. 151-152, pp. 194-203. DOI: https://doi.org/10.1016/S0257-8972(01)01619-X
Received 26.07.2021; Revised 26.07.2021; Accepted 11.10.2021.
Information about the authors:
Zalim M. Khamdokhov - Cand. Sci. (Phys.-Math.), Leading Researcher of the Institute of Computer Science and Problems of Regional Management, Kabardino-Balkarian Scientific Center of the Russian Academy of Sciences (Russia, Kabardino-Balkarian Republic, 360000, Nalchik, I. Armand st., 37a), [email protected]
Zaur Ch. Margushev - Cand. Sci. (Phys.-Math.), Leading Researcher of the Institute of Computer Science and Problems of Regional Management, Kabardino-Balkarian Scientific Center of the Russian Academy of Sciences (Russia, Kabardino-Balkarian Republic, 360000, Nalchik, I. Armand st., 37a), [email protected]
Zamir Kh. Kalazhokov - Cand. Sci. (Phys.-Math.), Assoc. Prof. of the Physics of Nanosystems Department, Institute of Physics and Mathematics, Kabardino-Balkarian State University named after H.M. Berbekov (Russia, Kabardino-Balkarian Republic, 360000, Nalchik, Chernishevsky st., 173), Senior Scientific Researcher of the Computer X-ray Optical Systems Department, Kabardino-Balkarian Scientific Center of the Russian Academy of Sciences (Russia, Kabardino-Balkarian Republic, 360000, Nalchik, I. Armand st., 37a), [email protected]
Khamidbi Kh. Kalazhokov - Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof. of the Theoretical and Experimental Physics Department, Institute of Physics and Mathematics, Kabardino-Balkarian State University named after H.M. Berbekov (Russia, Kabardino-Balkarian Republic, 360000, Nalchik, Chernishevsky st., 173), [email protected]
Denis D. Levin - Cand. Sci. (Eng.), Researcher of the Center for «Probe Microscopy and Nanotechnology», National Research University of Electronic Technology (Russia, 124498, Moscow, Zelenograd, Shokin sq., 1), [email protected]
/-\
Вниманию читателей журнала «Известия высших учебных заведений. Электроника»
Подписку на электронную версию журнала можно оформить на сайтах:
• Научной электронной библиотеки: www.elibrary.ru
• ООО «Агентство «Книга-Сервис»: www.rucont.ru;www.akc.ru;
www.pressa-rf.ru
• ООО «УП Урал-Пресс»: www.delpress.ru
• ООО «ИВИС»: www.ivis.ru
\_/
