CC BY
76
Секция физики
На основании проведенных исследований можно сделать следующие выводы:
♦ бомбардировка ионами инертных газов системы Сг/Б1 стимулирует взаимодействие между атомами пленки хрома и кремниевой подложки с образованием слоев силицидных фаз при температуре подложки существенно более низкой, чем при синтезе аналогичных фаз термической обработкой;
♦ фазовый состав, структура, электрофизические свойства и размеры образующихся слоев силицидов хрома определяются энергией ионов, типом ионов и дозой облучения;
♦ на начальной стадии процесса формирования силицидных фаз центрами их зарождения могут быть каскады атомных столкновений, возникающие в системе Сг/8ц затем происходит ионно-стимулированная диффузия, обусловленная ударными волнами, распространяющимися в объеме кремния; заключительный этап характеризуется увеличением объема силицидной фазы.
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
1. Данилин Б.С. Силициды и полициды в производстве СБИС// Итоги науки и техники. Сер. Электроника. М.: 1989. Т.25.
2. Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии: Пер. с англ. М.: Мир,1985 .
3. Зигмунд П. Распыление ионной бомбардировкой, общие теоретические представления; Под ред. Р. Бершина: М.: Мир ,1984 .
4. Диденко А.Н., Лигачев А.Е., Куракин Н.Б. Воздействие пучков заряженных частиц на поверхность металлов и сплавов М.: Энергоиздат, 1987.
5. Павлов П.В., Скупов В.Д., Тетельбаум Д.И. О роли механических напряжений и упругих волн в структурных превращениях в кристалле при ионной бомбардировке и последующем отжиге // Физика и химия обработки материалов. 1987. №6. С.19-24.
6. Туренко Е.А., Яценко О.Б. Фазовые превращения при ионно-плазменном синтезе тонкопленочных силицидов меди // Конденсированные среды и межфазные границы. Т.2, 2000. №3. С.218-222.
УДК 551.594
Г.В. Куповых, А.Г. Марченко
АВТОМАТИЗИРОВАННЫЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ АТМОСФЕРНО-ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ НАБЛЮДЕНИЙ
Для проведения атмосферно-электрических наблюдений разработан измерительный комплекс, включающий в себя датчики градиента потенциала электрического поля, полярных проводимостей воздуха и плотности тока. Регистрация электрических параметров атмосферы в автоматическом режиме реализована с помощью высокоскоростного аналого-цифрового преобразования (АЦП) на базе компьютера РеШ:шт-120 .
Измерителем градиента потенциала электрического поля атмосферы является электростатический флюксметр, обладающий двумя встроенными каналами с диапазонами измерения 0-500 В/м (1-й канал) и 500-5000 В/м (2-й канал). Прибор для измерения проводимости воздуха представляет собой блок аспирационных конденсаторов, сопряженных с электрометрическими усилителями. Предел диапазона измерений - 25 фСм/м. Для измерения плотности электрического тока используется метод пластины (пластина сопряжена с электрометрическим усилителем). Диа-
Известия ТРТУ
Специальный выпуск
пазон измерений: 0-100 пА/м2. Все приборы позволяют проводить измерения электрических параметров атмосферы в непрерывном режиме.
Для подключения датчиков к компьютеру использован быстродействующий АЦП (марка Ь-761 производства фирмы "Ь-Сай"). АЦП с соответствующим программным обеспечением позволяет последовательно производить опрос каналов с частотой 100 кГц, накапливать данные на винчестере, осреднять значения с интервалом от 100 мкс до 600 с и одновременно для оперативного контроля отображать графически на мониторе. Параметры АЦП приведены в таблице.
Параметр Технические характеристики
Количество каналов 16 дифференциальных (32 с общей землей)
Разрядность АЦП 14 бит
Частота преобразования напряжения в код 100 кГц
Время преобразования 8 мкс
Диапазон входного сигнала +5В, +1,25В, +0,3125В, +0,078В
Таким образом, измерительный комплекс позволяет производить непрерывные атмосферно-электрические измерения в условиях открытой атмосферы и одновременно осуществлять первичную обработку данных в автоматическом режиме.
УДК. 538.3
И.И. Красюк, Е.Н. Погорелов
ФАЗОВЫЕ ТРАЕКТОРИИ ЗАРЯЖЕННОЙ ЧАСТИЦЫ, ВЗАИМОДЕЙСТВУЮЩЕЙ С УСКОРЕННОЙ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОЙ ВОЛНОЙ, БЕГУЩЕЙ ВДОЛЬ МАГНИТОСТАТИЧЕСКОГО ПОЛЯ
Как показано в [1], движение релятивистской заряженной частицы в замедленной электромагнитной волне (v^^c), бегущей вдоль магнитостатического поля, удобно представлять на декартовой плоскости. При надлежащем выборе фазовых переменных траектории образуют семейство овалов Декарта. В случае ускоренной волны картина движения выглядит несколько более сложной, однако в практически интересных случаях (соответствующая область параметров системы поле-частица в работе указана) ситуация аналогична той, что имеет место для замедленной волны: если точный интеграл движения F [1, 2] удовлетворяет неравенству
F < F < F2, (1)
где F и F выражаются через параметры поля, то траектории частицы - овалы Декарта. Значения Fl и F2 интеграла F являются бифуркационными. При переходе через F или F изнутри интервала (1) наружу происходит слияние и последующее исчезновение пары состояний равновесия: седла и центра. Траектории с F £ [F, F ] - не-Овалы. В работе дан простой способ вычисления бифуркационных значений Fl, F2 и показано, что в исходном представлении, т.е. на фазовом полуцилиндре [1, 2], попытка такого вычисления приводит к алгебраическому уравнению шестой степени.
