CC BY
135
45 лет в отечественной электронике
ОАО "Ангстрем" — прошлое, настоящее и будущее
ГРУППА ЗЕЛЕНОГРАДСКИХ НАУЧНО-ПРОМЫШЛЕННЫХ ПРЕДПРИЯТИИ "АНГСТРЕМ" БЕРЕТ СВОЕ НАЧАЛО ОТ СОЗДАННОГО В 1963 г. НИИ ТОЧНОЙ ТЕХНОЛОГИИ С ОПЫТНЫМ ЗАВОДОМ "АНГСТРЕМ". С МОМЕНТА ОСНОВАНИЯ ЭТО ОДИН ИЗ ВЕДУЩИХ ИННОВАЦИОННЫХ ЦЕНТРОВ ОТЕЧЕСТВЕННОЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ.
Дшхунян ВЛ.,
Генеральный директор ОАО "Ангстрем" Малашевич Б.М.,
Главный специалист ОАО “Ангстрем" Машевич П.Р.,
Генеральный директор ОАО "Ангстрем-М" Сухопаров А.И.
Генеральный директор ОАО "Ангстрем-Т"
ОАО "Ангстрем":
124480, Москва, Зеленоград, Проезд № 4806, дом 4, стр. 3 т. (495) 531-1470, ф. 531-3270 [email protected]
ОАО "Ангстрем-М":
124480, Москва, Зеленоград, Проезд № 4806, дом 4, стр. 8 т. (495) 776-56-67, ф. 532-8003
www.angstrem.ru
Сегодня группа "Ангстрем" включает ряд предприятий, образованных на основе подразделений НИИ ТТ и завода "Ангстрем" и ряд неформальных партнеров. Ядром научно-промышленной группы являются ОАО "Ангстрем", ОАО "Ангстрем-М" и ОАО "Ангстрем-Т11.
Эти предприятия имеют следующую специализацию:
• ОАО "Ангстрем" — предприятие полного цикла разработки, производства, испытаний и сертификации изделий микроэлектроники, электронных устройств и систем на их основе.
• ОАО "Ангстрем-М" — Fabless дизайн центр, разрабатывающий (полный цикл и BackEnd проектирование) по заказам потребителей изделия микроэлектроники с топологическими нормами до 0,13 мкм. В составе ОАО "Ангстрем-М" действует аспирантура группы "Ангстрем".
• ОАО "Ангстрем-Т" — Foundry полупроводниковая фабрика, организуемая в новом промышленном корпусе для серийного производства изделий микроэлектроники с топологическими нормами 0,13 мкм.
Задачи и ресурсы группы "Ангстрем"
Исторически, Ангстрем практически всю продукцию (в основном микропроцессоры, микроконтроллеры, микросхемы памяти и стандартной логики) поставлял на внутренний рынок СССР и незначительную ее часть в страны СЭВ. В ходе реформ, в условиях фактической ликвидации внутреннего рынка микросхем и вторжения на его остатки зарубежной продукции, Ангстрем вовремя смог подготовить новую продукцию для внешнего рынка и с 1992 г. начал ее поставки, в основном в Юго-восточную Азию (ЮВА).
Основной экспортной продукцией были микросхемы для микрокалькуляторов, электронных часов, электронных игр и т.п. В течение нескольких лет Ангстрем овладел этим рынком, вытеснив из него таких лидеров микроэлектроники, как Баткипд. В отдельные годы доля Ангстрема в мировом рынке таких микросхем составляла более 90%. Довольно успешно на этом рынке выступали также зеленоградский Микрон и минский Интеграл.
Успешная деятельность на внешнем рынке обеспечила Ангстрему:
Рис. 1. Рынки сбыта группы предприятий "Ангстрем"
РАН
Мин. траспорта *
Мин. пром. 4 и торговли
Авиапром
►
МО, УРБВТиСП 4
ФСБ
Группа
“Ангстрем”
►
к
РАКА
Минатом
Программы
Москвы
► <*
Р^елорос. Федеральные программы
программы
Рис. 2. Источники заказов группы "Ангстрем" на НТП
— возможность сохранить в кризисные годы основной интеллектуальный и промышленный потенциал предприятия;
— практически освоить правила и законы мирового рынка и вытекающие из них требования к внутрифирменным порядкам;
— переструктурировать предприятие в соответствии с требованиями междурародного стандарта качества ISO 9001, пройти сертификацию на соответствие его требованиям;
— создать новое полупроводниковое производство на пластинах 150 мм с топологическими нормами 0,6-1,2 мкм.
По мере восстановления внутрироссийского рынка микросхем Ангстрем его планомерно осваивает. Доля продукции Ангстрема, поставляемой на внутренний рынок, постоянно растет. В 2007 г. эта доля в денежном выражении достигла 70%. Изменилась и номенклатура экспортируемой продукции, появились такие изделия, как драйверы и контроллеры ЖКИ-диспле-ев, микросхемы радиочастотной идентификации (RFID), микросхемы управления питанием мобильных телефонов, полупроводниковые приборы силовой электроники (ДМОП, БВД и IGBT), магниторезистивные датчики (МРД).
Так в 2007 г. около 20% микросхем управления питанием мобильных телефонов на мировом рынке составляла продукция Ангстрема.
В настоящее время группа "Ангстрем" разрабатывает и поставляет свои изделия как на внутренний, так и на внешний рынок (рис. 1).
Основной своей задачей предприятия группы "Ангстрем" считают обеспечение отечественного и зарубежного потребителя интегральными изделиями электронной техники (ИЭТ), включающими:
• цифровые и аналоговые интегральные микросхемы различной сложности;
• полупроводниковые приборы силовой электроники: диоды, транзисторы и т.п.;
• микроэлектромеханические приборы и системы (МЭМС) и т.п.
Первостепенной задачей группа "Ангстрем" считает обеспечение ИЭТ отечественных стратегически значимых систем, в которых применение импортируемых ИЭТ недопустимо из соображений национальной безопасности. Это государственные структуры, банки, системы связи, транспорт, промышленные предприятия, торговля, средства массовой информации и т.п. Деятельность группы "Ангстрем" направлена на
планомерное достижение технологической независимости от иностранных государств в разработке, производстве и применении ИЭТ.
Заказчиками новой продукции являются ведущие предприятия государственных (рис. 2) и частных структур — создатели новой продукции потребительской, промышленной и иной электронной техники.
При создании ИЭТ группа "Ангстрем" представляет потребителю все возможные варианты маршрутов, от выполнения полного цикла проектирования и производства, до испытаний, аттестации и сертификации импортируемых потребителем ИЭТ.
ОАО "Ангстрем"
ОАО "Ангстрем" является головным предприятием группы научно-промышленных предприятий "Ангстрем". Оно включает:
• блок научно-дизайнерских подразделений (дизайн-центры по созданию СБИС, силовых приборов, приборов микромеханики и тепловидения, устройств RFID техники, технологические дизайн-центры, дизайн-центры САПР измерительных систем и инструментального оснащения) (рис. 3).
Рис. 3. Микроконтроллер Бтагйкарты — пример продукции дизайнеров ОАО "Ангстрем"
Рис. 4. Примеры продукции кристального производства ОАО "Ангстрем"
Рис. 5. В полупроводниковом производстве ОАО "Ангстрем"
Рис. 6. Примеры продукции сборочного производства ОАО "Ангстрем" Рис. 7. "Вектор-64" — пример измерительной системы ОАО "Ангстрем"
• блок производственных подразделений
(полупроводниковые производства на пластинах диаметром 100 и 150 мм, сборочное производство, аппаратное производство, инструментальное производство, испытательно-сертификационный центр) (рис. 4-7),
• блок вспомогательных подразделений,
• менеджмент.
В 2006 г. ОАО "Ангстрем" вторично сертифицировано на соответствие требованиям международного стандарта ISO 9001:2000 в области: "Разработка и производство полупроводниковых приборов и интегральных микросхем"
ОАО "Ангстрем-М"
ОАО "Ангстрем-М" (рис. 8) является Fabless дизайн-центром, представляющим отечественному потребителю технологические возможности передовых зарубежных производителей — своих Foundry-партнеров (рис. 9). Это обеспечивает потребителю (разработчику электронных приборов, оборудования и систем) возможность реализовать его научные наработки, его архитектурные и схемотехнические решения, его "know-how" в виде современных ИС, самостоятельно выполнив их схемотехничес-
Fabless-центры проектирования (потребители ИС)
| ОАО “Ангстрем-М"
Back-End Разработка сред
проектирование проектирования
1 ,-------------1 I
Foundry Зарубежные
группы "Ангстрем" Foundry
I I
ОАО “Ангстрем"
Сборка, испытания, сертификация
Рис. 9. Ангстрем-М в режиме Foundry
кое проектирование (Front-End проект). Для этого Ангстрем-М разрабатывает и представляет потребителю так называемый Design Kit — настроенную на технологию систему проектирования, включающую правила проектирования, библиотеки элементов и сложнофункциональные блоки (СФ-блоки) для Front-End проектирования ИС с топологическими нормами до 110 нм, ориентированную на соответствующего Foundry-партнера. По Front-End проекту потребителя Ангстрем-М выполняет топологическое (Back-End) проектирование ИС и размещает заказ на ее производство у отечественного или зарубежного партнера. Таким образом, российские аппаратостроители получают возможность реализации своих научных наработок в виде сверхсложных СБИС уровня до 110 нм.
ОАО "Ангстрем-М" проводит также по заказам потребителя разработки ИС по полному циклу (Front-End + Back-End проект): ИС памяти, контроллеров и драйверов ЖКИ, интеллектуальных схем идентификации с контактным (банковская карта) и бесконтактным (электронный паспорт) интерфейсом и др.
Размещение выполненных проектов для серийного изготовления Ангстрем-М осуществляет на производствах ОАО "Ангстрем" (0,6-3,0 мкм)
или зарубежных Foundry-партнеров (0,11-0,35 мкм). Сборку и поставку ИС Ангстрем-М осуществляет через структуры ОАО "Ангстрем".
Своей основной деятельностью — созданием перспективных для России СБИС на основе технологий уровня 0,11-0,35 мкм и размещением их производства в зарубежных Foundry, Атгстрем-М решает еще одну очень важную задачу. Таким образом формируется портфель заказов, создается первичный рынок для перспективной отечественной Foundry фабрики в составе ОАО "Ангстрем-Т", которая сразу после ввода в строй примет эти заказы.
Аспирантура
С целью подготовки кадров высшей квалификации для группы предприятий "Ангстрем", в 2003 г. в Ангстрем-М создана аспирантура, получившая лицензию на право ведения образовательной деятельности по специальностям:
— 05.27.01 — твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах.
— 05.13.05 — элементы и устройства вычислительной техники и систем управления.
— 05.13.06 — автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (электроника).
ОАО "Ангстрем-Т"
ОАО "Ангстрем-Т11 располагает новым промышленным корпусом для организации современного полупроводникового производства (рис. 10). Этот корпус был построен еще в начале 1990-х годов по проекту и совместно с германской фирмой Meissner&Wurst Sander. Корпус был предназначен для полупроводникового производства на кремниевых пластинах диаметром 200 мм с топологическими нормами 0,50-0,80 мкм. Планируемая мощность
— 15 000 пластин в месяц, ввод в эксплуатацию — 1995 г. Здание было построено, оснащено всем инженерным оборудованием. Оставалось закупить, смонтировать и запустить спецтехнологическое оборудование и начинать производство кристаллов ИС. Но реформы в стране воспрепятствовали этому.
Однако Ангстрему удалось сохранить и здание, и его оснащение. В настоящее время фирмой Meissner&Wurst Sander завершен проект по адаптации производственного корпуса к современным требованиям и завершается его реконструкция (рис. 11).
В возрожденном корпусе организуется перспективное серийное производство ИС на кремниевых пластинах диаметром 200 мм с производительностью 15 000 пластин/мес. Производство предназначается для изготовления КМОП БИС с топологическими нормами 130 нм. и 9-слойной медной разводкой. Запуск производства планируется на конец 2009 г.
В обеспечение загрузки нового производства выпоглняются разработки комплектов СБИС для цифрового телевидения, для навигационной системы "ГЛОНАСС", СБИС электронного паспорта гражданина России и ряд других проектов.
ПРОДУКЦИЯ ГРУППЫ "АНГСТРЕМ" Научно-техническая продукция
К научно-технической продукции относятся разработки, выполняемые по полному циклу (Front-End + Back-End проект), по частичному
циклу (Back-End проект), по созданию полуза-казных ИС на основе БМК, по переводу ПЛИС-проектов в проекты полузаказных ИС на основе БМК и любые иные разработки по тематике группы "Ангстрем".
Промышленная продукция
К промышленной продукции относятся ИЭТ, устройства и системы ("под ключ") на их основе, поставляемые потребителям предприятиями группы "Ангстрем".
Услуги
• Полупроводниковое производство:
производство полупроводниковых приборов в режиме foundry, выполнение комплекса или отдельных операций по химической, плазмохимической и другим видам обработки кремниевых пластин, изготовление промежуточных и рабочих фотошаблонов и пелликлов.
• Сборочное производство: сборка микросхем в металлокерамические, металлостеклянные корпуса, резка пластин 0150 мм, разбраковка, упаковка кристаллов в вакуумную упаковку, разработка технологий по изготовлению корпусов и сборки микросхем, гальва-ничесоке покрытие: цинк, никель, воронение, литье пластмассовых изделий по пресс-форме заказчика и др.
• Центр измерений: измерения параметров полупроводниковых приборов на пластинах 0/100 мм и 0/150 мм и в корпусах, разработка и изготовление средств измерений.
• Испытательно-сертификационный центр: Испытание ИЭТ заказчика на соответствие заданным требованиям по стойкости к различным внешним воздействиям по категориям: "коммерческие", "индустриальные", "военные", "космические" с выдачей соответствующих сертификатов.
Традиционная продукция
• Процессоры: МП, Мк, ЦОС;
• ОЗУ, ПЗУ, ЭСППЗУ, FLASH;
• Цифровые и аналого-цифровые полуза-казные БИС на основе БМК;
Вариант маршрута проектирования
Бибпиотека БМК Синтез из ПЛИС
Синтез VHDL VenlogHDL ТЗ на разработку или схема в любой библиотеке
■Ангстрем
Формирование базы данных и карты заказа
Предварительный просмотр проекта
Проектирование топологии и верификация
-Ангстрем
• •••► Моделирование и верификация -^—Ангстрем
Заказчик—» ■||им—..уиы»ц»у «—Ангстрем
-Ангстрем
йказчик —-► Финишный просмотр проекта Ангстрем
t
•аказчик-*— Изготовление образцов «—Ангстрем
Рис. 12. Маршрут проектирования полузаказных БИС
• ИС стандартной логики;
• Аналого-цифровые ИС: ОУ АЦП, ГУН, DC...
• БИС управления ЖКИ.
Полузаказные БИС
Одним из важных традиционных направлений, обеспечивающим потребителю интегральную реализацию его "know-how" являются полузаказные БИС на основе базовых матричных кристаллов (БМК).
Потребителям предлагается цифровые и цифро-аналоговые БМК с характеристиками:
• число ячеек от 3 000 до 100 000,
• число выводов от 14 до 208,
• тактовая частота от 10 до 50 МГц.
Для создания полузаказных БИС на основе БМК отработан многовариантный типовой маршрут проектирования (рис. 12), предоставляющий заказчику возможность определить свою степень участия в создании БИС от выдачи исходных данных на проектирование до полнообъемного Front-End проекта.
В зависимости от сложности заказываемой БИС и типа БМК для нее на полный цикл "карта заказа — поставка первой партии" требуется от полутора до трех месяцев.
Рис. 1О. Чистые помещения в ОАО "Ангстрем-Т"
Рис. 11. Реконструированный промышленный корпус ОАО "Ангстрем-Т"
Производители электронной аппаратуры, построенной с применением ПЛИС фирм XILINX, ACTEL и ALTERA, имеют возможность перепроектировать их на полузаказные БИС на основе БМК Ангстрема (по типовому маршруту), получив при этом, в ряде случаев, заметный экономический эффект и увеличив плотность компоновки аппаратуры.
Для выполнения заказчиком своей доли работы по созданию полузаказных БИС, Ангстрем представляет ему соответствующую среду проектирования. Среда проектирования включает программные средства и библиотеки элементов различной сложности.
НОВЫЕ РАЗВИВАЕМЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ ИЭТ повышенной надежности
Особое значение для многих стратегически важных систем России и стран СНГ имеет надежность ИЭТ и их стойкость к различным воздействиям окружающей среды. Это ИЭТ для применения в северных районах страны, в пустынях Средней Азии, в космических аппаратах, в подводных, подземных и наземных коммуникациях и т.п. Потребность в таких ИЭТ постоянно возрастает и удовлетворена она может быть только отечественным потребителем не только из соображения безопасности, но и в связи с существующим запретом в США и ряде других стран поставок таких ИЭТ в Россию. Поэтому ОАО "Ангстрем" рассматривает высоконадежные ИЭТ в качестве одного из важнейших своих направлений, является в нем лидером в России и СНГ.
Приборы и системы идентификации
Предприятия группы "Ангстрем" активно включились в развитие нового направления электроники — средств и систем электронной идентификации различных объектов. За несколько лет была создана широкая номенклатура интегральных микросхем для радиочас-
Рис. 13. Примеры RFID-транспондеров ОАО "Ангстрем"
тотных идентификаторов (RFID), считывателей для них (ридеров) и идентификаторов с контактами, включая высокозащищенные микроконтроллеры для интеллектуальных карт (ИК, SmartCand). Эти микросхемы поставляются по-треби-телям и используются в идентификаторах и считывателях собственного производства.
Радиочастотная идентификация
Ангстрем производит постоянно развиваемый ряд БИС радиочастотных идентификаторов от килогерцового до гигагерцового диапазона частот. На их основе Ангстрем создает и поставляет потребителям разнообразные радиочастотные идентификаторы в виде меток, карт, брелоков и т.п., примеры таких идентификаторов приведены на рис. 13.
Для обработки этих идентификаторов созданы и поставляются разнообразные радиочастотные считыватели (рис. 14).
Все эти изделия производятся Ангстремом и поставляются потребителям либо в виде самостоятельной продукции, либо в виде систем "под ключ".
Идентификация с контактами по ISO/IEC 7816
Потребителю предлагается достаточно широкая номенклатура микросхем для идентификаторов с контактами по ISO/IEC 7816-ххх от простейших ИС памяти до высокозащищенных микроконтроллеров. Они применяются в И К систем управления доступом, платежных системах с различным уровнем защиты, в социальных и медицинских картах, в важных персональных и фирменных электронных документах, в качестве банковских платежных средств и т.л. Поставляются такие микросхемы в виде модулей с 6 или 8 контактами в ленте (рис. 15).
Наиболее сложной микросхемой для ИК является разработанный группой "Ангстрем" микроконтроллер для электронного паспорта гражданина России (рис. 16). Микроконтрол-
лер характеризуется наличием средств криптозащиты хранимой и передаваемой по радиочастотному интерфейсу информации, большим объемом встроенной энергонезависимой памяти (128Кх8 бит) для хранения биопараметров гражданина, встроенной операционной системой.
Кристалл микроконтроллера для электронного паспорта изготовлен по технологии 0,18 мкм и в дальнейшем будет переработан на технологию 0,13 мкм для производства в ОАО "Ангстрем-Т11. На конкурсе этот проект группы "Ангстрем" занял первое место и в настоящее время 15 тысяч модулей электронного паспорта уже передано заказчику.
Приборы силовой электроники
В современной и перспективной электронной аппаратуре в источниках питания и исполнительных устройствах различных систем управления широко применяются силовые диоды, транзисторы и другие полупроводниковые приборы, работающие в диапазонах больших токов (десятки и сотни Ампер) и высоких напряжений (сотни и тысячи Вольт).
Фактически такой прибор представляется дискретным транзистором или диодом только для потребителя, получающего его в отдельном стандартном корпусе. В действительности такой прибор является интегральной схемой, в которой параллельно соединены сотни или тысячи диодов или транзисторов, в совокупности обеспечивающие требуемые характеристики. Площадь кристалла такого транзистора зачастую превышает 1см2.
ПЕРСПЕКТИВНЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ Приборы для тепловидения
К созданию неохлаждаемых фотоприемных устройств (ФПУ) для тепловидения Ангстрем приступил в 2000 г. Реализуется три этапа развития этого нового направления.
Рис. 15. Модули для ИК с контактами в ленте
На первом этапе были разработаны и поставлялись заказчикам фотомприемные диодные матрицы ИК-диапазона с разрешением 256x256 и 512x512 пикселей для охлаждаемых фотоприемных устройств. Однако необходимость охлаждения Ангстрем рассматривал как принципиальный недостаток таких ФПУ, поэтому Ангстрем активно включился в партнерство по созданию болометрического не охлаждаемого ФПУ с разрешением 160х120 пикселей, выполняемой ИФП СО РАН совместно с ЦНИИ "Циклон" (рис. 17).
В 2007 г. Ангстрем разработал и изготовил БИС мультиплексора с разрешением 320х240 пикселей, на основе которого в ИФП СО РАН была сделана болометрическая фокальная матрица и ФПУ. Примеры полученных этим ФПУ фотографий приведены на рис. 18.
На основе полученного опыта Ангстрем приступил к реализации полного технологического цикла создания неохлаждаемьх ФПУ, характеризуемых:
• полным телевизионным форматом;
• повышенной четкостью изображения;
• расширенным динамическим диапазоном.
Рис. 16. Топология кристалла микроконтроллера электронного паспорта гражданина России
Приборы микромеханики и МЭМС
К созданию приборов микромеханики и МЭМС Ангстрем приступил в 2003 г. Работы были построены в два этапа.
Этап 1. Гибридные приборы
На первом этапе Ангстрем работал в тесном сотрудничестве с ОАО "МНПК "Темп-Авиа"" по созданию гибридных МЭМС: микрогироскопов и микроакселерометров. Ангстрем разработал и поставляет партнеру 2 типа БИС управления приборами, а МНПК 'Темп-Авиа11 разработал и изготавливал миниатюрные механические датчики и микрогироскопы и микроакселерометры в целом. Пример гибридного микроакселерометра, управляемого БИС 5511ХТ1АУН4-005 Ангстрема, приведен на рис. 19.
Параллельно Ангстрем разрабатывал конструкции и технологии создания микромеханиче-ских устройств.
Этап 2. Интегральные МЭМС
Второй этап решает задачу создания интегральных МЭМС, в которых и микромеханиче-
ские датчики (акселерометров, гироскопов, датчиков давления и т.п.) и БиКМОП микроэлектронные устройства преобразователей и управления изготавливаются в одном кристалле кремния в едином технологическом цикле ОМЭМС технология).
В ОАО "Ангстрем" разработана базовая технология поверхностной микрообработки структурного поликремния и окисного жертвенного слоя, которая достаточно хорошо встраивается в БиКМОП процесс по схеме интеграции "МЭМС внутри БиКМОП". Отработан также и метод капсулирования свободно висящих микромеханических структур для защиты их от внешних механических воздействий. На этой основе получены первые экспериментальные образцы микросхем двухосевых однокристальных микроакселерометров (рис. 20 и 21).
Уже первые полученные образцы микроакселерометров по основным параметрам (чувствительность, линейность, потребляемая мощность и др.) соответствуют или близки к аналогичным зарубежным приборам.
Планарные многокристальные модули
Ангстрем освоил новую для себя технологию
Рис. 17. Мультиплексор, ФПУ и тепловые фотографии с разрешением 160х120 пикселей
Рис. 18. Мультиплексор, ФПУ и тепловые фотографии с разрешением 320х240 пикселей. На его основе сделан прицел для стрелкового оружия и другие приборы тепловидения
Рис. 19. Гибридный микроакселероментр АТ1104 на основе бескорпусной БИС 5511ХТ1АУН4-005
Рис. 20. Кристалл iMЭMС микроакселерометра и фрагменты его микромеханических структур
Г
V- yXCXlEflXA
Рис. 21. Однокристальный (МЭМС микроакселерометр
изготовления планарных многокристальных модулей (ПМКМ), существенно повышающую плотность компоновки электронной аппаратуры.
В ПМКМ (рис. 22) кристаллы БИС утоплены в подложку модуля таким образом, что поверхности подложки, кристаллов БИС и других элементов располагаются строго в одной плоскости. Соединения элементов ПМКМ по определенной схеме производится методом тонкопленочной технологии по единой поверхности подложки и внедренных в нее кристаллов. Для подложки могут быть применены различные материалы: пластмасса, керамика, металл, на которых можно получать углубления,
Рис. 22. Планарный многокристальный модуль навигационного приемника спутниковых систем ГЛОНАСС^РБ
соответствующие размерам кристаллов. После размещения кристалла в углубление подложки, на ее поверхности формируется слой диэлектрической пленки, обычно из полиимида, обеспечивающей планарность подложки и используемой в качестве межслойного диэлектрика. Эта конструкция обеспечивает достижение предельных величин по плотности упаковки компонентов и быстродействию ПМКМ, уменьшает толщину модуля и исключает из технологического процесса операции пайки или сварки.
ПМКМ предназначены для применения в особо компактной электронной аппаратуре: сотовых телефонах, приборах спутниковой навигационной системы "ГЛОНАСС", портативных RFID-терминалах, имплантируемых медицинских приборах и т.п.
”Ангстрем” — это стабильно работающие и тесно сотрудничающие коллективы опытных высококвалифицированных менеджеров, разработчиков, технологов и производственников. В свой 45-летний юбилей они уверенно смотрят в будущее.
К основным этапам развития предприятия можно отнести следующие события:
1964/5 — первые гибридные микросхемы серий 'Тропа" 1996 — начало выпуска аналого-цифровых и RFID ИС.
(толстопленочная) и "Посол" (тонкопленочная). 1999 — начало выпуска ИС для SmartCard.
1969 — первая микросхема по КМОП-технологии — 2000 — начало выпуска ИС ЖКИ-драйверов,
статическое ОЗУ 16 бит. сертификация по IS0-9001 (1994-08).
1973 — первые БИС микрокалькулятора 2001/2 — новые ниши рынка, в том числе Foundry.
по КМОП-технологии. 2003 — начало выпуска ИС для тепловидения.
1974 — первый в стране микропроцессор серии 532 2004 — начало выпуска силовых полупроводниковых
(позже переименованной в серию 587), КМОП. приборов — ДМОП, БВД и IGBT.
1979 — первая в стране однокристальная 16-разрядная 2005 — начало поставок МРД.
микро-ЭВМ (микроконтроллер) К1801ВЕ1. 2006 — сертификация по IS0-9001 (2000).
1986 — массовое производство ДОЗУ 256К бит. 2007 — начало выпуска аналого-цифровых БиК-МОП
1988 — первые в стране 32-разрядный полузаказных БИС.
микропроцессор и динамическое ОЗУ 1М бит. 2007 — первый в РФ iMЭMС акселерометр,
1995/7 — 0,8-1,0 мкм производство БИС и СБИС интегрированный с БиКМОП процессом.
на пластинах 150 мм.
